JP2009016795A - 放熱印刷回路基板及びその製造方法 - Google Patents

放熱印刷回路基板及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2009016795A
JP2009016795A JP2008095412A JP2008095412A JP2009016795A JP 2009016795 A JP2009016795 A JP 2009016795A JP 2008095412 A JP2008095412 A JP 2008095412A JP 2008095412 A JP2008095412 A JP 2008095412A JP 2009016795 A JP2009016795 A JP 2009016795A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating layer
copper foil
printed circuit
circuit board
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008095412A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4693861B2 (ja
Inventor
Eung-Suek Lee
應 碩 李
Saiko Yanagi
濟 光 柳
Chang Sup Ryu
彰 燮 柳
Jun-Oh Hwang
俊 午 黄
Jee-Soo Mok
智 秀 睦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Electro Mechanics Co Ltd filed Critical Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Publication of JP2009016795A publication Critical patent/JP2009016795A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4693861B2 publication Critical patent/JP4693861B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/4038Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections
    • H05K3/4053Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections by thick-film techniques
    • H05K3/4069Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections by thick-film techniques for via connections in organic insulating substrates
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y10/00Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0201Thermal arrangements, e.g. for cooling, heating or preventing overheating
    • H05K1/0203Cooling of mounted components
    • H05K1/0204Cooling of mounted components using means for thermal conduction connection in the thickness direction of the substrate
    • H05K1/0206Cooling of mounted components using means for thermal conduction connection in the thickness direction of the substrate by printed thermal vias
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0201Thermal arrangements, e.g. for cooling, heating or preventing overheating
    • H05K1/0203Cooling of mounted components
    • H05K1/0209External configuration of printed circuit board adapted for heat dissipation, e.g. lay-out of conductors, coatings
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing the conductive pattern
    • H05K3/245Reinforcing conductive patterns made by printing techniques or by other techniques for applying conductive pastes, inks or powders; Reinforcing other conductive patterns by such techniques
    • H05K3/247Finish coating of conductors by using conductive pastes, inks or powders
    • H05K3/249Finish coating of conductors by using conductive pastes, inks or powders comprising carbon particles as main constituent
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/02Fillers; Particles; Fibers; Reinforcement materials
    • H05K2201/0203Fillers and particles
    • H05K2201/0242Shape of an individual particle
    • H05K2201/026Nanotubes or nanowires
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/03Conductive materials
    • H05K2201/0332Structure of the conductor
    • H05K2201/0335Layered conductors or foils
    • H05K2201/0347Overplating, e.g. for reinforcing conductors or bumps; Plating over filled vias
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/03Conductive materials
    • H05K2201/0332Structure of the conductor
    • H05K2201/0335Layered conductors or foils
    • H05K2201/035Paste overlayer, i.e. conductive paste or solder paste over conductive layer
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09209Shape and layout details of conductors
    • H05K2201/095Conductive through-holes or vias
    • H05K2201/096Vertically aligned vias, holes or stacked vias
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/06Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/42Plated through-holes or plated via connections
    • H05K3/425Plated through-holes or plated via connections characterised by the sequence of steps for plating the through-holes or via connections in relation to the conductive pattern
    • H05K3/427Plated through-holes or plated via connections characterised by the sequence of steps for plating the through-holes or via connections in relation to the conductive pattern initial plating of through-holes in metal-clad substrates
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4611Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
    • H05K3/4614Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards the electrical connections between the circuit boards being made during lamination
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
    • H05K3/4647Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits by applying an insulating layer around previously made via studs
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24802Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.]
    • Y10T428/24851Intermediate layer is discontinuous or differential

Abstract

【課題】放熱印刷回路基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】放熱印刷回路基板の製造方法は、(a)絶縁層211に銅箔212が積層された銅張積層板21を用意する段階と、(b)前記銅箔の表面に炭素ナノチューブを主成分とするペーストでコーティング層22を形成する段階と、(c)前記コーティング層22の一部及び前記銅箔212の一部を除去して回路パターン26を形成する段階と、を含むことを特徴とする。
【選択図】図2

Description

本発明は印刷回路基板の内部熱を効果的に放熱できる放熱印刷回路基板及びその製造方法に関する。
現在、電子製品の薄型化及び機能化のために、印刷回路基板にはさらに多数の受動素子、及び、高密度の多層のパッケージが実装されており、このような趨勢は今後も引き続き発展する見込みである。
基本的に印刷回路基板は、印刷回路の原板に電気配線の回路設計に応じて各種電子部品を連結したり、部品を支持したりする役割を果たしている。しかし、実装される受動部品及びパッケージングの数が増加するほど部品の電力消耗が多くなり、熱が激しく発生して、この問題は製品の信頼性の側面、消費者の製品選択の優先性の側面において重要な判断基準になっている。
このようなことから、高機能化から発生される熱を効果的に放熱及び放出することができる機能性の高い印刷回路基板が求められるようになった。
放熱印刷回路基板は、基板内部に挿入された放熱金属の一部を空気中に露出させることにより、基板の温度を低めたり高密度に実装されている部分から発生された熱を他の部分に広めて熱放散し印刷回路基板の温度を全体的に低める役割をする機能性基板である。
放熱印刷回路基板に用いられる放熱金属としては、ステンレス、アルミニウム、銅などがある。アルミニウムは銅に比べて熱伝導度はよくないが、価格的な利点があるため、広く用いられている。しかし、銅とは異なって、酸性及び塩基性の溶液両方とも反応するので、既存工程及び装備を用いるには製造工程上に問題があった。結果的には、アルミニウムを放熱金属として用いるためには、アルミニウム金属専用のエッチング、酸洗及びデスミア溶液、及び装備が必要であった。
また、既存の放熱印刷回路基板の構造によれば、熱が発生する部分と放熱金属板とを接続する際に、プリプレグ、電気伝導性接着剤、及び、絶縁性樹脂などを用いて接合或いは結合している。しかし、このような接合方法に用いられた材料の基本構成は、ポリマー(polymer)成分であったため、放熱金属板に熱を効果的に伝達することは困難であった。例えば、エポキシの熱伝導率は0.17〜0.23W/mkである。
こうした従来技術の問題点に鑑み、本発明は、既存アルミニウムの使用を代替しながらも放熱効果が優れた放熱印刷回路基板及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明の一実施形態によれば、(a)絶縁層に銅箔が積層されている銅張積層板を用意する段階と、(b)前記銅箔の表面に炭素ナノチューブを主成分とするペーストでコーティング層を形成する段階と、(c)前記コーティング層の一部及び前記銅箔の一部を除去して回路パターンを形成する段階と、を含む放熱印刷回路基板の製造方法が提供される。
前記(b)段階と前記(c)段階との間に、(b1)前記コーティング層を乾燥する段階をさらに含むことができる。
また、前記(b1)段階と(c)段階との間に、(b2)前記銅張積層板と前記コーティング層とを穿孔して貫通孔を形成する段階と、(b3)前記貫通孔の内部にメッキ層を形成する段階と、をさらに含み、また、前記(c)段階は、前記メッキ層を一部除去する段階をさらに含むことができる。
本発明の他の実施形態によれば、(d)第1銅箔に炭素ナノチューブを主成分とするペーストで第1コーティング層を形成する段階と、(e)前記第1コーティング層の表面に炭素ナノチューブを主成分とするバンプを形成する段階と、(f)前記バンプに貫通されるように絶縁層を積層し、前記絶縁層に第2銅箔を積層する段階と、(g)前記第1銅箔の一部、前記第1コーティング層の一部、及び前記第2銅箔の一部を除去して回路パターンを形成する段階と、を含む放熱印刷回路基板の製造方法が提供される。
前記(d)段階と前記(e)段階との間に、(d1)前記第1コーティング層を乾燥する段階をさらに含むことができる。
また、前記第2銅箔には、炭素ナノチューブを主成分とする第2コーティング層が形成されており、前記(f)段階は、第2コーティング層が前記絶縁層を向くように前記第2銅箔を前記絶縁層に積層し、前記(g)段階は、前記第2コーティング層を一部除去する段階をさらに行って、前記回路パターンを形成することができる。
本発明の他の実施形態によれば、絶縁層に回路パターンが交互に積層された多層の放熱印刷回路基板において、前記回路パターンは、銅箔パターンと、前記銅箔パターンの表面に積層された炭素ナノチューブとを主成分とするコーティング層を備えることを特徴とする放熱印刷回路基板が提供される。
前記絶縁層には炭素ナノチューブを含んだバンプが貫通されて、重なり方向に隣り合う回路パターンと接続することができる。
前記の課題を解決するために、炭素ナノチューブを主成分とするコーティング層を含んで回路パターンを形成することにより、印刷回路基板の内部熱を効果的に外部に放熱することができる。
以下、添付された図面に基づいて本発明に係る放熱印刷回路基板及びその製造方法の実施例をより詳しく説明し、添付図面を参照して説明するに当たって、図面符号にかかわらず同一かつ対応する構成要素は同一の参照番号を付し、これに対する重複する説明は省略する。
図1は、本発明の第1実施例に係る放熱印刷回路基板の製造方法のフローチャートであり、図2は本発明の第1実施例に係る放熱印刷回路基板の製造工程図である。図2を参照すると、放熱印刷回路基板20、銅張積層板21、絶縁層211、銅箔212、コーティング層22、メッキ層23、貫通孔24、ドライフィルム25、回路パターン26が示されている。
段階S11で、図2の(a)に示すように、絶縁層211の両面にそれぞれ銅箔212が積層された銅張積層板を用意する。絶縁層211としてはプリプレグ(prepreg)が一般的に使用される。銅張積層板21は一般的に使用される電気材料である。
段階S12で、図2の(b)に示すように、銅箔の表面に炭素ナノチューブを主成分とするペーストでコーティング層を形成する。
本段階は、炭素ナノチューブを主成分とするペーストを用いて各銅箔212表面にコーティング層22を形成する段階である。
炭素ナノチューブをペーストにしてコーティング層22を形成すれば、熱伝導効果が優れる。炭素ナノチューブをペーストに製造する方法は多様である。ペーストに用いられる炭素ナノチューブは、単一壁(single wall)、多重壁(multi wall)の炭素ナノチューブを全て使用可能である。
炭素ナノチューブペーストの製造方法としては、銀(Ag)ペースト完成品に炭素ナノチューブを適切に分散させる方法がある。
他の炭素ナノチューブペーストの製造方法は、銀(Ag)、バインダ、炭素ナノチューブを適切に混合することで、製造可能である。
以上の炭素ナノチューブペーストを製造する工程及び製品は、従来技術より充分に製造することができ、また市販のものから得ることができるため、これに対する詳細な説明は省略する。
段階S12でのコーティング層22は、前述した炭素ナノチューブペーストをスピンコーティング処理して形成する。スピン(spin)コーティングは同一厚みに大型コーティング層を形成するのに適している。
一方、コーティング層22は乾燥する段階をさらに行うことができる。乾燥は約150℃〜300℃の間で行われるのがよい。
段階S13は、コーティング層の一部及び前記銅箔の一部を除去して回路パターンを形成する段階を含む放熱印刷回路基板の製造方法である。
段階S13の前に、コーティング層22と銅張積層板21とを穿孔して貫通孔24を形成することができる。このような貫通孔24は、内部にメッキ層23を形成することで、上下の回路パターンを接続させるビアの役割をすることができる。このような貫通孔24は機械的なドリリングで形成することができ、メッキ層23は無電解メッキ法によりシード層を形成した後に、シード層の上面に電解メッキ法を用いて形成することができる。このような貫通孔24のメッキ工程を経ると、図2の(c)のような形態になる。
以後、図2の(d)のように、ドライフィルム25をメッキ層23の表面に積層し、回路パターン26が形成される部分を考慮して、ドライフィルム25を露光及び現像工程を経て除去する。
ドライフィルム25が除去された後、露出されたメッキ層23をエッチング液で処理すれば、金属(通常銅)からなったメッキ層23が除去され、コーティング層22の内部にエッチング液が浸透してその下部の銅箔212が除去される。結果的に、図2の(e)のように、回路パターン26が形成された放熱印刷回路基板20を作製することができる。
このような放熱印刷回路基板20には、図2の(e)のように、回路パターン26の一部として炭素ナノチューブを主成分とするコーティング層22が塗布されている。炭素ナノチューブは、熱伝導率が6000W/mkであって、放熱材料として優れる。結果的に、炭素ナノチューブを主成分とするコーティング層22が回路パターン26の一部を形成することにより、放熱効果が顕著になる。
図3は、本発明の第2実施例に係る放熱印刷回路基板製造のフローチャートであり、図4は、本発明の第2実施例に係る放熱印刷回路基板の製造工程図である。図4を参照すると、第1銅箔41、第2銅箔42、第1コーティング層43、第2コーティング層44、バンプ45、絶縁層46、回路パターン47が示されている。
段階S31で、図4の(a)及び(b)に示すように、第1銅箔41に炭素ナノチューブを主成分とするペーストで第1コーティング層43を形成する。炭素ナノチューブを主成分とするペーストの製造方法は、前述した第1実施例で説明したので、詳しい説明は省略する。第1コーティング層43は乾燥段階をさらに行うことができる。
一方、図4の(a’)及び(b’)に示すように、第1銅箔41に第1コーティング層43を積層する方法と同じく、第2銅箔42に第2コーティング層44を形成することができる。
段階S32で、図4の(c)に示すように、第1コーティング層の表面に炭素ナノチューブを主成分とするバンプを形成する。段階S31の工程から、第1銅箔41の表面には第1コーティング層43が積層されている。このような第1コーティング層43に炭素ナノチューブを主成分とするペーストでバンプ45を形成することができる。バンプ45は硬化工程を経て後追工程で絶縁層46を貫通する程度の硬度を維持する。バンプ45を形成する際に上部を尖り状或いは尖鋭な棘状にすれば、後追工程で絶縁層46を積層するのに適する。バンプ45は第1コーティング層43にだけ形成し、第2コーティング層44には形成しない。
段階S33で、図4の(d)に示すように、バンプ45に貫通されるように絶縁層46を積層し、絶縁層46に第2銅箔を積層する。このとき、バンプ45が形成されている側の方向に絶縁層46を積層する。絶縁層46はバンプ45より硬度が低い方がよい。そこで、ガラス纎維が少なく含まれたレジンを主成分とすることがよい。また、絶縁層46は半硬化状態である方がよい。絶縁層46には第2銅箔42を積層する。このとき、本実施例のように、第2銅箔42に第2コーティング層44が積層されている場合、第2コーティング層44をバンプ45の側の方向にして第2銅箔42を積層することがよい。このように積層すれば、バンプ45、第1コーティング層43、及び、第2コーティング層44が同じ炭素ナノチューブ材質からなり、直接的に連結される。
一方、本実施例では、第2銅箔42に炭素ナノチューブを主成分とする第2コーティング層44を形成したが、第2コーティング層44が積層されていない第2銅箔42を絶縁層46の上面に積層することもできる。
段階S34で、第1銅箔の一部、第1コーティング層の一部、及び、前記第2銅箔の一部を除去して回路パターンを形成する。第2銅箔42に第2コーティング層44が積層されている場合には、第2コーティング層44の一部も除去される。
図4の(d)に示すように、第1銅箔41と第2銅箔42との表面にそれぞれドライフィルム(図示せず)を積層する。回路パターン47が形成される位置を考慮してドライフィルムの一部を露光及び現像工程を経て除去する。ドライフィルムを除去した後、露出された第1銅箔41及び第2銅箔42をエッチング液で除去する。第1銅箔41及び第2銅箔42の一部が除去されて露出する第1コーティング層43及び第2コーティング層44も除去して、図4の(e)に示すような放熱印刷回路基板40を完成する。放熱印刷回路基板40の回路パターン47は、熱伝導率に優れたカーボンナノチューブを一部含んでいるので放熱効果が顕著になる。
図5は、本発明の第3実施例に係る多層放熱印刷回路基板の断面図である。図5を参照すると、放熱印刷回路基板50、バンプ55、絶縁層56、回路パターン57、銅箔パターン57a、コーティング層57bが示されている。
本実施例の放熱印刷回路基板50は、回路パターン57と絶縁層56とが交互に積層された多層基板である。隣り合った回路パターン57を連結するためにバンプ55が絶縁層56を貫通して形成されている。バンプ55は炭素ナノチューブを主成分とするので熱伝導性に優れる。
また、回路パターン57は、銅箔パターン57aにコーティング層57bが積層された形態である。コーティング層57bも炭素ナノチューブペーストをスピンコーティングして硬化した形態である。
このような、炭素ナノチューブペーストの製法については、前述の第1実施例で説明した通りである。
このように、本実施例の放熱印刷回路基板50は、回路パターン57の一部として炭素ナノチューブを主成分とするコーティング層57bを含んでいるので、熱伝導性に優れる。
前記では本発明の好ましい実施例について説明したが、当該技術分野での通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載した本発明の思想及び領域から脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更することができることを理解できよう。
本発明の第1実施例に係る放熱印刷回路基板の製造方法のフローチャートである。 本発明の第1実施例に係る放熱印刷回路基板の製造工程図である。 本発明の第2実施例に係る放熱印刷回路基板の製造フローチャートである。 本発明の第2実施例に係る放熱印刷回路基板の製造工程図である。 本発明の第3実施例に係る多層の放熱印刷回路基板の断面図である。
符号の説明
20 放熱印刷回路基板
21 銅張積層板
211 絶縁層
212 銅箔
22 コーティング層
23 メッキ層
24 貫通孔
25 ドライフィルム
26 回路パターン

Claims (8)

  1. (a)絶縁層に銅箔が積層された銅張積層板を用意する段階と、
    (b)前記銅箔の表面に炭素ナノチューブを主成分とするペーストでコーティング層を形成する段階と、
    (c)前記コーティング層の一部及び前記銅箔の一部を除去して回路パターンを形成する段階と、
    を含む放熱印刷回路基板の製造方法。
  2. 前記(b)段階と前記(c)段階との間に、
    (b1)前記コーティング層を乾燥する段階をさらに含む請求項1に記載の放熱印刷回路基板の製造方法。
  3. 前記(b1)段階と(c)段階との間に、
    (b2)前記銅張積層板と前記コーティング層とを穿孔して貫通孔を形成する段階と、
    (b3)前記貫通孔の内部にメッキ層を形成する段階と、をさらに含み、
    前記(c)段階は、
    前記メッキ層を一部除去する段階をさらに含む請求項2に記載の放熱印刷回路基板の製造方法。
  4. (d)第1銅箔に炭素ナノチューブを主成分とするペーストで第1コーティング層を形成する段階と、
    (e)前記第1コーティング層の表面に炭素ナノチューブを主成分とするバンプを形成する段階と、
    (f)前記バンプに貫通されるように絶縁層を積層し、前記絶縁層に第2銅箔を積層する段階と、
    (g)前記第1銅箔の一部、前記第1コーティング層の一部、及び、前記第2銅箔の一部を除去して回路パターンを形成する段階と、
    を含む放熱印刷回路基板の製造方法。
  5. 前記(d)段階と前記(e)段階との間に、
    (d1)前記第1コーティング層を乾燥する段階をさらに含む請求項4に記載の放熱印刷回路基板の製造方法。
  6. 前記第2銅箔には炭素ナノチューブを主成分とする第2コーティング層が形成されており、
    前記(f)段階は、第2コーティング層が前記絶縁層を向くように前記第2銅箔を前記絶縁層に積層し、
    前記(g)段階は、前記第2コーティング層を一部除去する段階をさらに行って、前記回路パターンを形成することを特徴とする請求項4に記載の放熱印刷回路基板の製造方法。
  7. 絶縁層に回路パターンが交互に積層された多層の放熱印刷回路基板において、
    前記回路パターンが、銅箔パターンと、前記銅箔パターンの表面に積層された炭素ナノチューブを主成分とするコーティング層と、を備えることを特徴とする放熱印刷回路基板。
  8. 前記絶縁層に炭素ナノチューブを含むバンプが貫通されて、隣り合った回路パターンを接続させることを特徴とする請求項7に記載の放熱印刷回路基板。
JP2008095412A 2007-07-09 2008-04-01 放熱印刷回路基板及びその製造方法 Expired - Fee Related JP4693861B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070068523A KR100925189B1 (ko) 2007-07-09 2007-07-09 방열 인쇄회로기판 및 그 제조방법
KR10-2007-0068523 2007-07-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009016795A true JP2009016795A (ja) 2009-01-22
JP4693861B2 JP4693861B2 (ja) 2011-06-01

Family

ID=40253410

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008095412A Expired - Fee Related JP4693861B2 (ja) 2007-07-09 2008-04-01 放熱印刷回路基板及びその製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20090017275A1 (ja)
JP (1) JP4693861B2 (ja)
KR (1) KR100925189B1 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102171770B (zh) * 2008-08-08 2014-07-09 Pp-梅德有限公司 聚合物成型体和电路板装备以及它们的制造方法
US9460887B2 (en) * 2009-05-18 2016-10-04 Hermes Microvision, Inc. Discharging method for charged particle beam imaging
KR101094642B1 (ko) 2010-08-23 2011-12-20 (주)매직테크 다층 방열 인쇄회로기판의 제조방법
KR101226246B1 (ko) * 2010-10-01 2013-02-01 주식회사 휘닉스소재 복합재 조성물, 및 이를 포함하는 전자 장치용 도막 및 전자 장치
US20140138129A1 (en) * 2012-11-16 2014-05-22 Qualcomm Incorporated Substrate having a low coefficient of thermal expansion (cte) copper composite material
US10840003B2 (en) * 2015-09-14 2020-11-17 Appleton Grp Llc Arrangement for maintaining desired temperature conditions in an encapsulated transformer
KR102149794B1 (ko) 2018-11-26 2020-08-31 삼성전기주식회사 인쇄회로기판 및 그 제조방법
KR102536636B1 (ko) * 2021-10-27 2023-05-26 임홍재 세라믹화 산화알루미늄 분말과 탄소나노튜브를 이용한 동박적층판의 제조방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001358264A (ja) * 2000-04-14 2001-12-26 Suzuki Sogyo Co Ltd 熱伝導性シート及びその製造方法
JP2004303962A (ja) * 2003-03-31 2004-10-28 Yokohama Rubber Co Ltd:The 高周波回路基板及びその製造方法
JP2005277096A (ja) * 2004-03-24 2005-10-06 Japan Science & Technology Agency カーボンナノチューブ含有金属膜を用いてなる半導体配線とその製造方法、およびカーボンナノチューブ含有金属膜の製造方法
JP2006001232A (ja) * 2004-06-21 2006-01-05 Hitachi Metals Ltd 高熱伝導・低熱膨脹複合体およびその製造方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0623350B2 (ja) * 1988-01-20 1994-03-30 信越ポリマー株式会社 異方導電性接着剤
US5545679A (en) * 1993-11-29 1996-08-13 Eaton Corporation Positive temperature coefficient conductive polymer made from thermosetting polyester resin and conductive fillers
JP2002151811A (ja) 2000-11-13 2002-05-24 Suzuki Sogyo Co Ltd 配線板用基板
US6869664B2 (en) 2000-12-12 2005-03-22 Thermalworks, Inc. Lightweight circuit board with conductive constraining cores
KR101047711B1 (ko) * 2002-08-07 2011-07-08 호야 가부시키가이샤 콘택 부품과 그 제조방법 및 콘택 부품을 구비한 검사 기구
JP4008402B2 (ja) * 2003-09-30 2007-11-14 日本圧着端子製造株式会社 異方導電シートケーブル及びその製造方法
JP2005108625A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Jst Mfg Co Ltd 多層異方導電シート
US7354532B2 (en) * 2004-04-13 2008-04-08 E.I. Du Pont De Nemours And Company Compositions of electrically conductive polymers and non-polymeric fluorinated organic acids
KR100581221B1 (ko) * 2004-06-30 2006-05-22 삼성전자주식회사 테이프 배선 기판 제조 방법
US7129097B2 (en) * 2004-07-29 2006-10-31 International Business Machines Corporation Integrated circuit chip utilizing oriented carbon nanotube conductive layers
US7235745B2 (en) * 2005-01-10 2007-06-26 Endicott Interconnect Technologies, Inc. Resistor material with metal component for use in circuitized substrates, circuitized substrate utilizing same, method of making said ciruitized substrate, and information handling system utilizing said ciruitized substrate
KR100757901B1 (ko) 2006-04-07 2007-09-11 전자부품연구원 인쇄회로기판 및 그 제조방법
JP4744360B2 (ja) * 2006-05-22 2011-08-10 富士通株式会社 半導体装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001358264A (ja) * 2000-04-14 2001-12-26 Suzuki Sogyo Co Ltd 熱伝導性シート及びその製造方法
JP2004303962A (ja) * 2003-03-31 2004-10-28 Yokohama Rubber Co Ltd:The 高周波回路基板及びその製造方法
JP2005277096A (ja) * 2004-03-24 2005-10-06 Japan Science & Technology Agency カーボンナノチューブ含有金属膜を用いてなる半導体配線とその製造方法、およびカーボンナノチューブ含有金属膜の製造方法
JP2006001232A (ja) * 2004-06-21 2006-01-05 Hitachi Metals Ltd 高熱伝導・低熱膨脹複合体およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4693861B2 (ja) 2011-06-01
KR100925189B1 (ko) 2009-11-06
US20090017275A1 (en) 2009-01-15
KR20090005471A (ko) 2009-01-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4693861B2 (ja) 放熱印刷回路基板及びその製造方法
JP5140046B2 (ja) 放熱基板およびその製造方法
JP2015122545A (ja) 多層配線基板及びその製造方法
JP2015170770A (ja) プリント配線板
KR101049678B1 (ko) 방열 인쇄회로기판 및 이를 제조하는 방법
JP2016134624A (ja) 電子素子内蔵型印刷回路基板及びその製造方法
US20180324952A1 (en) Printed circuit board and manufacturing method thereof
JP2010016339A (ja) 多層フレキシブルプリント回路基板を用いたモジュールおよびその製造方法
CN102379164A (zh) 印刷线路板制造方法、印刷线路板、多层印刷线路板以及半导体封装
JP2007288022A (ja) 多層プリント配線板及びその製造方法
US20150257268A1 (en) Printed wiring board and method for manufacturing printed wiring board
KR100965341B1 (ko) 인쇄회로기판의 제조방법
KR20090094983A (ko) 메탈코어 패키지와 이를 포함하는 다층 인쇄회로기판 및 그제조방법
KR101055558B1 (ko) 방열기판 및 그 제조방법
JP2009010266A (ja) プリント配線板の製造方法及びプリント配線板
JP2017084914A (ja) 印刷配線板およびその製造方法
JP5593863B2 (ja) 積層回路基板および基板製造方法
JP2008016805A (ja) 印刷回路基板及びその製造方法
KR101089923B1 (ko) 인쇄회로기판의 제조방법
JP2007335631A (ja) 積層配線板の製造方法
JP2010123830A (ja) プリント配線板とその製造方法
KR100917028B1 (ko) 아노다이징을 이용한 금속 기판 및 이의 제조방법
JP4591181B2 (ja) プリント配線板
JP2005072184A (ja) メタルコアと多層基板の複合基板
CN110602871B (zh) 一种石墨烯导热pcb及其制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100615

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100914

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110208

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110222

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140304

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees