JP2008311625A - 面発光レーザ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】活性層103と、該活性層に隣接して配置されるフォトニック結晶層と、該フォトニック結晶層上に設けられた電極108と、電極によって規定された複数の出射領域と、を有する面発光レーザ素子であって、
前記フォトニック結晶層が、
前記電極の直下部分に設けられ、且つ面内方向に光を共振させる屈折率周期構造による第1のフォトニック結晶領域104と、
前記出射領域の直下に設けられ、且つ面垂直方向に光を放射させる屈折率周期構造による第2のフォトニック結晶領域105と、を含み構成されている。
【選択図】 図1
Description
そのため、通信、電子写真、センシングなどの分野に応用が期待されている。特に、赤外線短距離通信などの通信分野においては、すでに実用化されている。
このような回折型面発光レーザとして、特許文献1には、2次元フォトニック結晶の2次回折効果を用いた発明が開示されている。
この発明においては、半導体レーザの活性層近傍にフォトニック結晶を導入し、活性層内部で発光した光をフォトニック結晶の2次回折効果により面内方向で発振させる。
そして、発振したレーザ光を、同一フォトニック結晶の1次回折により、面垂直方向に取り出すように構成されている。
本発明の面発光レーザ素子は、活性層と、該活性層に隣接して配置されるフォトニック結晶層と、該フォトニック結晶層上に設けられた電極と、光を放出する出射領域と、を有する面発光レーザ素子であって、
前記フォトニック結晶層は2次元の屈折率周期構造を有し、かつ、
前記電極の下に設けられ、面内方向に光を共振させる屈折率周期構造による第1のフォトニック結晶領域と、
前記出射領域の下に設けられ、面垂直方向に光を放射させる屈折率周期構造による第2のフォトニック結晶領域と、
を含み構成されていることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザ素子は、前記第2のフォトニック結晶領域がフォトニックバンドのΓ点におけるモードを有するフォトニック結晶により構成されており、
前記第1のフォトニック結晶領域は該フォトニックバンドのΓ点以外のフォトニックバンド端で、光すいよりも下に存在するモードを有するフォトニック結晶により構成されていることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザ素子は、前記第1のフォトニック結晶領域と、前記第2のフォトニック結晶領域が同一のフォトニック結晶層に設けられていることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザ素子は、前記第1のフォトニック結晶領域と、前記第2のフォトニック結晶領域は異なるフォトニック結晶層に設けられており、
前記第1のフォトニック結晶領域と、前記第2のフォトニック結晶領域は前記面垂直方向に分離して形成されていることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザ素子は、前記出射領域が2以上設けられていることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザ素子は、前記フォトニック結晶が、媒質に円柱状の空孔を4角格子状に設けた構造を有し、
前記第1のフォトニック結晶領域の格子定数が第2のフォトニック結晶領域の格子定数の√2分の1であり、互いの結晶方位が45°回転していることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザ素子は、前記フォトニック結晶が、媒質に円柱状の空孔を3角格子状に設けた構造を有し、
前記第1のフォトニック結晶領域の格子定数が第2のフォトニック結晶領域の格子定数の√3分の1であり、互いの結晶方位が30°回転していることを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザ素子は、前記フォトニック結晶が、媒質に円柱状の空孔を4角格子、または4角格子状に設けた構造を有し、
前記第1のフォトニック結晶領域の格子定数が第2のフォトニック結晶領域の格子定数の2分の1であり、結晶方位が互いに等しいことを特徴とする。
また、本発明の面発光レーザ素子は、前記第1または第2のフォトニック結晶領域の境界に、反射率制御構造が構成されていることを特徴とする。
図1に、本実施の形態のレーザ素子を説明する概念図を示すが、本発明はこれらの構成に限定されるものではない。
図1において、101は基板、102は下部クラッド層、106は上部クラッド層、103は活性層である。また、109はフォトニック結晶層、104は第1の周期構造による領域、105は第2の周期構造による領域、107は下電極、108は上電極である。
フォトニック結晶層として、2次元の屈折率周期構造(2次元フォトニック結晶)を用いる。
フォトニック結晶は、材料に光の波長オーダーで屈折率周期をもたせた構造物であり、設計パラメータを制御することで、結晶中を伝搬する光を制御できる。
フォトニック結晶は屈折率周期が設けられている方向により、1次元、2次元、3次元に分けることができる。
本実施の形態ではこの中でも2次元のフォトニック結晶を用いる。
この2次元フォトニック結晶を半導体レーザの活性層付近に設けることで、フォトニック結晶を面内方向の共振ミラーとして、および、発振光を面に対して垂直方向に回折させる回折格子として用いることができる。
レーザ素子の活性層から発した光は、主に活性層に閉じ込められながら、近傍のフォトニック結晶層にも一部が閉じ込められる。
フォトニック結晶層の光は、屈折率の周期構造により面内方向に回折・共振し、活性層の利得により発振する。この際、屈折率の周期に対して、共振条件の最もよいモードおよび波長の光のみが、レーザ発振する。
発振したレーザ光は、フォトニック結晶により面垂直方向に回折を受け、面発光する。
前述した特許文献1には、このような原理で駆動する面発光レーザ素子について記述されている。
本実施の形態においては、活性層付近に設けられているフォトニック結晶層が、機能的に2つ以上の領域に分かれていることを特徴とする。
すなわち、面内方向に光を共振させる領域(第1のフォトニック結晶領域)と、面垂直方向に光を放射させる領域(第2のフォトニック結晶領域)とに分離されていることを特徴とするものである。
本実施形態では、例示的に屈折率3.45の媒質に、円柱状の空孔を四角格子状に設けた場合について説明する。
円柱の高さは100〜200nmオーダーで小さく、円柱部以外(つまり2次元フォトニック結晶の高屈折率媒質部と、隣接クラッドを含んだ領域)は、屈折率3.45の媒質でできている。クラッド層は厚く1〜2μmである。
図3は、図1の位置にPhCを導入した場合の、有効屈折率近似を用いて計算したフォトニックバンドを示す図である。
フォトニックバンド図とは、結晶中を伝搬する格子の運動量空間における周波数分散の様子を示したものである。
図3において、Γ点における共振モードは、面内方向の共振に加え、面垂直方向にも1次回折するため、フォトニック結晶面内で共振、発振したレーザ光が面垂直方向へ取り出される。通常はこのモードをレーザ発振に用いる。
しかし、Γ点以外で対称性の高い他の点(X点、M点)のうち、フォトニックバンド中の光すい(図3の点線)より下に存在するモード(図3の丸で囲まれた領域:301と302)においては、共振は面内方向に起こるのみであり、垂直方向に光は取り出されない。
面垂直方向の回折は、レーザ光を面発光させる際には重要であるが、発振のための面内共振においては損失となるため、レーザ発振時には面内のみで共振させたほうが効率がよい。
そして、第1のフォトニック結晶領域は電極の下に設け、第2のフォトニック結晶領域は出射領域の直下に設けられている。
図1でみると、面内共振専用の領域である第1のフォトニック結晶領域104(以下、「領域104」ともいう。)に相当する。また、面垂直方向回折を重視した領域である第2のフォトニック結晶領域105(以下、「領域105」ともいう。)に相当する。
従って、第1の周期構造による領域104は上述のΓ点以外のフォトニックバンド端で、光すいよりも下に位置するモードに当たるフォトニック結晶、第2の周期構造による領域105にはΓ点におけるモードのフォトニック結晶を設ける。
このような構成を採ることで、より高効率にレーザ発振させることができる。
また、面内共振および面垂直方向回折の2つの条件を、それぞれ別々のフォトニック結晶に振り分けることにより、それぞれの条件のみに最適化したパラメータでレーザ素子、フォトニック結晶を設計することが可能になり、設計の自由度が大きくなる。
また、共振光の運動量ベクトルの方向を合わせる必要があるため、フォトニック結晶の周期構造の方向は適宜調整する必要がある。
またこのとき、フォトニック結晶の境界部での結合効率は100%にはならず、一部の光が界面で反射される。
但し、このような場合、境界面から領域104へと反射する伝搬光の成分の位相が、領域104内で共振している光の位相と合致することが好ましい。
この場合にも、境界面から領域104へと反射する伝搬光の位相は、領域104での共振光と合致することが好ましい。
このとき、設けることのできる反射率制御構造としては、以下のような形態を採り得る。例えば、2つの領域の境界面における平面内に、直線または曲線状の一層の溝を掘り、そこに屈折率の異なる媒質を充填し、その幅、屈折率差で反射率を調整する形態を採ることができる。
または、それらの溝を複数、光の1/4波長ごとに設けることで、反射率を調整する方法などがある。
フォトニック結晶部位に光学厚さλ/2以外の(λ/2は反射なので)溝を設けることにより反射機構を構成することができる。
また、反射用のフォトニック結晶、グレーティング構造で領域104の周囲を囲むことにより反射機構を構成することができる。
また、光学厚λ/2となるように溝を設けることにより、反射防止機構を構成することができる。
そのため、上記のような構成を採ったとき、領域105に対して2以上の多方向から発振光が均等に供給される。
それに対して、1次元周期構造では2方向から光が供給されるのみである。従って、2次元の方が1次元より光の取り出し効率は上がる。
さらに、領域105が領域104の端の方にあり、一方向、あるいは2方向からの光の供給路がたたれているようなとき、2次元の周期構造を用いることにより、他の残りの供給路を用いることができる。
したがって、1次元よりも発振光が有効に領域105に供給される構成をとることができる。
また、本質的に1次元周期構造においては、活性層より周期構造の方向以外に放射される自然発光は、すべて発振に寄与しない損失となる。
2次元周期構造においては多方向にフィードバックが起こることで、損失が軽減されるため、1次元周期構造よりも効率が向上する。
また、図1では活性層に対して上側に、領域104と領域105が設けられているフォトニック結晶層が形成されているが、活性層に対して下側に設けることもできる。
さらに、このフォトニック結晶層を、活性層の上側と下側の両方に2つ以上設けることも可能である。
また、領域104、領域105のフォトニック結晶をそれぞれ同一平面でない層に設けることも可能である。例えば、領域104を活性層の下側、領域105を活性層の上側に配置する構成などが考えられる。この構成に関しては、実施例2にて後述する。
また、光回折部である領域105を、互いに独立して2つ以上設けるように構成することができる。
それぞれの開口部から放射される光は、領域105の内部で位相整合しており、どの開口からも同位相で放射するため、モニタリング用の光として用いること等が可能となる。この構成に関しては、実施例3にて後述する。
あるいは、準結晶構造をとっているもの、ある一定以内の距離をおいて全くランダムに導入されているもの、等さまざまな構成を採ることができる。
また、低誘電率媒質の形状は、円柱形、4角柱形、3角柱形、楕円柱形などの形状を取ることができる。
また、以上の構成は、高屈折率媒質、低屈折率媒質の2つの媒質を用いた場合を考えたが、更に両者と異なる第3、第4の媒質を導入した場合にも、拡張して考えることができる。
フォトニック結晶は、半導体、誘電体、金属などの材料で構成することが可能である。
また、導電性を有する透明導電媒質などを用いることもできる。フォトニック結晶は、これらの材料のうち、任意の異なる2種類以上の材料を周期的に配置することで構成することができる。
但し、電流注入により素子を駆動する場合には、組み合わせる材料のうち、少なくとも1つは導電性を有する半導体、金属、透明導電媒質であることが好ましい。
フォトニック結晶領域の位置については、可能な限り活性層に近い構成(隣接した構成)が好ましい。すなわち、活性層から放出される光と結合できる位置にフォトニック結晶を備える必要がある。
また、活性層自体がフォトニック結晶を兼ねている場合は構成上最も好ましい。
また、これら以外に、ZnSe、CdS、ZnOなどのII−VI族半導体およびそれら任意の混晶などがある。また、各種有機半導体なども使用可能である。
誘電体ではSiO2、TiO2、Al2O3、Nb2O5、CeO2、ZrO2、HfO2など多くの材料が可能である。
金属ではAu、Ag、Cr、Coなどあらゆる固体金属結晶が可能である。
また、透明導電媒質としては、透明導電性酸化物であるITO(Indium Tin Oxide )、SnO2、In2O3、ZnOなどがある。フォトニック結晶ミラーの構成材料としては、発振波長に対して透明、もしくは吸収の少ない媒質であることが好ましい。
従って、発振波長に対して透明な半導体、または誘電体が好ましい。
本実施形態においては、アノード、カソード1対の電極を有し、該電極からの電流注入により、活性層へのキャリア注入を行う。
電極は、光の発光方向(この方向を今後上方と表現することにする)では、領域104をすべて覆っている。
そして、領域105の上方では、電極は設けられず開口となっている。光の発振方向と逆方向(今後下方と表現する)では、開口は設けられない。
このような構成をとることにより、発振専用の領域104に効率的にキャリアを供給することができると同時に、回折用の領域105からの放射光を遮らずに放射させることができる。
例えば、GaAsのn電極には、Au−Ge−Ni、Au−Ge−Pt、p電極にはAg−Zn、Au−Znなどの材料が用いられる。
また、金属以外にも、ITO、SnO2、InO2などの、導電性を有する透明酸化物材料などを電極に用いることも可能である。
活性層については、半導体レーザで用いられているような、ダブルへテロ構造、多重量子井戸構造、ひずみ量子井戸構造、量子ドット構造などを適用することができる。
この場合、活性層に用いる半導体材料は上に述べたものと同様である。
また、Ti:Sapphire、Nd:YAG(Yittrium Garnet)などの固体レーザ用利得媒質なども用いることができる。
また、活性層とクラッド層の間に、電流閉じ込めのためのSCH(Separate Confinement Heterostructure)層を導入することも可能である。
クラッド層は活性層を挟んで上下に導入される。本実施の形態においては、上部クラッド層がフォトニック結晶層と隣接しているが、フォトニック結晶がクラッド層内に設けられる場合もある。
材料は、半導体、誘電体、透明導電体などを用いることができる。電流注入で素子を駆動させる場合には、クラッド層は半導体、透明導電体などで構成されていることが好ましい。
この場合には、上下クラッド層は片方がn型、もう片方がp型にドーピングされている必要があり、活性層に注入されるキャリアを供給する。半導体、誘電体、透明導電体の具体的材料は、上で述べたものと同様である。
[実施例1]
実施例1においては、本発明を適用した面発光レーザ素子について説明する。
図4に、本実施例の面発光レーザの構成を説明する図を示す。
図4は本実施例における面発光レーザの構成を説明する基板に平行な方向からみたときの断面図である。
図4において、401は基板、402は下部クラッド層、403は下部SCH層、404は活性層、405は上部SCH層である。
406は第1のフォトニック結晶領域、407は第2のフォトニック結晶領域である。
408は上部クラッド層、409は電極コンタクト層、410はn電極、411はp電極である。
下部、上部クラッド層はそれぞれn型、p型(Al0.7Ga0.3)0.5InPで厚さはそれぞれ2.0μm、1.0μmとされている。
下部、上部SCH層はそれぞれn型、p型(Al0.5Ga0.5)0.5InPで厚さ50nmとされている。
活性層はノンドープの(Al0.5Ga0.5)0.5InP/In0.56Ga0.44Pの多重量子井戸構造となっており、井戸数は3層、それぞれの層厚は6nmである。上部クラッド層キャップ層の材料はGaAsであり、厚さは10nmである。
電極は、n電極がAu−Zn、p電極がAu−Ge−Niである。
フォトニック結晶層(第1のフォトニック結晶領域406と第2のフォトニック結晶領域407が設けられている層)は、厚さ150nmでp型(Al0.5Ga0.5)0.5InPで構成されている。
図5に、本実施例のフォトニック結晶層を説明する図を示す。
図5(a)は面発光レーザにおけるフォトニック結晶層の全体を表す、基板に垂直な方向からみたときの断面図である。
図5(a)において、501は第1のフォトニック結晶領域、502は第2のフォトニック結晶領域、503は図5(b)に示す領域を表す囲みである。
図5(b)は、図5(a)に示す503の領域の拡大図である。
504は第1のフォトニック結晶領域空孔、505は第2のフォトニック結晶領域空孔である。
このとき、第1のフォトニック結晶が発振用のフォトニック結晶、第2のフォトニック結晶がレーザ光回折用のフォトニック結晶である。
これら2種類のフォトニック結晶がどのような原理で機能するかについては、上記の発明の実施の形態で述べたとおりである。
本実施例では、第1及び第2のフォトニック結晶領域とも、媒質に円柱形の空孔を4角格子状に設けたフォトニック結晶により構成されている。
空孔周期および半径は、第1のフォトニック結晶領域ではそれぞれ135nm、30nm、第2のフォトニック結晶領域ではそれぞれ200nm、20nmである。
図6(a)、図7(a)にそれぞれ、第1、第2のフォトニック結晶領域のフォトニックバンド図を示す。
それぞれのフォトニックバンドは、有効屈折率近似を用いた2次元平面波展開法により計算し、ともに4角格子、円柱状の空孔のフォトニック結晶について計算したバンドである。
両者はそれぞれ格子定数に対する空孔の半径が異なっている。縦軸はフォトニック結晶の格子定数で規格化された周波数である。
図6(a)、(b)を用いて、第1のフォトニック結晶領域501について説明する。
図6(a)は該領域におけるフォトニックバンド図であり、601は用いるモードを表す囲み線である。
図6(b)は、第1のフォトニック結晶領域501において、伝搬光が回折される様子を表した模式図であり、602はフォトニック結晶空孔である。
該フォトニック結晶領域では、図6(a)に示すように、フォトニックバンドのM点のモードを利用している。
ここでの面内における光の回折は、単位結晶格子の対角線の方向に起こり、例えば図6(b)示した、図の左下方向からの入射光(白矢印)は、格子点の位置で黒い矢印3つの方向に回折されうる。
その他3方向からの入射光についても同様の関係で回折する。
複雑になるため、ここでは左下方向からの入射光に対する回折光のみを示している。
格子点で回折した光も、さらに3方向に回折され、該領域では、4角格子の対角線方向の多重回折が絶えず起こっている。
601で囲んだM点のモードでは、これらの光がそれぞれ定在波を形成し、フォトニック結晶内で共振効果をもつ。
図7(a)は該領域におけるフォトニックバンド図であり、701は用いるモードを表す囲み線である。
図7(b)、(c)は、第2のフォトニック結晶領域502において、伝搬光が回折される様子を表した模式図であり、702、703はそれぞれフォトニック結晶空孔である。
該フォトニック結晶領域では、図7(a)に示すように、フォトニックバンドのΓ点におけるモードを利用している。
そして、ここでは図7(b)のように、光はフォトニック結晶面とは垂直の方向にブラック条件を満たし回折される。
また、図7(c)のように、面内方向にも結晶の単位格子方向に回折が起こる。面内方向では、格子点にて4方向に回折された光の各々が、第1のフォトニック結晶領域と同様、多重回折し定在波状態となっている。
ここでは、面垂直方向に回折される光のみを考慮すればよいが、垂直方向の回折光はレーザに対して損失となるため、空孔径をできるだけ小さくし、放射成分はなるべく少なくすることが閾値を下げるためには好ましい。
しかし、下げすぎると回折が起こらないため、適宜調整する必要がある。
共振波長をそろえるためには、第1のフォトニック結晶領域501の格子定数は、第2のフォトニック結晶領域502のおよそ√2分の1になる。
また、第2のフォトニック結晶領域502においては、垂直方向への回折効率が適当になるように空孔半径を決定する。
回折効率は、空孔半径が小さいほど小さくなるので、空孔半径を徐々に小さくしていき、最適な点を見つければよい。本実施例では、空孔半径を格子定数の10%に設定している。
エネルギー保存則は、共振モードの周波数が領域501および領域502で一致するように、上記のように格子定数を調整することで満たすことができる。
運動量保存則は、共振モードの伝搬方向が領域501と領域502で一致するよう、結晶方位を調整することで満たすことができる。
ここでは、図6(b)、図7(b)のように伝搬光の方向が決まっているため、領域501と領域502で互いの結晶方位が45°回転するように調整することで、上記条件を満たすことができる。
図8は、本実施例におけるレーザ素子を上方から見たときの図であり、801はp電極、802は開口部である。
電極は上記発明の実施の形態で述べたとおり、レーザ発振領域である第1のフォトニック結晶領域501の上方を覆っておりキャリアを供給する。
また、光回折用である第2のフォトニック結晶領域502の上方には電極は設けられず、開口となっている。
この開口部から、第2のフォトニック結晶領域で回折されたレーザ光が放射される。電極からの電流は、開口部側にも拡散するので、開口部の面積は第2のフォトニック結晶領域よりも大きく設けることが可能である。
本実施例におけるレーザ素子は、公知の半導体レーザ作製プロセスに加え、EBリソグラフィー、ドライエッチング、ウエハ融着技術などを組み合わせて作製することができる。
本実施例のレーザ素子に通電すると、開口部より波長670nmのレーザ光が放射される。
このとき、光の共振方向は、図9(b)に示した4方向であるが、それぞれの入射光は反対方向にのみ回折されるため、互いに結合しているモードは図9(b)の縦方向、横方向の2方向のみである。
結晶方位に対する光の共振方向は、第2のフォトニック結晶と同様であるため、結晶方位は第1、第2のフォトニック結晶領域において互いに等しい。
また、フォトニック結晶の周期は、共振波長を合わせるため、第1のフォトニック結晶領域では第2のフォトニック結晶領域に対しておよそ2分の1となる。
前記第1または第2のフォトニック結晶領域の場合、独立した2つの発振モードが存在するため、発振はマルチモードになりやすい。
従って、空孔を楕円柱にするなどして、共振条件の対称性を下げ、どちらかのモードを発振させやすくしておくことが好ましい。
その他の材料系としては、GaN、InN、AlNなど、上記発明の実施の形態で挙げたような半導体材料をすべて用いることが可能である。
また、透明導電媒質、誘電体、金属などでも、上記発明の実施の形態で挙げたような材料はすべて用いることができる。
また、フォトニック結晶も、本実施例では4角格子状のものを用いたが、3角格子状とすることも可能である。
3角格子状の時は、4角格子と同様に光の回折方向と共振波長を考えて結晶配置と格子定数を決定する。
具体的には以下の2つの場合がある。
その一つとして、第1のフォトニック結晶の格子定数が第2のフォトニック結晶の格子定数のおよそ2分の1であり、結晶方位が互いに等しい場合がある。
他の一つとして、第1のフォトニック結晶の格子定数が第2のフォトニック結晶の格子定数の約√3分の1、互いの結晶方位が30°回転している場合がある。
またこれ以外にも、上記発明の実施の形態に記載したようなすべての結晶構造をとることができる。
また、本実施例では、空孔は丸穴の円柱型空孔を用いたが、多角形空孔など、上記発明の実施の形態に記載したような形態のフォトニック結晶はすべて用いることができる。
さらに、フォトニック結晶の対称性をくずすための副格子の導入なども行うことができる。
また、本実施例においてはフォトニック結晶は全てクラッド層に設けられているが、SCH層に設けることも可能である。また、一部に活性層を含んだフォトニック結晶や、活性層自体をフォトニック結晶としたものを用いることも可能である。
上記実施例1では、同一のフォトニック結晶層に第1と第2のフォトニック結晶領域を設けた構成例について説明した。
実施例2においては、これら2つの領域を異なるフォトニック結晶層に設け、上下に分離した形態の面発光レーザ素子について説明する。
図10に、本実施例の面発光レーザの構成を説明するための図を示す。
図10は本実施例における面発光レーザの構成を説明する基板に垂直な方向からみたときの断面図である。
図10において、1001は基板、1002は下部クラッド層、1003は第1のフォトニック結晶領域、1004は下部SCH層、1005は活性層である。
1006は上部SCH層、1007は第2のフォトニック結晶領域、1008は上部クラッド層、1009は上部クラッド層キャップ層、1010はn電極、1011はp電極である。
本実施例においては、第1、第2のフォトニック結晶領域および活性層を除いて、素子の構成、寸法、材料に関しては、すべて実施例1と同様である。実施例1と異なる部位に関してのみ、以下に説明する。
第1のフォトニック結晶領域1003は、下部SCH層1004に隣接している。
また、第2のフォトニック結晶領域1007は、実施例1に比べ、上部SCH層1006の150nm上方に設けられており、上部クラッド層1008の内部に埋め込まれた構造になっている。
なお、格子定数、孔半径などのパラメータはすべて実施例1と同様である。
その際、本実施例においては、第2のフォトニック結晶領域1007の下部に、第1のフォトニック結晶領域1003が存在しているため、光回折領域では、それぞれのモードが混じり合い、結合している。
実施例1と同様、領域1003の第1のフォトニック結晶は面内方向の共振を大きくし、領域1007の第2のフォトニック結晶は面垂直方向の回折が適当な値を取るよう設計してあるため、本実施例においてはそれらの特性が共存している。
従って、第2のフォトニック結晶のみでこの領域を構成した場合に比べても、面内方向のフィードバック効果が減少することはない。
また、第2のフォトニック結晶も面内方向の共振効果を有するため、両者の面内方向の共振成分が合わさり、第1のフォトニック結晶領域と同等以上の共振効果となる。
なお、本実施例においては、光の共振は0次の導波モードを用いているが、2次の導波モードを用いることも可能である。
図15は、図10の中央部を拡大したものである。
1503は第1のフォトニック結晶領域、1504は下部SCH層、1505は活性層、1506は上部SCH層、1507は第2のフォトニック結晶領域である。
1508は2次の導波モードの電場強度分布を表し、第1と第2のフォトニック結晶領域と活性層1505にそれぞれ電場分布の極大を持っている。このようなモードを用いることで、活性層の電場分布を大きくとりながら、第1と第2のフォトニック結晶領域により大きな電場分布を持たせることができるため、0次の場合に比べて、フィードバック効果がより増強される。
このような2次モードは、活性層1505、下部SCH層1504、上部SCH層1506、第1のフォトニック結晶領域1503、第2のフォトニック結晶領域1507の厚さを調整することで、導波するようになる。
具体的には、上記全ての層の厚さの合計(=導波路層の厚さ)が、各層の屈折率の値を考慮しながら一定の値以上になればよい。これは、各層における実際の屈折率を用いて、導波路における光伝搬の理論により求めることができる。
本実施例においては、フォトニック結晶が全てクラッド層に設けられているが、SCH層に設けることも可能である。また、一部活性層を含む、さらには、活性層自体をフォトニック結晶として用いることも可能である。
一般に共振用のフォトニック結晶(領域1503)は、活性層に近い方が光の閉じ込め成分が大きくなり好ましい。
また、光回折用のフォトニック結晶(領域1507)については、活性層と光回折部の距離を制御することでも、光の回折効率を制御することができる。
なお、回折部での回折効率が適当な値をとるように、活性層と光回折用フォトニック結晶(領域1507)との間は、適当な距離をおくことが好ましい。
従って、第2のフォトニック結晶領域直下の活性層は取り除き、屈折率の等しい同厚のAl0.8Ga0.2As層などを再成長により設け損失を減らすことも可能である。
また、第1と第2のフォトニック結晶領域を別の層に分離することは、張り合わせプロセスや再成長プロセスにより実現することが可能である。
実施例3においては、出射領域が2以上設けられている面発光レーザについて説明する。
図11に、本実施例の面発光レーザの構成を説明する図を示す。
図11は本実施例における面発光レーザの構成を説明する基板に垂直な方向からみたときの断面図である。
図11において、1101は基板、1102は下部クラッド層、1103は下部SCH層、1104は活性層、1105は上部SCH層である。
1106は第1のフォトニック結晶領域、1107は第2のフォトニック結晶領域である。
1108は上部クラッド層、1109は上部クラッド層キャップ層、1110はn電極、1111はp電極である。
本実施例においては、出射領域を複数個設けた以外の素子を構成する材料および寸法は全て実施例1と同様である。
図12に、本実施例のフォトニック結晶層を説明する図を示す。
図12(a)は面発光レーザにおけるフォトニック結晶層の全体を表すものであり、基板に垂直な方向からみたときの断面図である。
図12(a)において、1201は第1のフォトニック結晶領域、1202は第2のフォトニック結晶領域である。
本実施例においては、第1のフォトニック結晶領域1201に、2箇所の第2のフォトニック結晶領域1202が囲まれた構成をしている。
図12(b)は、本実施例におけるレーザ素子を上方から見たときの図であり、1203はp電極、1204は開口部である。
本実施例においても、実施例1と同様に光回折用である第2のフォトニック結晶領域1202の上方には電極は設けられず、開口となっている。本実施例では開口部は2箇所だが、さらに多くの個数設けることも可能である。
本実施例のレーザ素子に通電すると、2つの開口部より同時にレーザ光が同位相で放射される。波長は実施例1と同様に670nmである。
本実施例のような複数開口部からコヒーレントなレーザ光を放射する面発光レーザでは、それぞれの開口からの光をいくつかに分けて用いることができる。
例えば、ある開口からの光は光源用として用い、そして残りの開口からの光を出力同時モニタ用の光などとして用いることが可能である。
なお、複数の開口部を設ける場合、領域1202は、レーザ光の供給源である領域1201と隣接している必要がある。
このとき、放射スポットを円形に近い形にするためには、領域1202は領域1201に囲まれた閉領域を構成していることが好ましい。円形の放射スポットには、レンズなどの光学系を用いて光ファイバなどに結合しやすいなどのメリットがある。
実施例4においては、反射調整層を設けた面発光レーザ素子について説明する。図13に、本実施例の面発光レーザの構成を説明するための図を示す。
図13は本実施例における面発光レーザの構成を説明する基板に垂直な方向からみたときの断面図である。
図13において、1301は基板、1302は下部クラッド層、1303は下部SCH層、1304は活性層、1305は上部SCH層、1306は第1のフォトニック結晶領域である。
また、1307は第2のフォトニック結晶領域、1308はフォトニック結晶境界反射調整層、1309は上部クラッド層、1310は上部クラッド層キャップ層、1311はn電極、1312はp電極である。
本実施例においては、実施例1の素子構成に加え、第1、第2のフォトニック結晶領域の境界面に、新たにフォトニック結晶境界反射調整層1308が導入された構成となっている。
それ以外の素子の構成、寸法、材料に関しては、すべて実施例1と同様であるから、実施例1と異なる部分についてのみ以下に説明する。
図14(a)は、面発光レーザにおけるフォトニック結晶層の基板に垂直な方向からみたときの断面図である。
図14(a)において、1401は第1のフォトニック結晶領域、1402は第2のフォトニック結晶領域、1403はフォトニック結晶境界反射調整層、1404は図14(b)に示す領域を表す囲みである。
図14(b)は、図14(a)に示す1404の領域の拡大図である。
1405は第1のフォトニック結晶領域空孔、1406は第2のフォトニック結晶領域空孔、1407はフォトニック結晶境界反射調整層である。
その機能としては、第1のフォトニック結晶領域で発振したレーザ光が、第2のフォトニック結晶領域へ導波するとき、上記調整層の屈折率の違いにより、境界面で反射する光の割合が大きくなることである。
これにより、第2のフォトニック結晶領域へ導波する光の割合は減り、第1のフォトニック結晶領域内に光が長く閉じ込められるようになる。
光が共振する時間は長いほどレーザの効率はよくなるため、本実施例のような構成をとることにより、レーザ素子の更なる性能向上が可能になる。
但し、あまりにも反射率を上げすぎ光取り出しができなくなると、レーザ素子にとっては好ましくない。これを防ぐために、この溝に充填する媒質を調整することで、境界領域における反射率を調整することができる。
これは、本発明のレーザ素子に対して、上記のような光反射層を設けた構成を用いることで、初めて実現可能となることである。
反射率が高いほどよい上記特許文献における例とは性質が異なっている。
また、前記調整層は、上記特許文献と同様に活性層を中心に伝搬しているすべての光成分に作用させるために、フォトニック結晶層から、上部SCH層1305、活性層1304、下部SCH層1303の3層を貫いた深い溝になっている。寸法は幅が150nm、深さが400nmである。
本実施例においても、実施例1と同様の作製技術を用いて素子を作製できる。境界反射層を作製するための、EB描画、ドライエッチングプロセスを実施例1の作製工程に加えるだけでよい。
本実施例においては、フォトニック結晶境界反射層として、空気または窒素などの気体を充填した溝構造としたが、反射率を調整するため、充填する物質は気体以外の、誘電体、半導体、透明導電体などでもよい。
その際、フォトニック結晶を構成する媒質のうち、高屈折率の媒質と屈折率が異なる必要がある。
反射率は、両媒質間の屈折率差が大きい程大きくなるが、溝の幅によっても反射率を調整できるため、調整の範囲を広げるため両媒質の屈折率差が大きいことが好ましい。
また、動的に屈折率を制御できる液晶などを充填することで、反射率の動的制御も可能となる。
102、402、1002、1102、1302:下部クラッド層
103、1304:活性層
104、1306、1503:第1のフォトニック結晶領域
105、1307、1507:第2のフォトニック結晶領域
106、408、1008、1109、1309:上部クラッド層
107:下電極
108:上電極
109:フォトニック結晶層
201:媒質
202:空孔
403、1004、1103、1303、1504:下部SCH層
404、1005、1104、1304、1505:活性層
405、1006、1105、1305、1506:上部SCH層
406、501、1003、1106、1201、1401:第1のフォトニック結晶領域
407、502、1007、1107、1202、1402:第2のフォトニック結晶領域
409、1009、1110、1310:上部クラッド層キャップ層
410、1010、1111、1311:n電極
411、801、1011、1112、1312:p電極
504、1205、1405:第1のフォトニック結晶領域空孔
505、1206、1406:第2のフォトニック結晶領域空孔
601、701:用いるモードを表す囲み線
602、702、703:フォトニック結晶空孔
802:開口部
1108、1203、1207、1308、1403、1407:フォトニック結晶境界反射調整層
Claims (9)
- 活性層と、該活性層に隣接して配置されるフォトニック結晶層と、該フォトニック結晶層上に設けられた電極と、光を放出する出射領域と、を有する面発光レーザ素子であって、
前記フォトニック結晶層は2次元の屈折率周期構造を有し、かつ、
前記電極の下に設けられ、面内方向に光を共振させる屈折率周期構造による第1のフォトニック結晶領域と、
前記出射領域の下に設けられ、面垂直方向に光を放射させる屈折率周期構造による第2のフォトニック結晶領域と、
を含み構成されていることを特徴とする面発光レーザ素子。 - 前記第2のフォトニック結晶領域はフォトニックバンドのΓ点におけるモードを有するフォトニック結晶により構成されており、
前記第1のフォトニック結晶領域は該フォトニックバンドのΓ点以外のフォトニックバンド端で、光すいよりも下に存在するモードを有するフォトニック結晶により構成されていることを特徴とする請求項1に記載の面発光レーザ素子。 - 前記第1のフォトニック結晶領域と、前記第2のフォトニック結晶領域が同一のフォトニック結晶層に設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の面発光レーザ素子。
- 前記第1のフォトニック結晶領域と、前記第2のフォトニック結晶領域は異なるフォトニック結晶層に設けられており、
前記第1のフォトニック結晶領域と、前記第2のフォトニック結晶領域は前記面垂直方向に分離して形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の面発光レーザ素子。 - 前記出射領域が2以上設けられていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の面発光レーザ素子。
- 前記フォトニック結晶が、媒質に円柱状の空孔を4角格子状に設けた構造を有し、
前記第1のフォトニック結晶領域の格子定数が第2のフォトニック結晶領域の格子定数の√2分の1であり、互いの結晶方位が45°回転していることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の面発光レーザ素子。 - 前記フォトニック結晶が、媒質に円柱状の空孔を3角格子状に設けた構造を有し、
前記第1のフォトニック結晶領域の格子定数が第2のフォトニック結晶領域の格子定数の√3分の1であり、互いの結晶方位が30°回転していることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の面発光レーザ素子。 - 前記フォトニック結晶が、媒質に円柱状の空孔を4角格子、または4角格子状に設けた構造を有し、
前記第1のフォトニック結晶領域の格子定数が第2のフォトニック結晶領域の格子定数の2分の1であり、結晶方位が互いに等しいことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の面発光レーザ素子。 - 前記第1または第2のフォトニック結晶領域の境界に、反射率制御構造が構成されていることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の面発光レーザ素子。
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