JP2008537511A - 制御された切断端面(cutedge)で製品(product)を分離する方法および装置、並びにこれにより分離された製品 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- レーザー切断によって、共有の(shared)キャリア(carrier)から製品(product)、特に半導体回路を分離する方法であって、
切断面(cut)は、第1のレーザービームによって作られ、
切断端面の表面粗さは、第2のレーザービームによって減らされることを特徴とする製品を分離する方法。 - 上記切断面は、複数の処理工程で、上記第1のレーザービームによって作られることを特徴とする請求項1に記載の製品を分離する方法。
- 上記第1のレーザービームの中心線から上記切断端面までの距離(distance)は、上記第2のレーザービームから上記切断端面までの距離よりも大きいことを特徴とする請求項1または2に記載の製品を分離する方法。
- 上記第1のレーザービームは、上記第2のレーザービームよりも小さい振動数で振動することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の製品を分離する方法。
- 上記第2のレーザービームは、実質的には一定の(constant)信号強度を有していることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の製品を分離する方法。
- 上記製品に対する上記第1のレーザービームの相対的な移動速度(the relative speed of displacement)は、該製品に対する上記第2のレーザービームの相対的な移動速度よりも大きいことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の製品を分離する方法。
- 上記第2のレーザービームは、対向する切断端面を同時に滑らかにするために、複数の形状(form)を有していることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の製品を分離する方法。
- 上記第1のレーザービームおよび上記第2のレーザービームは、一体化した(combined)レーザービームになるように共に結合され(joined together)、
上記第2のレーザービームは、上記一体化したレーザービームの移動の方向に対して、上記第1のレーザービームの後方(behind)に置かれていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の製品を分離する方法。 - 上記第1のレーザービームは、製品の分離工程における接触面に対して、実質的に(substantially)垂直になっていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の製品を分離する方法。
- 上記第2のレーザービームは、上記切断端面を滑らかにするために、該切断端面に対して、実質的に平行になっていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の製品を分離する方法。
- レーザー切断によって、共有のキャリアから製品、特に半導体回路を分離する装置であって、
レーザー源と、該レーザー源に対応して移動し得る(displaceable relative to)製品のキャリア(product carrier)とを備え、
上記レーザー源は、上記製品を切断するための第1のレーザービーム、および、切断端面の表面粗さを減少させるための第2のレーザービームを発生させるのに適していることを特徴とする製品を分離する装置。 - 上記レーザー源は、上記第1のレーザービームおよび上記第2のレーザービームを連続的に発生させることを目的とした単一の形状を有していることを特徴とする請求項11に記載の製品を分離する装置。
- 上記レーザー源は、上記第1のレーザービームおよび上記第2のレーザービームを連続的に、または、望ましくは同時に発生させることを目的とした複数の形状を有していることを特徴とする請求項11に記載の製品を分離する装置。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載の製品を分離する方法に用いられたレーザービームにより分離されたことを特徴とする製品、特にキャリア上に載せられた(mounted)半導体。
- 上記製品の切断端面の少なくとも一部は、上記第2のレーザービームにより減少させた表面粗さを全長(length)の一部分以上に有していることを特徴とする請求項14に記載の製品。
- 上記製品は、異なった表面粗さを有する2つの対向した切断端面を備えていることを特徴とする請求項14または15に記載の製品。
- 上記製品は、メモリーカード、特にTransflashであることを特徴とする請求項14〜16のいずれか1項に記載の製品。
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