JP2008526009A - 回路を接地面に移動する方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
SOIタイプの材料は、一般に酸化シリコンからなる絶縁体層4と、その上の単結晶シリコンの表面層2とから成る構造である(図1)。これらの構造は、例えば表面が酸化されたシリコンウェーハ6を別のシリコンウェーハと分子付着によって組立てることによって得られる。
次いで、2枚のウェーハの少なくとも1方を薄層化し、絶縁体層4の上に薄い半導体層2を残す。
特定の用途では、金属接地面上に回路を得ることが有利である。
これを達成するために、層2内に形成されて、薄い埋込み層4(例えば酸化シリコンの層)の表面に位置するSOI回路は、前記回路及び埋込み層4によって構成されるアレイが導電層又は金属接地面上に位置するようなものとすることが必要である。このために、非常に薄い、例えば10nm〜50nmの埋込み酸化膜を有することが有利である。その結果、導電埋込み層と半導体層とに印加される電位の差により、界面近傍の半導体層内のキャリアの密度を制御することが可能である。
他方、SOI材料上に回路を形成した後で金属接地面を含むウェーハ上に回路を移動することができる。可能な選択肢の1つは、分子付着を使用した二重移動技術により、回路を含む層を、金属堆積物を有する層の上へ移動することである。
従って、課題は、SOIタイプの回路を備える構造、又は埋込み層上に回路の層を備え、この回路又はこの埋込み層の下に接地面を備える構造の形成を可能にすることである。
本発明は、第1に、半導体構造の形成方法に関し、本方法は、
a)表面層、表面層の下の埋込み層、及び第1の支持体として機能する下位層を備える基板の、前記表面層の中又は上に、構成部品又は回路の少なくとも全部又は一部を形成すること、
b)ハンドル基板上へこの基板を移動し、次いで第1の支持体を除去すること、
c)埋込み層の上に接地面を形成する層を形成すること、
d)前記接地面形成層の上に結合層を形成すること、及び
e)このようにして得られた構造を、第2の支持体上に移動し、ハンドル基板を除去すること
を含む。
この第1の場合において、結合層は、例えば、SiO2、Si3N4、SiON又はその他から選択される電気絶縁層とする。結合層は、例えばドープされたSi、又はドープされた多結晶Siからなる導電層とすることもできる。
a)表面層、表面層の下の埋込み層、及び第1の支持体として機能する下位層を備える基板の、前記表面層の中又は上に、構成部品又は回路の少なくとも全部又は一部を形成すること、
b)ハンドル基板上へこの基板を移動し、次いで第1の支持体を除去すること、
c)埋込み層の上に、導電層又は接地面と、結合層の双方を形成する高濃度にドープされた半導体材料の層を形成すること、及び
d)結果として得られた構造を第2の支持体上に移動し、ハンドル基板を除去すること
を含む半導体構造の形成方法に関する。
本発明によれば、表面層、例えばシリコン酸化膜からなる、厚い又は薄い、表面層の下の埋込み層、及び第1の支持体を備える基板の上に回路が形成される。
次いで基板を薄くし、埋込み層のレベルまで第1の支持体を除去する。
第1の場合、接地面を形成する層は、金属材料又は高濃度にドープされた半導体材料から形成される。その横方向の伸長は制限することができ、従って、埋込み層の一部のみを覆うことができる。第2の場合では、接地面を形成する層は結合層も形成する。
工程b)の後で、例えば機械的手段及び/又は化学的手段(ウエット又はドライ)により、基板の埋込み層の薄層化の工程を実施することができる。従って、埋込み層の厚さを所望の厚さにすることができる。
最初の基板は、SOI基板である。
構成部品又は回路は、電子部品、光電子部品又はMEMSタイプの部品とすることができる。
接地面形成層は、金属材料又は高濃度にドープされた半導体内から形成することができる。
いずれの場合も、中に回路が形成される表面層は、シリコン又はゲルマニウム等の半導体材料、III〜V半導体、II〜VI半導体、或いはSiGe等の混合半導体から形成することができる。
第1の埋込み層は、二酸化珪素などの絶縁物、又は熱シリカ、又は例えばSiO2/Si3N4タイプの多重層とすることができる。
図2は、基板30上に、結合層12、接地面を形成する層14、誘電層4及び最後に回路の層2を備えた本発明によるデバイス又は構成部品を表す。
層2−層4からなるこのアレイは「SOI回路」を形成する。
結合層12は、電気絶縁性とすることができ、SiO2等の酸化物とすることができる。結合層は、例えばSi3N4、SiON又はその他の中から選択することもできる。
結合界面は、結合層12と基板支持体30との間に位置している。この界面はまた、結合層が接地面と支持体30の両方の上に堆積される場合、結合層自体の中央に局在化することができる。
裏面(接地面14側)上にトポロジが存在する場合、結合の工程の前、又は導電層の堆積の前に、平坦化を実施することが有利である。
図1に示すように、SOIウェーハは当初、支持体6、埋込み層4及び表面層2を備える。表面層は例えばシリコンからなるが、ゲルマニウム、III〜IV半導体、II〜VI半導体、又は混合半導体、例えばSiGeから形成することもできる。
このアレイは次いで、例えば分子付着による結合により、回路を含む層2の側面に沿って、ハンドル基板20と組立てられる(図3B)。このような結合は、接着剤又は樹脂による結合と異なり、ある程度の高温で、熱的方法と両立できるという利点を有する。
次いで、埋込み層4の厚さを所望の厚さに合わせる。この工程により、誘電層4を介して導電層の効果を適切に制御することが可能になる。
次いで層4の上に、例えば気相化学成長によって、導電層14を形成する(図3D)。この層は、例えば、銅、アルミニウム、ドープされたシリコン、又はタングステンシリサイド(WSi2)から形成することができる。
この導電層14の上に、基板上への結合を簡単に行うことを可能にする材料、特に半導体タイプの別の層12を堆積又は形成することができる。この結合層12は、例えば酸化シリコンの層であるか、或いはアモルファスシリコン又は多結晶シリコンの層である。従って、結合層の性質に応じて、接地面と基板又は電気絶縁部との間に電気伝導がある。電気絶縁部の場合、導電層の接触は、この構造の前面又は裏面で行われる。導電結合層の場合、接触は裏面で行われる。
接地面上に結合層を配置することにより、導電層14の特性、特に前記層の厚さ及び/又は粗さの影響を避けることができる。
例えば、結合の良質な制御を確実に行うことによって、構造を容易に移動することができ、分子付着による結合により、殆ど又は全く欠陥の無い、高い結合エネルギーを確実に得ることができる。更に、後続のマイクロエレクトロニクスの工程を実施することが可能である。また、接着剤又は樹脂等の接着物質を用いた結合を行うことができる。
一例では、接地面14上に薄い酸化膜4を含むSOI回路を有する図2のような構造が得られる。
全体が、構造を新しい支持体30上へ確実に結合させることを可能にした層12の上に存在する。
層2−層4のアレイは「SOI型回路」を形成する。
4 誘電層
6 支持体
12 結合層
14 接地面形成層
18 回路
20 ハンドル基板
30 基板
34 半導体材料の層
Claims (20)
- 半導体構造の形成方法であって、
a)表面層(2)、前記表面層の下の埋込み層(4)、及び第1の支持体として機能する下位層(6)を備える基板の前記表面層(2)の中又は上に、回路又は構成部品の少なくとも一部分を形成すること、
b)ハンドル基板(20)上へこの基板を移動し、次いで前記第1の支持体(6)を除去すること、
c)前記埋込み層(4)の少なくとも一部分の上に、導電層又は接地面形成層(14)を形成すること、
d)この導電層又は接地面形成層(14)の上に結合層(12)を形成すること、及び
e)得られた構造を第2の支持体(30)の上に移動し、前記ハンドル基板(20)を除去すること
を含む方法。 - 前記結合層(12)が電気絶縁性である、請求項1に記載の方法。
- 前記結合層(12)が、酸化膜、例えばSiO2であるか、或いはSi3N4又はSiONである、請求項2に記載の方法。
- 前記結合層(12)が導電性であり、例えば、ドープされたSi又はドープされた多結晶Si等のドープされた半導体からなる、請求項1に記載の方法。
- 前記導電層又は接地面形成層(14)が、金属材料、又は高濃度にドープされた半導体材料からなる、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記導電層又は接地面形成層が局所的に形成されており、前記埋込み層全体を覆っていない、請求項1ないし5のいずれか1項に記載の方法。
- 半導体構造の形成方法であって、
a)表面層(2)、前記表面層の下の埋込み層(4)、及び第1の支持体として機能する下位層(6)を備える基板の前記表面層(2)の中又は上に、回路又は構成部品の少なくとも一部分を形成すること、
b)ハンドル基板(20)上にこの基板を移動し、次いで前記第1の支持体(6)を除去すること、
c)埋込み層(4)の少なくとも一部の上に、接地面と結合層とを形成する、高濃度にドープされた半導体材料からなる層(14)を形成すること、及び
d)得られた構造を第2の支持体(30)の上へ移動し、前記ハンドル基板(20)を除去すること
を含む方法。 - 前記移動する工程e)又はd)が、分子付着によって実施される、請求項1ないし7のいずれか1項に記載の方法。
- 前記工程b)の後で、前記基板の埋込み層(4)を薄層化する工程を更に含む、請求項1ないし8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記表面層(2)が、シリコン又はゲルマニウム等の半導体、III〜V半導体、II〜VI半導体、又はSiGe等の混合半導体から形成される、請求項1ないし9のいずれか1項に記載の方法。
- 前記基板がSOI基板である、請求項1ないし10のいずれか1項に記載の方法。
- 回路又は構成部品の全部又は一部を含む表面層(2)、誘電材料からなる第1の埋込み層(4)、第2の埋込み導電層又は接地面形成層(14)、第3の埋込み結合層(12)、及び基板(30)を備える半導体デバイス。
- 接地面を形成する前記層(14)が、金属材料又は高濃度にドープされた半導体材料からなる、請求項12に記載のデバイス。
- 前記結合層(12)が電気絶縁性である、請求項12又は13に記載のデバイス。
- 前記結合層が、酸化膜、例えばSiO2であるか、或いはSi3N4又はSiONである、請求項14に記載のデバイス。
- 前記結合層(12)が導電性であり、例えばドープされた半導体、ドープされたSi、又はドープされた多結晶Siから形成される、請求項12又は13に記載のデバイス。
- 前記導電層又は接地面形成層が局所的に形成されており、前記埋込み層全体を覆っていない、請求項12ないし16のいずれか1項に記載のデバイス。
- 回路を含む表面層(2)、誘電材料からなる第1の埋込み層(4)、接地面及び結合層を形成する高濃度にドープされた半導体材料からなる第2の埋込み層(14)、及び基板(30)を備える半導体デバイス。
- 中に前記回路が形成される前記表面層(2)が、シリコン又はゲルマニウム等の半導体材料、III〜V半導体、II〜VI半導体、又はSiGe等の混合半導体から形成される、請求項12ないし18のいずれか1項に記載のデバイス。
- 前記第1の埋込み層(4)が、二酸化珪素等の電気絶縁物である、請求項12ないし19のいずれか1項に記載のデバイス。
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