JP2007264354A - 画像表示装置およびその製造方法 - Google Patents

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親和 高杉
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Abstract

【課題】本発明の目的は、長期にわたり良好に使用することが可能な高性能の有機EL表示装置等の画像表示装置、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】素子基板3と、素子基板3上に形成された駆動回路6と、駆動回路6上を被覆する絶縁膜8と、絶縁膜8上に、絶縁膜8を一部露出するように形成された有機材料の平坦化膜9と、平坦化膜9上に形成された発光素子11と、平坦化膜9の端部から絶縁膜8の上面にかけて被着され、発光素子11と間隔を空けて配置され、発光素子11と電気的に絶縁された金属製の封止膜15と、を備えた画像表示装置を構成する。
【選択図】図2

Description

本発明は、画像表示装置およびその製造方法に関する。
近年、画像表示装置として有機EL(ElectroLuminescence)表示装置が注目されている。有機EL表示装置は、自発光表示装置であり、液晶表示装置と比較して視野角が広く、バックライトが不要なため薄型化が可能である。また、応答速度も速く、有機材料が有する性質の多様性から、次世代の表示装置として期待されている。
かかる有機EL表示装置は、例えば、素子基板上に、薄膜トランジスタ等の駆動回路と、該駆動回路を被覆するための絶縁膜と、駆動回路の表面形状によって生じた凹凸を平坦化するための平坦化膜と、該平坦化膜上にマトリックス状に配列された多数の有機発光素子と、を有するとともに、前記素子基板に対して対向配置される封止基板と、素子基板と封止基板とを接着し、前記有機発光素子の配列領域を囲うように配置されるシール材と、を備えた構成を有している。
なお、平坦化膜は、エポキシ樹脂等の有機樹脂により形成されることが一般的であるが、かかる有機材料は水分の浸入を防止する効果はそれほど高くないため、平坦化膜がシール材よりも外側まで延在されていると、大気中の水分が平坦化膜を介してシール材の内部に浸入し易くなる。そのため、図23、24に示すように、通常、平坦化膜の端部はシール材よりも内側に位置するように設けられており、かかる構成により、大気中の水分がシール材に囲まれた空間領域内に浸入することを防止するようにしている(下記特許文献1参照)。
特開2005−174914号公報
ところが、平坦化膜の端部をシール材よりも内側に位置させたとしても、上記空間領域内に若干の水分が存在している。一方、平坦化膜の端部をシール材よりも内側に位置させることにより、絶縁膜が平坦化膜より部分的に露出した形となっており、平坦化膜と絶縁膜との界面が上記空間領域内に露出している。かかる界面は水分が比較的浸入し易いため、上記界面への水分の浸入を良好に防止することが可能な有機EL表示装置が求められている。
本発明は、上述した課題に鑑みなされたものであって、長期にわたり良好に使用することが可能な高性能の有機EL表示装置等の画像表示装置、及びその製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、請求項1の発明では、素子基板と、前記素子基板上に形成された駆動回路と、前記駆動回路上を被覆する絶縁膜と、前記絶縁膜上に、該絶縁膜を一部露出するように形成された有機材料の平坦化膜と、前記平坦化膜上に形成された発光素子と、前記平坦化膜の端部から前記絶縁膜の上面にかけて被着され、前記発光素子と間隔を空けて配置され、前記発光素子と電気的に絶縁された金属製の封止膜と、を備えたことを特徴とする。
また、請求項2の発明では、請求項1の発明において、前記封止膜上に、該封止膜を被覆する第2絶縁膜を更に備えたことを特徴とする。
また、請求項3の発明では、請求項1又は請求項2に記載の発明において、前記発光素子は、前記素子基板上にマトリックス状に配列されており、前記平坦化膜は、その端部によって前記発光素子の配列領域を取り囲むように形成され、前記封止膜は、前記平坦化膜の端部に沿って配置されていることを特徴とする。
また、請求項4の発明では、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の発明において、前記平坦化膜より露出する前記絶縁膜の露出領域の少なくとも一部がライン状に形成されており、前記封止膜が前記ライン状に沿って配置されていることを特徴とする。
また、請求項5の発明では、請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の発明において、前記発光素子は、前記平坦化膜上に、形成された第1電極層と、前記第1電極層上に形成された有機発光層と、前記有機発光層上に形成された第2電極層と、を備えており、前記封止膜は、前記第1電極層と同質材料により形成されていることを特徴とする。
また、請求項6の発明では、請求項5に記載の発明において、前記発光素子の前記第1電極層と前記有機発光層との間で、且つ前記第1電極層上の一部に介在される第3絶縁膜を更に備え、前記第2絶縁膜は、前記第3絶縁膜と同質材料により形成されていることを特徴とする。
また、請求項7の発明では、請求項6に記載の発明において、前記第2絶縁膜及び前記第3絶縁膜は、連続的に繋がった連続膜として形成されていることを特徴とする。
また、請求項8の発明では、請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の発明において、前記平坦化膜の端部に位置する前記封止膜の前記素子基板上面に対する傾斜角は、前記平坦化膜端部の前記素子基板上面に対する傾斜角よりも小さく設定されていることを特徴とする。
また、請求項9の発明は、請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の発明において、前記封止膜の熱膨張係数は、前記絶縁膜の熱膨張係数と前記平坦化膜の熱膨張係数の中間の値であることを特徴とする。
また、請求項10の発明は、素子基板上に形成された絶縁膜、前記絶縁膜上であって、該絶縁膜の一部を露出するように形成された平坦化膜と、前記平坦化膜の端部から絶縁膜の露出領域にかけて形成された光を反射する金属製の封止膜とを有するディスプレイ基板を準備する工程と、前記平坦化膜の端部近傍に位置する前記絶縁膜の露出領域上に光硬化性接着剤を被着する工程と、前記ディスプレイ基板上に、前記接着剤を介して光透過性の封止基板を対向配置する工程と、前記封止基板側より前記封止膜に対して光を照射することにより、前記封止膜に照射された光を前記接着剤に反射させることで、前記接着剤に前記反射光を照射し、前記接着剤を硬化する工程と、を含むことを特徴とする。
また、請求項11の発明は、素子基板上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上であって、該絶縁膜の一部を露出するように形成された平坦化膜と、前記平坦化膜の端部から絶縁膜の露出領域にかけてライン状に形成された光沢性を有する金属から成る封止膜とを有するディスプレイ基板と、矩形状の封止基板を準備する工程と、前記封止基板を前記ディスプレイ基板に対向配置させる際に、前記ライン状の封止膜の位置に基づいて、前記封止基板の矩形状のいずれか一辺を前記ディスプレイ基板に位置決めすることを特徴とする。
本発明によれば、平坦化膜の端部であって、平坦化膜と絶縁膜の界面に封止膜を形成することで、前記界面への水分の浸入を良好に抑制することができる。その結果、水分による電極層の腐食や発光素子の劣化を良好に防止し、画像表示装置の寿命を向上させるとともに、消費電力の小さな画像表示装置を実現できる。また、封止膜を発光素子と間隔を空けて配置し、発光素子と電気的に絶縁することで、封止膜と発光素子とが電気的に接続されることが防止される。その結果、発光素子を通過する電流経路が従来よりも複雑化することがなく、消費電力が上昇することを抑制することができる。
本発明によれば、封止膜を第2絶縁膜で被覆することで、水分によって封止膜自体が酸化することを良好に抑制し、封止膜によって上記界面への水分の浸入を長期にわたり防止することができる。その結果、更なる画像表示装置の長寿命化、低消費電力化に供することができる。
本発明によれば、発光素子は、素子基板上にマトリックス状に設け、平坦化膜は、その端部によって発光素子の配列領域を取り囲むように形成され、封止膜は、平坦化膜の端部に沿って配置されることで、封止膜で囲まれた平坦化膜と絶縁膜の界面は、水分の浸入をより十分に阻害することができる。その結果、平坦化膜を介して駆動回路に水分が浸入することで、該駆動回路が誤作動することを防止することができる。
本発明によれば、封止膜を、発光素子の第1電極層と同質材料で形成することで、封止膜を第1電極層と同一工程で形成することができる。その結果、生産性の高い画像表示装置を実現できる。
本発明によれば、第2絶縁膜を、平坦化膜上に形成する第3絶縁膜と同質材料で形成することで、第2絶縁膜を第3絶縁膜と同一工程で形成することができる。その結果、生産性の高い有機EL表示装置を実現できる。
本発明によれば、光を反射する金属製の封止膜に照射された光を光硬化性接着剤に反射し、該接着剤に反射光を照射することで、光硬化性接着剤に照射する光の量を増やし、従来よりも短時間で、該接着剤を硬化することができる。その結果、画像表示装置の生産性を高めることができる。
本発明によれば、ディスプレイ基板上の光沢性を有する封止膜をライン状に形成することで、ディスプレイ基板に対して封止基板を対向配置させる際に、前記封止基板の一辺を、前記ライン状の封止膜に基づいて、前記ディスプレイ基板に対して位置決めすることができる。その結果、画像表示装置の生産性を向上できる。
以下に、本発明にかかる画像表示装置およびその製造方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は以下の記述に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下の図面においては、各図面間の縮尺および各部材間の縮尺は理解の容易のため実際とは異なる場合がある。
<画像表示装置>
図1〜図3は、本発明の実施の形態にかかる画像表示装置であり、たとえば携帯情報端末などの表示部に用いられる有機EL表示装置の概略構成を示す図である。図1は、本実施の形態にかかる有機EL表示装置の概略構成を示す平面図である。また、図2は、実施の形態にかかる有機EL表示装置の周辺部における概略構成を示す断面図である。また、図3は、実施の形態にかかる有機EL表示装置の中央部における概略構成を示す断面図である。
図1〜図3に示すように、本実施の形態にかかる有機EL表示装置は、複数の画素1から成る発光領域2を有する素子基板3と、素子基板1に対向して設けられた矩形の封止基板4と、素子基板3と封止基板4との間に配置され、発光領域2を取り囲むように形成されるシール材5と、を備えている。
素子基板3は、複数の薄膜層を形成するための土台として、プラスチックやガラス等から構成されている。なお、本実施の形態にかかる有機EL表示装置はトップエミッションの有機EL表示装置であるため、素子基板3は光透過性の基板でなくてもよい。
一方、封止基板4は、光透過性の基板から成り、たとえばプラスチックやガラスを用いることができる。
また、素子基板3と封止基板4との間には、発光領域2を取り囲み、素子基板3と封止基板4とを接合(接着)するためのシール材5が形成されている。これにより、発光領域2は、素子基板3と封止基板4とシール材5とにより外気から遮断される形で封止されている。シール材5としては、例えば、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、シリコン系樹脂等をそれぞれに用いることができる。好ましくは、紫外線の照射により硬化する光硬化性のエポキシ樹脂を主成分とする材料を採用する。
以下、素子基板3上に形成される各構成要素について主に説明する。
素子基板1上には、薄膜トランジスタやコンデンサ等からなる各種回路(図示せず)が配置された駆動回路6が形成されている。また、素子基板3の周囲4辺のうち一辺側には、封止基板4よりも外方に突出した箇所に画素1を点灯駆動するためのドライバICが実装され、フレキシブルプリント配線(FPC)等の外部接続部材を電気的に接続する接続回路7が形成されている。
駆動回路6と接続回路7上には、該回路を被覆する絶縁膜8が形成されている。絶縁膜8の材料としては、例えば、SiN、SiO、SiON等の無機材料を用いることができる。
そして、絶縁膜8上には、有機材料からなる平坦化膜9が、シール材5の形成領域よりも内側(発光領域2側)に端部が位置するように形成されている。平坦化膜9は、駆動回路6表面形状によって絶縁膜8に生じる凹凸を平坦化するためのものであり、粘性機能を有する有機材料により形成されている。具体的には、平坦化膜9の材料としては、例えば、アクリル樹脂、ノボラック樹脂、シリコン樹脂等の有機材料を用いることができる。なお、平坦化膜9の材料を、感光性のアクリル樹脂を使用すれば、露光マスクでパターニング可能であるため、作成工程を単純化することができる。なお、平坦化膜9に被覆されない絶縁膜8の露出領域10は、発光領域2の周囲を取り囲むように形成されている。
更に、平坦化膜9上には、多数の有機発光する発光素子11が形成されている。
発光素子11は、第1電極層12と、第1電極層12上に形成される有機発光層13と、有機発光層13上に形成される第2電極層14と、を備えている。本実施形態においては、第1電極層12が陽極であり、第2電極層14が陰極であるが、本実施形態のようにトップエミッション型の有機EL表示装置を採用する場合、第2電極14を介して光が透過するようにするため、第2電極層14は、透明電極または半透明電極を使用する。例えば、第2電極層14の導電材料として、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)等の光透過性材料により形成される。また、第2電極層14は、アルミニウム、銀、マグネシウムまたはカルシウム等を使用し、その膜厚を数十nm単位の小さな値に設定することにより光透過性となる材料により形成しても良い。一方、第1電極層12は、導電材料として、例えば、アルミニウム、銀、アルミニウム合金または銀合金等を用いることができる。有機発光層13は、発光層のみから成る単層型でもよいし、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層などの複数層で構成してもよい。
平坦化膜9の端部には、平坦化膜9の端部から絶縁膜8の上面にかけて被着される金属製の封止膜15が発光素子11と間隔を空けて形成されている。また、封止膜15は、素子基板3上の発光領域2の外周に沿って配置されている。
封止膜15は、第1電極層12と同質材料から構成されており、例えば、アルミニウム、銀、アルミニウム合金または銀合金等の導電材料を用いることができる。
ところで、上述した有機材料から成る平坦化膜9と無機材料から成る絶縁膜8の界面は、材料が異質同士の界面であって、材料が同質同士の界面と比較して密着性が弱い。その理由は次の通りである。
有機ELディスプレイを製造する際、数百度の温度が平坦化膜9や絶縁膜8に印加されることがある。この場合、有機材料から成る平坦化膜9の熱膨張係数は無機材料から成る絶縁膜8の熱膨張係数よりも大きいために、数百度から二十数度の常温に温度変化した際、平坦化膜9が収縮し、平坦化膜9の端部が絶縁膜8から剥離しやすい。
アルミニウム等から成る封止膜15は、有機材料から成る平坦化膜9と無機材料から成る絶縁膜8との間の熱膨張係数を有するため、封止膜15は、絶縁膜8と平坦化膜9との密着性が高い。従って、平坦化膜9の端部の界面Aを封止膜15で被覆することで、平坦化膜9が絶縁膜8から剥離しないように抑制すると共に、界面Aからの水分の浸入を防止することができる。なお、絶縁膜8と平坦化膜9との間の値の熱膨張係数を有する封止膜15は、例えば、アルミニウム、銀、アルミニウム合金、銀合金等を用いることができる。
また、封止膜15を発光素子11と間隔を空けて形成し、発光素子11と電気的に絶縁することで、封止膜15に第1電極層12又は第2電極層14からの電流が流入することで、余分な消費電力が発生するのを防止することができる。
封止膜15上には、例えば、SiN、SiO、SiON等の無機材料、またアクリル樹脂、ノボラック樹脂、シリコン樹脂等の有機材料等の絶縁材料から成る第2絶縁膜16が形成されている。かかる第2絶縁膜16は、封止膜15を被覆することによって封止膜15が水分によって酸化することを防止している。それ故、封止膜15の酸化による封止膜15の封止性の低下を抑制し、界面Aに水分が浸入することを良好に防止できる。
また、第1電極層12上には、第1電極層12と有機発光層13との間に介在される第3絶縁膜17が形成されており、かかる第3絶縁膜17によって第1電極層12と第2電極層14の製造ばらつきによる短絡を防止している。なお、第3絶縁膜17の材料としては、例えば、SiN、SiO、SiON等の無機材料、またアクリル樹脂、ノボラック樹脂、シリコン樹脂等の有機材料等を用いることができる。
この第3絶縁膜17を第2絶縁膜16と同質材料で構成することで、第2絶縁膜16を第3絶縁膜17とを同一工程で形成することができる。その結果、生産性の高い有機EL表示装置を実現できる。
また、第2絶縁膜16と第3絶縁膜17とは分離して形成されているが、両者を連続的に繋がった連続膜として形成しても良く、この場合、第2及び第3絶縁膜16、17を形成する際に用いられる露光マスクのパターンが複雑化することを良好に防止できる。
また、図5に示すように、平坦化膜9の端部に位置する封止膜15の素子基板3上面に対する傾斜角αは、平坦化膜9の素子基板3上面に対する傾斜角βよりも小さく設定することができる。傾斜角αを傾斜角βよりも小さくすることで、封止膜15上に第2絶縁膜16を良好に被着させ易くなり、第2絶縁膜16のカバレッジを向上させることができる。
一方、図6に示すように、発光領域2内の平坦化膜9には、コンタクトホール12aが形成され、更にコンタクトホール12aの内部には電極層12bが被着されている。かかるコンタクトホール12aの電極層12bを介して駆動回路6と第2電極層14とが電気的に接続されている。
また、コンタクトホール12aの内部及びコンタクトホール12aの周囲には、電極層12bを被着する第4絶縁膜28が、第3絶縁膜17と間隔を空けて配置されている。第4絶縁膜28は、コンタクトホール12aの内部に形成される電極層12bを保護することにより電極層12bの腐食や断線を防止するためのものである。
この第4絶縁膜28の端部28aは、端部28aからコンタクトホール12aの縁までの距離が、平坦化膜9の膜厚の2倍以上の長さになるように外側に向かって延長されている。従って、第4絶縁膜28のめくりが良好に防止され、その結果、電極層12bを長期にわたって保護することができる。
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内において種々の変更、改良が可能である。
<画像表示装置の製造方法>
つぎに上記のような本実施の形態にかかる有機EL表示装置の製造方法について図7〜図22を参照しながら説明する。
まず、図7に示すように、駆動回路6と、接続回路7と、これらの回路6、7を絶縁膜8と、該絶縁膜8の全体を被覆した有機樹脂層9aを上面に有する素子基板3を準備する上に形成する。
次に、図8に示すように、有機樹脂層9a上に配置された露光マスク18を用いて有機樹脂層9aを露光し、さらに現象、ベーキング処理を行って、有機樹脂層9aのパターニングを行い、図9に示すように絶縁膜8の一部を露出させて所定の形状の平坦化膜9を形成する。
なお、露光マスク18の端部18aには、露光マスク18の中央部18bよりも多くの光量が通過できるハーフトーンマスクを使用し、露光マスク18の端部18aを通過する光量を調整することができる。ハーフトーンマスクを使用することで、平坦化膜9の端部に所定の傾斜を有する側面を形成することができ、平坦化膜の端部の素子基板1に対する傾斜角度を調整することができる。
つぎに、図10に示すように、金属膜19を形成した後、図11に示すように、金属膜19上にレジスト20を塗布する。
そして、第2露光マスク21を用いて該レジスト20を露光し、さらに現象、ベーキング処理を行い、図12に示すように、平坦化膜9上の所定領域、並びに、平坦化膜9の端部から絶縁膜8上にかけた領域に、レジスト片20a及びレジスト片20bを残す。レジスト片20bは、平坦化膜9の外周を取り囲むように形成される。なお、接続回路7上にも電極22を形成するためにレジスト20cを残す。
そして、図13に示すように、このパターニングしたレジスト20をエッチングマスクとして用いて金属膜19のエッチングを行い、平坦化膜9上に第1電極層12と、平坦化膜9の端部側面から絶縁膜8にかけて封止膜15と、電極22とを形成するとともに、レジスト20を除去する(図14参照)。なお、封止膜15は、平坦化膜9の外周に沿って形成され、平面視した場合に矩形状に形成される。
つぎに、図15に示すように、絶縁材23を素子基板3の全面を覆うように形成する。そして、図16に示すように、第3露光マスク24を用いて絶縁材23を露光し、さらに現象、ベーキング処理を行って絶縁材23をパターニングし、図17に示すように、第2絶縁膜16と第3絶縁膜17を形成する。
つぎに、図18に示すように、たとえば周知の真空蒸着法を用いて、第1電極層12および第2絶縁膜16上に有機発光層13を、更に有機発光層13上に第2電極層14を形成し、発光素子11を得ることができる。
そして、図19に示すように、平坦化膜9より露出した絶縁膜8上に光硬化性接着剤27を塗布する。かかる接着剤27は平坦化膜9の外周を取り囲むように被着される。
つぎに、図20に示すように、ディスプレイ基板26(ディスプレイ基板とは、素子基板3及びその上面に被着された要素を含めたものをいう。以下、同じ)に対して封止基板4を対向配置させ、両者を光硬化性接着剤27を介して接着する。このとき、ディスプレイ基板26に対して封止基板4を対向配置させる際に、封止基板4の一辺を、封止膜15の位置を目印にして、封止膜15と封止基板4の一辺とが平行になるように位置合わせを行なうことにより、ディスプレイ基板26に対して封止基板4をより正確に位置決めすることができる。位置合わせマーカとして封止膜15を用いる場合、封止膜15は、光沢性を有する金属材料(例えば、アルミニウム、銀、アルミニウム合金、銀合金等)により形成される。また、封止膜15が平坦化膜9を取り囲むように矩形状に形成され、封止膜15の各辺が素子基板3の各辺と略平行に配置されていれば、封止基板4をディスプレイ基板26に対して更に位置合わせが容易となる。
そして、図21に示すように、封止基板4側から光硬化性接着剤27に向けて紫外線等の光を照射する。このとき、封止膜15は光を反射する金属材料(例えば、アルミニウムや銀、アルミニウム合金、銀合金等)により形成するとともに、光を封止膜15に照射することにより、封止膜15に照射した光の一部が硬化性接着剤27に反射され、接着剤27に照射される光量が増加して接着剤27を短時間で硬化させることができる。なお、光を封止膜15によって接着剤27に向かって良好に反射させるには、平坦化膜9端部に位置する封止膜15の素子基板3上面に対する傾斜角αを30°〜60°の範囲内に設定することが好ましい。この傾斜角αの範囲内にすることで、光硬化性接着剤27に向けて照射する光源(図示しない)の位置の自由度を高めることができる。
なお、図5に示すように、上記傾斜角αを、平坦化膜9端部の素子基板1上面に対する傾斜角βよりも小さく設定すれば、平坦化膜9の界面Aを封止膜15で被覆しやすくすることができる。また、封止膜15の傾斜面15aから界面Aまでの距離を長くすることで、界面Aに対する水分の浸入経路を延長し、界面Aに水分が浸入するのを抑制することができる。
封止基板4をシール材5によってディスプレイ基板26に固定する作業は、真空中または不活性ガス(たとえば窒素ガスやアルゴンガス)の雰囲気中で行う。その結果、封止基板4とディスプレイ基板26とシール材5によって囲まれた領域に含まれる酸素や水分の量を少なくし、発光素子11の劣化を良好に防止される。
そして、接続回路7を封止基板4より露出するために、図22に示すように、封止基板4の端部を切断する。
以上の工程を経ることによって、本実施の形態にかかる有機EL表示装置が製造される。
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内において種々の変更、改良が可能である。
例えば、上述の実施形態においては、本発明を封止基板やシール材を備えた有機EL表示装置に対して適用したが、これに代えて、封止基板やシール材を省略した有機EL表示装置に対して適用しても良い。また、本発明は、トップエミッション型の有機EL表示装置に限定されず、ボトムエミッション型の有機EL表示装置に対しても適用可能である。更に、本発明は、有機EL表示装置のみならず、液晶表示装置やプラズマディスプレイ装置等のような他の画像表示装置に対しても適用可能である。
本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の平面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における概略構成を示す断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の中央部における概略構成を示す断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における概略構成を示す断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における概略構成を示す断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の中央部における概略構成を示す断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における製造工程を説明する断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における製造工程を説明する断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における製造工程を説明する断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における製造工程を説明する断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における製造工程を説明する断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における製造工程を説明する断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における製造工程を説明する断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における製造工程を説明する断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における製造工程を説明する断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における製造工程を説明する断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における製造工程を説明する断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における製造工程を説明する断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における製造工程を説明する断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における製造工程を説明する断面図である。 本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の周辺部における製造工程を説明する断面図である。 本発明の実施の形態係る有機EL表示装置の周辺部における概略構成を示す断面図である。 背景技術に係る有機EL表示装置の周辺部における概略構成を示す断面図である。 背景技術に係る有機EL表示装置の周辺部における概略構成を示す断面図である。
符号の説明
1 画素
2 発光領域
3 素子基板
4 封止基板
5 シール材
6 駆動回路
7 接続回路
8 絶縁膜
9 平坦化膜
9a 有機樹脂層
10 露出領域
11 発光素子
12 第1電極層
12a コンタクトホール
12b 電極層
13 有機発光層
14 第2電極層
15 封止膜
16 第2絶縁膜
17 第3絶縁膜
18 露光マスク
18a 露光マスク端部
18b 露光マスク中央部
19 金属膜
20 レジスト
20a レジスト片
20b レジスト片
20c レジスト片
21 第2露光マスク
22 電極
23 絶縁材
24 第3露光マスク
25 連続膜
26 ディスプレイ基板
27 光硬化性接着剤
28 第4絶縁膜
28a 端部
A 界面
α 傾斜角
β 傾斜角

Claims (11)

  1. 素子基板と、
    前記素子基板上に形成された駆動回路と、
    前記駆動回路上を被覆する絶縁膜と、
    前記絶縁膜上に、該絶縁膜を一部露出するように形成された有機材料の平坦化膜と、
    前記平坦化膜上に形成された発光素子と、
    前記平坦化膜の端部から前記絶縁膜の上面にかけて被着され、前記発光素子と間隔を空けて配置され、前記発光素子と電気的に絶縁された金属製の封止膜と、
    を備えたことを特徴とする画像表示装置。
  2. 前記封止膜上に、該封止膜を被覆する第2絶縁膜を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。
  3. 前記発光素子は、前記素子基板上にマトリックス状に配列されており、
    前記平坦化膜は、その端部によって前記発光素子の配列領域を取り囲むように形成され、
    前記封止膜は、前記平坦化膜の端部に沿って配置されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の画像表示装置。
  4. 前記平坦化膜より露出する前記絶縁膜の露出領域の少なくとも一部がライン状に形成されており、前記封止膜が前記ライン状に沿って配置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の画像表示装置。
  5. 前記発光素子は、
    前記平坦化膜上に、形成された第1電極層と、
    前記第1電極層上に形成された有機発光層と、
    前記有機発光層上に形成された第2電極層と、
    を備えており、
    前記封止膜は、前記第1電極層と同質材料により形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の画像表示装置。
  6. 前記発光素子の前記第1電極層と前記有機発光層との間で、且つ前記第1電極層上の一部に介在される第3絶縁膜を更に備え、
    前記第2絶縁膜は、前記第3絶縁膜と同質材料により形成されていることを特徴とする請求項5に記載の画像表示装置。
  7. 前記第2絶縁膜及び前記第3絶縁膜は、連続的に繋がった連続膜として形成されていることを特徴とする請求項6に記載の画像表示装置。
  8. 前記平坦化膜の端部に位置する前記封止膜の前記素子基板上面に対する傾斜角は、前記平坦化膜端部の前記素子基板上面に対する傾斜角よりも小さく設定されていることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の画像表示装置。
  9. 前記封止膜の熱膨張係数は、前記絶縁膜の熱膨張係数と前記平坦化膜の熱膨張係数の中間の値であることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の画像表示装置。
  10. 素子基板上に形成された絶縁膜、前記絶縁膜上であって、該絶縁膜の一部を露出するように形成された平坦化膜と、前記平坦化膜の端部から絶縁膜の露出領域にかけて形成された光を反射する金属製の封止膜とを有するディスプレイ基板を準備する工程と、
    前記平坦化膜の端部近傍に位置する前記絶縁膜の露出領域上に光硬化性接着剤を被着する工程と、
    前記ディスプレイ基板上に、前記接着剤を介して光透過性の封止基板を対向配置する工程と、
    前記封止基板側より前記封止膜に対して光を照射することにより、前記封止膜に照射された光を前記接着剤に反射させることで、前記接着剤に前記反射光を照射し、前記接着剤を硬化する工程と、
    を含むことを特徴とする画像表示装置の製造方法。
  11. 素子基板上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上であって、該絶縁膜の一部を露出するように形成された平坦化膜と、前記平坦化膜の端部から絶縁膜の露出領域にかけてライン状に形成された光沢性を有する金属から成る封止膜とを有するディスプレイ基板と、矩形状の封止基板を準備する工程と、
    前記封止基板を前記ディスプレイ基板に対向配置させる際に、前記ライン状の封止膜の位置に基づいて、前記封止基板の矩形状のいずれか一辺を前記ディスプレイ基板に位置決めすることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
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