JP2009014617A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2009014617A5
JP2009014617A5 JP2007178772A JP2007178772A JP2009014617A5 JP 2009014617 A5 JP2009014617 A5 JP 2009014617A5 JP 2007178772 A JP2007178772 A JP 2007178772A JP 2007178772 A JP2007178772 A JP 2007178772A JP 2009014617 A5 JP2009014617 A5 JP 2009014617A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
inspection apparatus
moving mechanism
board
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007178772A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2009014617A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2007178772A priority Critical patent/JP2009014617A/ja
Priority claimed from JP2007178772A external-priority patent/JP2009014617A/ja
Priority to TW097122167A priority patent/TW200909798A/zh
Priority to KR1020080063316A priority patent/KR20090004636A/ko
Priority to CNA2008101281276A priority patent/CN101339143A/zh
Publication of JP2009014617A publication Critical patent/JP2009014617A/ja
Publication of JP2009014617A5 publication Critical patent/JP2009014617A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2007178772A 2007-07-06 2007-07-06 基板外観検査装置 Pending JP2009014617A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007178772A JP2009014617A (ja) 2007-07-06 2007-07-06 基板外観検査装置
TW097122167A TW200909798A (en) 2007-07-06 2008-06-13 Appearance inspecting device for substrate
KR1020080063316A KR20090004636A (ko) 2007-07-06 2008-07-01 기판 외관 검사 장치
CNA2008101281276A CN101339143A (zh) 2007-07-06 2008-07-03 基板外观检查装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007178772A JP2009014617A (ja) 2007-07-06 2007-07-06 基板外観検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009014617A JP2009014617A (ja) 2009-01-22
JP2009014617A5 true JP2009014617A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2010-07-08

Family

ID=40213265

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007178772A Pending JP2009014617A (ja) 2007-07-06 2007-07-06 基板外観検査装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2009014617A (enrdf_load_stackoverflow)
KR (1) KR20090004636A (enrdf_load_stackoverflow)
CN (1) CN101339143A (enrdf_load_stackoverflow)
TW (1) TW200909798A (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101080216B1 (ko) * 2009-02-17 2011-11-09 (주)글로벌 텍 글라스 에지 검사장치 및 그를 이용한 글라스 에지 검사방법
JP5274389B2 (ja) * 2009-06-18 2013-08-28 株式会社アルバック メンテナンス装置及び吐出装置
TW201118027A (en) * 2009-11-30 2011-06-01 Schmid Yaya Technology Co Ltd Chip transporting machine table
US8432540B2 (en) * 2010-03-31 2013-04-30 Cooper S.K. Kuo Support mechanism for inspection systems
CN102680495B (zh) * 2011-03-15 2016-09-07 上海赫立电子科技有限公司 自动光学检测装置及方法
CN103534582A (zh) * 2011-05-10 2014-01-22 旭硝子株式会社 透光性板状体的微小缺陷的检查方法和透光性板状体的微小缺陷的检查装置
CN102621149B (zh) * 2012-03-21 2015-07-22 深圳市华星光电技术有限公司 基板的检测装置及方法
US20130248692A1 (en) * 2012-03-21 2013-09-26 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Detecting apparatus and method for substrate
CN102636498B (zh) * 2012-03-22 2014-04-16 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板的检测装置及检测方法
CN102866167A (zh) * 2012-10-19 2013-01-09 深圳市劲拓自动化设备股份有限公司 一种电路板离线检测系统和方法
CN104568973A (zh) * 2015-02-09 2015-04-29 京东方科技集团股份有限公司 一种基板检测装置及方法
CN105115979A (zh) * 2015-09-09 2015-12-02 苏州威盛视信息科技有限公司 基于图像拼接技术的pcb工作片aoi检测方法
JP6587211B2 (ja) * 2015-12-17 2019-10-09 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法
KR101751801B1 (ko) * 2016-05-18 2017-06-29 한국기계연구원 기판 결함 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법
CN107884318B (zh) * 2016-09-30 2020-04-10 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种平板颗粒度检测方法
CN106862097A (zh) * 2017-03-27 2017-06-20 江苏凯伦铝业有限公司 光伏组件铝边框全自动检测装置
FR3066821B1 (fr) * 2017-05-24 2019-07-12 Areva Np Dispositif de detection d'un defaut sur une surface par eclairage multidirectionnel
CN107843991A (zh) * 2017-09-05 2018-03-27 努比亚技术有限公司 屏幕漏光的检测方法、系统、终端及计算机可读存储介质
JP6795479B2 (ja) * 2017-09-25 2020-12-02 株式会社Screenホールディングス 検査装置および検査方法
CN107526196A (zh) * 2017-09-27 2017-12-29 武汉华星光电技术有限公司 玻璃基板承载装置及检测设备
CN107907549A (zh) * 2017-11-13 2018-04-13 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 基板检查设备及基板检查方法
JP2019158500A (ja) 2018-03-12 2019-09-19 オムロン株式会社 外観検査システム、画像処理装置、撮像装置および検査方法
KR102374037B1 (ko) * 2018-06-29 2022-03-11 캐논 톡키 가부시키가이샤 기판 검사 시스템, 전자 디바이스 제조 시스템, 기판 검사 방법, 및 전자 디바이스 제조 방법
CN110783223B (zh) * 2018-07-24 2024-04-16 泰克元有限公司 电子部件处理设备用拍摄装置
JP7246938B2 (ja) * 2019-01-18 2023-03-28 第一実業ビスウィル株式会社 検査装置
CN113945491A (zh) * 2021-09-01 2022-01-18 郑州旭飞光电科技有限公司 玻璃基板表面颗粒检测系统
CN114994062B (zh) * 2022-08-05 2023-03-14 深圳市倍捷锐生物医学科技有限公司 材料表面质量检测方法、系统及存储介质

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10300446A (ja) * 1997-04-30 1998-11-13 Nissan Motor Co Ltd 表面欠陥検査装置
JP2000039564A (ja) * 1998-07-24 2000-02-08 Sony Corp 拡大観察装置
JP4744665B2 (ja) * 2000-03-15 2011-08-10 オリンパス株式会社 基板検査装置及び基板検査システム
JP2003075294A (ja) * 2001-09-05 2003-03-12 Toray Ind Inc 基板の検査方法
CN100370243C (zh) * 2001-09-21 2008-02-20 奥林巴斯株式会社 缺陷检查装置
JP2003262593A (ja) * 2002-03-08 2003-09-19 Mitsubishi Rayon Co Ltd 欠陥検出装置及び欠陥検出方法
JP4243837B2 (ja) * 2003-03-14 2009-03-25 株式会社日立ハイテクノロジーズ 透明基板の表面検査方法及び検査装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009014617A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2009014617A (ja) 基板外観検査装置
EP2813808B1 (en) Three-dimensional optical shape measuring apparatus
JP2007107945A5 (enrdf_load_stackoverflow)
CN105424721B (zh) 一种金属应变计缺陷自动检测系统
US8823949B2 (en) Measurement apparatus
TW200918989A (en) Substrate appearance inspection apparatus
JP2008286576A (ja) 外観検査装置
KR20120050857A (ko) 광학검사장치
TW201443424A (zh) 透明板狀體表面檢查用攝像系統
TW201741775A (zh) 雙面光刻裝置以及雙面光刻裝置中遮罩與工件的對準方法
KR20080023142A (ko) 외관 검사용 기판 유지 장치
JP2013072824A (ja) 画像取得装置および画像取得方法
JP2006292404A5 (enrdf_load_stackoverflow)
TWI610115B (zh) 檢測裝置、雷射光照射裝置及光學組件貼合體之製造裝置
JP2009271058A (ja) 撮影検査装置
JP2011170144A (ja) フォトマスク、プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置のアライメントマーク検出方法
CN206377424U (zh) 一种用于电子设备屏幕质量拍摄检测的摄像头承载臂
JP2012194067A (ja) 表面検査装置
JP4901451B2 (ja) 部品実装装置
JP6464021B2 (ja) 測定装置
JP2019039823A (ja) 検査装置
JP5910231B2 (ja) パターン寸法測定装置、パターン寸法測定方法
JP4960266B2 (ja) 透明基板のエッジ位置検出方法及びエッジ位置検出装置
WO2016111025A1 (ja) 外観検査装置