JP2009016836A - 構成要素をピックアップする方法、及び該方法の実行に適切な装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】構成要素を膜から単純且つ信頼性高くピックアップし得る方法を提供する。
【解決手段】膜3から構成要素5をピックアップする方法に係る。構成要素は、接着ボンドを用いて膜に対して接続され、構成要素と膜との間における該接着ボンドは、エネルギビームを用いて照射される。エネルギビームを用いる接着ボンドの照射に先立ち、ノズル8は、ノズルの方向に膜の一部を動かすことによって、膜から離れた側部において構成要素と接触するよう配置され、その後レーザビームを有するエネルギビームが活性化される。構成要素と膜との間における接着ボンドは、エネルギ源によって少なくとも実質的に完全に破断される。その後、構成要素は、ノズルを用いて膜からピックアップされる。
【選択図】図3
【解決手段】膜3から構成要素5をピックアップする方法に係る。構成要素は、接着ボンドを用いて膜に対して接続され、構成要素と膜との間における該接着ボンドは、エネルギビームを用いて照射される。エネルギビームを用いる接着ボンドの照射に先立ち、ノズル8は、ノズルの方向に膜の一部を動かすことによって、膜から離れた側部において構成要素と接触するよう配置され、その後レーザビームを有するエネルギビームが活性化される。構成要素と膜との間における接着ボンドは、エネルギ源によって少なくとも実質的に完全に破断される。その後、構成要素は、ノズルを用いて膜からピックアップされる。
【選択図】図3
Description
本発明は、膜から構成要素をピックアップする方法に係る。該構成要素は、接着ボンドを用いて膜に対して接続される。構成要素と膜との間における接着ボンドは、エネルギビームを用いて照射され、その後構成要素は、ノズルを用いて膜からピックアップされる。
本発明はまた、かかる方法を実行するよう適切である装置に係る。当該装置は、構成要素を備えられる膜に対する担体を有する。該構成要素は、接着ボンドを用いて膜に対して接続される。当該装置は更に、膜から構成要素をピックアップするノズル、及び、接着ボンドを照射するようエネルギビームを生成する光源を有する。
欧州特許EP−B1−0 431 637(特許文献1)から既知であるこのような方法及び装置を有して、構成要素と膜との間における接着ボンドは、紫外線エネルギビームを用いて弱化され、その後構成要素は、ノズルを用いて係合され、膜から剥がされる。
かかる作動中、ピンは、構成要素から離れた側部上において膜と接触するよう配置され、その後構成要素は、膜から押し上げられる。
既知の方法の問題点は、0.3×0.3mmで厚さ0.003mm等であるますますより小さな構成要素が使用されるため、かかるピンの使用が大変複雑である、ことである。更には、接着ボンドが単に弱化されるだけであるため、接着ボンドを完全に破断するようノズルを用いて構成要素上に力をかけることは、必要である。
EP−B1−0 431 637
US 2006/252233 A1
US 6 297 075 B1
DE 103 40 409 A1
WO 2005/057651 A
WO 03/085702 A
US 2007/141811 A1
本発明は、構成要素を膜から単純且つ信頼性高くピックアップし得る方法を与える、ことを目的とする。
かかる目的は、本発明に従った方法を有して達成される。当該装置において、エネルギビームを用いる接着ボンドの照射に先立ち、ノズルは、ノズルの方向において膜の一部を動かすことによって膜から離れた側部において構成要素と接触するよう配置され、その後レーザビームを有するエネルギビームが活性化され、構成要素と膜との間における接着ボンドは、エネルギビームによって照射され、接着ボンドは、少なくとも実質的に完全に破断される。
レーザビームは、接着ボンドを少なくとも実質的に完全に破断し、構成要素が膜から引き離されるようにする。しかしながら、レーザビームの活性化に先立ってレーザビームが構成要素と接触するよう配置されたため、構成要素は、ノズルによってすぐにピックアップされ、ノズルによって膜から離れるよう動かされ得る。構成要素と膜との間における接着ボンドは、完全に、あるいは少なくとも実質的に完全に破断されるため、ノズルは、膜から構成要素を引き離すよう構成要素上に力を加える必要がほとんど無い。更には、構成要素から離れた膜の側部上にピンを必要としない。
膜の一部をノズルの方向において動かすことによって、膜の該一部は、僅かに伸張され、その結果として、膜の該部分上に存在する構成要素は、僅かに離れるよう動かされる。このようにして、構成要素の除去は、該構成要素が近接する構成要素と接触する可能性によって妨害されない。
本発明に従った方法の一実施例は、活性化されるレーザビームの結果として、構成要素が膜から押し離され、ノズルと接触する、ことを特徴とする。
構成要素と膜との間における接着ボンドは、レーザエネルギによって完全に破断され、構成要素は、ノズルに対してしっかりと押し付けられる。構成要素は、例えば、ノズルによって与えられる部分的真空を用いてノズルと接触したまま保持され得る。ノズルは、構成要素がレーザビームによって接着ボンドへともたらされるエネルギによって単純に膜から離れることを防ぎ、結果として構成要素に対する制御が失われる。
本発明に従った方法の他の実施例は、レーザビームが10乃至50ミリ秒間活性化され、その間、10乃至20ワットが接着ボンドへともたらされる、ことを特徴とする。
数ミリ秒という比較的大変短い時間に接着ボンドに対して数十ワットの比較的高い電力を与えることは十分であり、膜及び接着ボンドは、気泡を有し始め(start to bubble)、構成要素は膜から離れるよう動かされる、ことが判明している。続いて構成要素は、ノズルによって、停止され、捕捉され、係合され、動かされる。
本発明に従った更に他の実施例は、複数の構成要素が複数のノズルを用いて連続してピックアップされ、その後構成要素は、少なくとも1つの基板上に配置される、ことを特徴とする。
このようにして、複数の構成要素を比較的短い時間でピックアップし、その後構成要素が基板上に配置され得る、ことは可能である。これは、構成要素を膜からピックアップするよう使用されるものと同一のノズルを用いて行なわれ得る。しかしながら、構成要素をノズルから他の装置まで移動させることも可能であり、それによって構成要素が基板上に続いて配置される。
本発明はまた、本発明に従った方法を実行するよう適切である装置に係る。当該装置は、光源がレーザビームを生成するレーザである、ことを特徴とし、更には構成要素から離れた膜の側部上に位置付けられ得る、中心軸の周囲に延在するリングを有する。該中心軸は、膜に対して実質的に横方向に延在し、リングは、中心軸に対して平行である方向において可動である。
レーザビームを使用して、比較的大量のエネルギは、比較的短時間で構成要素と膜との間における接着ボンドへともたらされる。その結果として接着ボンドは、完全に、あるいは実質的に完全に破断される。リングを用いてノズルの方向において膜の一部を動かすことによって、膜の該部分は、僅かに伸張され、その結果として該部分上に存在する構成要素は、僅かに離れて動かされる。このようにして、構成要素の除去は、該構成要素と近接する構成要素との可能な接触によって妨害されることはない。
本発明はこれより、図面を参照して詳細に説明される。
同様の部分は、同一の参照符号によって図示される。
図1は、構成要素担体1を示し、担体1は、リング2、及びリング2によってその上に伸張される膜3を備えられる。複数の構成要素5を有するウエハ4は、接着剤を用いて、膜3に対して接続される。かかる構成要素担体1は、既知であるため、本願では詳述されない。
図2は、複数の段階S1−S9において構成要素担体1からの構成要素5の剥離及び取外しを示す。段階S1が明らかに示す通り、構成要素担体1は、Y−Z平面において延在する構成要素担体1の平面を有して、垂直方向において動かされる。回転軸6の周囲に回転可能である素子7は、ウエハ4に対向して位置付けられ、回転軸6に対して横方向に延在するノズル8を備えられる。レーザを有するエネルギ源9は、素子7から離れた構成要素担体1の側部に配置され、エネルギ源の光軸9’は、回転軸6と交差する。リング10は、エネルギ源9に対して対称的に配置され、構成要素5から離れた側部において膜3と境を接する。リング10の中心軸は、膜3に対して横方向に延在する。構成要素担体1は、エネルギ源9と素子7との間において位置付けられるため、構成要素5は、膜3に向かって方向付けられるノズル8とエネルギ源9との間において存在する。
構成要素5をピックアップするよう、リング10は、構成要素5がノズル8と境を接するまで、矢印P1(段階S2)によって示される方向において動かされる。故に構成要素5と膜3との間における接着ボンドは、エネルギ源9の焦平面において配置される。続いて、部分的真空は、ノズル8において生成され、構成要素5がノズル8に対して吸引されるようにする。リング10を矢印P1によって示される方向において動かすことで、膜3は変形され、その結果として、リング10内及びリング10の周囲に位置決めされる構成要素5は、僅かに離れて動かされる。
構成要素5がノズル8に対して押し付けられたあと、エネルギ源9は、活性化され(activated)(段階S3)、その結果として、レーザビーム11は、膜3と構成要素5との間における接着ボンドに向けられる。レーザビーム11を使用して、大変濃縮されたエネルギ量(highly concentrated amount of energy)は、接着ボンドへともたらされ得る。エネルギは、接着ボンドを破断させ、構成要素5をノズル8の方向において動かす(shot in the direction)。しかしながら、ノズル8が構成要素5と境界を接するため、構成要素5の所望されない動きは、効果的に防がれる。とりわけ構成要素5の寸法及び厚さに依存する10乃至15ミリ秒という比較的短い時間のあと、エネルギ源9はオフにされ、リング10は、矢印P1によって示される方向に対向する矢印P2によって示される方向において動かされる。しかしながら、構成要素5は、ノズル8に対して接続されたままとなる。
その後、素子7は、次のノズル8が膜3に向かって方向付けられるまで、矢印βによって示される方向において中心軸6の周囲に回転される。構成要素担体1は動かされ、新しい構成要素5は、ノズル8とエネルギ源9との間において位置付けられる。続いて、段階S2,S3,S4が反復される。これは、段階S6,S7及びS8として図示される。続いて、素子7は、再度矢印βによって示される方向において回転され、構成要素5がまだ与えられていない他のノズル8は、膜3に対向して位置付けられる。段階S1乃至S4は、ノズル8が構成要素5を与えられるまで(段階S9)、反復される。
続いて、素子7は、基板の上方の位置まで動かされ得、その後構成要素5は、基板の異なる位置において引き続き配置され得る。しかしながら、構成要素5が異なる基板上に続いて配置される、ことも可能である。
他の可能性によれば、素子7上の構成要素5は、他のノズルによって取り入れられ、該ノズルを用いて構成要素5は、その後基板上に配置される。この実施例は、図3乃至10を参照して詳述される。
図3に示される装置21は、構成要素担体1に対するホルダを有し、該ホルダを用いて、構成要素担体1は、矢印αによって示される方向においてX軸の周囲に回転され得る。装置21は更に、Y方向において延在するガイド22、及びスライド23を備えられる。該スライドは、矢印P3において示される方向及び対向する方向においてガイド22にわたって可動である。スライド23は、矢印βによって示される方向においてY軸の周囲に回転可能である素子7を備えられる。素子7は、図2中に示される素子7と同一である。素子7のノズル8は、X−Z平面において延在する。
装置21は更に、ノズル25を備えられる、Y方向において可動である構成要素配置ユニット24を有する。ノズル25は、Z方向において延在する。スライド24は、矢印P4によって示される方向及び対向する方向において可動である。装置21は更に、基板27を支持するよう、並びに基板27をX方向において動かすよう、基板担体26を有する。
図3に示される状況において、構成要素5は、ノズル8を用いて図2において示される通り、構成要素担体1からピックアップされる。各構成要素に対して、構成要素をまだ与えられていないノズル8は、矢印αによって示される方向において構成要素担体1を回転させ、また矢印P3によって示される方向においてスライド23を動かすことによって、構成要素5がまだ存在する膜3上の位置に対向して位置付けられる。矢印P3によって示される方向又は対向する方向においてスライド23を動かすのと同時に、構成要素ホルダ1の他側に配置されるエネルギ源9は、別個の駆動ユニットを用いてスライド23と同様に動かされる。
全てのノズル8に構成要素5が与えられると、スライド23は、ノズル8がノズル25と同一の平面に置かれるまで、図4に示される通り、矢印P3によって示される方向においてガイド22にわたって動かされる。素子7は、ノズル8がノズル25と一致するまで、矢印βによって示される方向において回転される。その後、図5に示される通り、ノズル25は、構成要素配置ユニット24に対してZ方向に下向きに動かされる。矢印P5によって示されるかかる動きは、ノズル25がノズル8から離れた構成要素5の側部と境を接するまで続けられる。ノズル25は、部分真空(partial vacuum)を介して構成要素5に係合する。ノズル25を用いて部分真空が構成要素5に対して与えられると、ノズル8によって構成要素5に対して与えられる部分真空は解放され、ノズルは、図6に示される通り、矢印P5によって示される方向に対向する矢印P6によって示される方向において動かされ得、それによって構成要素5も該方向において動く。
その後、構成要素配置ユニット24は、構成要素5が基板27上に配置されるべきである基板27の上方における位置に対して、矢印P4によって示される方向において動かされる(図7)。続いてノズル25は、矢印P5によって示される方向において動かされる。その結果として構成要素5は、基板27上に位置付けられる(図8)。構成要素配置ユニット24を動かし、基板27上に構成要素5を配置する間、素子7は、矢印βによって示される方向において回転され、構成要素5を与えられるノズル8は、構成要素5がノズル25を用いてピックアップされ得る位置まで、動かされる。構成要素5が基板27上に位置付けられた後、ノズル25は、矢印P6によって示される方向において動かされ(図9)、構成要素配置ユニット24は、矢印P4によって示される方向に対向する矢印P6によって示される方向において、ノズル25がノズル8に対向して位置付けられる位置まで動かされる。図10に示されるこの状況は、図4に示される状況に対応する。続いて、ノズル25を用いる構成要素5のピックアップ、基板27上への配置、及びノズル25を再度用いる構成要素5のノズル8からのピックアップは、ノズル8によって支持される全ての構成要素5が1つ又は複数の基板27上に位置付けられるまで、反復される。続いて、スライド23は、再度構成要素担体1に対向する位置まで動かされ、新しい構成要素5は、構成要素担体1からピックアップされ得る。
水平方向に位置付けられる構成要素担体1の場合、ノズル25を用いて構成要素5を直接ピックアップし、それを基板27上に配置する、ことも可能である。
1 構成要素担体
2 リング
3 膜
5 構成要素
6 回転軸
7 素子
8 ノズル
21 装置
22 ガイド
23 スライド
24 構成要素配置ユニット
25 ノズル
26 基板担体
27 基板
α 構成要素担体の回転方向
β 要素の回転方向
P3 移動方向
P4 移動方向
2 リング
3 膜
5 構成要素
6 回転軸
7 素子
8 ノズル
21 装置
22 ガイド
23 スライド
24 構成要素配置ユニット
25 ノズル
26 基板担体
27 基板
α 構成要素担体の回転方向
β 要素の回転方向
P3 移動方向
P4 移動方向
Claims (6)
- 膜から構成要素をピックアップする方法であって、
該構成要素は、接着ボンドを用いて前記膜に対して接続され、前記構成要素と前記膜との間における前記接着ボンドは、エネルギビームを用いて照射され、その後前記構成要素は、ノズルを用いて前記膜からピックアップされ、
前記エネルギビームを用いる前記接着ボンドの前記照射に先立ち、前記ノズルは、前記ノズルの方向において膜の一部を動かすことによって前記膜から離れた側部において前記構成要素と接触するよう配置され、その後レーザビームを有する前記エネルギビームが活性化され、前記構成要素と前記膜との間における前記接着ボンドは、前記エネルギビームによって照射され、前記接着ボンドは、少なくとも実質的に完全に破断される、
ことを特徴とする方法。 - 前記構成要素は、活性化された前記レーザビームの結果として、前記膜から押し離されて前記ノズルと接触する、
ことを特徴とする請求項1記載の方法。 - 前記レーザビームは、10乃至50ミリ秒間活性化され、その間、10乃至20ワットが前記接着ボンドへともたらされる、
ことを特徴とする請求項1又は2記載の方法。 - 複数の構成要素は、複数のノズルを用いて連続してピックアップされ、その後前記構成要素は、少なくとも1つの基板上に配置される、
ことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか一項記載の方法。 - 請求項1乃至4のうちいずれか一項記載の方法を実行するよう適切である装置であって、
接着ボンドを用いて膜に対して接続される構成要素を備えられる膜に対する担体と、
前記膜から構成要素をピックアップするノズルと、
レーザビームを生成するレーザであることを特徴とする、前記接着ボンドを照射するようエネルギビームを生成する光源と、
更には、前記構成要素から離れた前記膜の側部上に位置付けられ得る、中心軸の周囲に延在するリングと、
を有し、前記中心軸は、前記膜に対して実質的に横方向に延在し、前記リングは、前記中心軸と平行する方向において可動である、
装置。 - 回転の軸の周囲に回転可能である素子を有し、
該素子は、前記回転の軸に対して横方向に延在する複数のノズルを有する、
ことを特徴とする装置。
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2007
- 2007-07-03 NL NL1034087A patent/NL1034087C2/nl not_active IP Right Cessation
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Legal Events
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20081121 |