JP2008544011A - 側面の少なくとも1つにプラズマにより形成された薄膜コーティングを有するポリマー製品およびこのような製品の製造方法 - Google Patents

側面の少なくとも1つにプラズマにより形成された薄膜コーティングを有するポリマー製品およびこのような製品の製造方法 Download PDF

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Abstract

側面の少なくとも1つに薄膜コーティングを有するポリマー製品において、コーティングは、プラズマ重合テトラメチルシランであるSiOCHの第1のコーティングであって、ポリマー製品の表面に堆積され、第1のSiOCHコーティングについて、xの値は0から1.7の間、yの値は0.5から0.8の間、zの値は0.35から0.6の間である第1のコーティングと、プラズマ重合テトラメチルシランであるSiOCHの第2のコーティングであって、第1のコーティングの表面に堆積され、第2のSiOCHコーティングについて、xの値は1.7から1.99の間、yの値は0.2から0.7の間、zの値は0.2から0.35の間である第2のコーティングとを有し、前記第1のコーティングの厚さは約1ナノメートルから約15ナノメートルであり、かつ前記第2のコーティングの厚さは、約10ナノメートルから約100ナノメートル、好ましくはおよそ30ナノメートルであることを特徴とする製品。

Description

本発明は、側面の少なくとも1つにプラズマにより形成された薄膜コーティングを有するポリマー製品およびこのような製品の製造方法に関する。
本発明は、任意の形状であり、射出、押出成形、ブロー成形、圧縮成形、真空成形などによって得られる、上記方法で製造されたポリマー製品にも関する。
本発明は、より詳しくは、汚れにくい傾向、良好な耐薬品性などの優れた表面性質を有し、食器洗い機で洗浄でき、冷蔵庫中、または冷凍庫もしくは電子レンジ中のいずれにも置くことができることにより、食品容器として使用されるように構成された、好ましくはポリプロピレンまたはポリエチレンであるポリマーで成形した製品の製造方法に関する。
プラズマ処理は、ある体積のガス状化合物が、減圧雰囲気下で電気グロー放電により分解され、容器の壁に薄膜のコーティングを生じる化学プロセスである。以下の明細書においては、「薄膜」という用語は、数百ナノメートル未満の厚さの膜を意味する。
より正確には、プラズマ化学気相成長(以下PECVDと呼ぶ)は、化学気相成長反応器で使用されるものに比べてより低温で、種々の薄膜の堆積に使用される。
PECVDは、グロー放電を発生させるのに電気エネルギーを使用し、ここで、エネルギーがガス混合物に伝達される。この伝達は、ガス混合物を、反応性ラジカル、イオン、中性原子および分子ならびに他の励起種に変える。
PECVDは、エレクトロニクスにおいて、窒化シリコン、ダイヤモンドライクカーボンDLC、多結晶シリコン、非晶質シリコン、酸窒化シリコン、酸化シリコン、二酸化シリコンなどの多くの膜の堆積に広く使用されている。
具体例としては、米国特許第3,485,666号明細書は、シリコンのガス状水素化物および窒素のガス状水素化物を含む雰囲気において、基板の表面に近接してプラズマを発生させることにより基板の表面に堆積されたシリコン層の堆積方法を記載している。このようにして得られるのは、比較的軟らかく、かつ/または損傷しやすい材料の製品に、保護用の透明表面コーティングを提供することに用途を有する窒化シリコン層である。
公知のように、容器に使用されるプラスチックは、酸素および二酸化炭素などの低分子量ガスを透過し、さらに、プラスチックは、その内部に低分子量無機化合物を吸収する。結果として、芳香成分がプラスチックの内部に吸収されることがあり、酸素が容器の中身を徐々に酸化して、前記中身の風味、品質および純度を低下させうる。
これらの種類の容器の不透過性を改善する一方法においては、プラズマ化学気相成長により堆積された酸化シリコン膜が、その優れたガスバリヤ性能およびその透明性により、包装産業において著しい注目を集めた。
米国特許第3,442,686号明細書は、ガスおよび液体に対して極めて低い透過性を有する、可撓性のある透明な包装用フィルムを開示しており、このフィルムは、可撓性のある透明な有機ポリマーベースフィルム、前記ベースフィルムの一方の表面上の実質的にガスおよび液体不透過性の無機材料の接着性の中間コーティング、ならびに前記中間コーティング上の有機ポリマー材料のシール可能な接着性トップコーティングの組み合わせを有し、前記無機材料はシリコンの酸化物であり、前記ベースフィルムは、ポリエステルベースフィルムである。したがって、シリコンの酸化物の層は透明であるので、ポリマーフィルムの不透過性を改善するためにシリコンの酸化物SiOを使用することも知られている。
米国特許第5,691,007号明細書は、狭い間隔でマトリックス状に並んだ三次元製品に無機材料のコーティングを配置しうるPECVDプロセスを開示している。この無機材料は、xが約1.4から約2.5であるSiO、またはアルミニウム酸化物ベースの組成物などの金属酸化物であってよい。酸化シリコンベースの組成物は、実質的に稠密かつ蒸気不浸透性であり、望ましくは、揮発性の有機シリコン化合物および酸素または亜酸化窒素などの酸化剤から誘導される。好ましくは、酸化シリコンベース材料の厚さは、約50から400nmである。2.6立方センチメートル毎分(sccm)のHMDSO(ヘキサメチルジシロキサン)および70sccmの酸素の流れを発生させ、圧力はポンプスロットリング(pump throttling)により120mTorrに調節し、11.9MHz、120ワットRF励起を用いてPETチューブに、3分間、SiO堆積物を作製する。
米国特許第6,338,870号明細書は、PETラミネート製品へのSiO、ここで、xは1.5〜2.2の範囲内であり、yは0.15〜0.80の範囲内である、の堆積のための、HMDSOまたはテトラメチルジシロキサンTMDSOの使用を開示している。
米国特許第4,830,873号明細書は、薄い透明な層をプラスチック要素の表面に施す方法を開示しており、ここで、この方法は、有機組成物のモノマー蒸気をプラスチック要素の表面に施すステップと、放射線を用いた気相からの重合を利用して、電気ガス放電から保護層を形成するステップとを含む。実施例IVにおいては、純粋なヘキサメチルジシロキサン(HMDS)のグロー重合の間に、ポリマー膜がプラスチック表面に生成される。わずか数100ナノメートルの純粋なHMDSグローポリマー膜の形成後に、層の硬さを増すために、グロー放電に酸素(O)が添加される。酸素の添加は、重合プロセスの開始に対して遅れて実施される。純粋なHMDSのグロー重合の間に形成された第1の層と、HMDSおよび酸素のグロー重合の間に形成された第2の層とを有する2層コーティングが、このようにして得られる。第2層は、したがってSiOのようなコーティングである。
米国特許第5,718,967号明細書はまた、
a)表面を有するプラスチック基板、
b)酸素の実質的な不存在下で基板の表面に堆積された、好ましくはテトラメチルジシロキサンである第1のプラズマ重合有機シリコン化合物である接着促進層、
c)十分な化学量論過剰の酸素の存在下で接着促進層の表面に堆積されて、SiO1.8〜2.40.3〜1.00.7〜4.0からなるシリコンポリマーを形成した、好ましくはテトラメチルジシロキサンである第2のプラズマ重合有機シリコン化合物である保護コーティング層、
d)保護コーティング層の表面に堆積されたプラズマ重合テトラメチルジシロキサンの層であるSiO層、
を含む積層体を開示している。
米国特許出願公開第2003/0215652号明細書は、
ポリマー基板、
ポリマー基板上のSiO、ここで、xは1から2.4であり、yは0.2から2.4であり、zは0から4である、の第1の濃縮されたプラズマゾーン、ここで、プラズマは、酸化雰囲気中でオルガノシラン化合物から生成される、
ポリマー基板上のSiOからなるさらなる濃縮されたプラズマゾーン、ここで、プラズマは、SiO層を形成するのに十分な酸化雰囲気中でオルガノシランから生成される、
を含む、バリヤーコーティング
を有するポリマー基板を開示している。
プラズマにより形成されたバリヤーは、したがって、プラズマ層とポリマー表面の間の界面において、SiOからSiOまで変化する組成を有し、容器の新たな表面であるプラズマ堆積コーティングの連続体である。
この基板は、ポリマーボトル、特に炭酸飲料に使用される詰め替えできないボトルに使用され、コーティングの目的は、臭気物質、香料、成分、ガスおよび水蒸気の透過に対するバリヤーである。この先行技術文献の濃縮されたプラズマコーティングは、ポリプロピレンまたはポリエチレンなどのポリオレフィンを含む任意の適切な基板に適用することができることが主張されている。しかしながら、この先行技術文献の実施例1から7は、PET上のプラズマコーティングであり、実施例8a、8bおよび8cについて、使用されたポリマーに関して情報が与えられておらず、実施例9において150ミクロンHDPE膜が言及されており、実施例10においてPET膜が使用され、最後の実施例11から13でポリカーボネートが使用されている。
先行技術によれば、HMDSOのような反応ガスは、周囲温度で低蒸気圧の液体である。これらのガスの使用は、容器から反応チャンバーに向けて蒸気を移送するのにアルゴンのようなキャリアガスを必要とする。さらに、容器と反応チャンバーとの間でガスの凝縮を避けるためにガス管線を加熱することが必要である。
本発明者は、PECVD法を用いて、ある種のポリマー基板、特にポリプロピレンに、良好な接着性を有するSiOまたはSiO層を得ることは、依然として極めて困難であることに気づいた。
本発明者は、ポリマー基板へのPECVD堆積に関する特許文献の大部分は、PET(例えば、欧州特許出願公開第469926号明細書、仏国特許出願公開第2812568号明細書参照)に関し、先行技術のPECVD技術によって得られたポリプロピレン上の酸化シリコン薄膜(米国特許第5,378,510号明細書の実施例4または仏国特許出願公開第2814382号明細書、仏国特許出願公開第2670506号明細書、欧州特許出願公開第787828号明細書参照)は、汚れにくい傾向を有する洗浄できる容器を製造することはできないことにも気づいた。
より正確には、米国特許第4,830,873号明細書または米国特許第5,718,967号明細書におけるような先行技術の層によれば、耐洗浄性の、保護用の、透明な層は得られていない。
実際に、本出願人は、外側の、SiOのようなまたはSiOのコーティングは、食器洗い機で不満足な耐性を示し、特に高温において、食器洗い機での数回の洗浄後に良好な耐汚れ性を示さないことに気づいた。
さらに、米国特許第5,718,967号明細書によれば、接着促進層は、約100nmから約200nmの厚さを有し、保護コーティング層は、約0.1ミクロン以上かつ約2ミクロン以下の厚さを有する。
積層膜の透明性を改善し、汚れにくい傾向の耐洗浄層を得るためには、できるだけ少ない厚さの層を有することが好ましい。
実際に、特に食器洗い機での数回の洗浄後には、層は、厚ければ厚いほど、より可撓性がなくなり、より壊れやすくなる。
本発明の目的は、ポリマー製品用のコーティングおよび本発明のコーティングを有するポリマー製品の製造方法を提供することである。
本発明の別の目的は、汚れにくい傾向のコーティングを有するポリマー製品、すなわち、食品または液体と接触したときに、より正確には、コーヒー、ティー、ニンジン、およびトマトソースと接触したときに、汚れにくい傾向の製品を提供することである。
本発明の他の目的は、食器洗い機で洗い流されない、すなわち、耐洗浄性の、本発明のコーティングを有するポリマー製品を提供することである。
本発明の目的は、良好な耐蒸気性を有するコーティングを提供することである。
本発明の他の目的は、ポリマー基板に良好な接着性を有する、剥離しないコーティングを提供することである。
本発明の他の目的は、食器洗い機での数回の洗浄後に透明性を保つポリマー製品を提供することである。
本発明の他の目的は、臭気物、香料、成分、ガスおよび水蒸気の透過に対して適切なバリヤーを維持しつつ、肉厚の少ないコーティングを組み込んだポリマー製品を提供することである。
本発明の他の目的は、プラズマによって側面の少なくとも1つに形成された薄膜コーティングを有するポリマー製品の製造方法であり、この製品は、冷蔵庫中または冷凍庫中または電子レンジ中のいずれにも置くことができる。
本発明の目的は、安定しており酸素との接触で反応しない反応ガスを提供することである。
本発明の目的は、キャリアガスを添加せずに、貯蔵所から反応チャンバーまで移動させるのに十分な飽和蒸気圧である反応ガスを提供することである。
本発明の目的は、反応ガスの凝縮を避けるために、貯蔵所から反応チャンバーまでのその移動の間に加熱する必要のない反応ガスを提供することである。
本発明の目的は、自然発火しない反応ガスを提供することである。
本発明の目的は、コーティング中の酸素百分率のより良い制御を有するコーティングを提供することである。
本発明の目的は、側面の少なくとも1つに薄膜コーティングを有するポリマー製品において、前記コーティングは、プラズマ重合テトラメチルシランまたはプラズマ重合テトラメチルシランおよび好ましくは酸素もしくは二酸化炭素である酸化ガスのいずれかであるSiOからなる第1のコーティングであって、前記ポリマー製品の表面に堆積され、前記第1のSiOコーティングについて、xの値は0から1.7の間であり、yの値は0.5から0.8の間であり、zの値は0.35から0.6の間である第1のコーティングと、プラズマ重合テトラメチルシランおよび好ましくは酸素または二酸化炭素である酸化ガスであるSiOからなる第2のコーティングであって、前記第1のコーティングの表面に堆積され、前記第2のSiOコーティングについて、xの値は1.7から1.99の間であり、yの値は0.2から0.7の間であり、zの値は0.2から0.35の間である第2のコーティングとを有し、前記第1のコーティングの厚さは、約1ナノメートルから約15ナノメートルであり、かつ前記第2のコーティングの厚さは、約10ナノメートルから約100ナノメートル、好ましくはおよそ30ナノメートルであることを特徴とするポリマー製品である。
側面の少なくとも1つにプラズマにより形成された薄膜コーティングを有する、本発明によるポリマー製品の製造方法は、
− 前記ポリマー製品への、有利にはアルゴンプラズマ処理であるプラズマ処理、
− テトラメチルシラン、またはテトラメチルシランおよび好ましくは酸素もしくは二酸化炭素である酸化ガスのいずれかからのプラズマの発生によるSiOからなる第1のコーティングの堆積であって、前記第1のSiOコーティングについて、xの値は0から1.7の間であり、yの値は0.5から0.8の間であり、zの値は0.35から0.6の間である第1のコーティングの堆積、および
− 好ましくは酸素O2または二酸化炭素である酸化ガスの存在下でのテトラメチルシランからのプラズマの発生によるSiOからなる、次の第2のコーティングの堆積であって、前記第2のSiOコーティングについて、xの値は1.7から1.99の間であり、yの値は0.2から0.7の間であり、zの値は0.2から0.35の間であり、前記第1のコーティングの厚さは、約1ナノメートルから約15ナノメートルであり、前記第2のコーティングの厚さは、約10ナノメートルから約100ナノメートル、好ましくはおよそ30ナノメートルである第2のコーティングの堆積、
を連続的に有することを特徴とする。
本発明によれば、本明細書で上記に記載された特徴、すなわち、汚れにくい傾向、耐蒸気性、透明性、薄い肉厚を有するコーティングが得られる。
さらに、コーティング中の酸素百分率は、テトラメチルシランが、酸素元素を含まないので、容易に制御される。したがって、コーティング層中の酸素百分率は、酸化ガスの流れによってのみ制御される。
さらに、テトラメチルシランは、貯蔵所から反応チャンバーの間にキャリアガスを添加することなく使用できる。
一実施形態においては、ポリマー製品は、容器の形態に作られ、その内側がプラズマ処理およびコーティングされる。
有利には、ポリマー製品は、ポリプロピレンまたはポリエチレンで作製される。
好ましくは、コーティングは、磁気ガイドもしくはプラズマ発生電極のいずれか、または磁気ガイドおよびプラズマ発生電極の両方を用いて作製される。
一実施形態においては、13.56MHzの周波数を用いて電力がプラズマに投入される。
酸素とテトラメチルシランとの比は、前記第1のコーティングを得るために、およそ0から4の間であり、前記比は、前記第1のコーティング上の前記第2のコーティングを得るために、およそ4から10の間である。
本発明の一態様においては、酸素とテトラメチルシランとの比は、およそ1から4秒の第1ステップ中、およそ0から4のその第1の値に維持され、前記比は、およそ5から30秒の第2ステップ中、およそ4から10のその第2の値に維持される。
本発明の好ましい一実施形態を、添付図面を参照して説明する。
図1は、製品に層を形成するための装置を示す。
一実施形態においては、食品に使用されるタイプの三次元ポリプロピレン容器が、内部容積を画定した真空チャンバーに置かれ、内部容積は、プラズマ処理のための反応チャンバーを形成する。「プラズマ処理」という用語は、減圧下での電気グロー放電によるガス状化合物の化学分解を意味する。減圧され、電気グロー放電が生じるプラズマ処理により、容器の内壁を覆って層またはコーティングが得られる。
本発明のコーティングを作製するための装置1は、支持板2を有し、支持板2は、その上に設けられた絶縁手段6によって支持された高周波電極5を有する高周波ファラデーシールド3でオーバーコートされている。電極5は、それ自体公知の高周波発生器4に接続されている。
電極5は、成形された内壁7を有し、その上にコーティングされる製品8が置かれる。有利には、成形された内壁7は、製品8の形状と相補的な形状を有する。
コーティングされる製品8は、吸気口10からガスが吹き込まれる反応チャンバーである内部容積9を形成する。
ポンプ手段も、支持板2の開口11を通して内部容積内を減圧するために設けられている。
反応チャンバー9内の圧力が、およそ0.01mbarの数値まで徐々に減じられる。次いで、反応ガスが、ガス吸気口10を通して反応チャンバー9中に約0.1mbarの圧力まで導入される。
次いで、プラズマが容器8の内面にだけ発生するように容器の周りにその外面に近接して配置された電極5により、電気グロー放電を生じさせる。
最初に、アルゴンプラズマ処理を、三次元容器の内面に行う。好ましくは、アルゴンプラズマ処理は、1から20秒の間、より好ましくは5から10秒の間である。
アルゴンプラズマ処理は、表面へのプラズマ堆積物のより良い接着性を得るために、表面のエネルギーを増加させる。
次いで、第1のプラズマ堆積を、反応チャンバーを形成している容器の前記内部容積に所定の流速で導入されたテトラメチルシランSi−(CHおよび酸素Oを用いて、容器のプラズマ処理された内面に行う。好ましくは、周波数13.56MHzである高周波によって、プラズマに電力を投入する。酸素とテトラメチルシランとの比は、真空チャンバー中で0から3の間であり、処理時間は、1から4秒の間である。
テトラメチルシランは、周囲温度で約900mbarの飽和蒸気圧を有し、貯蔵所から反応チャンバー9まで搬送されるためのキャリアガスに添加される必要がない。
さらに、本発明のプロセスの間、より正確には、ガスの貯蔵所と反応チャンバーとの間の搬送の間、ガスの凝縮を避けるために、ガスを加熱する必要はない。
第1の堆積は、数ナノメートルの厚さの第1のSiO層(またはコーティング)であり、前記第1のSiOコーティングの厚さは、約0.1ナノメートルから約15ナノメートルである。
反応チャンバーを形成する容器の前記内部容積における酸素とテトラメチルシランとの比をおよそ2とする、すなわち、テトラメチルシランの流速を酸素の流速の2倍の大きさとすると、この第1のSiOコーティングの化学組成は、次の通りである。
Si:27.6%
O:43.6%
C:17.1%
H:11.7%
式SiO、xは1.58であり、yは0.62であり、zは0.42である。
第1および第2のコーティングの化学組成を測定するためには、X線電子分光法(ESCA)、赤外透過(FTIR)、および反跳粒子検出(ERD)分析法が使用されている。
次いで、第2のプラズマ堆積を、テトラメチルシランおよび酸素を再び用いて、容器のコーティングされた内面に行う。同じ周波数を用いて、RFにより電力を再び投入する。反応チャンバーを形成する容器の前記内部容積における、酸素とテトラメチルシランとの比を、4から10の間に、すなわち、前記内部容積中の酸素の流速を、前記内部容積中のテトラメチルシランの流速に比べて4から10倍の間で大きく、処理時間を、5から30秒の間であるように維持する。好ましくは、酸素とテトラメチルシランとの比は、4から7の間である。
要約すると、酸素とテトラメチルシランとの比は、前記第1のコーティングを得るためにはおよそ0から3の間であり、この比は、前記第1のコーティング上に前記第2のコーティングを得るためにはおよそ4から10の間である。
第2の堆積物は、数ナノメートルの厚さのSiO層(またはコーティング)である。より正確には、前記第2のSiOコーティングの厚さは、約10ナノメートルから約100ナノメートルまで、好ましくは15から50ナノメートルまで、より好ましくはおよそ30ナノメートルである。
反応チャンバーを形成する容器の前記内部容積における酸素とテトラメチルシランとの比をおよそ4.5とすると、この第2のSiOコーティングの化学組成は、次の通りである(ESCA、FTIRおよびERD分析)。
Si:28.5%
O:50.55%
C:12.55%
H:8.35%
式SiO、xは1.77であり、yは0.44であり、zは0.29である。
酸素とTMSとの比をおよそ8.5とすると、この第2のSiOコーティングの化学組成は、次の通りである(ESCA、FTIRおよびERD分析)。
Si:28.75%
O:54.95%
C:8.9%
H:7.4%
式SiO、xは1.91であり、yは0.31であり、zは0.257である。
第2のSiOコーティングの第2の堆積後、減圧した雰囲気を周囲雰囲気に増加させる。
本発明者は、驚くべきことに、得られた成形品は、その耐用期間の間、非常に汚れにくい傾向を有し、食器洗い機で洗浄でき、冷蔵庫、冷凍庫または電子レンジ中に置くこともできることを見出した。
125回の洗浄を、85℃で、Dr Weigert Cieにより供給されているNeodisher Alka 300と名付けられた洗剤およびNeodisher TSと名付けられたすすぎ液を用いて行った。
本発明のコーティングの耐汚れ特性を確認するために、ボウルを、様々な種類の刺激的な食用ソースおよび着色製品で満たし、次いで80℃のオーブン中に24時間入れた。
汚れる傾向を、食器洗いの前後で目視観測した。
上記の方法で処理された容器で、非常に良好な結果が得られた。すなわち、本発明のコーティングを有するボウルは、他のどのボウルと比較しても汚れていないことが目視観測された。
本出願人は、食器洗い後に、コーティングの表面が非常に親水性になることにも気づいた。
本出願人は、酸素とテトラメチルシランとの比が高すぎるとSiOのようなコーティングの形成を伴い、これは、特に高温での、食器洗い機での数回の洗浄後に、耐洗浄性ではないことにも気づいた。
本発明により、側面の少なくとも1つにプラズマにより形成された薄膜コーティングを有するポリマー製品の製造方法は、
− 前記ポリマー製品への、有利にはアルゴンプラズマ処理であるプラズマ処理、
− テトラメチルシラン、またはテトラメチルシランおよび好ましくは酸素もしくは二酸化炭素である酸化ガスのいずれかからのプラズマの発生によるSiOからなる第1のコーティングの堆積であって、前記第1のSiOコーティングについて、xの値は0から1.7の間であり、yの値は0.5から0.8の間であり、zの値は0.35から0.6の間である第1のコーティングの堆積、および
− 好ましくは酸素O2または二酸化炭素である酸化ガスの存在下でのテトラメチルシランからのプラズマの発生によるSiOからなる、次の第2のコーティングの堆積であって、前記第2のSiOコーティングについて、xの値は1.7から1.99の間であり、yの値は0.2から0.7の間であり、zの値は0.2から0.35の間であり、前記第1のコーティングの厚さは、約1ナノメートルから約15ナノメートルであり、前記第2のコーティングの厚さは、約10ナノメートルから約100ナノメートル、好ましくはおよそ30ナノメートルである第2のコーティングの堆積、
を連続的に有する。
好ましくは、ポリマー製品は、容器の形態に作られ、その内面は、プラズマ処理およびコーティングされる。
さらに、ポリマー製品が、内部容積を有する製品である場合、本発明の方法は、前記ポリマー製品へのプラズマ処理の前記ステップの前に、
− ポリマー製品を真空チャンバー中に置くステップ、
− 真空チャンバー中を減圧するステップ、
− ポリマー製品の内部容積を減圧するステップ、
− 容器の周囲にその外面に近接して配置された電極により電気グロー放電を適用するステップ、
を含む。
本出願人は、驚くべきことに、プラズマ重合テトラメチルシランまたはプラズマ重合テトラメチルシランおよび好ましくは酸素もしくは二酸化炭素である酸化ガスのいずれかであるSiOからなる第1のコーティングであって、ポリマー製品の表面に配置され、前記第1のSiOのコーティングについて、xの値は0から1.7の間であり、yの値は0.5から0.8の間であり、zの値は0.35から0.6の間である第1のコーティングが非常に好ましいこと、ならびに、プラズマ重合テトラメチルシランおよび好ましくは酸素または二酸化炭素である酸化ガスであるSiOからなる第2のコーティングであって、第1のコーティングの表面に配置され、前記第2のSiOのコーティングについて、xの値は1.7から1.99の間であり、yの値は0.2から0.7の間であり、zの値は0.2から0.35の間である第2のコーティングが非常に好ましいことを見出した。
ポリマー製品は、ポリプロピレンまたはポリエチレンまたはポリカーボネートまたはポリブチルテレフタレートのいずれかであってよい。
本発明のコーティングは、磁気ガイド、またはプラズマ発生電極のいずれか、あるいは磁気ガイドおよびプラズマ発生電極の両方を用いて行うことができる。
好ましくは、ポリマー製品は三次元成形品であり、この製品は真空チャンバー中に置かれ、内部容積および外部容積を画定し、この製品の内側部分は反応チャンバーとして内部容積を画定し、前記反応チャンバー内の圧力はおよそ0.01mbarである。
本出願人は、三次元ポリエチレン容器の内面に行われたアルゴンプラズマ処理、およびテトラメチルシランおよび酸素を用いて内面に行われた1回のコーティングのプラズマ堆積を有する方法は、その耐用期間中、非常に汚れにくい傾向を有し、食器洗い機で洗浄でき、冷蔵庫、冷凍庫または電子レンジ中に置くことができる容器の形成をもたらすことにも気づいた。
反応チャンバーを形成する容器の内部容積における酸素とテトラメチルシランとの比は、4から10の間に維持され、すなわち、前記内部容積中の酸素の流速は、前記内部容積中のテトラメチルシランの流速に比べて4から10倍の間だけ大きく、処理時間は、5から30秒の間である。好ましくは、酸素とテトラメチルシランとの比は、4から7の間である。
層は、数ナノメートルの厚さのSiO層(またはコーティング)である。より正確には、前記SiOコーティングの厚さは、約10ナノメートルから約100ナノメートル、好ましくは、15から50ナノメートル、より好ましくは、およそ30ナノメートルである。
いずれにしても、第1のSiOコーティングおよび第2のSiOコーティングを有する方法は、非常に優先的であり、改善された特徴(耐洗浄性、透明性など)を有するポリマー製品をもたらす。
製品に層を形成するための装置を示す図である。

Claims (8)

  1. 側面の少なくとも1つに薄膜コーティングを有するポリマー製品において、前記コーティングは、プラズマ重合テトラメチルシランまたはプラズマ重合テトラメチルシランおよび好ましくは酸素もしくは二酸化炭素である酸化ガスのいずれかであるSiOからなる第1のコーティングであって、前記ポリマー製品の表面に堆積され、前記第1のSiOコーティングについて、xの値は0から1.7の間であり、yの値は0.5から0.8の間であり、zの値は0.35から0.6の間である第1のコーティングと、プラズマ重合テトラメチルシランおよび好ましくは酸素または二酸化炭素である酸化ガスであるSiOからなる第2のコーティングであって、前記第1のコーティングの表面に堆積され、前記第2のSiOコーティングについて、xの値は1.7から1.99の間であり、yの値は0.2から0.7の間であり、zの値は0.2から0.35の間である第2のコーティングとを有し、前記第1のコーティングの厚さは、約1ナノメートルから約15ナノメートルであり、かつ前記第2のコーティングの厚さは、約10ナノメートルから約100ナノメートル、好ましくはおよそ30ナノメートルであることを特徴とするポリマー製品。
  2. 側面の少なくとも1つにプラズマにより形成された薄膜コーティングを有するポリマー製品の製造方法において、
    − 前記ポリマー製品への、有利にはアルゴンプラズマ処理であるプラズマ処理、
    − テトラメチルシラン、またはテトラメチルシランおよび好ましくは酸素もしくは二酸化炭素である酸化ガスのいずれかからのプラズマの発生によるSiOからなる第1のコーティングの堆積であって、前記第1のSiOコーティングについて、xの値は0から1.7の間であり、yの値は0.5から0.8の間であり、zの値は0.35から0.6の間である第1のコーティングの堆積、および
    − 好ましくは酸素O2または二酸化炭素である酸化ガスの存在下でのテトラメチルシランからのプラズマの発生によるSiOからなる、次の第2のコーティングの堆積であって、前記第2のSiOコーティングについて、xの値は1.7から1.99の間であり、yの値は0.2から0.7の間であり、zの値は0.2から0.35の間であり、前記第1のコーティングの厚さは、約1ナノメートルから約15ナノメートルであり、前記第2のコーティングの厚さは、約10ナノメートルから約100ナノメートル、好ましくはおよそ30ナノメートルである第2のコーティングの堆積、
    を連続的に有することを特徴とする方法。
  3. 前記ポリマー製品は、容器の形態に作られ、その内側がプラズマ処理およびコーティングされることを特徴とする、請求項2に記載の方法。
  4. 前記ポリマー製品はポリプロピレンまたはポリエチレンで作製されることを特徴とする、請求項2または3のいずれか1項に記載の方法。
  5. コーティングは、磁気ガイドもしくはプラズマ発生電極のいずれか、または磁気ガイドおよびプラズマ発生電極の両方を用いて作製されることを特徴とする、請求項2から4のいずれか1項に記載の方法。
  6. 13.56MHzの周波数を用いて電力がプラズマに投入されることを特徴とする、請求項5に記載の方法。
  7. 酸素とテトラメチルシランとの比は、前記第1のコーティングを得るために、およそ0から4の間であり、前記比は、前記第1のコーティング上に前記第2のコーティングを得るために、およそ4から10の間であることを特徴とする、請求項2から6のいずれか1項に記載の方法。
  8. 酸素とテトラメチルシランとの比は、およそ1から4秒の第1のステップ中、およそ0から4の第1の値に維持され、前記比は、およそ5から30秒の第2のステップ中、およそ4から10の第2の値に維持されることを特徴とする、請求項7に記載の方法。
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