JP2009004649A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2009004649A5
JP2009004649A5 JP2007165465A JP2007165465A JP2009004649A5 JP 2009004649 A5 JP2009004649 A5 JP 2009004649A5 JP 2007165465 A JP2007165465 A JP 2007165465A JP 2007165465 A JP2007165465 A JP 2007165465A JP 2009004649 A5 JP2009004649 A5 JP 2009004649A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flux
alumina
paste
green sheet
ceramic substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007165465A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2009004649A (ja
JP5111954B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2007165465A priority Critical patent/JP5111954B2/ja
Priority claimed from JP2007165465A external-priority patent/JP5111954B2/ja
Priority to US12/142,014 priority patent/US20080315536A1/en
Publication of JP2009004649A publication Critical patent/JP2009004649A/ja
Publication of JP2009004649A5 publication Critical patent/JP2009004649A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5111954B2 publication Critical patent/JP5111954B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2007165465A 2007-06-22 2007-06-22 静電チャック及びその製造方法 Active JP5111954B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007165465A JP5111954B2 (ja) 2007-06-22 2007-06-22 静電チャック及びその製造方法
US12/142,014 US20080315536A1 (en) 2007-06-22 2008-06-19 Electrostatic chuck and method of manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007165465A JP5111954B2 (ja) 2007-06-22 2007-06-22 静電チャック及びその製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2009004649A JP2009004649A (ja) 2009-01-08
JP2009004649A5 true JP2009004649A5 (enExample) 2010-04-30
JP5111954B2 JP5111954B2 (ja) 2013-01-09

Family

ID=40135695

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007165465A Active JP5111954B2 (ja) 2007-06-22 2007-06-22 静電チャック及びその製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20080315536A1 (enExample)
JP (1) JP5111954B2 (enExample)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5284227B2 (ja) * 2009-09-07 2013-09-11 日本特殊陶業株式会社 静電チャック及び静電チャックの製造方法
JP5712336B2 (ja) * 2012-12-28 2015-05-07 Hoya株式会社 マスクブランク用基板、多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク、反射型マスク、マスクブランク用基板の製造方法及び多層反射膜付き基板の製造方法並びに半導体装置の製造方法
JP5767357B1 (ja) * 2014-03-26 2015-08-19 Hoya株式会社 マスクブランク用基板、マスクブランク及び転写用マスク、並びにそれらの製造方法
JP6583897B1 (ja) 2018-05-25 2019-10-02 ▲らん▼海精研股▲ふん▼有限公司 セラミック製静電チャックの製造方法
JP7010313B2 (ja) * 2020-01-31 2022-01-26 住友大阪セメント株式会社 セラミックス接合体、静電チャック装置、セラミックス接合体の製造方法
CN114695214A (zh) * 2020-12-31 2022-07-01 中国科学院微电子研究所 一种晶圆传送机械臂及其制造方法、晶圆的传送方法
JP7744516B2 (ja) * 2021-10-28 2025-09-25 インテグリス・インコーポレーテッド 誘電体層を含む上部セラミック層を含む静電チャック、ならびに関連する方法および構造
KR20240142283A (ko) * 2022-01-31 2024-09-30 스미토모 오사카 세멘토 가부시키가이샤 세라믹스 접합체, 정전 척 장치, 및 세라믹스 접합체의 제조 방법

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4039338A (en) * 1972-12-29 1977-08-02 International Business Machines Corporation Accelerated sintering for a green ceramic sheet
JP3604888B2 (ja) * 1997-01-30 2004-12-22 日本碍子株式会社 窒化アルミニウム質セラミックス基材の接合体、窒化アルミニウム質セラミックス基材の接合体の製造方法及び接合剤
JPH11168134A (ja) * 1997-12-03 1999-06-22 Shin Etsu Chem Co Ltd 静電吸着装置およびその製造方法
JP2002170870A (ja) * 2000-12-01 2002-06-14 Ibiden Co Ltd 半導体製造・検査装置用セラミック基板および静電チャック
JP3973872B2 (ja) * 2001-10-17 2007-09-12 住友大阪セメント株式会社 電極内蔵型サセプタ及びその製造方法
JP2003152064A (ja) * 2001-11-13 2003-05-23 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 電極内蔵型サセプタ及びその製造方法
TWI228786B (en) * 2002-04-16 2005-03-01 Anelva Corp Electrostatic chucking stage and substrate processing apparatus
JP4476701B2 (ja) * 2004-06-02 2010-06-09 日本碍子株式会社 電極内蔵焼結体の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009004649A5 (enExample)
JP6812477B2 (ja) 積層セラミックキャパシタ、積層セラミックキャパシタの製造方法、及び積層セラミックキャパシタの実装基板
JP6342245B2 (ja) 積層セラミック電子部品及びその製造方法
JP2007042743A (ja) 積層電子部品
KR101323124B1 (ko) 적층형 콘덴서
JP6571590B2 (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2017507484A5 (enExample)
JP2022072584A5 (enExample)
JP2009043718A5 (enExample)
JP2017216360A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2017212272A (ja) 積層セラミックコンデンサ
EP1806958A4 (en) CERAMIC MULTILAYER SUBSTRATE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
JP5111954B2 (ja) 静電チャック及びその製造方法
KR20180071039A (ko) 아크릴계 바인더 및 적층 전자부품
TW200705481A (en) Method of production of multilayer ceramic electronic device
JP5920537B2 (ja) 積層型熱電変換素子
JP2010103198A (ja) 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法
JP5414940B1 (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2009246296A (ja) 熱電モジュール
JP6261855B2 (ja) 積層セラミック電子部品及びその製造方法
JP6374237B2 (ja) 積層コンデンサ
JP2011129917A (ja) 積層セラミックキャパシタ
JP2018056600A (ja) 積層コンデンサ及びその製造方法
JP5666901B2 (ja) 圧電積層素子
JP2010527143A5 (enExample)