JP2008512968A - 電圧雑音と電流雑音を減少させる増幅器回路とその方法 - Google Patents

Abstract

電流雑音を減少させる増幅回路は、信号源と増幅器の間に第１および第２可変インピーダンスデバイスを使用する。変調周波数発生器は、変調周波数で、第１および第２インピーダンス値が互いに位相をずらせて変わるように変調周波数を設定し、増幅器の入力の所で第１および第２インピーダンスの合計は比較的一定である。周波数ｆ_ｍｏｄで変調することにより信号を変調周波数の周りのサイドバンドにシフトさせる。したがって増幅器からの出力は、着目バンド幅の外側のすべての周波数を除去するために変調周波数上に中心がくる帯域フィルタに通される。本来の信号は、変調信号から得られた同期信号を用いて帯域フィルタの出力を復調することによって再生される。

Description

本出願は、２００４年９月１０日に仮出願した「Ｓｙｓｔｅｍ ｔｏ Ｒｅｄｕｃｅ Ｃｕｒｒｅｎｔ Ｎｏｉｓｅ ｉｎ Ｈｉｇｈ Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ Ｃｉｒｃｕｉｔｓ ａｎｄ Ｓｅｎｓｏｒｓ」という名称の米国特許仮出願第６０／６０８，３６６号の利益を主張する。

本発明は、一般に能動電子デバイスの技術、特に電圧雑音と電流雑音を共に生ずる電子増幅器に関する。さらに詳しくは、本発明は増幅器入力の所で電流雑音の影響を減少させ、一方最も実用的な場合に電圧雑音も減少させる増幅器回路に関する。

測定および増幅システムは、増幅システムに接続される外部素子のインピーダンスに作用する内部電流雑音の影響によって制限されることがある。この電流雑音は、増幅器入力の所で素子のインピーダンスと乗算されることによって実効的な電圧雑音を与える。増幅器が非常に高いインピーダンスアンテナ、純キャパシタなどに接続される配置では、システム入力参照電圧雑音がアンテナインピーダンスに作用する電流雑音の影響によって決まる、その周波数より低い周波数であることになる。基本的に能動電子デバイス、および特に電子増幅器は、電圧雑音と電流雑音の両方を生じるので、これらのデバイスをさらに感度のよい状態にするにはいくつかの種類の雑音を減少させたシステムにしておくことが望ましい。

電圧雑音の影響を減少させる提案された一方法は、入力電圧信号をチョッピングするという周知の方法を用いることになっている。そのようなチョッパ安定化は、１９５０年頃に開発され、現在、低ＤＣオフセット演算増幅器に使用されている標準技術である。図９を参照すると、チョッパ安定化アプローチを用いた全体回路図が図示されている。信号電圧源１０１５が増幅器１０３０に送られる信号Ｖ_ＩＮを生成する。増幅器１０３０からの出力信号１０３２はＡＣ利得増幅器１０３３につながる。ＡＣ利得増幅器１０３３からのＡＣ出力は、最終的に出力１０４７の所で出力信号Ｖ_ＯＵＴを生成する復調器１０４０に接続される。変調信号周波数発生器１０５０が、同期信号１０５５を復調器１０４０に送信するために設けられている。やはり、変調信号周波数発生器１０５０はスイッチ１０６２を制御し、一方接地が１０７２の所に設定される。結局、スイッチ１０６２が、変調信号周波数で電圧信号Ｖ_ＩＮを増幅器１０３０の非反転端子１０８２か、増幅器１０３０の反転端子１０８３に送信する。増幅器入力に与えられる信号の符号を反転するために、その回路は増幅器１０３０の所で電圧信号Ｖ_ＩＮを切り替える。ＤＣ入力電圧信号Ｖ_ＩＮが、増幅されたＡＣ信号Ｖ_ａｍｐに移しかえられ、次いで、それは、さらにＡＣ信号として増幅されることがある。復調器１０４０は、出力１０４７の所で信号を元のＤＣ信号Ｖ_ＯＵＴに同期して復調することを行う。

すべての増幅器にはＤＣオフセットまたはオフセットドリフトがある。この場合、ＤＣオフセットまたはオフセットドリフトはＶ_ｏｆｆとして参照される。増幅器出力１０３２の所で、Ｖ_ＩＮ＋Ｖ_ｏｆｆと−Ｖ_ＩＮ＋Ｖ_ｏｆｆの間をスイングする矩形波信号である電圧Ｖ_ａｍｐと共に、増幅器のオフセットドリフトによる任意の電圧は、基本的に雑音の一形態であるが、２Ｖ_ＩＮによって与えられる矩形波のピーク・トゥ・ピーク振幅に影響しない。入力信号がＤＣ信号でなく、なお相対的に低い周波数ｆ_ｓで交番する場合、チョッピングが、ｆ_ｍｏｄ±ｆ_ｓに生じる、チョッピング周波数ｆ_ｍｏｄの周りのサイドバンドを生成する。一般に、ほとんどすべての増幅器の電圧雑音は入力信号の周波数の増加に伴って減少するので、信号を高い周波数に変換することは有効である。

電圧源１０１５を有する増幅器１０３０に対するチョッパ安定化を図示している、もう１つの簡単な回路が図１０に図示されている。電圧源１０１５は、キャパシタ１０２０を介して１０３２の所で出力をもたらす増幅器１０３０に接続される。スイッチ１０６３は、キャパシタ１０２０と増幅器１０３０の非反転端子１０８２の間に設けられる。反転端子１０８３は接地１０７２に送られる。増幅器１０３０の容量Ｃ_ａｍｐが、接地１０７２するようになっていることも図示されている。最終的に電圧雑音源１０８０および電流雑音源１０８５が、図示されている。

チョッパ安定化技術は、十分確立されており、増幅器の電圧雑音を減少させるのに効果的であるが、増幅器の入力雑音が増幅器の電流雑音によって支配される状態では効果的でない。図１０に図示された回路は、電流雑音Ｉ_Ｎがデバイスの全体感度の中で限定要因であるように思われる状態を示している。入力信号Ｖ_ＩＮは、インピーダンスが容量Ｃｓによって代表されるアンテナあるいは電圧源１０１５によって検出される。容量Ｃｓを有するキャパシタ１０２０が、入力容量Ｃ_ａｍｐで、利得が１の増幅器１０３０に接続されている。当然利得は１以外の他のある値であることがある。ともかくキャパシタ１０２０がスイッチ１０６３を介して接続されるので、やはり入力電流雑音Ｉ_Ｎと電圧雑音Ｖ_Ｎがある。チョッパ安定化は、単に一定周波数ｆ_ｍｏｄで開き、閉じるスイッチ１０６３によって、信号Ｖ_ＩＮに対し増幅器１０３０をそれぞれ感度のよい状態、感度のわるい状態にすることで達成可能である。信号電圧から増幅器への回路伝達関数が、感度のよい状態でＸ_ｓｉｇと定義される場合、増幅器１０３０の出力１０３２の所で電圧は

で与えられ、感度のわるい状態では

によって与えられる。
このことを考慮して、増幅器１０３０の非反転端子１０８２の所で周波数ｆ_ｍｏｄで、信号振幅が、０と１の間になる矩形波によって乗算される。電流は、周波数ｆ_ｍｏｄで

および

の間になる矩形波によって乗算され、電圧雑音は一定である。電流雑音を表わす項が周波数ｆ_ｍｏｄに変調されているという事実は、それが信号と同調して変換されていることを意味しており、したがって、除去されることも、減少させることもないことになる。

電子増幅器では、電圧雑音を減少させる、上で説明した提案された解決策にもかかわらず、これらの方法のどれも電流雑音を減少させることには成功しなかった。伝統的方法であるチョッパ安定化も、あるいは従来技術の容量変調も電流雑音を効果的に減少させるとは言われていない。したがって電圧雑音および電流雑音を共に減少させる増幅器回路を提供する技術にニーズがある。

本発明は、増幅器電流雑音の影響を減少させる回路を対象とする。この回路は、最も実用的な場合には実効的電圧雑音も減少させる。回路は、異なる周波数で信号を生成し結合したインピーダンスを有する信号源を含む。第１および第２可変インピーダンスデバイスが、第１信号源と増幅器の間に設けられる。変調周波数発生器は、変調周波数で、第１および第２インピーダンス値が互いに位相をずらせて変わるように変調周波数を設定し、たとえ第１および第２インピーダンス値は変えられても増幅器の入力の所で第１および第２インピーダンスの合計は、ほぼ一定である。その結果、周波数ｆ_ｍｏｄで変調することにより信号を変調周波数の周りのサイドバンドにシフトさせる。変調周波数は、好ましくは、増幅器電圧雑音の結果に対し電流雑音の寄与が低くなる領域内にサイドバンドがあるように選択される。したがって増幅器からの出力は、着目バンド幅の外側のすべての周波数を除去するために変調周波数上に中心がくる帯域フィルタに通される。本来の信号は、変調信号から得られた同期信号を用いて帯域フィルタの出力を復調することによって再生される。最終的に、復調された電圧は低域フィルタに通されセンサ出力を生成する。

第１および第２可変インピーダンスデバイスは、トランジスタ、リレー、またはダイオードなど多くの形態をとり得るが、好ましくは、その容量の数量が矩形波パターンあるいは正弦波パターンに増加したり減少したりする可変キャパシタによって構成される。このシステムでは、たとえ可変キャパシタが１０％まで異なる最大値を持つとしても、実効の電流雑音および電圧雑音を、なお実質的に減少させることができることに留意されたい。

様々な図の中で同様の参照番号が対応する部品を参照する図面と併せて為される、好ましい実施形態の以下の詳細な説明から本発明の追加的な目的、特徴および利点が、直ぐに一層明らかになるであろう。

図１を最初に参照すると、本発明に従って構成された雑音を減少させる増幅器回路１０が図示されている。信号源１５は、容量性素子２０によってシステムの残りの部分に接続される出力信号Ｖ_ＩＮを生成し、好ましくは、容量性素子は、出力信号のポテンシャルに導電接触せずに電位を測定する容量性センサまたは電極、あるいはアンテナによって構成される。容量性素子２０は変調段２５に接続され、高入力インピーダンス、低雑音、低入力容量増幅器３０によってバッファリングされる。増幅器３０の出力３２は帯域フィルタ３５に接続される。次いで信号は復調器４０を通過し、低域フィルタ４５さらに最後に出力４７にいたる。変調信号周波数発生器５０は、変調信号を変調段２５と位相シフト機構５５の両方に送信することを行う。入力信号Ｖ_ＩＮは周波数ｆ_ｍｏｄで変調され、それは変調周波数ｆ_ｍｏｄの周りのサイドバンド中に信号をシフトさせる。変調周波数は、そのサイドバンドが、増幅器３０の電圧雑音が低くなる領域内にあるように選択される。次いで増幅器３０の出力Ｖ_ａｍｐは、着目バンド幅の外側のすべての周波数を除去するために変調周波数上に中心がくる帯域フィルタ３５に通される。信号は、変調信号から得られた同期信号を用いて帯域フィルタ３５の出力を復調することによって再生される。図面に図示されたように、変調周波数信号発生器５０は、復調器４０を制御するために位相シフト機構５５を通過し信号の再生を可能にする。最終的に復調された電圧信号は、低域フィルタ４５によってフィルタリングされ、センサ出力Ｖ_{ＬＰｏｕｔ}を４７の所に生成する。

次に図２を見ると、図１の変調段２５の詳細が描かれている。この場合、入力信号Ｖ_ＩＮは容量性素子２０、Ｃ_ｓとして図示された容量性アンテナ１５によって検出される。純容量で図示されているが、本発明を好ましくは高インピーダンスを有するアンテナに適用する但し書きに関係して、アンテナは抵抗性結合を有することもあり得る。容量性素子２０は、第１可変インピーダンスデバイスまたはスイッチ６０を介して増幅器３０に接続される。第２可変インピーダンスデバイスまたはスイッチ６５は、スイッチ６０と増幅器３０の間の線路をキャパシタ７０に接続し、接地７２させることを行う。スイッチ６０および６５は、トランジスタ、リレーまたはダイオードでよい。キャパシタ７０はバランス容量を表わす容量値Ｃ_ｂａｌを有する。図１の変調周波数信号発生器によって生成される変調周波数に従って、スイッチ６５はスイッチ６０と位相をずらせて動作させる。

図２にやはり図示されたように、増幅器３０は、やはり接地７２に接続されるキャパシタ７５によって設定される結合容量Ｃ_ａｍｐを有する。さらに増幅器３０は、電圧雑音源８０によって代表される入力電圧雑音Ｖ_Ｎと電流雑音源８５によって代表される入力電流雑音Ｉ_Ｎを有する。

バランス容量Ｃ_ｂａｌが、前述したように切り替えられる場合、増幅器電圧は

および

の間をスイングする。この場合には、電流雑音に印加された矩形波は、感度のよい状態の

と感度のわるい状態の

の間になる。したがって周波数ｆ_ｎの雑音による増幅器出力３２の成分は、Ｉ_Ｎ＝Ｉ_Ｎ０・ｓｉｎ（２πｆ_ｎｔ）に対して

で与えられる。
この表現では、信号は、第２項またはそれ以降の項によって説明される。低周波ミキシングの量は増幅器の入力の所でのインピーダンスの変化に比例している。Ｃ_ｓとＣ_ｂａｌの値を一致させることによって低周波電流雑音のミキシングをかなりの程度取り除けるようになる。

電子回路におけるチョッパ安定化は、通常トランジスタなどの半導体スイッチを使用して実装される。しかし、これらのスイッチは、インモードとオフモードのリークおよびスイッチ切り替え時の注入電荷のために感度が厳しい本発明の応用例として余り適していない。リークと注入電荷は、システムの全体的な雑音を受入れがたい程度まで増加させることがある。抵抗性または接点スイッチが、好ましくは微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）を用いて達成される。そのようなスイッチは現時点で１０^７サイクル程度の寿命を示している。寿命としては、通常、信号の適切な変換を必要とされるスイッチング周波数の所で不適切であると見なされることがある。

本発明の好ましい実施形態では、入力容量変調が使用される。基本的には図２のスイッチ６０と６５が、図３に図示された可変キャパシタ１６０と１６５に置き換えられる。この場合には、増幅器３０は、変調キャパシタ１６０によって二者択一的にＶ_ＩＮに対し感度のよい状態にするか、感度のわるい状態にする。スイッチの場合のように、キャパシタ１６５は、容量値Ｃ２を有し、容量値Ｃ１を有するキャパシタ１６０と１８０°位相をずらして変調される。増幅器の入力インピーダンスをＶ_ＩＮ一定とするために、キャパシタ１６０および１６５は、低雑音増幅器付用途として設計され、好ましくはＭＥＭＳ技術を用いて製造される。

Ｃｓ＝Ｃ_ｂａｌ＝Ｃ_０とおき、次いで、Ｃ_１＝Ｃ_ｍａｘであり、Ｃ_２＝Ｃ_ｍｉｎである場合、これは信号に対し感度のよい増幅器に相当するが、このＸ_ｓｉｇは

になる。ここで、Ｃ_ｔｏｔ＝Ｃ_０Ｃ_ｍａｘ／（Ｃ_０＋Ｃ_ｍａｘ）＋Ｃ_０Ｃ_ｍｉｎ／（Ｃ_０＋Ｃ_ｍｉｎ）＋Ｃ_ａｍｐは入力回路の全容量である。増幅器が入力信号に対し感度のわるい場合、Ｃ_１＝Ｃ_ｍｉｎであり、Ｃ_２＝Ｃ_ｍａｘ、したがって、Ｖ_{ａｍｐ，ｉｎｓｅｎｓ}は

になる。入力回路の全容量は不変に残され、したがって、キャパシタ１６０および１６５が変調されながら、入力回路を通して流れる電流雑音によって生じる電圧は、やはり不変のままである。

次に図４を見ると、増幅器３０のＤＣバイアス電流に対し接地への経路を与える抵抗Ｒ_ＩＮを追加した図３の概略回路図が図示されている。増幅器３０は、やはりキャパシタ７５に入力容量Ｃ_ａｍｐおよび入力抵抗Ｒ_ａｍｐを有する。参照により本発明に組み込まれる米国特許第６，６８６，８００号に教示されるバイアス電流安定化方式によって、抵抗Ｒ_ＩＮが置き換えられてよいことを理解されるであろう。２つの異なるセンサを用いて測定を行い、かつ、それらの出力の差をとることが望ましい実用的な多くの場合があることを理解されたい。このために、図４に図示された回路は、第１容量性素子２０に注意深く一致させた第２キャパシタセンサ素子（図示されてない）とバランスキャパシタ７０を置き換えることによって別個のセンサ上で電位を測定するのに使用されてよい。

図５Ａと５Ｂは、２種類の変調に対するプロットが描かれている。図５Ａは容量値Ｃ１およびＣ２の矩形波変調を表し、図５Ｂは容量Ｃ１およびＣ２の正弦波変調を表す。以下のパラメータ、Ｃｓ＝１ｐＦ、Ｃ_ｂａｌ＝１ｐＦ、０．１から２ｐＦの間のＣ_１変調、０．１から２ｐＦの間のＣ_２変調、および変調周波数ｆ_ｍｏｄ＝１０２４Ｈｚに関し、それぞれのプロットが、Ｃ_ｔｏｔ、

および

に対する曲線を与える。矩形波変調の場合では、Ｃ_ｔｏｔは不変のままである。しかし正弦波の場合では、Ｃ_ｔｏｔは２×ｆ_ｍｏｄに変調され、それは電流雑音を変調周波数の２倍に変換させる。この追加的雑音は復調前にフィルタリングによって対処される。Ｃ_{ｓｏｕｒｃｅ}およびＣ_{ｂａｌｌａｓｔ}の両方に関し非線形の動きも留意され、これはＣ_{ｓｏｕｒｃｅ}およびＣ_{ｂａｌｌａｓｔ}の両方に関して分母中に正弦成分があるためである。しかしこれらの非線形は、設定された回路パラメータを介して補正される。

図６および７は、本発明に従って構成された非常に高いインピーダンスの電圧測定回路中で信号変調ありと信号変調なしで全実効入力雑音を比較している。特に図６は、完全矩形波変調に対し入力参照雑音中に減少が見られ、一方図７は同様の場合を、純正弦波変調に対して図示している。図８は、変調周波数が１２０Ｈｚであり、可変キャパシタＣ１およびＣ２が、製造内変動により１０％まで最大値で異なる場合を示している。本発明の方法は、内部パラメータの不完全さに対し比較的ロバストであることが分かる。

以上のことから、第１および第２可変インピーダンスデバイスに結合されたインピーダンス値の合計が増幅器の入力の所でほぼ一定にしたまま第１および第２可変インピーダンスデバイスが、互いに設定された変調周波数で位相がずれた状態に維持されていることが容易に理解されるであろう。変調は、増幅器の出力が変調周波数上に中心がくる帯域フィルタに通される場合、基本的に着目バンド幅の外側のすべての周波数が除去されるように着目信号を変調周波数の周りのサイドバンドにシフトさせる。帯域フィルタの出力の復調は、変調信号に基づき得られた同期信号を用いて再生が為される。このようにして、本発明の増幅器回路は、効果的に第１段増幅器の電流雑音を減少させる。バランス素子を包含することで、微調整され効果的に電流雑音を減少させることができる。増幅器の電圧雑音がやはり周波数と共に変化する実用的な場合では、説明されたような変調が用いられ低い電圧雑音の領域に信号を変換することができ、したがって増幅器の電圧雑音を効果的に減少させることができる。

本発明の好ましい実施形態を参照して説明したが、その趣旨を逸脱せずに様々な変更および／または修正が本発明に対して為され得ることを容易に理解されるであろう。例えば、第１および第２可変インピーダンスデバイスは、様々な抵抗器によって構成されてよい。全般的に本発明は特許請求の範囲によってのみ限定されると意図されている。

本発明の好ましい実施形態による電圧雑音および電流雑音を減少させる増幅器回路の概略図である。 電圧雑音源および電流雑音源ならびにシステムにおける雑音を減少させるために用いられる１対のスイッチＳ１およびＳ２を図示している概略回路図である。 スイッチＳ１およびＳ２が、可変キャパシタに置き換えられた概略回路図である。 入力抵抗および増幅器抵抗が図示された図３と類似の概略回路図である。 本発明に従って矩形波変調を用いて時間の関数として容量がどのように変化するのか図示しているグラフである。 正弦波変調に対する容量対時間のグラフである。 矩形波変調に対する雑音スペクトル密度を図示しているグラフである。 正弦波変調に対する雑音スペクトル密度を図示しているグラフである。 １０％まで最大値と異なる可変キャパシタが使用された場合に矩形波変調に対する雑音スペクトルを図示しているグラフである。 簡略化された従来技術のチョッパ安定化方式の回路図である。 容量性入力付き増幅器に対してチョッパ安定化を説明するために用いた簡単な従来技術回路の概略回路図である。

Claims (20)

1. 異なる周波数での信号生成に対し結合したインピーダンスを有する信号源と、
   前記信号源に接続された第１インピーダンス値を有する第１可変インピ−ダンスデバイスと、
   前記第１可変インピーダンスデバイスと接地の間に接続された第２インピ−ダンス値を有する第２可変インピ−ダンスデバイスと、
   前記第１および第２可変インピーダンスデバイスに接続された増幅器と、
   変調信号を発生し、変調形態を設定する変調周波数発生器とを含み、前記第１および第２インピーダンス値が互いに位相がずれており、前記増幅器の所で前記第１および第２インピーダンス値の合計が一定であるような前記変調周波数で前記第１および第２インピーダンス値は電流雑音の影響を減少させるように変えられる増幅器回路。
2. 前記変調形態がサイドバンド周波数を有し、前記第１および第２可変インピーダンスデバイスが、前記信号を前記サイドバンド周波数にシフトさせる請求項１に記載の増幅器回路。
3. 前記信号源が、電位と導電接触せずに前記電位を測定する容量性センサを含む請求項１に記載の増幅器回路。
4. 前記信号源の前記インピーダンスが、前記信号周波数で実際にほぼ容量性である請求項３に記載の増幅器回路。
5. 前記第１および第２可変インピーダンスデバイスが、スイッチを構成する請求項１に記載の増幅器回路。
6. 前記スイッチが、トランジスタ、リレーおよびダイオードからなる群から選択される請求項５に記載の増幅器回路。
7. 前記第１および第２可変インピーダンスデバイスが、可変キャパシタを構成する請求項１に記載の増幅器回路。
8. 前記可変キャパシタが、微小電気機械システム技術を使用して構成される請求項７に記載の増幅器回路。
9. 前記変調形態が、周期的である請求項１に記載の増幅器回路。
10. 前記変調形態が、矩形波である請求項９に記載の増幅器回路。
11. 前記変調形態が、正弦波である請求項９に記載の増幅器回路。
12. 前記第２可変インピーダンスデバイスが、バランス素子を含む請求項１に記載の増幅器回路。
13. 前記信号を再生する前記増幅器の下流に位置する復調器を、さらに含む請求項１に記載の増幅器回路。
14. 前記増幅器と前記復調器の間に配置された、着目バンド幅の外側の周波数を除去する帯域フィルタを、さらに含む請求項１３に記載の増幅器回路。
15. センサ出力信号をもたらす、前記復調器の下流に位置する低域フィルタを、さらに含む請求項１４に記載の増幅器回路。
16. 増幅器回路内で電流雑音を減少させる方法であって、
    容量性素子を用いて信号を検出するステップと、
    増幅器の入力に前記信号を送信するステップと、
    前記容量性素子と前記増幅器の前記入力の間で、時間にわたって第１インピーダンスを変更するステップと、
    接地と前記増幅器の前記入力の間で、時間にわたって第２インピーダンスを変更するステップと、
    前記増幅器の前記入力の所で認められる純インピーダンスが、ほぼ時間にわたって一定に保たれるように前記第１および第２インピーダンスの前記変更ステップを制御するステップを含む方法。
17. 時間にわたって前記第１および第２インピーダンスを変更するステップが、前記信号を変調するために一定の変調周波数で為され、それによってサイドバンド周波数にトランスファされる被変調信号を生成するステップである請求項１６に記載の方法。
18. 前記変調された信号を増幅し、増幅し変調された信号を生成するステップと、
    着目した変調周波数上に中心がくる帯域フィルタを用いて前記増幅し変調された信号をフィルタリングし、フィルタリングされた信号が、前記着目した変調周波数の外側のすべての周波数をほぼ除去されたものとなるように設定するステップと、
    同期信号を用いて前記フィルタリングされた信号を復調し、復調された信号を生成するステップを、さらに含む請求項１７に記載の方法。
19. センサ出力信号を生成するために前記復調された信号をフィルタリングするステップを、さらに含む請求項１８に記載の方法。
20. 前記信号が、電位と導電接触せずに前記電位を測定する容量性センサを用いて検出される請求項１６に記載の方法。

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