JP2008519449A5 - - Google Patents

Claims (21)

1. 集積されたアクティブなエレクトロニクスによって個々に制御される粒子ビームから複数の個々のビームを生成するマルチビームモジュレータであって、
   粒子ビームはマルチビームモジュレータを少なくとも部分的にその表面にわたって照明し、マルチビームモジュレータは複数の開口群を有し、それぞれの開口群は、全ての開口行の全体がｍ×ｎセルの行列を画定するように開口行群から形成され、多数の開口が、ｍセルからなるそれぞれの開口行に形成され、これらの開口は、開口行内でセルのサイズの倍数だけ間隔を置いて配置され、行内の開口の密度が不均質に分布するように分類されていることを特徴とするマルチビームモジュレータ。
2. 行内の開口が一様に間隔を置いて配置され、セル内で測定される開口間の距離は行のセルの数と行内の開口の数の比より小さいことを特徴とする請求項１に記載のマルチビームモジュレータ。
3. 行内の開口の数ｋが６４〜５１２であることを特徴とする請求項２に記載のマルチビームモジュレータ。
4. 行のセルの数ｍが４０９６であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のマルチビームモジュレータ。
5. ３〜７のセルが行内の開口の間に設けられることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のマルチビームモジュレータ。
6. セルは正方形の形を有し、ターゲット（６）上に書き込まれるべきピクセルに一致することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のマルチビームモジュレータ。
7. 複数の開口行が組み合わさり開口行サブグループを形成し、複数の開口行サブグループが開口行群を形成することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のマルチビームモジュレータ。
8. ６の開口行が組み合わさり開口行サブグループを形成することを特徴とする請求項７に記載のマルチビームモジュレータ。
9. 開口行群が不均質にずれていることを特徴とする請求項８に記載のマルチビームモジュレータ。
10. 複数の開口行群が組み合わさり開口群を形成し、開口プレートのチップ上に一様に配置されることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載のマルチビームモジュレータ。
11. 開口群が、開口による構造化が実行されていないウェブで分離されていることを特徴とする請求項１０に記載のマルチビームモジュレータ。
12. ウェブが平行であることを特徴とする請求項１１に記載のマルチビームモジュレータ。
13. 開口群が中心の回りに対称的に配置されることを特徴とする請求項１０に記載のマルチビームモジュレータ。
14. 制御可能な個々のビームを生成するためのアクティブなエレクトロニクスが、開口群を含んだ開口プレート上に構造化されることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一項に記載のマルチビームモジュレータ。
15. 少なくとも１つの電子回路がデータを開口プレート上に形成されたシフトレジスタに供給することを特徴とする請求項１４に記載のマルチビームモジュレータ。
16. シフトレジスタチェーンがそれぞれの開口行と結合し、当該シフトレジスタチェーンは、セルからセルへの入力データの、全ての開口行の第１開口の開口から最終開口の開口への同期したシフトを行うことを特徴とする請求項１５に記載のマルチビームモジュレータ。
17. ビット幅１〜ｂのグレースケール情報が、シフトレジスタによりマルチビームモジュレータのモジュレータ要素に供給され、ｂは６ビット〜８ビットであることを特徴とする請求項１６に記載のマルチビームモジュレータ。
18. グレースケール情報からオン・オフ信号を得るために、開口当たりの開口行のシフトレジスタに加えて組み合わせ論理がさらに設けられることを特徴とする請求項１７に記載のマルチビームモジュレータ。
19. グレースケール情報からオン・オフ信号を得るために、開口当たりの開口行のシフトレジスタに加えて順序論理回路がさらに設けられることを特徴とする請求項１７に記載のマルチビームモジュレータ。
20. 順序論理回路をプログラミングするためにグレースケール情報のシフトレジスタが使用され、適切な「Ｃｏｎｆｉｇ」信号ネットワークがさらに実施されることを特徴とする請求項１９に記載のマルチビームモジュレータ。
21. 集積されたアクティブなエレクトロニクスによって個々に制御される粒子ビームから複数の個々のビームを生成する、基板のマスクレス構造化のためのマルチビームモジュレータの使用方法であって、
    粒子ビームはマルチビームモジュレータを少なくとも部分的にその表面にわたって照明し、当該マルチビームモジュレータは、複数の開口群を有し、それぞれの開口群は、開口行の全体がｍ×ｎセルの行列を画定するように開口行群から形成され、多数の開口が、ｍセルからなるそれぞれの開口行に形成され、これらの開口は、開口行内でセルのサイズの倍数だけ間隔を置いて配置され、行内の開口の密度が不均質に分布するように分類されていることを特徴とするマルチビームモジュレータの使用方法。