JP2009010258A - 画像表示装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】有機膜の剥がれの発生を抑え、表示不良の少ない画像表示装置を提供する。
【解決手段】基板1と、基板1上に形成される第1有機膜2と、第1有機層2上に形成される共通電極層3と、共通電極層上に形成される第2有機膜4と、を備え、基板1は、複数の画素からなる表示領域及び該表示領域周囲の外周領域からなり、第1有機膜2、共通電極層3、及び第2有機膜4は表示領域と外周領域の境界を跨ぐように形成されている。外周領域に位置する共通電極層3に貫通穴9が設け、貫通穴9を介して第1有機膜2と第2有機膜4とを接続する。
【選択図】図2

Description

本発明は、有機ELディスプレイ等の画像表示装置に関するものである。
画像表示装置にはいくつかの種類があるが、中でも近年注目されてきているのが有機EL(ElectroLuminescence)ディスプレイである。有機ELディスプレイは、自発光表示装置であり視野角が広く、バックライトが不要なため薄型化が可能である。また、応答速度も速く、有機材料が有する性質の多様性から、次世代の表示装置として期待されている。
かかる有機ELディスプレイは、マトリクス状に配列された画素ごとに有機発光素子を形成したものである。有機発光素子は、有機発光層とこの有機発光層を上下から挟む上部電極及び下部電極とを含んで構成されている。通常、有機発光素子を構成する上部電極、下部電極のうち、いずれか一方は画素ごとに区切られた個別の電極であり、他方は画素全体にわたって形成された共通電極層である。
この有機発光素子は、基板と基板上に形成される平坦化膜としての第1有機膜上に形成されている。また共通電極層上には層間絶縁膜としての第2の有機膜が形成されている。
前記基板は、画素が配列された表示領域と表示領域周囲の外周領域とを有し、第1有機膜、共通電極層、及び第2有機膜は表示領域から外周領域にかけて形成されている。
特開2007−42599号公報
しかしながら上述したような従来の画像表示装置では、共通電極層上に形成された第2有機膜が下部電極から剥がれることが多かった。これは下部電極が金属材料から形成されるのに対し、第2有機膜が有機材料から形成されるため、両者の接着力が低いことに起因する。
この剥がれの現象は、基板の表示領域に位置する第2有機膜よりも、応力が集中しやすい外周領域に位置する第2有機膜において顕著にみられる。
このように基板の外周領域に位置する第2有機膜が剥がれた場合、発光素子を構成する上部電極と下部電極との短絡や剥がれた部分が周囲の配線等に接触することにより画像表示装置の表示不良の原因となる。
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、第2有機膜の剥がれの発生を抑え、表示不良の少ない画像表示装置を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するため、本発明の画像表示装置は、基板と、前記基板上に形成される第1有機膜と、前記第1有機膜上に形成される共通電極層と、前記共通電極層上に形成される第2有機膜と、を備え、前記基板は、複数の画素からなる表示領域及び該表示領域周囲の外周領域からなり、前記第1有機膜、前記共通電極層、及び前記第2有機膜は前記表示領域と前記外周領域の境界を跨ぐように形成され、前記外周領域に位置する前記共通電極層には貫通穴が設けられているとともに、前記貫通穴を介して前記第1有機膜と前記第2有機膜とが接続されていることを特徴とする。
また本発明の画像表示装置は、前記第1有機膜と前記第2有機膜とは同一の材料からなることを特徴とする。
また本発明の画像表示装置は、前記貫通穴の断面形状は、前記第1有機膜側の開口部より前記第2有機膜側の開口部の方が広い台形状をなしていることを特徴とする。
また本発明の画像表示装置は、前記画素は、前記共通電極上に形成される有機発光層を含んで構成される発光素子を含むことを特徴とする。
また本発明の画像表示装置は、前記表示領域に位置する前記第2有機膜は、前記発光素子の発光部を露出するようにして形成されていることを特徴とする。
また本発明の画像表示装置は、前記基板と前記第1有機膜との間には、前記発光素子と電気的に接続される回路層が形成されていることを特徴とする。
この発明によれば、基板の外周領域に位置する共通電極層に貫通穴を設けるとともに、貫通穴を介して第1有機膜と第2有機膜とを接続する構造としたことにより、密着性の高い有機膜同士が接続されるため第2有機膜が共通電極層から剥がれるのを抑えることができ、表示不良の少ない画像表示装置を提供することができる。
以下、本発明にかかる画像表示装置を図面に基づいて詳細に説明する。 図1は、本発明の一実施形態にかかる画像表示装置としての有機ELディスプレイの平面図であり、図2は図1のA−A’断面図、図3は図1のB−B’断面図である。なお図は概略図であり、実際の寸法比率とは必ずしも一致していない。
本実施形態に係る画像表示装置は、図1に示されるように、画像が表示される表示領域とその周囲の外周領域とを有している。
図1に示すように、本実施形態にかかる画像表示装置は、略長方形をなす複数の画素pがマトリクス状に配列されている。各画素は、例えば、赤(R)、緑(G)、青(B)のいずれかを発光する機能を有し、画像表示装置をフルカラーのディスプレイパネルとして使用する場合には、R,G,Bそれぞれの画素を所定の規則に従って配列する。また画像表示装置をモノカラーのディスプレイパネルとして使用する場合には、そのカラーの単色の画素を配列すればよい。
図2、3に示すように本発明の画像表示装置は、基板1と、基板1上に形成された第1有機膜2と、第1有機膜2上に形成された共通電極層3と、共通電極層3上に形成された第2有機層4と、各画素に設けられた発光素子6とから主に構成されている。
基板1は、たとえばプラスチックやガラスを用いることができるが、本実施形態にかかる有機ELディスプレイはトップエミッション型であるため、透光性を有しない基板を採用することもできる。
基板1の上面には回路層5が形成されている。回路層5は、発光素子6の駆動制御等を行うためのトランジスタやコンデンサ等の各種回路素子(図示せず)から構成されている。この回路層5は、例えば、従来周知のフォトエッチングプロセスを経て形成されるものである。回路層5は、構成部材ごとの厚みが異なるためその表面に凹凸が形成されている。このように表面に凹凸を有する回路層5を覆うようにして第1有機膜2が形成されている。この第1有機膜2を設けることにより、第1有機膜上に発光素子6を設けた際、回路層5の凹凸の影響を少なくすることができる。
このような第1有機膜2は、樹脂ペーストを回路層上に塗布し、硬化することにより形成される。より具体的には、アクリル樹脂、ノボラック樹脂、シリコン樹脂、ポリイミド樹脂などを主成分とする感光性樹脂材料からなる樹脂ペーストを用いて、例えば、従来周知のスピンコート法、スリットコート法、インクジェット法などにより回路層上に塗布され、これを加熱して硬化することにより形成される。
また第1有機膜2には、図3に示すように、回路層5と発光素子6とを電気的に接続するためのコンタクト部10が形成されている。 このコンタクト部10は、露光・現像処理によって第1有機膜2の所定箇所にコンタクトホールを設け、コンタクトホールの内面に導体を被着させることにより形成される。なお、コンタクトホール内面に被着される導体は、共通電極層3と同一材料を用いて同一工程により形成することができる。
かかる第1有機膜上には発光素子6が形成されている。この発光素子6は、下部電極としての共通電極層3と、共通電極層3上に形成される有機発光層7と、有機発光層7上に形成される上部電極8とから構成されるものである。
下部電極として機能する共通電極層3は、隣接する画素を跨いで表示領域の略全体にわたって形成されている。また共通電極層3は表示領域から外周領域まで延びて2つの領域間の境界Cを跨ぐようにして形成されている。なお、外周領域に位置している共通電極層の幅は数画素分である。
本発明の特徴的なことは、この共通電極層3のうち、外周領域に位置する部分に複数の貫通穴9が形成されていることである。図4は、外周領域に位置する共通電極層3の拡大平面図である。同図に示すように、共通電極層3には、複数の貫通穴9が形成されている。このように外周領域に位置する共通電極層3に貫通穴9を設けることによって、第1有機膜2と第2有機膜4とが、貫通穴9を通じて接続された状態となる。第1有機膜2と第2有機膜4とは有機系の材料からなり、第2有機膜4の基板1側への密着力が向上し、第2有機膜4が共通電極層3から剥がれるのを抑制することができ、表示不良の少ない画像表示装置となすことができる。第2有機膜の剥がれは、第2有機膜の作製工程中、具体的には第2有機膜となる樹脂ペーストを塗布し、これを200℃以上で焼成した後、室温に戻したときに大きな縮み応力が発生することによって起こることが多いが、本発明を適用することにより、第2有機膜の剥がれの発生を極めて少なくすることができた。
この貫通穴9は、その断面形状が第1有機膜2側の開口部より第2有機膜4側の開口部の方が広いテーパ状をなしていることが好ましい。このような形状とすることによって、第2の有機膜4が貫通穴9内に入り込みやすくなり、より確実に第1有機膜2と第2有機膜4とを接続することができる。また貫通穴9を平面視したときの開口形状は、例えば円状をなし、その直径(第2有機膜側)は4μm〜100μmに設定される。なお、貫通穴9の開口形状は円に限らず、四角形状など任意の形状が可能である。また貫通穴は、外周領域に位置する共通電極層3の全面積に対し、5%以上の割合で設けておくことが好ましい。
共通電極層3は、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金、銀、銀合金等を用いて、従来周知のフォトリソグラフィー法等により外周領域に位置する部分に貫通穴9を有するように形成され、その厚みは、例えば100nm〜500nmに設定される。なお、本実施形態においては、共通電極層3が発光素子6の陽極(アノード)として機能している。
表示領域において共通電極層3上に形成される有機発光層7は、有機系材料を発光体として用いた発光層を含んで構成され、単層構造もしくは多層構造のいずれも採用することができる。例えば、有機発光層7が発光層のみからなる単層構造では、発光層が正孔輸送特性と電子輸送特性とを兼ね備えた材料からなり、その材料中に発光材料をドープする方法や、発光材料自体に電荷輸送特性が付与された材料を用いる方法等を採用することができる。このような単層構造は、素子形成プロセスを簡略化できることから、有機ELディスプレイの生産性を向上させることができる。一方、有機発光層7の構造として多層構造を採用する場合、発光層に加え、正孔輸送層、正孔注入層、正孔阻止層、電子輸送層、電子注入層、電子阻止層等を任意に選択して設けることができる。なお、正孔注入層、電子注入層については無機材料が使用されることもあるが、その場合であっても、正孔注入層、電子注入層を含めて有機発光層と呼ぶ。
また共通電極層3上には第2有機膜4が設けられている。第2有機膜4は、発光素子6の発光領域及び上部電極8とカソードコンタクト部との接続部分を露出するようにして形成されている。表示領域に位置する第2有機膜4は、その一部が有機発光層7の下面外縁部に潜り込むような形で共通電極層3と有機発光層7との間に介在されている。このように第2有機膜4を形成することによって共通電極層3と上部電極8との短絡を防止することができる。また外周領域に位置する第2有機膜4は、先に述べたように貫通穴9を通して第1有機膜2と接続されている。
第2有機膜4の材料としては、例えば、アクリル樹脂、ノボラック樹脂、シリコン樹脂等の有機材料を主成分とする感光性樹脂を用いることができる。そしてこの感光性樹脂を共通電極層3の上面全体にわたって塗布し、露光処理、現像処理等を行うことによって、所定パターンを有する第2有機膜を形成することができる。この第2有機膜4の材料としては、第1有機膜2と化学的に類似の材料、より好ましくは同一の材料を用いることが好ましい。第1有機膜2と第2有機膜4とを同一の材料で形成することにより、貫通穴9を通じて接続される第1有機膜2と第2有機膜4との接着強度をより高くすることができる。
有機発光層7上に形成される上部電極8は、陰極(カソード)として機能するものである。本実施形態では、トップエミッション型の有機ELディスプレイを採用しているため、上部電極8は光を透過する電極材料を使用する。光透過性の電極材料としては、ITO(酸化インジウム錫)等の透明金属材料が使用できる。また、本来透明ではないCaやMg、Ag等の金属材料であっても極めて薄く被着させることにより、光を透過させることができるためこれらの材料を使用してもよい。
この上部電極8は、隔壁14によって区切られることにより画素ごとに独立して設けられており、隣接する画素間の上部電極8は互いに絶縁されている。
上部電極8は、図3に示すように、各画素に設けたコンタクト部10を通じて回路層5と電気的に接続されている。コンタクト部10の内部には導体を被覆するようにして第2有機膜4が充填されている。このようにコンタクト部10の導体を第2有機膜4で被覆することにより導体の腐食等を防止することができる。
上部電極8を区画する隔壁14は、断面形状が逆テーパ状となっており、画素間の境界に沿って形成することにより、上部電極8を蒸着した際にこの隔壁14によって上部電極8が画素ごとに区切られることとなる。また、有機発光層7を蒸着により形成する場合には、蒸着マスクを支持する支持体としての機能も有する。隔壁14は、例えば感光性のネガ型レジストが使用され、主にノボラック系、アクリル系の有機材料が使用される。なお、隔壁14は前記の材料を用いて、従来周知のフォトリソグラフィー法等によって形成される。
また上部電極8及び隔壁14の上面には封止膜11が設けられている。封止膜11は、少なくとも上部電極8を被覆し、発光素子6を水分や外気から保護している。この封止膜11は、例えば、シリコン酸化膜(SiN,SiO,SiON等)、シリコン窒化膜(Si、SiNx等)等の無機材料からなり、従来周知の蒸着、スパッタ、CVD等により形成される。
本実施形態の有機ELディスプレイは、構成部材としてさらに基板1に対向して配置される封止基板12と、封止基板12と基板1とを接着するシール材13とを有している。シール材13は、外周領域に位置する共通電極層3よりも若干外側に配置され、全ての画素を取り囲むように基板1の外周に沿って環状に形成されており、基板1、封止基板12、およびシール材13で囲まれた空間に各画素の発光素子6が封止されることになる。封止基板12は、例えば、プラスチックやガラス等の透光性の基板により形成される。また、シール材13は、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、シリコン系樹脂等を用いて形成される。
以上述べた本発明にかかる画像表示装置によれば、基板1の外周領域に位置する共通電極層3に貫通穴9を設けるとともに、貫通穴9を介して第1有機膜2と第2有機膜4とを接続する構造としたことにより、密着性の高い有機膜同士が接続されるため第2有機膜4が共通電極層3から剥がれるのを抑えることができ、表示不良を少なくすることができる。
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
例えば、上述した実施形態においては、環状のシール材13を用いて封止基板12の接着を行うようにしたが、基板1の主面側を全面的に覆う面状シール材を用いて封止基板12を接着するようにしてもよい。
本発明の実施形態にかかる有機ELディスプレイの平面図である。 図1における線分A−A’の断面図である。 図1における線分B−B’の断面図である。 本発明の実施形態にかかる共通電極層の拡大平面図である。
符号の説明
1・・・基板
2・・・第1有機膜
3・・・共通電極層
4・・・第2有機膜
5・・・回路層
6・・・発光素子
7・・・有機発光層
8・・・上部電極
9・・・貫通穴

Claims (6)

  1. 基板と、
    前記基板上に形成される第1有機膜と、
    前記第1有機膜上に形成される共通電極層と、
    前記共通電極層上に形成される第2有機膜と、を備え、
    前記基板は、複数の画素からなる表示領域及び該表示領域周囲の外周領域からなり、
    前記第1有機膜、前記共通電極層、及び前記第2有機膜は前記表示領域と前記外周領域の境界を跨ぐように形成され、
    前記外周領域に位置する前記共通電極層には貫通穴が設けられているとともに、
    前記貫通穴を介して前記第1有機膜と前記第2有機膜とが接続されていることを特徴とする画像表示装置。
  2. 前記第1有機膜と前記第2有機膜とは同一の材料からなることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。
  3. 前記貫通穴の断面形状は、前記第1有機膜側の開口部より前記第2有機膜側の開口部の方が広い台形をなしていることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。
  4. 前記画素は、前記共通電極上に形成される有機発光層を含んで構成される発光素子を含むことを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。
  5. 前記表示領域に位置する前記第2有機膜は、前記発光素子の発光部を露出するようにして形成されていることを特徴とする請求項4に記載の画像表示装置。
  6. 前記基板と前記第1有機膜との間には、前記発光素子と電気的に接続される回路層が形成されていることを特徴とする請求項4に記載の画像表示装置。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150065144A (ko) * 2013-12-04 2015-06-12 가부시키가이샤 재팬 디스프레이 유기 일렉트로 루미네센스 표시 장치
JP2015135821A (ja) * 2015-03-02 2015-07-27 Necライティング株式会社 有機エレクトロルミネッセンス照明装置及びその製造方法
JP2015159084A (ja) * 2014-02-25 2015-09-03 株式会社デンソー 有機el装置
TWI560862B (en) * 2010-10-27 2016-12-01 Samsung Display Co Ltd Organic light emitting display device and method of manufacturing the same
EP3506361A1 (en) * 2017-12-29 2019-07-03 LG Display Co., Ltd. Light emitting display device
CN111192910A (zh) * 2020-01-22 2020-05-22 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板及制作方法、显示面板
WO2021148005A1 (zh) * 2020-01-23 2021-07-29 京东方科技集团股份有限公司 显示面板和显示装置
WO2024000459A1 (zh) * 2022-06-30 2024-01-04 京东方科技集团股份有限公司 显示基板及其制备方法、显示装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106684100B (zh) * 2017-01-19 2019-09-06 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板及其制作方法、显示装置

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH042498U (ja) * 1990-03-15 1992-01-10
JP2002244586A (ja) * 2001-02-06 2002-08-30 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 表示装置用アレイ基板、アレイ基板の製造方法、および該アレイ基板を用いた表示デバイス
WO2003061346A1 (fr) * 2002-01-15 2003-07-24 Seiko Epson Corporation Structure d'etancheite a film fin possedant une propriete de barriere pour un element electronique, dispositif d'affichage, equipement electronique et procede de fabrication d'un element electronique
JP2004119210A (ja) * 2002-09-26 2004-04-15 Chi Mei Electronics Corp 画像表示装置、有機el素子および画像表示装置の製造方法
JP2004158321A (ja) * 2002-11-07 2004-06-03 Tohoku Pioneer Corp 有機el表示装置及びその製造方法
JP2005038633A (ja) * 2003-07-16 2005-02-10 Pioneer Electronic Corp 有機エレクトロルミネセンス表示パネル
JP2005072446A (ja) * 2003-08-27 2005-03-17 Chi Mei Electronics Corp プラズマ処理装置及び基板の表面処理装置
JP2005327708A (ja) * 2004-04-16 2005-11-24 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置およびその作製方法、および電子機器
JP2005330509A (ja) * 2004-05-18 2005-12-02 Seiko Epson Corp 薄膜形成装置、薄膜形成方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、及び電子機器
JP2005352498A (ja) * 2002-01-16 2005-12-22 Seiko Epson Corp 表示装置、電子機器、および表示装置の製造方法
JP2006338031A (ja) * 2006-06-09 2006-12-14 Hitachi Ltd 表示装置
JP2007101713A (ja) * 2005-09-30 2007-04-19 Casio Comput Co Ltd 表示装置

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH042498U (ja) * 1990-03-15 1992-01-10
JP2002244586A (ja) * 2001-02-06 2002-08-30 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 表示装置用アレイ基板、アレイ基板の製造方法、および該アレイ基板を用いた表示デバイス
WO2003061346A1 (fr) * 2002-01-15 2003-07-24 Seiko Epson Corporation Structure d'etancheite a film fin possedant une propriete de barriere pour un element electronique, dispositif d'affichage, equipement electronique et procede de fabrication d'un element electronique
JP2005352498A (ja) * 2002-01-16 2005-12-22 Seiko Epson Corp 表示装置、電子機器、および表示装置の製造方法
JP2004119210A (ja) * 2002-09-26 2004-04-15 Chi Mei Electronics Corp 画像表示装置、有機el素子および画像表示装置の製造方法
JP2004158321A (ja) * 2002-11-07 2004-06-03 Tohoku Pioneer Corp 有機el表示装置及びその製造方法
JP2005038633A (ja) * 2003-07-16 2005-02-10 Pioneer Electronic Corp 有機エレクトロルミネセンス表示パネル
JP2005072446A (ja) * 2003-08-27 2005-03-17 Chi Mei Electronics Corp プラズマ処理装置及び基板の表面処理装置
JP2005327708A (ja) * 2004-04-16 2005-11-24 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置およびその作製方法、および電子機器
JP2005330509A (ja) * 2004-05-18 2005-12-02 Seiko Epson Corp 薄膜形成装置、薄膜形成方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、及び電子機器
JP2007101713A (ja) * 2005-09-30 2007-04-19 Casio Comput Co Ltd 表示装置
JP2006338031A (ja) * 2006-06-09 2006-12-14 Hitachi Ltd 表示装置

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI560862B (en) * 2010-10-27 2016-12-01 Samsung Display Co Ltd Organic light emitting display device and method of manufacturing the same
KR20150065144A (ko) * 2013-12-04 2015-06-12 가부시키가이샤 재팬 디스프레이 유기 일렉트로 루미네센스 표시 장치
KR101701009B1 (ko) 2013-12-04 2017-01-31 가부시키가이샤 재팬 디스프레이 유기 일렉트로 루미네센스 표시 장치
JP2015159084A (ja) * 2014-02-25 2015-09-03 株式会社デンソー 有機el装置
JP2015135821A (ja) * 2015-03-02 2015-07-27 Necライティング株式会社 有機エレクトロルミネッセンス照明装置及びその製造方法
EP3506361A1 (en) * 2017-12-29 2019-07-03 LG Display Co., Ltd. Light emitting display device
CN110021711A (zh) * 2017-12-29 2019-07-16 乐金显示有限公司 发光显示装置
US10707438B2 (en) 2017-12-29 2020-07-07 Lg Display Co., Ltd. Light emitting display device
CN110021711B (zh) * 2017-12-29 2021-06-15 乐金显示有限公司 发光显示装置
CN111192910A (zh) * 2020-01-22 2020-05-22 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板及制作方法、显示面板
WO2021148005A1 (zh) * 2020-01-23 2021-07-29 京东方科技集团股份有限公司 显示面板和显示装置
WO2024000459A1 (zh) * 2022-06-30 2024-01-04 京东方科技集团股份有限公司 显示基板及其制备方法、显示装置

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