CN110783223B - 电子部件处理设备用拍摄装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种电子部件处理设备用拍摄装置。根据本发明的电子部件处理设备用拍摄装置包括：激光照射器，在装载于载置要素的电子部件与载置要素一同移动的状态下对电子部件的上表面照射激光；确认用相机，拍摄通过所述激光照射器照射的激光，进而能够确认装载于移动的载置要素的电子部件的放置状态；以及反射板，使得由所述激光照射器照射的光经过电子部件而入射至所述确认用相机。根据本发明，最小化与其他构成的干涉，从而具有大大提高设置性的效果。

Description

电子部件处理设备用拍摄装置
技术领域
本发明涉及一种掌握在单独管理并处理电子部件的电子部件处理设备中装载于载置要素的电子部件的每一个的放置状态的技术。
背景技术
生产的电子部件在经过测试工序或分类工序等多种形态的工序后出厂。在此过程中使用用于处理电子部件的电子部件处理设备。
电子部件处理设备可以根据其作业功能制造为多种形态。
现有的电子部件处理设备针对电子部件的管理以批量(lot)为单位进行。然而，即使是同一批量的物量，在电子部件生产并出厂之前的过程中进行的所有作业对于每一个电子元件也有可能不同。因此，本发明的申请人通过之前申请的韩国公开专利10-2017-0068174号(以下，称为“现有技术1”)提出了作为电子部件处理设备的一种的半导体元件测试用分选机中能够对各电子部件进行单独管理的技术。
并且，本发明的申请人通过韩国专利申请10-2018-0080890号(以下，称为“现有技术2”)以及应用现有技术2的韩国专利申请10-2019-0043012号(以下，称为“现有技术3”)提出了关于如下所述的新型电子部件重新布置设备的技术：为了提高电子部件的处理效率性，在一个托盘中一同装载有需要相互区分的电子部件的情况下能够进行重新布置电子部件。这样的现有技术2及现有技术3基于如现有技术1一样能够对电子部件进行单独管理的技术。
上述的现有技术1至现有技术3通过利用相机拍摄电子部件中的识别码(例如，1D条形码(Bar code)、2D条形码(QR码、数据矩阵(data matrix)、maxicode)、RFID标签、文字、数字、问题、图片等))从而使得能够单独地识别电子部件。因此，现有技术1至现有技术3必须具有照明，以使得通过相机能够准确地拍摄识别码。尤其，对于近来随着集成技术高度发展而具有较小规格的半导体元件而言，由于其原本就较小的尺寸，需要在非常狭窄的区域中打印识别码，因此用于准确识别识别码的照明技术变得更加重要。
通常，在半导体元件等电子部件中，识别码打印于被封装的黑色表面，近来为了商品性正尝试关于半导体元件的表面颜色或者表面的材料或形态的多样化。即，被封装的半导体元件的表面也可以是灰色，而并非黑色。并且，在多样的表面形态中，识别码部位与其他部位的表面可以具有互不相同的平滑度，并且不仅可以通过印刷识别码的方法来配备识别码，而且还可以通过贴附、阴刻加工的方法等来配备识别码。因此，需要实现适宜的照明，使得相机能够准确地识别各种识别码。
另外，在电子部件处理设备中电子部件的移动主要以装载于托盘的状态下进行。但是，由于载置过程中的错误，电子部件有可能未被装载或者以不良的状态(倾斜状态或双重载置状态)装载，从而有可能在之后的排出过程中发生问题(无法抓持或抓持不良、丢失等)。为了确认这样的电子部件的载置错误，本申请人提出了韩国公开专利10-2017-0093624号(以下，称为“引用技术”)。
在引用技术中，照射激光并利用相机拍摄，之后，分析拍摄到的激光的图案，从而使得能够确认电子部件的载置错误。对于这样的引用技术而言，必须要使激光的照射方向与相机的拍摄方向成预定角度。原因在于，若激光的照射方向与拍摄方向平行，则难以观测激光的图案变化。并且，激光一定要照射到要观测的部位，并且相机只有在相机镜头的正中央观测激光所照射的部位才能够保障图像的准确性。据此，需要以使得激光的照射方向与相机的拍摄方向之间具有预定角的方式设置激光照射器及相机，因此激光照射器与相机配备为相隔一定的距离。
但是，若激光照射器与相机如引用技术所述地相隔一定的距离，则用于布置相应构成的空间需要变大，与此对应地，用于消除与其他装置之间的干扰等的设计等将变得繁琐。因此，一些设备可能发生用于构成激光照射器及相机的空间不足的情形。并且，这些问题导致难以将激光照射器及相机追加设置于各个构成已经以最优化设计的状态下生产之后在现场正得到应用的设备中。
发明内容
本发明的目的如下。
第一、提供一种应用了能够将具有互不相同的表面材质或颜色的电子部件所具有的识别码全部正确识别的照明技术的电子部件处理设备用拍摄装置。
第二、提供一种保持处理速度的同时能够确认放置于托盘的电子部件的放置状态的电子部件处理设备用拍摄装置。
第三、提供一种最小化与其他构成之间的干涉而改善了设置性，从而在以往使用的设备中也能够额外地设置的电子部件处理设备用拍摄装置。
第四、提供一种能够准确地确认装载于托盘的电子部件的数量的电子部件处理设备用拍摄装置。
根据本发明的第一形态的电子部件处理设备用拍摄装置包括：激光照射器，向装载于载置要素的电子部件的上表面照射激光；确认用相机，拍摄通过所述激光照射器照射的激光，进而能够确认装载于移动的载置要素的电子部件的放置状态；以及移动器，使所述激光照射器及所述确认用相机沿水平方向移动，从而使所述确认用相机在至少两个位置中选择性地布置，进而在各个位置拍摄电子部件。
所述电子部件处理设备用拍摄装置还可以包括：带通滤波器，仅使由所述激光照射器照射的激光的波长范围筛选而通过，从而阻断除了由所述激光照射器照射的光入射到所述确认用相机。
根据本发明的第二形态的电子部件处理设备用拍摄装置包括：激光照射器，向装载于载置要素的电子部件的上表面照射激光；确认用相机，拍摄通过所述激光照射器照射的激光，进而能够确认装载于移动的载置要素的电子部件的放置状态；以及反射板，使得由所述激光照射器照射的光经过电子部件而入射至所述确认用相机。
当从所述激光照射器照射线形的激光时，所述激光照射器及所述确认用相机可以在与激光的线段垂直的方向上相邻地布置。在此，所述激光照射器的照射方向与所述确认用相机的拍摄方向相同，所述确认用相机与要拍摄的电子部件位于同一条垂直线上，所述激光照射器偏向一侧。
当从所述激光照射器照射线形的激光时，所述激光照射器及所述确认用相机可以在与激光的线段平行的方向上相邻地布置。在此，所述激光照射器与垂直线倾斜预定角度地设置，所述激光照射器的倾斜程度优选地在所述确认用相机的宽度范围内，所述确认用相机及所述激光照射器与要拍摄的电子部件可以位于同一条垂直线上。
从所述激光照射器照射的激光经过所述反射板而向电子部件照射之后，被所述确认用相机拍摄。
所述电子部件处理设备用拍摄装置还包括：移动装置，使装载有电子部件的载置要素移动，其中，所述移动装置包括：放置舟皿，能够放置载置要素；以及移动机，使所述放置舟皿移动，其中，所述放置舟皿包括：放置部分，放置载置要素，并且具有防止载置要素脱离的防脱离台；以及结合部分，结合于所述移动机侧，其中，所述移动机包括：匀速马达，使所述放置舟皿匀速移动；以及移动带，将所述匀速马达的移动力传递至所述放置舟皿。
根据本发明的第三形态的电子部件处理设备用拍摄装置包括：激光照射器，向装载于载置要素的电子部件的上表面照射激光；确认用相机，拍摄通过所述激光照射器照射的激光，进而能够确认装载于移动的载置要素的电子部件的放置状态；以及控制装置，对所述确认用相机拍摄的图像进行分析而判断电子部件是否正常放置，其中，所述确认用相机对一个电子部件进行多次拍摄，所述控制装置将拍摄的多个图像整合为一个图像，并生成通过反映托盘是否弯曲而进行校正的整合图像之后，通过对整合的图像与已存储的正常的标准图像进行比较而判断电子部件是否正常放置。
根据本发明，具有如下所述的效果。
第一、根据电子部件的颜色及表面材质选择最佳的照明元件而进行照明，从而能够在一个电子部件处理设备中处理多种颜色的电子部件，因此提高了电子部件处理设备的可用性。
第二、利用相机识别处于以装载于托盘等载置要素的状态与载置要素一同移动的过程中的电子部件，从而提高处理容量。
第三、沿上下排列照明的位置，从而提高设置性。
第四、将相机移动至多个位置，并使得能够在各个位置对电子部件进行识别，从而能够实现将电子部件处理设备制造为多样的形态。
第五、能够确认装载于载置要素的电子部件的放置状态，同时用于识别电子部件的识别作业不干扰确认电子部件的放置状态的确认作业，因此保持了确认作业的恰当性。
第六、能够在保持处理速度的情况下确认放置于托盘的电子部件的放置状态，因此提高了处理容量。
第七、能够将用于确认电子部件的放置状态及数量的激光照射器及确认用相机设置于狭窄的空间，因此提高其可用性，并且还能够适当地设置于以往使用的设备。
第八、根据电子部件的载置形态改变分析方法，从而能够掌握正确的电子部件的放置状态。
第九、由于能够正确地确认装载于托盘的电子部件的数量，因此在整个工序中易于对电子部件进行单独的追踪及管理。
附图说明
图1是关于根据本发明的能够应用电子部件处理设备用拍摄装置的电子部件重新布置设备的示意性立体图。
图2是关于图1的电子部件重新布置设备的主要部位的概念性平面图。
图3是关于应用于图1的电子部件重新布置设备的第一移动装置的示意性立体图。
图4是关于应用于图1的电子部件重新布置设备的第一固定部件及第一升降装置的示意性立体图。
图5及图6是更具体地图示在图4中示意性图示的第一升降装置的立体图。
图7图示了由应用于图1的电子部件重新布置设备的第一固定部件与第一升降装置固定托盘的状态。
图8是关于根据本发明的电子部件处理设备用拍摄装置的侧面概要图。
图9是关于应用于图8的拍摄装置的照明器的概要图。
图10是关于应用于图9的照明器的第一照明元件的示意图。
图11是关于应用于图9的照明器的聚光透镜的示意图。
图12至图19是用于说明能够应用于根据本发明的电子部件处理设备用拍摄装置的激光照射器及确认用相机的其他布置结构的示意图。
图20至图24是用于说明借助于电子部件处理设备用拍摄装置的分析方法的参考图。
符号说明
200：拍摄装置 210：识别用相机
220：照明器 221：第一照明元件
222：反射镜 223：第一聚光透镜
224：第二照明元件 225：第三照明元件
230：激光照射器 231：反射板
240：确认用相机 241：带通滤波器
250：移动器 260：进入感测器
CA：控制装置
具体实施方式
参照附图，对根据本发明的优选实施例进行说明，为了说明的简洁性，尽可能地省略或压缩针对重复或实质上相同的构成的说明。
根据本发明的电子部件处理设备用拍摄装置能够适当地应用于现有技术2中提出的电子部件重新布置设备。因此，以下在对现有技术2进行简略说明之后，对根据本发明的电子部件处理设备用拍摄装置进行说明。
<对电现有技术2的简略说明>
电子部件重新布置设备ERE对装载于作为载置要素而配备的托盘的电子部件各自中的识别码进行识别，进而重新布置电子部件。为此，电子部件重新布置设备ERE如图1的关于主要部位的示意性立体图以及图2的关于主要部位的概念性平面图所示，包括供应用堆叠装置110、第一移动装置120、识别用相机210、照明器220、激光照射器230、确认用相机240(参照图2)、移动器250、进入感测器260、重新布置装置310、移送装置410、回收用堆叠装置510、第二移动装置520、装载用堆叠装置610、第三移动装置620、第一固定部件710、第一升降装置720、第二固定部件810、第二升降装置820及控制装置CA。
供应用堆叠装置110具有能够载置多个托盘的结构并配备为两个，其为了将装载有完成测试的电子部件的托盘供应至重新布置区域RZ的卸载位置UP而配备。
第一移动装置120对应于供应用堆叠装置110而配备为两个，如现有分选机技术中周知，将供应用堆叠装置110中的托盘从底部开始逐个地移动至卸载位置UP。
此时，借助第一移动装置120而移动的托盘依次不停止地经过识别区域DZ及确认区域CZ后移动至卸载位置UP。这样的第一移动装置120优选地配备为使得托盘不在识别区域DZ及确认区域CZ停留而连续地匀速移动至卸载位置UP，以使处理容量最大化。这样的第一移动装置120如图3的示意图所示，包括放置舟皿121及移动机122。
放置舟皿121能够放置用于装载电子部件的托盘T，并且包括放置部分121a、结合部分121b、防震部分121c。
放置部分121a用于放置托盘T，并且形成有防脱离台J，从而能够防止被放置的托盘T在移动动作中脱离。在此，防脱离台J还执行使托盘T能够放置于恰当的位置的功能。这样的放置部分121a具有沿上下方向开放的操作孔H，使得放置于放置部分121a的托盘T能够借助于第一升降装置720进行升降操作。并且，如图3所示，操作孔H朝向装载位置LP所在的后方开口，从而即使在托盘T被第一升降装置720支撑并固定的状态下，放置舟皿121也能够向前方移动。
结合部分121b结合于移动机122的移动带122b。据此，若移动带122b借助于移动机122的运转而旋转，则放置舟皿121能够沿前后方向移动。
防震部分121c防止放置于放置舟皿121的托盘T由于震动而抖动或滑动。因此，托盘T以搁置于防震部分121c的形态放置在放置舟皿121。
在本实施例中，通过配备放置舟皿121而最大程度地防止托盘T在开始移动的开始点、结束移动的结束点以及移动过程中发生滑动，从而提高识别用相机210或确认用相机240的识别率，且准确地设定关于重新布置装置310的示教点(用于抓持配备于重新布置装置的电子部件或者解除配备于重新布置装置的电子部件的抓持的拾取器抓持电子部件或者解除电子部件的抓持的点)的托盘T的位置。但是，当构成放置舟皿121时，为了将托盘T放置于放置舟皿121，放置舟皿121的放置面积显然应该大于托盘T的面积。因此，可能会发生因其限度内的滑动等而导致的位置变化。即，由于放置舟皿121的移动开始及移动结束产生的加速过程或者重新布置设备ERE的运转而产生的震动，有可能导致托盘T在放置舟皿121内发生位置变化。尤其，由于重新布置设备ERE的运转发生的震动在通过识别用相机210或确认用相机240对托盘T进行识别的期间也可能发生，此时的抖动或位置变化等可能造成识别用相机210或确认用相机240的识别率下降。换句话而言，识别用相机210是识别被打印成平面的2D的识别码的构成，若托盘T的位置发生变化，则识别用相机210的识别码识别率下降，确认用相机240是通过扫描的激光来识别立体的3D形态的构成，然而因抖动(尤其是上下略微弹起的抖动)而可能使拍摄的3D形态发生失真。因此，通过构成防震部分121c，从而即使在托盘T移动的过程中也会最大程度地阻断传递至托盘T的震动，进而最小化抖动或位置变化。为此，防震部分121c优选利用海绵、硅或橡胶等软质且通过其变形能够吸收抖动的同时摩擦力较大的材质配备。
移动机122使放置舟皿121在堆叠区域SZ的第一位置点与位于堆叠区域SZ后方的重新布置区域RZ的第二位置点(在根据上文的图1及图2的实施例的电子部件重新布置设备中为“装载位置及卸载位置”)之间移动。为此，移动机122包括匀速马达122a及一对移动带122b。
为了使确认用相机240进行恰当的确认作业，匀速马达122a可以利用能够使放置舟皿121匀速移动的伺服马达配备。例如，马达可以具有仅进行运转及停止的马达或匀速运动的马达等多样的种类。但是，由于仅进行运转及停止的马达在运转时速度并非恒定，因此在本发明中难以使用，只能使用匀速运动的马达。其原因在于识别用相机210或确认用相机240需要进行恰当的识别。
一对移动带122b将匀速马达122a的移动力传递至放置舟皿121。在此，为了将匀速马达122a的移动力传递至放置舟皿121，应用相互隔开的一对移动带122b，其原因在于使第一升降装置720能够在一对移动带122b之间升降或固定托盘T。如在图3中放大图示，这样的一对移动带122b优选地配备为能够防止滑动的同步带，使得放置舟皿121能够根据匀速马达122a的运转匀速行驶。即，如上文所述，即使移动带122b借助匀速马达122a匀速运动，只有根据匀速马达122a的运转而运动的移动带122b与匀速马达122a的驱动滑轮之间不发生滑动，才能够使装载于放置舟皿121的托盘T进行匀速移动，因此配备能够防止发生滑动的同步带。
并且，若实现为没有放置舟皿121的情况下托盘T直接装载于移动带122b的形态，则即使是匀速马达122a，在初期驱动时刻及最终停止时刻也需要移动带122b的瞬间加速，此时可能在移动带122b与托盘T之间发生滑动，该现象在为了提高处理容量而要求快速的物流流动时更严重。为防止该现象，可以考虑在移动带122b与托盘T抵接的面采用或贴附防滑材质的方法，但是为了进一步更彻底地防止滑动，通过追加构成如上文所述的放置舟皿121能够实现完全防止第一移动装置120运转时的托盘T的滑动。
识别用相机210配备为用于识别以装载于托盘的状态经过识别区域DZ的电子部件中的识别码。在此，识别码可以是1D条形码、2D条形码(有QR码、数据矩阵(data matrix)、maxicode)、RFID标签、文字、数字、问题、图片等。为了更准确地拍摄根据第一移动装置120的运转在处于装载于托盘T的状态下随着托盘T的移动而一同移动的电子部件的上表面，这样的识别用相机210可以配备为线扫描相机。
照明器220对电子部件的上表面进行照明，使得识别用相机210的拍摄能够恰当地进行。
激光照射器230在装载于托盘T的电子部件被识别用相机210拍摄后与托盘T一同向后方移动的状态下对电子部件的上表面照射线形的激光。
确认用相机240配备为用于拍摄由激光照射器230照射的激光以确认装载于移动着托盘T的电子部件的放置状态。例如，可以分析所拍摄的激光的波形的高度与作为基准的正常波形之间的差异来确认放置状态。此时，当拍摄对应于托盘T的一列的电子部件及其周围部分时，可以跨过多个区域进行多次拍摄而整合其图像，并基于整合的图像判别放置状态。因此，相比于线扫描相机，确认用相机240优选地配备为区域相机。并且，利用线扫描相机拍摄的图像可能发生看不见的区域，从而可能发生难以对拍摄的激光的图案进行分析的情形，因此由于多种原因，确认用相机240优选为区域相机。
移动器250使识别用相机210、照明器220、激光照射器230及确认用相机240沿作为水平方向的左右方向移动。这样配备移动器250的原因在于，由于第一移动装置120配备为两个，从而两个托盘T的移动位置借助于各个第一移动装置120而彼此不同，为了将装载于移动位置彼此不同的两个托盘T的电子部件全都能识别，优选为使识别用相机210能够选择性地布置。并且，第一移动装置120配备为两个，第二移动装置520配备为五个，从而确认用相机240拍摄的位置为七处，因此需要能够通过移动器250将确认用相机240选择性地移动布置到七处位置，这样的布置可以通过移动器250实现。当然，根据设备，移动器250也可以配备为兼备其他功能的多种形态，在识别用相机210、照明器220、激光照射器230及确认用相机240无需移动而位置被设置为固定的情况下，可以省略移动器250。
进入感测器260感测托盘T是否进入到能够通过激光照射器230及确认用相机240确认电子部件是否被恰当地放置的确认区域。
并且，在本实施例中，识别用相机210、照明器220、激光照射器230及确认用相机240实现为相互结合，从而能够根据移动器250的运转一同移动。然而，若供应用堆叠装置110仅配备为一个，则也可以充分考虑实现为移动器250仅使激光照射器230及确认用相机240移动。其原因在于，供应的电子部件在借助第一移动装置120移动时仅被识别一次即可，因此在此情况下识别用相机210及照明器220的移动是不必要的。当然，装载于托盘T的电子部件的放置状态在重新布置电子部件之后也需要确认，因此需要将激光照射器230及确认用相机240布置于托盘移动的各个移动位置。
作为另一例，也可以考虑在托盘T移动的九处位置分别都设置激光照射器230及确认用相机240，在供应用堆叠装置110侧的两处位置分别都设置识别用相机210及照明器220。然而，这种情况仅仅具有生产成本上升的问题，根据使用模式，供应用堆叠装置110及第一移动装置120中的一部分也可以执行回收用堆叠装置510及第二移动装置520的功能，也可能为相反的情况，因此如本实施例一样，优选地配备为能够通过移动器250使识别用相机210、照明器220、激光照射器230及确认用相机240沿作为水平方向的左右方向移动。
上述的识别用相机210、照明器220、激光照射器230及确认用相机240作为本发明的特征构成，在后文不同的部分对其进行更详细的说明。
重新布置装置310在将借助第一移动装置120而位于重新布置区域RZ的卸载位置UP的托盘T中所装载的电子部件卸载之后，根据通过识别用相机210识别的信息来重新布置并装载到在位于重新布置区域RZ的右侧部位的装载位置LP中所配备的托盘T。
如同韩国公开专利10-2007-0021357中的传送装置，移送装置410配备为能够沿左右方向移送托盘T。即，借助第一移动装置120将位于移送区域TZ的托盘移送至第二移动装置520或第三移动装置620。这样的移送装置410的主要功能为将完成电子部件的卸载之后被清空的托盘T移动至第三移动装置620，或者将由第三移动装置620供应的空的托盘T移动至第二移动装置520进而传送到装载位置LP。尤其，在针对借助第一移动装置120向卸载位置UP方向移动的所装载的电子部件完成识别之后，如果是所装载的电子部件不需要进行重新布置的托盘T(如果是仅无需进行区分的电子部件被一同装载)，则可以省略重新布置作业，因此无需传送到卸载位置UP而直接传送到移送区域TZ，之后可以通过移送装置410移动至第二移动装置520。即，从供应用堆叠装置110供应的托盘T在移动到卸载位置UP之后电子部件被卸载进而成为空的托盘T的状态，以这样的状态向装载用堆叠装置610移动，之后可以沿着供应至装载位置LP的路径移动，或者所装载的电子部件无需重新布置的情况下，在识别晚电子部件之后，可沿着从移送区域TZ直接移动至回收用堆叠装置510的路径移动。
回收用堆叠装置510配置为收容在装载位置LP完成电子部件的重新布置及装载作业的托盘，并且配备为五个。这样的回收用堆叠装置510与上述的供应用堆叠装置110一同布置于前方的堆叠区域SZ。
第二移动装置520具有与第一移动装置120相同的构成，并且对应于五个回收用堆叠装置510而配备为五个，其将装载有通过重新布置装置310完成电子部件的重新布置的电子部件的托盘T移动至回收用堆叠装置510。
装载用堆叠装置610配置为装载空的托盘T。
第三移动装置620将位于装载用堆叠装置610的空的托盘T供应至装载位置LP，或者将在卸载位置UP被清空而通过移送装置410传递来的托盘T移动至装载用堆叠装置610。
第一固定部件710及第一升降装置720对应于第一移动装置120而配备为两个，第一升降装置720配备为用于升降或固定借助第一移动装置120而移动到卸载位置UP的托盘。
第一固定部件710配备于卸载位置UP，并且具有使得位于卸载位置UP的托盘T的上表面能够向上方开放的开放孔OH。如图4所示，这样的第一固定部件710具有对齐部分AP及推动部分PP。
对齐部分AP配备为可弹性压缩并可复原，并且实现为当托盘T通过第一升降装置720上升时朝一侧方向(在本实施例中为后方)推动托盘T以使其对齐。因此，当第一升降装置720使托盘T下降时，托盘T可能会由于对齐部分AP的压迫而被夹在第一固定部件710，从而托盘T的下降作业无法顺利实现。考虑到这一点，优选地配备有当托盘T下降时用于向下方推动托盘T的推动部分PP。
推动部分PP配备为板簧形态，从而实现当托盘T上升时发生弹性变形，从而自由端向上方上升，然后当托盘T下降时发生弹性复原，从而自由端向下方下降，进而有助于托盘T的适宜的下降作业。
第一升降装置720能够使借助第一移动装置120移动至卸载位置UP的托盘T上升，以使托盘T的边缘紧贴于第一固定部件710而固定托盘T，并且使卸载完电子部件的托盘T下降而返回至第一移动装置120。在此，当上升了托盘T时，第一升降装置720与第一固定部件710一同固定托盘T，因此托盘T与放置舟皿121相互隔开。如图5及图6所示，第一升降装置720可以包括升降部件721、升降源722、振动部件723及振动源724。
升降部件721可以支撑位于卸载位置UP的托盘T，起到当使托盘T上升时与第一固定部件710一同固定托盘T的功能。这样的升降部件721配备为板形状，上表面具有用于收容后述的振动部件723的收容槽S。
升降源722使升降部件721升降，并且为了节省生产成本，可以配备为气缸。在本实施例中，若升降源722运转，则升降部件721、振动部件723及振动源724一同升降。
振动部件723配备为收容于收容槽S的状态，对通过升降部件721及第一固定部件710处于固定状态的托盘T施加振动，从而引导装载于托盘T的电子部件能够恰当地放置在托盘T的放置槽。
振动源724可以由振动马达构成，通过在振动部件723发生振动，最终能够使得相接于振动部件723的托盘T振动。当然，只要能够产生振动，不管具有任何运转方式都能够充分地应用于振动源724。
另外，为了使振动部件723借助于振动源724而工作，在升降部件721具有能够使振动源724的振动轴贯通的贯通孔TH(参照图7的示意图)，在振动部件723收容于收容槽S的状态下，振动源724的振动轴可以与振动部件723结合。但是，升降部件721与振动部件723设置成以没有相互结合为一体的状态振动部件723收容于升降部件721的收容槽S的形态，因此在升降部件721被固定的状态下，振动部件723能够与升降部件721独立地动作而自由地振动。因此，托盘T能够保持被升降部件721及第一固定部件710稳定地固定的状态，同时通过振动引导电子部件被恰当地放置。在本实施例中采用如下所述的结构：在升降部件721上升而固定托盘T的状态下，振动部件723与托盘T稍微隔开，并且振动部件723根据振动源724的动作而间歇地接触于托盘T并使托盘T振动。但是，根据实施方式，也可以充分考虑实现为：若升降部件721上升，则振动部件723也保持接触于托盘T的状态，并且使振动部件723根据振动源724的动作而抖动或重复稍微的下降和上升，从而使托盘T振动。
在本实施例中，将振动部件723配备为收容于升降部件721的收容槽S的状态，振动源724使振动部件723振动，从而托盘T能够振动。但是根据实施方式，也可以实现为省略振动部件723，并通过使振动源724直接振动升降部件721而使托盘T振动。但是，为了使托盘T在振动中也能够被升降部件721及第一固定部件710稳定地固定，与本实施例相同地配备额外的振动部件723更为优选。
图7示出了第一固定部件710及第一升降装置720运转而固定托盘T的状态。在升降部件721上升而托盘T被第一固定部件710及升降部件721固定的状态下，托盘T自然与放置舟皿121沿上下方向隔开。在此状态下，在卸载电子部件之前，振动源724运转而使振动部件723振动，从而最终引导放置于托盘T的电子部件恰当地被放置。
第二固定部件810及第二升降装置820具有分别与第一固定部件710及第一升降装置720相同的结构及功能，其配备为用于升降或固定借助第二移动装置520而来到装载位置LP的托盘T。
控制装置CA通过控制上文中提及的各个构成中所有需要控制的构成，从而将处于卸载位置UP的托盘T中所装载的电子部件重新布置到处于装载位置LP的托盘T。为此，控制装置CA优选地具有能够记录来自分选机的测试结果或批量信息或者关于履历等的电子部件的个别信息等的存储器。
接着，对关于具有如上所述的构成的电子部件重新布置设备ERE的工作进行说明。
操作者或自动载货车将装载有完成测试的电子部件的托盘载置到供应用堆叠装置110，并将最小数量的空托盘载置到载置用堆叠装置610之后，开始通过电子部件重新布置设备ERE进行电子部件重新布置作业。
第一移动装置120将载置于供应用堆叠装置110的托盘中位于最底部的托盘逐个地移动至卸载位置UP。同样地，第三移动装置620、移送装置410及第二移动装置520将空托盘从装载用堆叠装置610移动至装载位置LP。作为参考，在本实施例中，虽然空托盘通过装载用堆叠装置610进行供应或收容，但是根据实施方式，也可以适当地考虑实现为最初由回收用堆叠装置510供应空托盘。并且，如上所述地在托盘借助于第一移动装置120匀速且连续地向后方移动的过程中，托盘必然经过识别区域DZ及确认区域CZ，进而通过识别装置210独立地识别各个电子部件，并通过确认装置220确认电子部件的放置状态。此时，进入感测器260感测托盘T是否进入到确认区域CZ，从而可通过激光照射器230及确认用相机240进行准确的确认作业。
若托盘T借助第一移动装置120到达卸载位置UP，则第一升降装置720运转而使托盘T上升，从而托盘T通过第一固定部件710及第一升降装置720被稳定地固定。此时，对齐部分AP将托盘的位置对齐。同样地，空托盘也借助第二移动装置520移动至装载位置LP，进而通过第二固定部件810及第二升降装置820处于固定在准确的位置的状态。
接着，重新布置装置310运转而从位于卸载位置UP的托盘T卸载电子部件，之后重新布置到位于装载位置LP的空的托盘T。
接着，在卸载位置UP完成所装载的电子部件的卸载的托盘T借助第一固定部件710下降而返回至第一移动装置120，此时，借助推动部分PP实现托盘T的适当的下降。并且，若下降的托盘T借助第一移动装置120移动至移送区域TZ，并通过移送装置410从第一移动装置120传递至第三移动装置620，则第三移动装置620使清空的托盘T移动至装载用堆叠装置610。并且，这样收容于装载用堆叠装置610的空托盘在以后通过第三移动装置620、移送装置410及第二移动装置520被供应至装载位置LP。
另外，若位于装载位置LP的托盘T被填满，则该托盘T借助第二移动装置520被回收到前方的回收用堆叠装置510。在该过程中，托盘T将经过确认区域CZ，而且，借助移动器250事先移动并等待的激光照射器230及确认用相机240对装载于经过确认区域CZ的托盘T中所装载的电子部件的放置状态进行确认。当然，此时，优选为通过激光照射器230及确认用相机240恰当地进行确认作业，因此可以追加构成用于感测向前方移动的托盘T是否进入到确认区域CZ的进入感测器。作为参考，虽然识别用相机210及照明器220也与激光照射器230等一同移动，但是针对回收的托盘T中所装载的电子部件无需执行识别作业，因此在该过程中省略识别作业。
另外，也可以考虑优选地实现为：虽然是从供应用堆叠装置110供应的托盘T，但是在借助识别装置210的识别结果为可以省略电子部件的重新布置的情况下，该托盘T不经过卸载位置UP而从移送区域TZ直接被移送到第二移动装置520，之后移动至回收用堆叠装置510。在这种情况下，需要注意必须充分利用第二移动装置520。例如，若实现为没有第二固定部件810或第二升降装置820而在被第二移动装置520抓持的状态下进行电子部件的重新布置，则可能难以针对不经过卸载位置UP而直接传送来的托盘T进行处理处理。然而，根据本实施例，通过第二固定部件810及第二升降装置820使位于卸载位置UP的托盘T固定，由于放置舟皿121的操作孔H朝向后方开口，因此，即使在托盘T被第二固定部件810固定的状态下，第二移动装置520也能够执行移动托盘T的作业，因此相应地能够提高第二移动装置520的利用性。即，根据本实施例，第二固定部件810及第二升降装置820不仅具有将托盘T固定于准确位置的功能，还具有提高第二移动装置520的利用性的功能。
以下，对作为上述的根据本发明的电子部件重新布置设备ERE的特征构成的识别用相机210、照明器220、激光照射器230、确认用相机240、移动器250、进入感测器260及控制装置CA进行说明。在此，小而言之，可以将识别用相机210、照明器220、激光照射器230、确认用相机240、移动器250及进入感测器260统称为电子部件处理设备用拍摄装置，大而言之，可以将识别用相机210、照明器220、激光照射器230、确认用相机240、移动器250、进入感测器260及控制装置CA统称为电子部件处理设备用拍摄装置。
图8是关于根据本发明的电子部件处理设备用拍摄装置200(以下，简称为“拍摄装置”)的侧面概要图。
根据本发明的拍摄装置200包括识别用相机210、照明器220、激光照射器230、确认用相机240及移动器250。其中，识别用相机210与照明器220彼此配备为一对，激光照射器230与确认用相机240彼此配备为一对。
<关于识别用相机210及照明器220的说明>
根据实施方式，识别码也可以通过利用激光的阴刻加工方法形成。通过实验确认：在这种情况下，即使是具有相同颜色的电子部件，也会根据表面是否阴刻而出现相对的明暗差。基于如上所述的实验结果，需要考虑照明及识别用相机210的布置下的光的反射和散射。
因此，根据本发明的一实施例的照明器220为了对电子部件的上表面进行照明而配备为布置于识别用相机210的下方，如图9所示，包括第一照明元件221、反射镜222、第一聚光透镜223、第二照明元件224、第三照明元件225、第二聚光透镜226。
第一照明元件221配备为以第一角对上表面具有第一颜色的电子部件D的上表面进行照明。在本实施例中，预设第一颜色为银色，预设第一角为相对于电子部件D的上表面呈90度。当然，识别用相机210的拍摄角为相对于电子部件D的上表面呈90度。即，第一照明元件221被配备为用于同轴照明，用于以与识别用相机210的拍摄角相同的角度使照明朝向电子部件D的上表面入射。这样的第一照明元件221的照射方向与识别用相机210的拍摄方向构成90度，从而使得第一照明元件221能够脱离识别用相机210的拍摄方向而布置。参照作为关于第一照明元件221的示意图的图10，第一照明元件221具有发光的多个点源LS沿左右方向布置的结构。
反射镜222使第一照明元件221的光弯折90度而向下方反射，使第一照明元件221的光以与识别用相机210的拍摄角相同的角度入射到电子部件D的上表面。通过这样的反射镜222，第一照明元件221能够以不干扰识别用相机210的拍摄角的方式布置于侧方，同时第一照明元件221能够起到在与识别用相机210的拍摄角相同的角度下照射光的同轴照明元件的功能。当然，通过识别用相机210进行的拍摄及由第一照明元件221产生的光的反射需要全部进行，因此反射镜222优选地配备为透光率及反射率分别为50％程度的半反射镜(half mirror)。
第一聚光透镜223配备于第一照明元件221与反射镜222之间，聚集第一照明元件221的光而发射至反射镜222。为此，如图11的示意图所示，第一聚光透镜223配备为大致为半圆形态的圆柱(cylindrical)形状。
第二照明元件224为了以与第一角不同的第二角对上表面具有与第一颜色不同的第二颜色的电子部件D的上表面进行照明而配备。在本实施例中，预设第二颜色为黑色，预设第二角为相对于电子部件D的上表面呈20度。即，第二照明元件224以识别用相机210的拍摄点P为基准在与电子部件D的上表面构成20度的角的倾斜方向进行照明。并且，第二照明元件224以垂直于电子部件D并穿过拍摄点P的垂直线V为基准在前后两侧对称地配备为两个。因此，能够防止由于任意一侧的照明产生的阴影等的发生。
第三照明元件225配备为当第二照明元件224被点亮时一同被点亮，并以与第一角及第二角不同的第三角对电子部件D的上表面进行照明。在本实施例中，预设第三角为35度。这样的第三照明元件225防止因第二照明元件224而引起的照明死角区域或阴影发生。并且，除了第二照明元件224之外追加第三照明元件225以具有多个倾斜照明的照明角的原因在于，考虑到电子部件D的颜色所具有的深浅差异而利用最佳的照明方向来提高识别用相机210的识别码的识别率。同样地，第三照明元件225也以垂直线V为基准对称地配备为两个。
作为参考，在本实施例中，第二照明元件224的照明角为20度，第三照明元件225的照明角为35度，但是可以考虑要处理的电子部件D的颜色、深浅、照明光的波长范围等，在大于0度且小于90度的倾斜方向的范围内确定能够实现最佳的照明的任意的倾斜角。
并且，如本实施例所述，将第二照明元件224及第三照明元件225相比于第一照明元件221及反射镜222配备于更下侧，从而使得倾斜照明的照明角的设计变得容易，并且能够将照明器220的尺寸最小化。
通常，虽然具有若倾斜度越低(或者与垂直线的角度越大/或者与穿过电子部件D的表面的水平线之间的角度越小)则通过倾斜照明能够区别识别的部位和其他部位的能力越强的优点，但是造成光量变少的缺点。但是，若使倾斜度过于变低则会发生设备变大的问题，并且还需要考虑应当确保用于消除穿过照明器220下方的托盘与照明器220之间的干涉的最小间隔距离，因此通过大量的实验，在本实施例中，第二照明元件224的照射角被设定为了20度。此外，通过追加第三照明元件225，能够补充第二照明元件224的变弱的光量，从而能够拍摄更清晰的图像，并且防止了阴影的发生。
第二聚光透镜226以圆柱形态配备为四个。这样的第二聚光透镜226配备于作为倾斜照明的第二照明元件224及第三照明元件225与电子部件D之间，并且聚集第二照明元件224或第三照明元件225的光而发射至电子部件D侧。因此，需要使第二聚光透镜226相比于电子部件D侧而言尽量地靠近第二照明元件224及第三照明元件225侧而邻近布置。
接着，对根据识别码被阴刻加工的电子部件D的颜色种类而需要实现互不相同的照明的原因进行说明。
首先，在电子部件D的表面为银色的情况下，优选地使用作为同轴照明的第一照明元件221。与具有信息的阴刻部位相比，照射到相对平滑的表面部位(指除了阴刻部位以外的表面部位，以下相同)的光向垂直上方反射的量较多，因此光线非常明亮。但是，阴刻部位比平滑的表面部位相对粗糙，进而使照射的光发生漫反射，因此朝向垂直上方的识别用相机的光量较少。因此，阴刻部位与表面部位的明暗差清晰，从而能够恰当地掌握识别码。
若在银色的情况下使用作为倾斜用照明的第二照明元件224及第三照明元件225，则照射到电子部件D的光在平滑的表面部位以等于入射角的反射角进行反射，从而入射到识别用相机210的量非常少，其光量与根据在阴刻部位进行的散射及漫反射而入射到识别用相机210的量几乎相同。从而，阴刻部位与表面部位的明暗差不分明而难以识别，因此无法掌握识别码。
相反，对于黑色电子部件D而言，优选地使用作为倾斜用照明的第二照明元件224及第三照明元件225。在这种情况下，照射的光在平滑的表面部位以与入射角对称相同的反射角被丢弃，不仅如此黑色会吸收光线。因此，表面部位被识别用相机210识别为非常暗。与此相反，相对粗糙的阴刻部位由于光的散射及漫反射而被识别用相机210识别为比表面部位更亮。即，表面部位与阴刻部位的明暗差清晰，从而能够恰当地读取识别码。
若对黑色电子部件D使用作为同轴照明的第一照明元件221，则虽然表面部位吸收光而较暗，但是向正下方照射的光线看起来略微明亮，阴刻部位由于光的散射及漫反射也会看起来略微明亮，从而两者之间几乎没有明暗差，进而难以读取识别码。
这样，根据本发明的照明器220是考虑了大量的实验及表面的状态、颜色、反射率等而开发。
另外，上述的控制装置CA根据管理者输入的电子部件D的颜色信息选择性地点亮第一照明元件221及第二照明元件224中的任意一个。即，根据本发明的拍摄装置200可以根据电子部件D具有什么颜色而选择性地点亮第一照明元件221及第二照明元件224。当然，第三照明元件225的点亮与第二照明元件224的点亮相同地联动。
<关于激光照射器230及确认用相机240的说明>
配备确认用相机240的目的在于，确认通过在电子部件D的上方朝向电子部件D垂直照射的激光照射器230向电子部件D的上表面照射的线形的激光的形态。即，在电子部件D双重载置或未被载置的情形，或者在可以称为载置要素的托盘中所配备的袋状部(pocket)中电子部件D被旋转放置的情形或倾斜地放置的情形，如上述情形一样被错误载置的情况下，在相应位置，线形的激光显示中将发生变形，对其进行拍摄之后，对拍摄的激光图案进行分析，从而能够确认电子部件D的放置状态。为此，以倾斜的角度配备确认用相机240，从而能够更准确地观测从激光照射器230照射的线性的激光显示的形态是否变形。这是因为若确认用相机240配备为在与激光照射器230相同的竖直方向上拍摄正下方的电子部件D，则可能难以确认激光显示的形态变化。
另外，在上文所述的电子部件重新布置设备ERE中，为了最大化处理容量，对电子部件D装载于托盘T的情况下不停留地移动的电子部件D进行识别，接着确认安置状态，这样的作业依次执行，因此当识别装载于托盘前侧的电子部件D时，执行确认装载于后侧的电子部件D的放置状态的作业。这样的方式可以使识别用相机210与确认用相机240非常邻近地设置，从而还能够防止电子部件重新布置设备ERE的大型化。但是，这样的布置可能导致用于识别用相机210的拍摄的照明器220的光被反射而入射至确认用相机240，据此，由确认用相机240进行的确认作业可能发生不良。为了防止这种现象，优选地在确认用相机240配备带通滤波器241，所述带通滤波器241仅筛选激光波长范围(520nm)而使其通过，从而阻断照明器220产生的光入射到确认用相机240的透镜。这样，在本实施例中，对能够入射至确认用相机240的波长范围进行限定是因为考虑到了从激光照射器230照射的激光的波长范围，因此若从激光照射器230照射的激光的波长范围改变，则带通滤波器241显然也将对应于此而进行改变。并且，虽然在本实施例中，在确认用相机240配备带通滤波器241，但是根据实施方式，只要是能够阻断照明器220的光的位置，可以考虑将带通滤波器241配备于与确认用相机240分离的适当的位置。
<关于激光照射器230及确认用相机240的另一示例>
另外，激光照射器230与确认用相机240的有机的布置关系必须要求激光照射器230与确认用相机240相互隔开。
然而，如上文所述，在设置空间过窄或者需要追加设置于现有设备的情况下，难于应用图8所示的布置结构。
因此，如下述示例，可以考虑将激光照射器230与确认用相机240相互邻近贴紧的布置。
1、第一示例
如图12所示，本示例示出了当从激光照射器230照射在平面显示为线形的线形的激光L时，激光照射器230与确认用相机240在垂直于激光L的线段的方向(箭头a方向)上相邻布置的形态。
这样如图12所示地布置激光照射器230及确认用相机240时，激光照射器230的照射方向与确认用相机240的照射方向相同。因此，根据本示例的情况，需要实现为将通过激光照射器230照射的激光L扭转预定角度从而使所照射的激光L能够显示在位于确认用相机240下方的电子部件D。为此，如图13所示，本实施例追加配备反射板231以及用于设置反射板231的设置框架232。即，设置于设置框架232的反射板231能够将从激光照射器230照射的激光L反射而显示在位于确认用相机240下方的电子部件D。这样的反射板231可以由利用玻璃制成的镜子构成，或者由表面平滑的金属板构成。
如上所述的图12的示例是当确保有激光照射器230与确认用相机240在垂直于激光L的线段的方向(箭头a方向)上相邻布置的最小空间时能够有利应用的形态。
在本实施例中，要拍摄的电子部件D与确认用相机240位于同一垂直线V上。
2、第二示例
本示例应用于当无法如图12所示地确保有激光照射器230与确认用相机240在垂直于激光L的线段的方向(箭头a方向)上相邻布置的最小空间时的情形。
如图14所示，示出了当从激光照射器230照射线形的激光L时激光照射器230与确认用相机240在与激光L的线段平行的方向(箭头b方向)上相邻布置的形态。在这样的如图14所示的布置形态下，需要如图15所示地将激光照射器230设置为从垂直线V倾斜预定角度θ。当然，优选地，即使将激光照射器230倾斜预定角度地设置，也将激光照射器230的倾斜程度设定为不超出确认用相机240的宽度W范围且在其范围内使激光照射器230能够倾斜，从而最优化狭窄空间内的设置性。
在本实施例中，如图16所示，也配备有：反射板231：将通过激光照射器230照射的激光L扭转预定角度以使所照射的激光L能够显示于确认用相机240下方；以及设置框架232，用于设置反射板231。
如上所述的图14的示例，如图15所示具有如下形态：要拍摄的电子部件D与确认用相机240位于同一垂直线V上，虽然激光照射器230也与电子部件D位于同一垂直线V上，但是激光照射器230倾斜设置，从而激光的照射方向与相机的拍摄方向具有预定角度θ大小的差异。
如图14所示的布置形态例如可以如图17的示意图所示，应用为结合设置于拾取模块PM的形态，其中，所述拾取模块PM具有拾取器P，以用于抓持电子部件D而使移动电子部件D。在图17的示例中，移动拾取模块PM的移动机械手代替起到了用于移动激光照射器230及确认用相机240的移动器250的作用。
若如图17所示，在激光照射器230等设置于拾取模块PM的情况下，在拾取模块PM抓持电子部件D的区域或拾取模块PM解除电子部件D的抓持的所有区域可以确认电子部件D是否被正常放置等，并且仅需要最小限度的设置空间，因此能够不难解决其设置区域的问题。如上所述，与图1的示例不同，在图17的示例中，实现为激光照射器230等移动而确认装载于停留的载置要素的电子部件D是否正常放置。
另外，即使具有图14所示的布置形态，当空间不足时也需要最小限度地改造现有构成件(门、壁面、框架)以确保空间。当然，最优选地，在与面相面对的位置设置激光照射器230及确认用相机240。通常，在制造设备时，拾取模块PM的驱动被设计为仅要求能够与周围的结构物不发生碰撞的最小的空间，这是为了防止设备的大型化。因此，在将激光照射器230及确认用相机240设置于拾取模块PM的过程中，优先考虑能够最小化设备的改造而设置的空间，即，对应于设备的前面部的位置。其原因在于，设备的前面部在大部分情况下设置有门，门上具有观测窗，从而从安全上考虑存在空余空间以与操作结构物保持一定程度的间隔，因此能够将该空余空间充分利用为激光照射器230及确认用相机240的设置空间。当然，即使具有空余空间，该空余空间也可能不足以利用为激光照射器230及确认用相机240的设置空间，但是由于在整个设备中，门的改造最容易，因此可以通过该空余空间的充分利用及门的简单改造而设置激光照射器230及确认用相机240。当然，若现有的结构物中具有如同门一样易于改造的结构物，则可以充分考虑通过该结构物的改造确保激光照射器230及确认用相机240的设置空间。
<关于激光照射器230及确认用相机240的应用>
上文主要对通过激光照射器230及确认用相机240确认电子部件D是否放置不良的功能进行了说明。
然而，激光照射器230及确认用相机240也可以用作确认电子部件D的数量的用途。为此，控制装置CA进行如下作业：虽然对电子部件D是否被放置也进行分析，但是与电子部件D是否放置不良无关地，使用激光的图案确认装载于托盘T的电子部件D的数量。因此，控制装置CA对从上位端接收的电子部件D的数量与自身确认的电子部件D的数量进行比较，从而能够得知供应而来的电子部件D的数量是否适当。此时，与电子部件D是否放置不良的判断无关地，即使是稍微放置不良的电子部件D也计算到数量中。
根据上述的应用，能够确认电子部件D是否丢失，从而能够改善电子部件D的跟踪及管理，但是该应用在几乎没有电子部件D丢失的情况下可以被省略。
如上所述，在激光照射器230及确认用相机240实现为能够确认电子部件D的数量的情况下，可以命名为电子部件数量确认装置。当然，在实现为电子部件数量确认装置的情况下，也同样具有反射板231等全部构成。
<参考事项>
1、关于结合关系的事项
上文的实施例仅对激光照射器230及确认用相机240结合为一体的示例进行了说明，根据情况也可以考虑激光照射器230及确认用相机240各自隔开而设置于单独的构成件。尤其，在参照图12至图17的示例中，通过设置框架232将激光照射器230、确认用相机240及反射板231相互结合，但是在没有单独的设置框架232的情况下，至少一个可以被分出而设置于其他构成件。
2、反射板的角度调节等
在具有图12至图17举例说明的布置结构的情况下，根据托盘或电子部件D的种类，电子部件D与激光照射器230、确认用相机240及反射板231等之间的间隔可能不适当，可以优选地考虑实现为能够调节反射板231的反射角，或者实现为能够调节激光照射器230或确认用相机240的高度。尤其，由于设备内的震动或频繁的移动可能导致反射板231的反射角偏离，或者激光照射器230或确认用相机240的高度或设置角度发生变化，因此可能需要调节反射板231的角度或者调节激光照射器230或确认用相机240的高度或角度。当然，对于确认用相机240而言，对准正下方能够防止图像的失真，并且在机械上来看，确认用相机240的链接线缆也非常复杂，从而需要防止断线，因此优选地，避免针对确认用相机240进行角度调节。
并且，如图18所示，优选地，反射板231的宽度W1大于或至少等于装载电子部件D的托盘T或其他载置要素的宽度W2。其原因在于，需要一下子就确认一列的电子部件D，为此激光应当具有能够经过存在于载置要素的一列的所有电子部件D的长度。当然，若使用凸面镜或凹面镜，则反射板231的宽度也可以配备为小于载置要素的宽度，但是在这种情况下，激光失真，从而可能发生分析错误。并且，反射板231与其他载置要素之间的距离相隔得越大，反射板231的宽度越能够缩小，但是在本发明设置于限定的狭小的空间上，因此反射板231的宽度优选地大于或至少等于其他载置要素的宽度。
另外，在参照图12至图17的示例中，具有如下布置：从激光照射器230照射的激光经过反射板231而照射到电子部件D之后通过确认用相机240进行拍摄。然而，根据实施方式，也可以实现为如图19所示的布置：从激光照射器230照射的激光照射到电子部件D之后，经过反射板231而被确认用相机240拍摄。即，根据本示例，反射板231只要起到由激光照射器230照射的光能够经过电子部件D而入射至确认用相机240的作用即可，其设置位置可以具有多样的变形。但是，如图19所示，在确认用相机240对映射于反射板231的图像进行拍摄的情况下，存在反射板231的折射，从而图像可能失真，并且有可能识别到有可能存在于反射板231的指纹、灰尘等异物，从而由于并非实际期望的电子部件D的状态的噪声图像的存在而可能对图像识别造成困难，因此可以更优选地考虑图12至图17所述的示例。
3、移动装置与拍摄装置之间的关系
在上述的实施例中，移动装置120、520配备为将托盘T运送至目的地为止，但是根据实施方式，也存在移动装置120、520仅以拍摄装置200的检查为目的移动托盘T时使用的情况。在这种情况下，移动装置120、520可以解释为构成拍摄装置200的一个构成。
4、关于激光照射器及确认用相机的图像分析的附加说明
作为通过确认用相机240拍摄图像而对电子部件的放置状态进行分析的方法，可以考虑如下所述的两个示例。
甲、第一示例
如图20的(a)所示，可以实现为：在托盘T经过的过程中，当电子部件D的中央位置点位于从激光照射器230照射的激光L时，确认用相机240进行拍摄。
如图20的(b)所示，被拍摄的激光L反映于根据电子部件D的载置状态而被拍摄为多种图案的图像上。因此，对出现在图像的激光L的图案进行分析，如图20的(c)所示，可以掌握1)正常状态、2)空余状态、3)双重载置状态、4)倾斜放置的状态等。
图20的(d)是对图像内的激光L进行分析并用图表表现的图。
本示例当电子部件D如图21所示地沿竖直方向站立而载置于托盘T的方式时能够有利地利用。
根据本示例的情况，确认用相机240只要应用线扫描相机或区域相机中的任意一种即可。
乙、第二示例
本示例采取如下方法：在电子部件D根据托盘T的移动经过激光L的期间，确认用相机240反复多次进行拍摄。因此，控制装置整合针对一个电子部件D多次拍摄的图像，进而实现将激光L的阶梯差转换为色彩(虽然实际上为色彩，但在图23中，彼此不同的色彩用彼此不同的明暗程度进行了图示)而进行表现的一个整合的图像，之后对整合的图像进行分析。这样的示例能够有利地应用于于扁平形态的存储器半导体元件等电子部件D如图22所示地卧置于托盘T的方式。
根据本示例，控制装置CA应当能够根据电子部件的种类或面积的宽度等选择拍摄次数，应当能够整合多次拍摄的图像，并且应当能够对整合的图像与已存储的正常的标准图像进行比较并分析。在此，正常的标准图像是指电子部件D全部保持正常的放置状态且被填满的状态下的托盘T的图像。
并且，控制装置CA需要实现为还能够根据有可能发生的托盘T的移动速度的加减而进行校正。例如，参照示出根据第二示例的整合后的图像的图23，能够确认前后线由于伴随托盘T的加速/减速的移动而不直并歪斜。因此，若将图23状态下的图像与标准图像进行比较，则可能发生错误。因此，需要通过校正作业换算为能够与标准图像进行比较的数据，从而对整合的图像进行校正。
另外，托盘T可能由于频繁使用而发生弯曲，控制装置CA需要生成对由于托盘T的弯曲而造成的误差也进行校正的整合图像。针对其原因，参照利用色彩(与图23相同地，图24中，彼此不同的色彩用彼此不同的明暗程度进行了图示，但实际上由如下所述的多种色彩呈现)表现激光L的阶梯差的图24进行说明。在图24中，利用绿色表现的部分P1表示电子部件D空余的情形，利用深橘黄色表现的部分P2表示电子部件D倾斜或未正确放置的情形，浅橘黄色部分P3表示电子部件D被恰当地放置的情形。但是，观察图24的(a)，能够得知托盘T的后方区域RS利用黄色表现。这表示托盘T弯曲而后方区域RS位于相比于前方区域更低的位置。这样，如果如图24的(a)所示从前方向后方发生色彩梯度，则控制装置CA判断托盘T发生了弯曲，并反映这样的情况而进行校正，从而如图24的(b)所示地将对整合的图像进行校正。如此地判断托盘T的弯曲并对其进行校正的原因在于：对于非常薄的电子部件D而言，可能由于托盘T的弯曲，将双重载置分析为正常载置。
作为参考，上文对在电子部件D装载于作为载置要素的托盘T的状态下进行移动的过程中拍摄电子部件D的情形进行了说明，但是若不考虑处理容量，可以考虑实现为在载置要素停留的状态下进行拍摄。
最后，在上文的说明中，根据本发明的拍摄装置200构成为应用于根据现有技术2的电子部件重新布置设备ERE的形态，但是根据本发明的拍摄装置200显然也可以应用于现有技术3等需要识别电子部件D的所有电子部件处理设备。因此，虽然基于参照附图的实施例而针对本发明进行了具体说明，但是上述的实施例仅仅说明了本发明的优选实施例，因此不应理解为本发明局限于上述实施例，本发明的权利范围应按照权利要求书的范围及其等同范围来理解。

Claims (13)

1.一种电子部件处理设备用拍摄装置，其中，包括：
激光照射器，向装载于载置要素的多个电子部件的多个上表面照射激光；
确认用相机，拍摄通过所述激光照射器照射的激光，进而能够确认装载于移动的载置要素的电子部件的放置状态；以及
移动器，使所述激光照射器及所述确认用相机沿水平方向移动，从而能够使所述确认用相机在至少两个位置中选择性布置，进而在各个位置拍摄电子部件，
其中，所述激光是线性的激光，以观察所拍摄的激光的波形的高度，并确认与正常波形之间的差异。
2.根据权利要求1所述的电子部件处理设备用拍摄装置，其中，还包括：
带通滤波器，仅使由所述激光照射器照射的激光的波长范围筛选而通过，从而阻断除了由所述激光照射器照射的光以外的光被入射到所述确认用相机。
3.一种电子部件处理设备用拍摄装置，其中，包括：
激光照射器，向装载于载置要素的多个电子部件的多个上表面照射激光；
确认用相机，拍摄通过所述激光照射器照射的激光，进而能够确认装载于移动的载置要素的电子部件的放置状态；以及
反射板，使得由所述激光照射器照射的光经过电子部件而入射至所述确认用相机，
其中，所述激光是线性的激光，以观察所拍摄的激光的波形的高度，并确认与正常波形之间的差异。
4.根据权利要求3所述的电子部件处理设备用拍摄装置，其中，
当从所述激光照射器照射线形的激光时，所述激光照射器及所述确认用相机在与激光的线段垂直的方向上相邻地布置。
5.根据权利要求4所述的电子部件处理设备用拍摄装置，其中，
所述激光照射器的照射方向与所述确认用相机的拍摄方向相同。
6.根据权利要求5所述的电子部件处理设备用拍摄装置，其中，
所述确认用相机与要拍摄的电子部件位于同一条垂直线上，所述激光照射器偏向一侧。
7.根据权利要求3所述的电子部件处理设备用拍摄装置，其中，
当从所述激光照射器照射线形的激光时，所述激光照射器及所述确认用相机在与激光的线段平行的方向上相邻地布置。
8.根据权利要求7所述的电子部件处理设备用拍摄装置，其中，
所述激光照射器与垂直线倾斜预定角度地设置。
9.根据权利要求8所述的电子部件处理设备用拍摄装置，其中，
所述激光照射器的倾斜程度在所述确认用相机的宽度范围内。
10.根据权利要求8所述的电子部件处理设备用拍摄装置，其中，
所述确认用相机及所述激光照射器与要拍摄的电子部件位于同一条垂直线上。
11.根据权利要求3所述的电子部件处理设备用拍摄装置，其中，
从所述激光照射器照射的激光经过所述反射板而向电子部件照射之后，被所述确认用相机拍摄。
12.根据权利要求1或权利要求3所述的电子部件处理设备用拍摄装置，其中，还包括：
移动装置，使装载有电子部件的载置要素移动，
其中，所述移动装置包括：
放置舟皿，能够放置载置要素；以及
移动机，使所述放置舟皿移动，
其中，所述放置舟皿包括：
放置部分，放置载置要素，并且具有防止载置要素脱离的防脱离台；以及
结合部分，结合于所述移动机侧，
其中，所述移动机包括：
匀速马达，使所述放置舟皿匀速移动；以及
移动带，将所述匀速马达的移动力传递至所述放置舟皿。
13.一种电子部件处理设备用拍摄装置，其中，包括：
激光照射器，向装载于载置要素的多个电子部件的多个上表面照射激光；
确认用相机，拍摄通过所述激光照射器照射的激光，进而能够确认装载于移动的载置要素的电子部件的放置状态；以及
控制装置，对所述确认用相机拍摄的图像进行分析而判断电子部件是否正常放置，
其中，所述激光是线性的激光，以观察所拍摄的激光的波形的高度，并确认与正常波形之间的差异，
所述确认用相机对一个电子部件进行多次拍摄，所述控制装置将拍摄的多个图像整合为一个图像，并生成通过反映托盘是否弯曲而进行校正的整合图像之后，通过对整合的图像与已存储的正常的标准图像进行比较而判断电子部件是否正常放置。
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