JP2008298579A - 反射特性測定装置及び反射特性測定装置の校正方法 - Google Patents

Abstract

【課題】参照用分光手段等を用いずに照明光の分光強度変化の影響を補正でき、低コスト且つ高速、高精度の測定を可能にする。
【解決手段】試料を照明して該試料の分光反射特性を測定する反射特性測定装置であって、前記試料を照明する光源と、前記光源からの照明光によって照明された試料反射光の分光強度を測定する分光強度測定手段と、前記光源の発光特性に関する所定の参照値を取得する参照値取得手段と、予め複数の前記参照値それぞれに対して求められた複数の基準分光特性又は該基準分光特性に基づく複数の校正データを記憶する記憶手段と、前記記憶された複数の基準分光特性又は校正データの中から、前記分光強度測定時に取得した前記参照値に対応する基準分光特性又は校正データを選択し、該選択した基準分光特性又は校正データを用いて、前記分光強度から前記分光反射特性を算出する演算手段とを備えた反射特性測定装置とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、試料の反射特性を測定する反射特性測定装置に関し、特に、複数の試料を白熱ランプによる照明光により連続的に照明して反射特性を測定する反射特性測定装置及び反射特性測定装置の校正方法に関する。

多数の印刷パッチの反射特性を連続測定する従来の反射特性測定装置（印刷用分光測色計）では、図１２に示すように、駆動回路９０１により点灯駆動された白熱ランプ９０２の光束９０２ａによって、試料９０３の法線方向に対して４５°の方向からこの試料９０３を照明し、この照明による試料反射光の法線方向の成分９０３ｎが対物レンズ９０４で集光されて分光装置９０５に導かれる。分光装置９０５は、この試料反射光の成分９０３ｎの分光強度を測定し、これにより得られた分光強度データ９０５ａを演算制御装置９０６に送信する。演算制御装置９０６では、これに先立って同様に測定して記憶しておいた基準試料の分光強度データと、この基準試料の既知の分光反射率係数とから、公知の方法によって分光強度データ９０５ａを分光反射特性に変換する。

ところで、このような反射特性測定装置で多用される白熱ランプを定電圧で駆動すると、図１０に示すように点灯直後、符号９２１で示すラッシュ電流によるフィラメント温度の上昇が生じて発光強度が瞬間的に上昇し、その後、発光強度が緩やかに降下して符号９２２で示すように定常状態に移行する。このフィラメント温度の上昇による発光光束の強度（発光強度）変化は波長によって異なり、点灯直後の数秒間変化する。

図１１は、上記発光強度のピークで基準化した白熱ランプの４５０ｎｍ、５５０ｎｍ及び６５０ｎｍでの強度変化の一例を示したものであるが、当該強度変化の度合いは短波長になるほど大きくなっている。この強度変化の影響は、上記図１２に示すように反射特性測定装置の参照系９０７に参照用分光手段（参照用分光器）を用い、白熱ランプ９０２からの照明光の分光強度データ９０７ａを取得することで補正される（例えば特許文献１参照）。
特開平１１−７２３８８号公報

しかしながら、コストダウンのために上記参照系を省略した反射特性測定装置や、参照系に光センサを用いて光量レベルのみを取得するような反射特性測定装置では、上記発光強度（分光強度）が変化するため、高精度の測定を行うことができない。精度を確保するために、上記発光強度が定常状態へ移行するつまり白熱ランプが安定化するまで待つようにすると、測定に時間がかかってしまう。

本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、参照用分光手段等を用いずに照明光の分光強度変化の影響を補正することができ、低コスト且つ高速、高精度の測定が可能な反射特性測定装置及び反射特性測定装置の校正方法を提供することを目的とする。

本発明に係る反射特性測定装置は、試料を照明して該試料の分光反射特性を測定する反射特性測定装置であって、前記試料を照明する光源と、前記光源からの照明光によって照明された試料反射光の分光強度を測定する分光強度測定手段と、前記光源の発光特性に関する所定の参照値を取得する参照値取得手段と、予め複数の前記参照値それぞれに対して求められた複数の基準分光特性又は該基準分光特性に基づく複数の校正データを記憶する記憶手段と、前記記憶された複数の基準分光特性又は校正データの中から、前記分光強度測定時に取得した前記参照値に対応する基準分光特性又は校正データを選択し、該選択した基準分光特性又は校正データを用いて、前記分光強度から前記分光反射特性を算出する演算手段とを備えることを特徴とする。

上記構成によれば、光源によって試料が照明され、分光強度測定手段によって、光源からの照明光によって照明された試料反射光の分光強度が測定され、参照値取得手段によって、光源の発光特性に関する所定の参照値が取得される。また、記憶手段に予め複数の参照値それぞれに対して求められた複数の基準分光特性又は該基準分光特性に基づく複数の校正データが記憶され、演算手段によって、この記憶された複数の基準分光特性又は校正データの中から、分光強度測定時に取得された参照値に対応する基準分光特性又は校正データが選択され、この選択された基準分光特性又は校正データを用いて、分光強度から分光反射特性が算出される。これにより、参照値を取得するために高価な分光手段（参照用分光手段）を用いることなく、光源の発光特性すなわち分光強度が変化したとしても、光源（光源の発光状態）が安定するのを待たずに（光源が安定するまでの時間に比べて遙かに短時間に）、当該分光強度が変化したときの参照値に対応する基準分光特性又は校正データを、予め与えられた保存データから選択し、これに基づいて適正な分光反射特性を得るというシンプルで確実な方法によってこの分光強度変化の影響を補正することができ、低コスト且つ高速、高精度の測定が可能な反射特性測定装置を実現することができる。

また、上記構成において、前記基準分光特性は、前記光源により基準試料が連続的に照明された状態で、所定時間の間、測定して得られた基準試料反射光の複数の分光強度であることが好ましい（請求項２）。

これによれば、上記基準分光特性が、光源により基準試料が照明された状態で、所定時間の間、連続的に測定して得られた基準試料反射光の複数の分光強度とされるので、基準分光特性を容易な方法で且つ精度良く得ることができ、ひいては、この基準分光特性を用いて上記分光強度変化に対する補正を高精度に行うことができる。

また、上記構成において、前記光源は、定電流駆動されるＬＥＤであり、前記参照値取得手段は、前記ＬＥＤが１種類以上の定電流で駆動されたときの順電圧の値を前記参照値として取得することが好ましい（請求項３）。

これによれば、光源が、定電流駆動されるＬＥＤとされ、参照値取得手段によって、ＬＥＤが１種類以上の定電流で駆動されたときの順電圧の値が参照値として取得されるので、光源を高効率（高発光効率；低消費電力）で応答の速いＬＥＤとすることができるとともに、参照値として取得した順電圧値から、このＬＥＤの発光特性に直接関係するつまり分光強度の変化をより的確に把握することが可能な素子温度を容易に得ることができ、ひいてはこの素子温度を用いて上記分光強度変化に対する補正を高精度で行うことが可能となる。なお、順電圧をそのまま用いても高精度な補正を行うことができる。

また、上記構成において、前記参照値取得手段は、前記ＬＥＤが２種類の定電流で駆動されたときの各順電圧の差の値を前記参照値として取得することが好ましい（請求項４）。

これによれば、参照値取得手段によって、ＬＥＤが２種類の定電流で駆動されたときの各順電圧の差の値が参照値として取得されるので、各順電圧の値から、上記素子温度を、理論的な式を用いてより高精度に求めることができ、ひいてはこの素子温度を用いたより高精度な補正が可能となる。なお、各順電圧の差をそのまま用いても高精度な補正を行うことができる。

また、上記構成において、前記光源は、分光強度分布の異なる２種類以上のＬＥＤであり、前記参照値取得手段は、前記各ＬＥＤが１種類以上の定電流で駆動されたときの順電圧の値をそれぞれ前記参照値として取得し、前記記憶手段は、前記ＬＥＤ毎に与えられた前記複数の基準分光特性データを記憶し、前記分光強度測定手段は、前記２種類以上のＬＥＤによって照明された前記試料反射光の分光強度を測定し、前記演算手段は、前記記憶されたＬＥＤ毎の複数の基準分光特性データの中から、前記分光強度測定時に取得した前記各ＬＥＤの参照値それぞれに対応する基準分光特性データを選択し、該選択した基準分光特性データを用いて、前記試料反射光の分光強度から前記分光反射特性を算出することが好ましい（請求項５）。

これによれば、光源が、分光強度分布の異なる２種類以上のＬＥＤとされ、参照値取得手段によって、各ＬＥＤが１種類以上の定電流で駆動されたときの順電圧の値がそれぞれ参照値として取得される。また、記憶手段に、ＬＥＤ毎に与えられた複数の基準分光特性データが記憶され、分光強度測定手段によって、２種類以上のＬＥＤによって照明された試料反射光の分光強度が測定され、演算手段によって、記憶されたＬＥＤ毎の複数の基準分光特性データの中から、分光強度測定時に取得された各ＬＥＤの参照値それぞれに対応する基準分光特性データが選択され、この選択された基準分光特性データを用いて、試料反射光の分光強度から分光反射特性が算出される。したがって、必要な波長域に強度をもつ照明光を分光強度分布の異なる複数のＬＥＤを用いて容易に得ることができるとともに、これらＬＥＤ毎に個別に求めた基準分光特性データを用いてより高精度に分光反射特性を求めることができる。

また、上記構成において、前記参照値取得手段は、前記光源の発光光束の一部を受光する受光センサであり、前記参照値取得手段は、前記受光センサの出力値を前記参照値として取得することが好ましい（請求項６）。

これによれば、参照値取得手段が、光源の発光光束の一部を受光する受光センサとされ、参照値取得手段によって、受光センサの出力値が参照値として取得されるので、参照値を簡易な構成で（低コストで）且つ精度良く取得することが可能となる。

また、上記構成において、前記参照値取得手段は、前記光源の温度又は該光源の周辺温度を前記参照値として取得することが好ましい（請求項７）。

これによれば、参照値取得手段によって、光源の温度又は該光源の周辺温度が参照値として取得されるので、例えば温度センサを用いた簡易な構成で参照値を容易に取得することが可能となる。

また、上記構成において、前記参照値取得手段は、前記光源点灯後の経過時間を前記参照値として取得することが好ましい（請求項８）。

これによれば、参照値取得手段によって、光源点灯後の経過時間が参照値として取得されるので、参照値を取得するための特別なセンサ等を設ける必要がなく、低コストで参照値を取得することが可能となる。

また、上記構成において、前記光源は、定電圧又は定電流駆動される白熱ランプであり、前記参照値取得手段は、前記白熱ランプのフィラメント電流又はフィラメント電圧の値を前記参照値として取得することが好ましい（請求項９）。

これによれば、光源が、定電圧又は定電流駆動される白熱ランプとされ、参照値取得手段によって、白熱ランプのフィラメント電流又はフィラメント電圧の値が参照値として取得されるので、参照値を取得するための特別なセンサ等を設ける必要がなく、低コストで参照値を取得することが可能となる。

また、上記構成において、前記分光強度測定時に取得した前記参照値が、前記記憶手段に記憶されている基準分光特性又は校正データに対応する参照値を超えた値であるか否かを判別する判別手段と、前記対応する参照値を超えた値であると判別された場合に、前記複数の参照値それぞれに対する複数の基準分光特性又は校正データを求めるための前記基準試料の測定を再度実行し直すよう促す情報を報知する報知手段とをさらに備えることが好ましい（請求項１０）。

これによれば、分光強度測定時に取得した参照値が、記憶手段に記憶されている基準分光特性又は校正データに対応する参照値を超えた値であるか否かが判別手段によって判別され、上記対応する参照値を超えた値であると判別された場合に、複数の参照値それぞれに対する複数の基準分光特性又は校正データを求めるための基準試料測定（白色校正）を再度実行し直すよう促す情報が報知手段によって報知されるので、ユーザは、取得された参照値が想定の範囲を越えて大きく変化したものであること（白色校正を実行し直さなければならないこと）を確実に認知することができる。換言すれば、室温等の大きな変化などによって光源の発光強度が許容範囲を越えて大きく変化した場合であっても、これに対して適正に対処することが可能となり、ひいては分光反射特性の誤測定を防止することができる。

また、本発明に係る反射特性測定装置の校正方法は、試料を照明して該試料の分光反射特性を測定する反射特性測定装置の校正方法であって、前記試料を光源により照明する第１の工程と、前記光源からの照明光によって照明された試料反射光の分光強度を測定する第２の工程と、前記光源の発光特性に関する所定の参照値を取得する第３の工程と、予め複数の前記参照値それぞれに対して求められた複数の基準分光特性又は該基準分光特性に基づく複数の校正データを記憶する第４の工程と、前記記憶された複数の基準分光特性又は校正データの中から、前記分光強度測定時に取得した前記参照値に対応する基準分光特性又は校正データを選択する第５の工程と、前記選択した基準分光特性又は校正データを用いて、前記分光強度から前記分光反射特性を算出する第６の工程とを有することを特徴とする（請求項１１）。

上記構成によれば、試料を照明して該試料の分光反射特性を測定する反射特性測定装置の校正方法であって、第１の工程において、試料が光源により照明され、第２の工程において、光源からの照明光によって照明された試料反射光の分光強度が測定され、第３の工程において、光源の発光特性に関する所定の参照値が取得される。そして、第４の工程において、予め複数の参照値それぞれに対して求められた複数の基準分光特性又は該基準分光特性に基づく複数の校正データが記憶され、第５の工程において、記憶された複数の基準分光特性又は校正データの中から、分光強度測定時に取得された参照値に対応する基準分光特性又は校正データが選択され、第６の工程において、選択された基準分光特性又は校正データを用いて、分光強度から分光反射特性が算出される。これにより、参照値を取得するために高価な分光手段（参照用分光手段）を用いることなく、光源の発光特性すなわち分光強度が変化したとしても、光源（光源の発光状態）が安定するのを待たずに（光源が安定するまでの時間に比べて遙かに短時間に）、当該分光強度が変化したときの参照値に対応する基準分光特性又は校正データを、予め与えられた保存データから選択し、これに基づいて適正な分光反射特性を得るというシンプルで確実な方法によってこの分光強度変化の影響を補正することができ、低コスト且つ高速、高精度の測定が可能な校正方法を実現することができる。

本発明によれば、参照値を取得するために高価な分光手段（参照用分光手段）を用いることなく、光源の発光特性すなわち分光強度が変化したとしても、光源（光源の発光状態）が安定するのを待たずに（光源が安定するまでの時間に比べて遙かに短時間に）、当該分光強度が変化したときの参照値に対応する基準分光特性又は校正データを、予め与えられた保存データから選択し、これに基づいて適正な分光反射特性を得るというシンプルで確実な方法によってこの分光強度変化の影響を補正することができ、低コスト且つ高速、高精度の測定が可能な反射特性測定装置を実現することができる。

（実施形態１）
図１は、第１の実施形態に係る反射特性測定装置１０の一例を示す構成図である。反射特性測定装置１０は、照明部２、対物レンズ３、分光装置４、演算制御装置５及び光センサ６を備えている。照明部２は、試料１を照明するものであり、光源としての白熱ランプ２１と白熱ランプ２１を駆動して点灯するための駆動回路２２とを備えている。本実施形態では、駆動回路２２は白熱ランプ２１を定電圧駆動して発光させる。対物レンズ３は、試料１からの反射光（試料反射光）における法線（試料面法線）方向の成分１ｎを受光するとともに、該受光した光束を分光装置４へ向けて入射させる光学レンズ（又はレンズ群）である。分光装置４は、上記試料反射光の成分１ｎの分光強度を測定するものである。演算制御装置５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）、及びＣＰＵ（中央演算処理装置）等を備え、反射特性測定装置１０全体の動作制御を司るものである。演算制御装置５は、照明部２、分光装置４及び光センサ６の動作制御を行ったり、分光装置４や光センサ６からの出力情報に基づいて、試料１の分光反射特性測定における校正に関する各種演算処理を実行する。この各種演算処理については後述する。光センサ６は、反射特性測定時（測定時）における白熱ランプ２１の照明光の強度を測定するものである。なお、演算制御装置５は、後述のテーブル情報を記憶する記憶部５１を備えている。

このような構成の反射特性測定装置１０において、演算制御装置５が駆動回路２２を駆動して白熱ランプ２１を点灯させると、白熱ランプ２１は、試料１を法線に対して約４５°の方向から（入射角で）光束２１ａによって照明する。この照明による試料１からの反射光の成分１ｎが対物レンズ３で集光されて分光装置４に導かれる。分光装置４は、この反射光成分１ｎの分光強度を測定し、得られた分光強度データ４ａを演算制御装置５に出力する。本実施形態ではこの反射光成分１ｎの分光強度の測定を行うとともに、当該測定時における白熱ランプ２１の照明光（参照光束２１ｂという）の強度を光センサ６によって測定する。光センサ６による測定により得られたこの参照光束２１ｂの強度（参照強度）は参照データ（参照値）６ａ（センサ出力）として演算制御装置５へ出力される。

ところで反射特性測定装置１０は、この測定に先立って白色校正を行う。この白色校正では、既知の分光反射率係数を有する基準試料９が測定される。このとき、所定の方法で白熱ランプ２１を点灯して、点灯直後から所定時間の間すなわち上記図１０に示す点灯直後の発光強度のピーク（或いは急変）が終了した時点から安定するまでの例えば時刻Ｔ０からＴｓまでの間、所定の時間間隔で連続的に、基準試料９の反射光（基準試料反射光）の分光強度Ｉ０（λ）（基準分光強度Ｉ０（λ）という）（＝分光強度データ４ａ）と、このときの参照強度Ｒ０（基準参照強度Ｒ０という）（＝参照データ６ａ）とをそれぞれ分光装置４、光センサ６により測定する。なお、基準参照強度Ｒ０や後述の参照強度Ｒのことを、単に「参照値」とも表現する。

この時刻Ｔ０〜Ｔｓにおいて測定された一連（複数）の基準分光強度Ｉ０（λ）と基準参照強度Ｒ０とは、演算制御装置５へ送信され、互いに関連付けて記憶される。具体的には、演算制御装置５は、送信（記憶）されてきた各基準分光強度Ｉ０（λ）と上記ＲＯＭ等に予め記憶された既知の分光反射率係数Ｗ（λ）とから、以下の式（１）に基づいて、波長毎（ここでは１０ｎｍピッチで４００ｎｍ〜７００ｎｍの波長範囲）の校正係数データＣ_λを算出し、図２に示すように基準参照強度Ｒ０と対応付けて校正係数データテーブル（ルックアップテーブル；ＬＵＴ）として記憶部５１に保存（記憶）する。
Ｃ_λ＝Ｗ（λ）／Ｉ０（λ） ・・・（１）
但し、記号「／」は除算を示す（以下同様）。

ただし、この校正係数データテーブルにおけるＩｒ０は上記基準参照強度Ｒ０に相当するものであり、Ｉｒ０の列の１０２、１０１．５、１０１・・・の各値は、光センサ６により検出された照明光の光量（参照光量）を電流値（単位μＡ）として示したものである（このＩｒ０の各データ値及びデータ範囲はこれに限らない）。また、校正係数データテーブルの各行は、各Ｉｒ０値における、上記１０ｎｍ間隔の各波長４００、４１０、４２０・・・での校正係数データＣ_λを示している。例えばＣ_{１，４００}、Ｃ_{１，４１０}、Ｃ_{１，４２０}・・・は、Ｉｒ０が１０２ｍＡである場合の各波長４００、４１０、４２０・・・における校正係数データ（校正係数データ群）Ｃ_λである。

なお、上記基準分光強度（Ｔ０〜Ｔｓの各時刻において測定して得た一連の分光強度値）は、基準“分光特性”と換言することができる、すなわち、本実施形態は、各基準参照強度Ｒ０と、これら基準参照強度Ｒ０毎（参照値毎）の基準分光特性（或いは基準分光特性に基づく上記校正係数データ：Ｃ_λ）とを関連付けて保存するとも言える。この基準分光特性は、各参照値に対応する分光特性であることから“参照分光特性”とも表現する。

試料１の測定時（試料測定時）には、反射特性測定装置１０は、分光装置４及び光センサ６によってそれぞれ試料１の反射光（試料反射光）の分光強度Ｉ（λ）と参照強度Ｒとを測定し、演算制御装置５によって、記憶部５１に保存された上記校正係数データテーブルから当該試料測定時の参照強度Ｒに最も近い基準参照強度Ｒ０に対応する校正係数データ（校正係数データ群）Ｃ_λを選択し、これを用いて以下の式（２）に基づいて試料１の分光反射率係数Ｒｆ（λ）を求める（分光強度Ｉ（λ）を分光反射率係数Ｒｆ（λ）に変換する）。
Ｒｆ（λ）＝Ｃ_λ＊Ｉ（λ） ・・・（２）
但し、Ｒｆ（λ）やＩ（λ）における“λ”は上記４００ｎｍ〜７００ｎｍの波長を示している。また、記号「＊」は乗算を示す（以下同様）。

以上の方法は、白熱ランプ２１点灯後の照明光の参照強度Ｒと分光強度Ｉ０との関係が、白色校正時と試料測定時とで変わらないことが前提であるが、通常、白色校正を行う間隔は、白熱ランプ２１の特性変化に要する時間に比べて充分短いため、当該関係は白色校正時と試料測定時とで変わらないものと見なすことができる。

このような構成を備えた反射特性測定装置１０とすることにより、白熱ランプ２１の点灯後、発光強度が安定するまで待つことなく、短い待ち時間で測定を開始することができ、反射特性測定にかかる時間（測定時間）を短縮することができる。また、白熱ランプ２１の点灯後、連続して複数の試料（上記印刷パッチにおける各パッチ）を測定する場合も、各試料測定時の参照強度Ｒから最適の校正係数データＣ_λを求めてこの校正係数データＣ_λに基づいて分光反射率係数Ｒｆを求めるので、光源変動の影響を抑制することができ、高速、高精度の測定が可能となる。

なお、上記基準参照強度Ｒ０のデータ間隔が粗い場合は、測定時の参照強度Ｒと隣接する２つの基準参照強度Ｒ０との関係によって、該２つの基準参照強度Ｒ０に対応する２つの校正係数データＣ_λを波長毎に補間することにより、測定時の参照強度Ｒに対応する校正係数データＣ_λを作成してもよい。すなわち、例えば上記校正係数データテーブルにおけるＩｒ０の値が１０２、１０１、１００・・・といったデータ間隔である場合、この校正係数データテーブルのままでは、測定時の参照強度Ｒが例えば１０１．５に対応する校正係数データＣ_λが存在しないことになるが、この場合、参照強度Ｒ＝１０１．５と隣接する２つの基準参照強度Ｒ０＝１０２、１０１それぞれの校正係数データＣ_λ（Ｃ_{１，４００}、Ｃ_{１，４１０}、Ｃ_{１，４２０}・・・及びＣ_{３，４００}、Ｃ_{３，４１０}、Ｃ_{３，４２０}・・・）の各値を波長毎に直線補間することにより、この参照強度Ｒ＝１０１．５に対応する校正係数データＣ_λを生成して用いるようにしてもよい。ただし、この補間は、直線近似が成立するデータ間隔において行うものとする。

また、白熱ランプ２１の発光状態の参照値を、上記参照強度Ｒに代えて、白熱ランプ２１の定電圧駆動時に流れる電流（白熱ランプ２１のフィラメント電流）とする構成としてもよい。また、白熱ランプ２１をこの定電圧駆動でなく、定電流駆動するものとし、この場合の電圧（白熱ランプ２１のフィラメント電圧）を参照値とする構成としてもよい。また、例えば温度検出手段（温度センサ等）を備え、この温度検出手段により検出した白熱ランプ２１自身の温度、或いは白熱ランプ２１の周辺（周囲）の温度（例えば白熱ランプ２１の口金の温度や白熱ランプ２１近傍の室温）を参照値とする構成としてもよいし、さらに、これら参照値の幾つかを組み合わせたものを参照値としてもよい。要は、白熱ランプ２１の照明光の分光強度変化（変動）が検出可能なものであれば何れの参照値（検出パラメータ）であってもよい。

なお、上記温度（室温）の大きな変化などによって試料測定時の参照値が想定を超えて変化し、保存された校正係数データテーブルの参照値の範囲を越えるような場合には、当該試料測定時の参照値を所定の余裕で包含する新しい校正係数データテーブルを作成するための白色再校正を促すことができる構成を備えてもよい。すなわち例えば白色校正を室温５℃で、試料測定を３０℃でする場合など条件が大きく変わって、参照値が上記Ｉｒ０のデータ範囲を超えてしまったときに、校正係数データの範囲を越えているので白色校正をやり直すよう促すための情報（メッセージ）を報知する構成、つまり例えば参照値がデータ範囲を超えたか否かを判別する判別手段、及び、報知情報を表示する表示手段や音声として出力する音声出力手段等の報知手段を備えてもよい。ただし、本実施形態では、演算制御装置５がこの判別（判別演算）を行う（判別手段を備えている）ものとする。

また、校正係数データテーブルは、図２に示すものに限らず例えば図３に示すものであってもよい。すなわち基準参照強度Ｒ０として、白熱ランプ２１点灯後の経過時間を用いてもよい。図３の校正係数データテーブルでは、経過時間Ｔ（ｓ）が例えば１、１．５、２、２．５・・・、４（秒）となっており、この各経過時間Ｔ（ｓ）に対応する校正係数データＣ_λが記憶される。

（実施形態２）
図４は、第２の実施形態に係る反射特性測定装置１０ａの一例を示す構成図である。反射特性測定装置１０ａは、反射特性測定装置１０における白熱ランプ２１（白熱光源）の代わりに白色ＬＥＤ２３を光源とした照明部２ａを備えるものである。本実施形態では、駆動回路２４によって定電流駆動される白色ＬＥＤ２３の光束２３ａが試料１を照明する。白色ＬＥＤ２３の分光強度分布は大部分がＬＥＤ素子の温度（素子温度）に依存するが、定電流（ここでは約２０ｍＡ）で駆動される白色ＬＥＤ２３の順電圧Ｖｆと素子温度との間には、ＬＥＤのタイプに固有の図６に示すような関係（横軸を温度Ｔ（℃）、縦軸をＶｆ（Ｖ）としたとき、Ｔ（℃）の値が大きくなるにつれてＶｆ（Ｖ）の値が小さくなる関係）があることから、この順電圧Ｖｆの値を白色ＬＥＤ２３の発光状態の参照値とすることができる。

この場合、図５における白色ＬＥＤ２３の拡大図に示すように、定電流Ｉｆで駆動されている白色ＬＥＤ２３の順電圧Ｖｆを駆動回路２４によって測定（検出）し、参照データ２４ａとして演算制御装置５へ送信する。演算制御装置５は、白色校正時に、白色ＬＥＤ２３点灯後の一定時間の間（この間、ＬＥＤの素子温度は上昇し、この上昇に伴って順電圧は降下する）、基準試料９の反射光（基準試料反射光）の分光強度Ｉ０（λ）（基準分光強度Ｉ０（λ））と、このときの順電圧Ｖｆ０（基準順電圧Ｖｆ０という）とを連続的に取得し、この両者を対応付けて分光強度データテーブル（上記校正係数データテーブルに相当）として記憶部５１に保存する。

試料測定時には、反射特性測定装置１０ａは、分光装置４及び駆動回路２４によってそれぞれ試料１の反射光（試料反射光）の分光強度Ｉ（λ）と順電圧Ｖｆとを測定し、演算制御装置５によって、記憶部５１に保存された上記分光強度データテーブルから当該試料測定時の順電圧Ｖｆに対応する基準分光強度Ｉ０（λ）を選択し、基準試料９の既知の分光反射率係数Ｗ（λ）を用いて、以下の式（３）に基づいて試料１の分光反射率係数Ｒｆ（λ）を求める（試料１の分光強度Ｉ（λ）を分光反射率係数Ｒｆ（λ）に変換する）。
Ｒｆ（λ）＝Ｗ（λ）＊Ｉ（λ）／Ｉ０（λ） ・・・（３）

なお、上記分光強度データテーブルから基準分光強度Ｉ０（λ）を選択することは、上記式（３）におけるＷ（λ）／Ｉ０（λ）の値を選択すること、つまり第１の実施形態で説明した校正係数データテーブルから基準参照強度Ｒ０に対応する校正係数データＣ_λを選択することに相当する。

図４では、１つの白色ＬＥＤ２３を用いて試料を照明する構成であるが、これに限らず、例えば試料面法線を対称軸として環状に配置された複数の白色ＬＥＤを備え、これら白色ＬＥＤで試料を照明する構成としてもよい。この場合、各白色ＬＥＤの順電圧の和、或いは平均を参照値としてもよい。なお、これら全ての白色ＬＥＤが同じ条件で駆動される場合は、これらのうちの１つの白色ＬＥＤの順電圧を参照値としても大きな誤差を招くことはない。ただし、分光強度分布や、分光強度分布−温度の関係を含む白色ＬＥＤの特性は経時変化するが、通常の白色校正の時間間隔内の変化は無視できる。

また、白色ＬＥＤ２３を２種類の定電流Ｉ_１、Ｉ_２で駆動したときの順電圧をそれぞれＶｆ_１、Ｖｆ_２とすると、これら順電圧の差Ｖｆ_１−Ｖｆ_２と素子温度Ｔとの関係は、以下の（４）式のようになる（差Ｖｆ_１−Ｖｆ_２が素子温度Ｔに比例する）。したがって、例えば白色ＬＥＤ２３をＩ_１＝２０ｍＡで駆動して反射光の分光強度と順電圧Ｖｆ_１とを測定した直後、短時間の間、白色ＬＥＤ２３をＩ_２＝２ｍＡで駆動して順電圧Ｖｆ_２を測定し、以下の（５）式によって求めた素子温度Ｔを参照値としてもよい。或いは単に順電圧の差Ｖｆ_１−Ｖｆ_２を参照値としてもよい。
Ｖｆ_１−Ｖｆ_２＝（Ｋ_ｂ／ｑ）＊Ｔ＊Ｌｎ（Ｉ_１／Ｉ_２） ・・・（４）
但し、Ｋ_ｂはボルツマン定数、ｑは電子の電荷を示す。
Ｔ＝（Ｖｆ_１−Ｖｆ_２）／［（Ｋ_ｂ／ｑ）＊Ｌｎ（Ｉ_１／Ｉ_２）］ ・・・（５）

（実施形態３）
上記第２の実施形態の反射特性測定装置１０ａでは、１つの白色ＬＥＤ２３のみを光源とする照明部２ａを備える構成であったが、図７に示すように、本実施形態の反射特性測定装置１０ｂは、互いに異なる分光強度分布を有する２つのＬＥＤを光源とする照明部２ｂを備える構成となっている。この２つのＬＥＤは、例えば青色発光とこの青色発光で励起される黄色蛍光とからなる分光強度分布（図８参照）を有するＬＥＤ２５（白色ＬＥＤ２５）と、この白色ＬＥＤ２５が殆ど分光強度をもたない例えば４００〜４５０ｎｍの波長域に分光強度をもつＬＥＤ２７（紫色ＬＥＤ２７）とである。

上記各ＬＥＤ２５、２７はそれぞれ駆動回路２６、２８によって定電流駆動される。この場合、白色ＬＥＤ２５と紫色ＬＥＤ２７とは異なる分光強度分布−順電圧関係を有するので、白色校正は各ＬＥＤ２５、２７について個別に行われる。すなわち、反射特性測定装置１０ｂ（演算制御装置５）は、先ず、白色ＬＥＤ２５を発光させ、第２の実施形態と同様に、基準順電圧Ｖｆｗ０と対応付けて基準試料反射光の基準分光強度Ｉｗ０（λ）を保存して白色ＬＥＤ用分光強度データテーブルとし、続いて、紫色ＬＥＤ２７を発光させて、基準順電圧Ｖｆｐ０と対応付けて基準試料反射光の基準分光強度Ｉｐ０（λ）を保存して紫色ＬＥＤ用分光強度データテーブルとする。

試料測定時には、演算制御装置５は、白色ＬＥＤ２５と紫色ＬＥＤ２７とを同時に発光させて試料１の反射光の分光強度Ｉ（λ）を取得するとともに、このときの各ＬＥＤ２５、２７の順電圧Ｖｆｗ（白色ＬＥＤ順電圧Ｖｆｗ）及び順電圧Ｖｆｐ（紫色ＬＥＤ順電圧Ｖｆｐ）も取得する。ただし、この白色ＬＥＤ順電圧Ｖｆｗ及び紫色ＬＥＤ順電圧Ｖｆｐはそれぞれ駆動回路２６、２８によって測定（検出）され、参照データ２６ａ、２８ａとして演算制御装置５へ送信される。演算制御装置５は、記憶部５１に保存された白色ＬＥＤ用分光強度データテーブル及び紫色ＬＥＤ用分光強度データテーブルから、白色ＬＥＤ順電圧Ｖｆｗ及び紫色ＬＥＤ順電圧Ｖｆｐそれぞれに対応する基準分光強度Ｉｗ０（λ）、Ｉｐ０（λ）を選択し、基準試料９の既知の分光反射率係数Ｗ（λ）を用いて、以下の式（６）に基づいて試料１の分光反射率係数Ｒｆ（λ）を求める（試料１の分光強度Ｉ（λ）を分光反射率係数Ｒｆ（λ）に変換する）。
Ｒｆ（λ）＝Ｗ（λ）＊Ｉ（λ）／［Ｉｗ０（λ）＋Ｉｐ０（λ）］ ・・・（６）

この場合も上記白色ＬＥＤ用分光強度データテーブル及び紫色ＬＥＤ用分光強度データテーブルから、白色ＬＥＤ順電圧Ｖｆｗ及び紫色ＬＥＤ順電圧Ｖｆｐそれぞれに対応する基準分光強度Ｉｗ０（λ）、Ｉｐ０（λ）を選択することは、上記式（３）におけるＷ（λ）／Ｉ０（λ）の値を選択すること、つまり第１の実施形態で説明した校正係数データテーブルから基準参照強度Ｒ０に対応する校正係数データＣ_λを選択することに相当する。

なお、ここでは、測定時間の短縮を図るべく白色ＬＥＤ２５と紫色ＬＥＤ２７とを同時に発光させたが、個別に発光させてもよい。この場合、各ＬＥＤ２５、２７の照明光２５ａ、２７ａによる試料反射光の分光強度分布Ｉｗ（λ）、Ｉｐ（λ）を取得した後、これらの和Ｉｗ（λ）＋Ｉｐ（λ）をＩ（λ）（上記（６）式のＩ（λ））とする。また、ここでは２つのＬＥＤを用いているが、これに限らず、異なる分光強度分布を有する３種類以上のＬＥＤを用いてもよい（上記白色や紫色などに限らず、緑色や赤色発光の分光強度分布を有するＬＥＤを用いてもよい）。この場合もＬＥＤの種類毎に順電圧値に対応する分光強度データテーブルがつくられる。

図９は、上記第１〜第３の実施形態に係る反射特性測定装置１０、１０ａ、１０ｂの測定動作の一例を示すフローチャートである。先ずステップＳ１において、光源（白熱ランプ２１、白色ＬＥＤ２３、白色ＬＥＤ２５及び紫色ＬＥＤ２７）を点灯させて試料１を照明する。次に、ステップＳ２において、試料反射光の分光強度Ｉ（λ）と光源の参照値（Ｒ、Ｖｆ、Ｖｆｗ及びＶｆｐ）とを測定する。ステップＳ３において、予め記憶部５１に保存されている校正係数データテーブル（分光強度データテーブル、白色ＬＥＤ用分光強度データテーブル及び紫色ＬＥＤ用分光強度データテーブル）から、上記参照値に対応する校正係数データＣ_λ（基準分光強度Ｉ０（λ）、基準分光強度Ｉｗ０（λ）及びＩｐ０（λ）；参照分光特性）を選択する。そして、ステップＳ４において、上記選択した校正係数データＣ_λを用いて、上記式（２）、（３）或いは（６）によって試料１の分光強度Ｉ（λ）を分光反射率係数Ｒｆ（λ）に変換する（試料１の分光反射率係数Ｒｆ（λ）を求める）。

以上のように第１〜第３の実施形態における反射特性測定装置（１０、１０ａ、１０ｂ）によれば、白熱ランプ２１や白色ＬＥＤ２３或いは白色ＬＥＤ２５及び紫色ＬＥＤ２７（光源）によって試料が照明され、分光装置４（分光強度測定手段）によって、光源からの照明光によって照明された試料反射光の分光強度が測定され、光センサ６或いは駆動回路２４、２６、２８（参照値取得手段）によって、光源の発光特性に関する所定の参照値（参照データ６ａ、参照データ２４ａ、参照データ２６ａ、２８ａ）が取得される。また、記憶部５１（記憶手段）に予め複数の参照値それぞれに対して求められた複数の基準分光特性（参照分光特性）又は該基準分光特性に基づく複数の校正データ（校正係数データＣ_λ）（校正係数データテーブル、分光強度データテーブル、白色ＬＥＤ用分光強度データテーブル及び紫色ＬＥＤ用分光強度データテーブル）が記憶され、演算制御装置５（演算手段）によって、この記憶された複数の基準分光特性又は校正データの中から、分光強度測定時に取得された参照値（Ｒ、Ｖｆ、Ｖｆｗ及びＶｆｐ）に対応する基準分光特性又は校正データ（校正係数データＣ_λ、基準分光強度Ｉ０（λ）、基準分光強度Ｉｗ０（λ）、Ｉｐ０（λ））が選択され、この選択された基準分光特性又は校正データを用いて、分光強度（分光強度Ｉ（λ））から分光反射特性（分光反射率係数Ｒｆ（λ））が算出される。

これにより、参照値を取得するために高価な分光手段（参照用分光手段）を用いることなく、光源の発光特性すなわち分光強度が変化したとしても、光源（光源の発光状態）が安定するのを待たずに（光源が安定するまでの時間に比べて遙かに短時間に）、当該分光強度が変化したときの参照値に対応する基準分光特性又は校正データを、予め与えられた保存データから選択し、これに基づいて適正な分光反射特性を得るというシンプルで確実な方法によってこの分光強度変化の影響を補正することができ、低コスト且つ高速、高精度の測定が可能な反射特性測定装置を実現することができる。

また、上記基準分光特性が、光源により基準試料９が連続的に照明された状態で、所定時間の間（例えば図１１に示すＴ０〜Ｔｓまでの期間）、測定して得られた基準試料反射光の複数の分光強度（一連の分光強度データ）ならなるものとされるので、基準分光特性を容易な方法で且つ精度良く得ることができ、ひいては、この基準分光特性を用いて上記分光強度変化に対する補正を高精度に行うことができる。なお、当該所定時間の間の測定は、図１１に示すＴ０〜Ｔｓ間のように連続的に（継続して）測定してもよいし、例えば１秒間という謂わば断片的な時間間隔において測定してもよい。この断片的な時間間隔での測定を、所定時間間隔を置いて複数回行うような測定方法であってもよい。

また、光源が、定電流駆動されるＬＥＤ（白色ＬＥＤ２３）とされ、参照値取得手段によって、ＬＥＤが１種類以上の定電流Ｉｆで駆動されたときの順電圧Ｖｆの値が参照値として取得されるので、光源を高効率（高発光効率；低消費電力）で応答の速いＬＥＤとすることができるとともに、参照値として取得した順電圧Ｖｆから、このＬＥＤの発光特性に直接関係するつまり分光強度の変化をより的確に把握することが可能な素子温度Ｔを容易に得ることができ、ひいてはこの素子温度Ｔを用いて上記分光強度変化に対する補正を高精度で行うことが可能となる。なお、順電圧Ｖｆをそのまま用いても高精度な補正を行うことができる。

また、参照値取得手段によって、ＬＥＤが２種類の定電流Ｉ_１、Ｉ_２で駆動されたときの各順電圧Ｖｆ_１、Ｖｆ_２の差Ｖｆ_１−Ｖｆ_２の値が参照値として取得されるので、各順電圧Ｖｆ_１、Ｖｆ_２の値から、上記素子温度Ｔを、理論的な式（式（４）又は（５））を用いてより高精度に求めることができ、ひいてはこの素子温度Ｔを用いたより高精度な補正が可能となる。なお、各順電圧の差Ｖｆ_１−Ｖｆ_２をそのまま用いても高精度な補正を行うことができる。

また、光源が、分光強度分布の異なる２種類以上のＬＥＤ（例えば白色ＬＥＤ２５及び紫色ＬＥＤ２７）とされ、参照値取得手段によって、各ＬＥＤが１種類以上の定電流で駆動されたときの順電圧Ｖｆｗ、Ｖｆｐの値がそれぞれ参照値として取得される。また、記憶手段に、ＬＥＤ毎に与えられた複数の基準分光特性及び校正データ（白色ＬＥＤ用分光強度データテーブル及び紫色ＬＥＤ用分光強度データテーブル）が記憶され、分光強度測定手段によって、２種類以上のＬＥＤによって照明された試料反射光の分光強度（分光強度Ｉ（λ））が測定され、演算手段によって、上記記憶されたＬＥＤ毎の複数の基準分光特性データの中から、分光強度測定時に取得された各ＬＥＤの参照値それぞれに対応する基準分光特性データ（基準分光強度Ｉｗ０（λ）、Ｉｐ０（λ））が選択され、この選択された基準分光特性データを用いて、試料反射光の分光強度から分光反射特性が算出される。したがって、必要な波長域に強度をもつ（図８参照）照明光を分光強度分布の異なる複数のＬＥＤを用いて容易に得ることができるとともに、これらＬＥＤ毎に個別に求めた基準分光特性データを用いてより高精度に分光反射特性を求めることができる。

また、参照値取得手段が、光源の発光光束の一部を受光する光センサ６（受光センサ）とされ、参照値取得手段によって、受光センサの出力値が参照値として取得されるので、参照値を簡易な構成で（低コストで）且つ精度良く取得することが可能となる。

また、参照値取得手段によって、光源の温度又は該光源の周辺温度が参照値として取得されるので、例えば温度センサを用いた簡易な構成で参照値を容易に取得することが可能となる。

また、参照値取得手段によって、光源点灯後の経過時間（図３のＴ（ｓ）参照）が参照値として取得されるので、参照値を取得するための特別なセンサ等を設ける必要がなく、低コストで参照値を取得することが可能となる。

また、光源が、定電圧又は定電流駆動される白熱ランプ２１とされ、参照値取得手段によって、白熱ランプ２１のフィラメント電流又はフィラメント電圧の値が参照値として取得されるので、参照値を取得するための特別なセンサ等を設ける必要がなく、低コストで参照値を取得することが可能となる。

また、分光強度測定時に取得した参照値が、記憶手段に記憶されている基準分光特性又は校正データに対応する参照値を超えた値であるか否かが判別手段（演算制御装置５）によって判別され、上記対応する参照値を超えた値であると判別された場合に、複数の参照値それぞれに対する複数の基準分光特性又は校正データを求めるための基準試料測定（白色校正）を再度実行し直すよう促す情報が報知手段によって報知されるので、ユーザは、取得された参照値が想定の範囲を越えて大きく変化したものであること（白色校正を実行し直さなければならないこと）を確実に認知することができる。換言すれば、室温等の大きな変化などによって光源の発光強度が許容範囲を越えて大きく変化した場合であっても、これに対して適正に対処することが可能となり、ひいては分光反射特性の誤測定を防止することができる。

さらに、試料を照明して該試料の分光反射特性を測定する反射特性測定装置の校正方法であって、第１の工程において、試料が光源により照明され、第２の工程において、光源からの照明光によって照明された試料反射光の分光強度が測定され、第３の工程において、光源の発光特性に関する所定の参照値が取得される。そして、第４の工程において、予め複数の参照値それぞれに対して求められた複数の基準分光特性（参照分光特性）又は該基準分光特性に基づく複数の校正データが記憶され、第５の工程において、記憶された複数の基準分光特性又は校正データの中から、分光強度測定時に取得された参照値に対応する基準分光特性又は校正データが選択され、第６の工程において、選択された基準分光特性又は校正データを用いて、分光強度から分光反射特性が算出される。これにより、参照値を取得するために高価な分光手段（参照用分光手段）を用いることなく、光源の発光特性すなわち分光強度が変化したとしても、光源（光源の発光状態）が安定するのを待たずに（光源が安定するまでの時間に比べて遙かに短時間に）、当該分光強度が変化したときの参照値に対応する基準分光特性又は校正データを、予め与えられた保存データから選択し、これに基づいて適正な分光反射特性を得るというシンプルで確実な方法によってこの分光強度変化の影響を補正することができ、低コスト且つ高速、高精度の測定が可能な校正方法を実現することができる。

第１の実施形態に係る反射特性測定装置の一例を示す構成図である。 校正係数データテーブルの一例を示す図である。 校正係数データテーブルの一例を示す図である。 第２の実施形態に係る反射特性測定装置の一例を示す構成図である。 上記図４に示す白色ＬＥＤの拡大図である。 上記白色ＬＥＤの温度と順電圧との関係を示す特性グラフである。 第３の実施形態に係る反射特性測定装置の一例を示す構成図である。 上記図４に示す白色ＬＥＤ及び紫色ＬＥＤの分光強度分布の一例を示すグラフ図である。 第１〜第３の実施形態に係る反射特性測定装置の測定動作の一例を示すフローチャートである。 定電圧駆動された白熱ランプの点灯直後の経時的光量変化を示すグラフ図である。 波長の違いによる経時的光量変化の違いを説明するグラフ図である。 従来の反射特性測定装置の構成図である。

符号の説明

１ 試料
１ｎ 反射光成分（試料反射光）
２、２ａ、２ｂ 照明部
２１ 白熱ランプ
２１ａ 光束
２１ｂ 参照光束
２２ 駆動回路
２４、２６、２８ 駆動回路（参照値取得手段）
２３ 白色ＬＥＤ（請求項３、４に記載のＬＥＤ）
２３ａ 光束
２５ 白色ＬＥＤ（請求項５に記載のＬＥＤ）
２５ａ 照明光
２７ 紫色ＬＥＤ（請求項５に記載のＬＥＤ）
３ 対物レンズ
４ 分光装置（分光強度測定手段）
４ａ 分光強度データ
５ 演算制御装置（演算手段、判別手段）
５１ 記憶部（記憶手段）
６ 光センサ（参照値取得手段、受光センサ）
６ａ、２４ａ、２６ａ 参照データ
９ 基準試料
１０、１０ａ、１０ｂ 反射特性測定装置

Claims (11)

1. 試料を照明して該試料の分光反射特性を測定する反射特性測定装置であって、
   前記試料を照明する光源と、
   前記光源からの照明光によって照明された試料反射光の分光強度を測定する分光強度測定手段と、
   前記光源の発光特性に関する所定の参照値を取得する参照値取得手段と、
   予め複数の前記参照値それぞれに対して求められた複数の基準分光特性又は該基準分光特性に基づく複数の校正データを記憶する記憶手段と、
   前記記憶された複数の基準分光特性又は校正データの中から、前記分光強度測定時に取得した前記参照値に対応する基準分光特性又は校正データを選択し、該選択した基準分光特性又は校正データを用いて、前記分光強度から前記分光反射特性を算出する演算手段とを備えることを特徴とする反射特性測定装置。
2. 前記基準分光特性は、前記光源により基準試料が連続的に照明された状態で、所定時間の間、測定して得られた基準試料反射光の複数の分光強度であることを特徴とする請求項１記載の反射特性測定装置。
3. 前記光源は、定電流駆動されるＬＥＤであり、
   前記参照値取得手段は、前記ＬＥＤが１種類以上の定電流で駆動されたときの順電圧の値を前記参照値として取得することを特徴とする請求項１又は２に記載の反射特性測定装置。
4. 前記参照値取得手段は、前記ＬＥＤが２種類の定電流で駆動されたときの各順電圧の差の値を前記参照値として取得することを特徴とする請求項３に記載の反射特性測定装置。
5. 前記光源は、分光強度分布の異なる２種類以上のＬＥＤであり、
   前記参照値取得手段は、前記各ＬＥＤが１種類以上の定電流で駆動されたときの順電圧の値をそれぞれ前記参照値として取得し、
   前記記憶手段は、前記ＬＥＤ毎に与えられた前記複数の基準分光特性データを記憶し、
   前記分光強度測定手段は、前記２種類以上のＬＥＤによって照明された前記試料反射光の分光強度を測定し、
   前記演算手段は、前記記憶されたＬＥＤ毎の複数の基準分光特性データの中から、前記分光強度測定時に取得した前記各ＬＥＤの参照値それぞれに対応する基準分光特性データを選択し、該選択した基準分光特性データを用いて、前記試料反射光の分光強度から前記分光反射特性を算出することを特徴とする請求項１又は２に記載の反射特性測定装置。
6. 前記参照値取得手段は、前記光源の発光光束の一部を受光する受光センサであり、
   前記参照値取得手段は、前記受光センサの出力値を前記参照値として取得することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の反射特性測定装置。
7. 前記参照値取得手段は、前記光源の温度又は該光源の周辺温度を前記参照値として取得することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の反射特性測定装置。
8. 前記参照値取得手段は、前記光源点灯後の経過時間を前記参照値として取得することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の反射特性測定装置。
9. 前記光源は、定電圧又は定電流駆動される白熱ランプであり、
   前記参照値取得手段は、前記白熱ランプのフィラメント電流又はフィラメント電圧の値を前記参照値として取得することを特徴とする請求項１又は２に記載の反射特性測定装置。
10. 前記分光強度測定時に取得した前記参照値が、前記記憶手段に記憶されている基準分光特性又は校正データに対応する参照値を超えた値であるか否かを判別する判別手段と、
    前記対応する参照値を超えた値であると判別された場合に、
    前記複数の参照値それぞれに対する複数の基準分光特性又は校正データを求めるための前記基準試料の測定を再度実行し直すよう促す情報を報知する報知手段と
    をさらに備えることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の反射特性測定装置。
11. 試料を照明して該試料の分光反射特性を測定する反射特性測定装置の校正方法であって、
    前記試料を光源により照明する第１の工程と、
    前記光源からの照明光によって照明された試料反射光の分光強度を測定する第２の工程と、
    前記光源の発光特性に関する所定の参照値を取得する第３の工程と、
    予め複数の前記参照値それぞれに対して求められた複数の基準分光特性又は該基準分光特性に基づく複数の校正データを記憶する第４の工程と、
    前記記憶された複数の基準分光特性又は校正データの中から、前記分光強度測定時に取得した前記参照値に対応する基準分光特性又は校正データを選択する第５の工程と、
    前記選択した基準分光特性又は校正データを用いて、前記分光強度から前記分光反射特性を算出する第６の工程とを有することを特徴とする反射特性測定装置の校正方法。

Images