JP3555400B2 - 反射特性測定装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、積分球を用いた分光測色計等に適用されるもので、試料の反射特性を測定する反射特性測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、試料の反射特性の測定は、照明系と受光系の光学的条件(ジオメトリ)によって大きい影響を受ける。従って、分光測色計等の反射特性測定装置の多くは、CIE(国際照明委員会)が推奨する45/0(45°照明、垂直受光)、0/45(垂直照明、45°受光)や、d/0(拡散照明、垂直受光)、0/d(垂直照明、拡散受光)のいずれかのジオメトリを採用している。
【0003】
従来、それらの内でもd/0の一種であるd/8(拡散照明、8°受光)ジオメトリは、試料表面の構造に影響されず安定性が高い鏡面反射成分を含(Specular Component Included)反射特性と、目視に近い鏡面反射成分を含まない(Specular Component Excluded)反射特性の双方の測定が可能であることから、広く用いられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来の反射特性測定装置が有する課題の一つは、同一のジオメトリであっても異なる機種間において厳密な測定データの互換性がないことである。その要因として、異なる機種間において分光手段の特性やジオメトリが厳密な意味で一致していない点が上げられる。分光手段の波長精度や半値幅等の特性の相違を補正するのは容易ではなく、ジオメトリを高精度で一致させるのは更に困難である。
【0005】
また、d/8ジオメトリの測定装置は、一般に試料を拡散照明するための積分球を備えているが、たとえ積分球の大きさや試料の測定径が同一であっても、試料面における照明特性は機種毎に少しずつ異なっているために、測定データの互換性に限界を与えている。
【0006】
ここで、図2、図3を用いて測定データの互換性に限界を与える問題点(1)、(2)について説明する。
【0007】
(1)積分球による拡散照明といっても、図2(a)、(b)に示すように、積分球の構造や内壁の反射特性によって、照明光の配光は機種毎に異なる。図2(a)に示す拡散照明光I0は、試料3の表面の法線に対して−8°方向の成分が相対的に弱くなっており、図2(b)に示す拡散照明光I0は、同成分が相対的に強くなって
いる。なお、各々の照明光I0の全光量は等しいとする。
【0008】
試料3の表面が光沢面の場合には、試料3からの反射光は拡散反射光Rdと鏡面反射光Rsとからなる。拡散反射光Rdは、照明光I0の配光による影響を受けないため、図2(a)、図2(b)とも、その配光及び強度はほぼ等しくなるが、鏡面反射光Rsは、照明光I0の配光を反映して、図2(b)の場合には、図2(a)の場合に比べて8°方向の成分が相対的に強くなっている。
【0009】
従って、観察される8°方向の反射光R8においても、試料特有の波長依存性を有する拡散反射光Rdに対する波長依存性のない鏡面反射成分の相対強度が、図2(b)の場合には図2(a)の場合に比べて強くなっており、これによって分光反射率に差が生じる。
【0010】
(2)図3に示すように、積分球91に入射した光源92の光束Fは、積分球91の内壁91aで多重反射され、拡散光の一部I0は試料3を照明し、それによって反射される。拡散光の他の一部M0は参照用光ファイバ93に入射し、参照光となる。なお、図3中、カッコを付加した符号は、その一部のみを示していることを表わす。
【0011】
試料3と参照用光ファイバ93の入射端は部位が異なるため、拡散光I0,M0は等しくはないが比例関係にあり(I0∝M0)、その比例係数はジオメトリにのみ依存する。
【0012】
試料3の反射率をrとすると、反射光I0・rは、再び積分球91の内壁91aで拡散反射され、そのごく一部Isが試料3を再照明する。この再照明に寄与す
る拡散光の一部Msが、やはり参照用光ファイバ93に入射する。
【0013】
この拡散光の一部Is,Msもジオメトリにのみ依存する比例関係にあるが、この場合の光源は試料3自身であり、その部位も光源92と異なるため、その比例係数は拡散光I0,M0間の比例係数とは異なる。
【0014】
それぞれの比例係数が異なること、及び照明光に占める再照明光の割合が試料3の反射率rに依存することから、再照明光を含む照明光を正確に測定することはできない。
【0015】
これによる誤差は、再照明光が試料の反射率rに比例することから、反射率の2乗(r2)に比例する。これを例えば反射率90%の白色標準試料で校正すると、図4に示すように、再照明の影響により実線のように高反射率の試料で正にずれた反射率を90%で破線のように校正することになるため、特に中間反射率の試料について負の測定誤差が生じる。
【0016】
この再照明は、いわゆる積分球効果によるもので、試料3を照明するための試料用開口近傍の構造による影響を受けやすい。通常、図3に示すように、光源92が試料3を直接照明するのを防止するためのバッフル94が試料用開口に近接して配設されている。この場合には、試料3からの反射光がバッフル94により反射されて試料3を再照明することとなる。バッフル94の位置や大きさは機種毎に異なるので、これが機種間差の原因となるが、この機種間差は、やはり反射率の2乗(r2)に比例する。
【0017】
これらの問題点に対して、(1)の配光の相違による機種間差を補正するために、特開平6−50817号公報記載の測定装置では、図5に示すように、2つの照明手段110,120を有する積分球100を用いている。各照明手段110,120は、それぞれ積分球100の内壁の異なる直接照明域117,127を最初に照明している。これによって、各照明手段110,120による拡散照明光の配光は相違している。
【0018】
そして、これらの拡散照明光により試料3を順次照明し、得られた2つの反射特性を適切な重み係数で線形結合し、所望の配光における反射率に近似する反射特性を求めることによって、上記問題点(1)の配光の相違による機種間差を補正している。
【0019】
ところが、従来、上記問題点(2)の積分球効果による再照明に起因する誤差を補正するものは提供されていない。
【0020】
本発明は、上記問題点(2)に鑑みてなされたもので、試料からの反射光による再照明も含めて異なる機種間に生じる誤差を厳密に補正することにより、測定データの互換性の高い反射特性測定装置を提供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】
本発明は、互いに異なる位置に形成された複数の照明用開口、試料用開口及び受光用開口を有し、上記試料用開口に配置された試料を照明する積分球と、上記複数の照明用開口のそれぞれに配設され、上記積分球内に光束を導く複数の照明手段と、上記受光用開口に配設され、上記試料からの反射光を受光してその光強度に対応する受光データを出力する受光手段と、上記複数の照明手段をそれぞれ個別に発光させ、上記受光手段から、上記複数の照明手段に対応し、積分球効果による再照明に基づく反射光を含む受光データをそれぞれ個別に出力させる測定制御手段と、上記再照明に基づく反射光を含む受光データに基づき算出された上記複数の照明手段それぞれ個別の照明による上記試料の見かけの反射特性値及び上記見かけの反射特性値の2乗からなる線形結合が、互換性を得るために設定された特定の照明条件における上記試料の特定照明条件反射特性値に近似するように設定された、上記複数の照明手段のそれぞれに関する見かけの反射特性値に対する重み係数及び上記見かけの反射特性値の2乗に対する重み係数を記憶する記憶手段と、上記複数の照明手段のそれぞれに対応する上記受光データに関して、それぞれ上記試料の上記見かけの反射特性値及び上記見かけの反射特性値の2乗を求めるとともに、求めた上記それぞれの照明手段に対応する上記見かけの反射特性値及び上記見かけの反射特性値の2乗の各々に対応する上記各重み係数を乗じて線形結合することにより上記特定の照明条件における上記試料の特定照明条件反射特性値を求める演算処理手段とを備えたものである。
【0022】
この構成によれば、積分球の試料用開口に試料が配置された状態で各照明手段が個別に発光して積分球内に光束が導かれ、各照明手段の発光毎に試料からの反射光の光強度に対応する受光データが得られ、各受光データに基づいて各照明手段による試料の見かけの反射特性値、つまり積分球効果による再照明に基づく反射光を含んだ受光データに基づき算出された値である見かけの反射特性値がそれぞれ求められる。そして、互換性を得るために設定された特定照明条件反射特性値に近似するように予め記憶手段に記憶させている、上記複数の照明手段に関する見かけの反射特性値に対する重み係数、及び前記見かけの反射特性値の2乗に対する重み係数を乗じて線形結合することにより、上記特定の照明条件における試料特定照明条件反射特性値が求められる。これにより、特定の照明条件下において互換性の高い反射特性データが得られることとなる。
【0023】
また、請求項2記載の反射特性測定装置において、上記受光用開口は、上記試料の表面の法線から略8°の方向に形成され、上記受光手段は、上記試料からの反射光の内で上記略8°の方向の成分を受光するもので、上記照明手段は、上記積分球内の所定の領域に向けて光束を導く第1の照明手段と、上記積分球内の上記略8°の方向と上記法線に関して対称な方向の領域に向けて光束を導く第2の照明手段とからなるものである。
【0024】
この構成によれば、積分球の試料用開口に試料が配置された状態で第1、第2の照明手段が個別に発光し、第1の照明手段が発光すると積分球内の所定の領域に向けて光束が導かれ、試料は略均一な拡散照明光によって照明され、第2の照明手段が発光すると積分球内の試料の表面の法線から略8°の方向と上記法線に関して対称な方向の領域に向けて光束が導かれ、試料は鏡面反射を強調するような配光を有する拡散照明光によって照明される。
【0025】
積分球の受光用開口は、上記略8°の方向に形成され、受光手段により試料からの反射光の内で上記略8°の方向の成分が受光されて、第1、第2の照明手段の発光毎に試料からの反射光の光強度に対応する受光データが得られ、各受光データに基づいて第1、第2の照明手段による試料の見かけの反射特性値、つまり積分球効果による再照明に基づく反射光を含んだ受光データに基づき算出された値である見かけの反射特性値がそれぞれ求められるようになる。そして上記と同様にして、特定の照明条件における試料特定照明条件反射特性値を求めることができるものである。
【0026】
【発明の実施の形態】
図1は本発明に係る反射特性測定装置の第1実施形態の構成図である。
積分球1は、その内壁1aに高拡散、高反射率の例えばMgOやBaSO4等の白色拡散反射塗料が塗布された中空の球で、底部に形成され、測定対象である試料3を照明するための試料用開口2と、側面のほぼ中央に形成され、第1の照明手段10からの光束を入射させるための光源用開口16と、試料用開口2の側方に形成され、第2の照明手段20からの光束を入射させるための光源用開口26と、試料3表面の法線2aに対して8°だけ傾斜した方向に形成され、試料3からの反射光を受光光学系32に入射させるための受光用開口31とを備えている。
【0027】
第1の照明手段10は、光源11、発光回路12等から構成され、光源用開口16の近傍に配設されている。光源11は、Xeフラッシュ等が用いられ、積分球1内に光束を供給して、内壁1aの広い直接照明域5を最初に照明するものである。発光回路12は、光源11を発光させるもので、後述する測定制御手段52により動作が制御される。
【0028】
第2の照明手段20は、光源21、発光回路22、マスク板23、照明光学系24、反射鏡25及び拡散板27等から構成され、光源用開口26の近傍に配設されている。光源21は、Xeフラッシュ等が用いられ、積分球1内に光束を供給するものである。発光回路22は、光源21を発光させるもので、測定制御手段52により動作が制御される。
【0029】
拡散板27は、光源21に近接して配置され、光源21から入射する光束を拡散する半透明板である。マスク板23は、開口23aを有し、光源21からの光束による照射域を制限するものである。照明光学系24は、レンズ等からなり、反射鏡25を介して開口23aの像を積分球1の内壁1aの直接照明域4に結像するものである。この直接照明域4は、試料3表面の法線2aに対して−8°の方向に位置しており、受光用開口31とは法線2aに関して対称な位置になるように、第2の照明手段20が配設されている。
【0030】
受光光学系32は、レンズ等からなり、その光軸32aが試料3表面の法線2aに対して8°だけ傾斜した方向に設定されて拡散照明、8°受光のd/8光学系を形成しており、試料3からの反射光の内で8°方向の成分を試料用分光手段30の受光面に集束するものである。試料用分光手段30は、試料3からの反射光を受光して、その分光強度に対応する受光データを出力するもので、受光データは後述する制御手段50に送られる。
【0031】
このような構成により、第1の照明手段10の光源11が発光すると、積分球1の内壁1aの広い直接照明域5に向けて光束が導かれた後、内壁1aで多重反射する。従って、第1の照明手段10により、試料3はあらゆる方向からほぼ一様に拡散照明されることとなる。
【0032】
また、第2の照明手段20の光源21が発光すると、積分球1の内壁1aの直接照明域4に向けて光束が導かれ、この直接照明域4が限定的に照明される。直接照明域4で反射した後、やはり多重反射されるが、一定部分の反射光は試料3を直接照明し、試料面で鏡面反射された光束は、受光用開口31を通って受光光学系32に入射する。従って、第2の照明手段20により、試料3は拡散照明に加えて鏡面反射を強調するような配光を有する照明光によって照明されることとなる。
【0033】
積分球1には、更に、参照用光ファイバ41が取り付けられている。この参照用光ファイバ41は、入射端に入射する積分球1内の照明光の一部を参照用分光手段40に導くものである。参照用分光手段40は、照明光を受光して、その分光強度に対応する受光データを出力するもので、受光データは制御手段50に送られる。
【0034】
制御手段50は、CPUなどからなり、この反射特性測定装置の動作を制御するもので、記憶手段51と、測定制御手段52と、演算処理手段53とを備えている。
【0035】
記憶手段51は、測定のための制御プログラム、後述する予め設定された重み係数などを記憶するとともに、試料用分光手段30及び参照用分光手段40から送られる受光データなどを一時的に記憶するものである。
【0036】
測定制御手段52は、発光回路12,22を介して光源11,21を個別に発光させて、試料用分光手段30及び参照用分光手段40から各光源11,21に対応し、積分球効果による再照明に基づく反射光を含む受光データをそれぞれ個別に出力させるものである。
【0037】
演算処理手段53は、試料用分光手段30及び参照用分光手段40から送られる光源11,21に対応する各受光データと、記憶手段51に記憶されている重み係数とに基づいて、後述する手順にしたがって試料3の反射特性値(特定照明条件反射特性値)を求めるものである。
【0038】
次に、本実施形態の測定原理について説明する。
図1において、Iを光源11を発光させたときの試料3の表面における照明光、Mを参照用光ファイバ41の入射端における照明光とし、I0,M0を試料用開口2に何も配置されていないとき、すなわち試料3からの反射がないときの各照明光とすると、
【0039】
【数1】
a=I0/M0
は、光源11による拡散照明光の不均一性を表わす。
【0040】
試料用開口2に配置した試料3の反射率をrとすると、各照明光I,Mは、試料3からの反射光I0・rによる再照明を考慮することによって、下記数2、数3で表わされる。
【0041】
【数2】
Figure 0003555400
【0042】
【数3】
Figure 0003555400
但し、s1,s2は、試料3からの反射光I0・rが積分球効果によって試料3及び参照用光ファイバ41の入射端を再照明する比率で、通常極めて微小な値である。
【0043】
ここで、観察される試料3からの反射光をSとし、見かけの反射率を
【0044】
【数4】
R=S/M
とする。このとき、I/Mは、数1〜数3より、下記数5で表わされる。
【0045】
【数5】
Figure 0003555400
但し、b=s1−a・s2≪1で、試料3からの反射光による再照明の不均一性を表わす。従って、
【0046】
【数6】
I=a(1+b・r)・M
である。従って、試料3の反射率rは、下記数7で表わされる。
【0047】
【数7】
Figure 0003555400
但し、x=c=1/a,y=−(b・c)である。
【0048】
また、kは校正係数で、試料3の測定に先立って標準反射率が与えられている白色標準試料を試料用開口2に配置して測定し、上記数7によって算出された反射率rが既知の標準反射率に一致するように設定され、測定における光学条件の僅かな経時変化を補正する。
【0049】
上記数7に示すように、試料3の反射率rは、見かけの反射率Rと見かけの反射率の2乗R2との線形結合で表わされ、見かけの反射率Rの重み係数はx、見かけの反射率の2乗R2の重み係数はyである。
【0050】
このように、反射率rと見かけの反射率Rとの関係は線形関係ではなく、微小値yを重み係数とする2次項を含んでいるが、これは試料3からの反射光による再照明の寄与を表わしている。
【0051】
以上説明した測定原理を本実施形態に適用すると、第1の照明手段10を発光させたときの第1の見かけの反射率R1及び第2の照明手段20を発光させたときの第2の見かけの反射率R2の各々について、その2次項までの寄与を考慮し、係数を単純化すると、下記数8が得られる。
【0052】
【数8】
1=p1・R1+q1・R1 2
2=p2・R2+q2・R2 2
但し、p1,q1及びp2,q2は、それぞれ第1、第2の照明手段10,20に対応する係数、r1,r2は、それぞれ第1、第2の照明手段10,20に対応する反射率である。
【0053】
ここで、試料の反射率rは適切な重み係数A,Bによる線形結合で表現され、以下の式で表わされる。
【0054】
【数9】
Figure 0003555400
但し、g1=A・p1,h1=A・q1,g2=B・p2,h2=B・q2である。
【0055】
そこで、係数g1,h1及びg2,h2として適切な値を用いることによって、所望の照明条件に近い条件での試料3の反射率を求めることができる。
【0056】
次に、この反射特性測定装置の測定手順について説明する。
まず、測定制御手段52により発光回路12が動作し、光源11が発光して積分球1の試料用開口2に配置された試料3が拡散照明される。
【0057】
そして、試料用分光手段30から試料3の反射光の受光データS1(λ)が、参照用分光手段40から照明光の受光データM1(λ)が、それぞれ演算処理手段53に送られる。これら受光データは、積分球効果による再照明に基づく反射光を含んでいる。なお、以下において、説明の便宜上、各データに対する(λ)の記載を省略する。
【0058】
これらの受光データから、演算処理手段53により下記数10に従って、第1の見かけの反射率R1が算出される。
【0059】
【数10】
1=S1/M1
続いて、測定制御手段52により発光回路22が動作し、光源21が発光して試料3が−8°方向からの光束が強調された照明光で照明される。そして、同様に第2の見かけの反射率R2が算出される。
【0060】
【数11】
2=S2/M2
次いで、下記数12により、記憶手段51に予め記憶されている所望の照明条件(特定の機種が有する照明条件;以下「特定照明条件」という場合がある)における第1の照明手段10に対する第1の重み係数g1,h1と、第2の照明手段20に対する第2の重み係数g2,h2と、校正係数kとを用いて、特定照明条件における試料3の反射率rが算出される。
【0061】
【数12】
r=k・(g1・R1+h1・R1 2+g2・R2+h2・R2 2)
上記数12に示すように、試料3の反射率rは、第1の見かけの反射率R1及び第1の見かけの反射率の2乗R1 2の線形結合と、第2の見かけの反射率R2及び第2の見かけの反射率の2乗R2 2の線形結合とを更に結合したもので表わされる。
【0062】
また、上記数12において、第1の見かけの反射率R1の重み係数はg1、第1の見かけの反射率の2乗R1 2の重み係数はh1、第2の見かけの反射率R2の重み係数はg2、第2の見かけの反射率の2乗R2 2の重み係数はh2である。
【0063】
なお、所望の照明条件として、試料の反射光による再照明がなく、照明光の配光も理想に近い均一なものとする照明条件を採用してもよい。また、試料の反射光による特有の再照明を有するとともに、照明光の配光に不完全性を有する特定の機種に対応するような照明条件を採用してもよい。
【0064】
次に、第1の重み係数g1,h1及び第2の重み係数g2,h2を求める手順について説明する。第1の重み係数g1,h1及び第2の重み係数g2,h2は、積分球1の構造によって決まるもので、本実施形態では、第1の基準試料S1〜第6の基準試料S6の6個の基準試料を測定することによって求めている。
【0065】
第1の基準試料S1〜第6の基準試料S6は、光沢面及びマット面のそれぞれ異なる3種の明度を有する無彩色の試料で、それぞれ所望の照明条件における基準反射率r1〜r6が与えられている。
【0066】
まず、第1の基準試料S1を試料用開口2に配置し、第1の照明手段10による見かけの反射率R11と、第2の照明手段20による見かけの反射率R21とを測定する。
【0067】
次いで、第2の基準試料S2〜第6の基準試料S6についても、同様に、第1の照明手段10による見かけの反射率R12〜R16と、第2の照明手段20による見かけの反射率R22〜R26とを測定する。
【0068】
ここで、見かけの反射率R1i,R2i、第1の重み係数g1,h1及び第2の重み係数g2,h2を用いて上記数12に従って算出される反射率と、既知の基準反射率riとの誤差ei(i=1〜6)は下記数13となる。
【0069】
【数13】
ei=ri−(g1・R1i+h1・R1i 2+g2・R2i+h2・R2i 2)
但し、i=1〜6である。
【0070】
そして、下記数14に示す誤差ei(i=1〜6)の2乗和Tが最小になるように最小2乗法によって最適化した第1の重み係数g1,h1及び第2の重み係数g2,h2を採用する。
【0071】
【数14】
T=(e1)2+(e2)2+(e3)2+(e4)2+(e5)2+(e6)2
このような手順で第1の重み係数g1,h1及び第2の重み係数g2,h2を予め求めておき、記憶手段51に記憶しておく。つまり記憶手段51は、積分球効果による再照明に基づく反射光を含む受光データに基づき算出されたものである、第1の照明手段10及び第2の照明手段20それぞれ個別の照明による試料3の見かけの反射特性値及び上記見かけの反射特性値の2乗からなる線形結合が、互換性を得るために設定された特定の照明条件における上記試料の特定照明条件反射特性値に近似するように設定された、第1、第2の照明手段10、20のそれぞれに関する見かけの反射特性値に対する重み係数及び上記見かけの反射特性値の2乗に対する重み係数を記憶している。
【0072】
このようにして記憶手段51に記憶されている第1の重み係数g1,h1及び第2の重み係数g2,h2を用い、演算処理手段53において、前述したように数12に従って、特定照明条件反射特性値が求められる。すなわち、演算処理手段53にて、第1の照明手段10及び第2の照明手段20のそれぞれに対応する受光データに関して、それぞれ上記試料の上記見かけの反射特性値及び上記見かけの反射特性値の2乗を求めるとともに、求めた上記それぞれの照明手段に対応する上記見かけの反射特性値及び上記見かけの反射特性値の2乗の各々に対応する、第1の重み係数g1,h1及び第2の重み係数g2,h2を乗じて線形結合することにより、特定の照明条件における試料3の特定照明条件反射特性値が求められるものである。
【0073】
なお、上記説明では(λ)の記載を省略しているが、反射率、受光データや照明特性などは波長依存性を有するので、それらから導かれる第1、第2の重み係数も波長依存性を有している。従って、各重み係数も波長毎に求められ、それぞれ重み係数g1(λ),h1(λ),g2(λ),h2(λ)と表現することができる。
【0074】
このように、本実施形態によれば、それぞれ異なる配光で試料3を照明する第1の照明手段10及び第2の照明手段20を備え、記憶手段51に予め記憶されている所望の照明条件における第1の照明手段10に対する第1の重み係数g1,h1と、第2の照明手段20に対する重み係数g2,h2と、校正係数kとを用いて、上記数12に従って試料3の反射率rを求めるようにしたので、機種間差の有無に関わりなく反射率rを求めることができ、これによって、各機種間における互換性の高い測定データを得ることができる。
【0075】
また、積分球1の構造に依存する第1の重み係数g1,h1及び第2の重み係数g2,h2を所望の照明条件に近似するように最適化して求めることによって、試料3の反射率rを所望の照明条件に近似したものとすることができる。
【0076】
また、例えば所望の照明条件として特定の機種が有する照明条件に近似したものとすることにより、当該機種について互換性の高い測定データを得ることができる。
【0077】
なお、本発明は、上記実施形態に限られず、以下の(1)〜(4)に示す変形形態を採用することができる。
【0078】
(1)上記実施形態では、拡散照明と−8°方向からの照明光が強調された照明光とを用いて、試料3からの鏡面反射成分を含む反射特性を求めているが、第1の基準試料S1〜第6の基準試料S6の鏡面反射込み(SCI)の反射率データを基準とすることによりSCIのための係数を得ることができ、第1の基準試料S1〜第6の基準試料S6の鏡面反射を含まない(SCE)反射率データを基準とすることによりSCEのための係数を得ることができる。
【0079】
(2)予め求められた第1の重み係数g1,h1及び第2の重み係数g2,h2に対して、受光データ及び校正係数kの種々の値に基づき上記数12を用いて予め反射率を算出して得られたテーブルデータを記憶手段51に記憶しておくようにしてもよい。この場合には、演算処理手段53は、試料用分光手段30及び参照用分光手段40から受光データが送られてくると、テーブルデータを参照して対応する値を反射率とすればよい。
【0080】
この形態によれば、演算処理を行うことなく試料3の反射特性を求めることができる。
【0081】
(3)第1の重み係数g1,h1及び第2の重み係数g2,h2を求めるときに用いる基準試料は、6個に限られない。互いに反射率及び表面状態が異なり、所望の照明条件において測定した基準反射率が既知の4個以上の基準試料を用いることによっても、各重み係数を求めることができる。
【0082】
(4)照明手段として、図5に示す従来の装置と同様に、照明手段110,120を備えたものでもよい。照明手段110は、最初に直接照明域117を照明することにより、試料3の表面に浅い角度で入射する照明光が強調された拡散光により試料3を照明するものである。照明手段120は、最初に直接照明域127を照明することにより、試料3の表面に垂直に近い角度で入射する照明光が強調された拡散光により試料3を照明するものである。
【0083】
この形態によれば、上記実施形態と同様にそれぞれ異なる配光で試料3を照明することができ、これによって積分球効果による再照明に起因する機種間差を補正することができる。
【0084】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、積分球の試料用開口に試料が配置された状態で複数の照明手段を個別に発光させて積分球内のそれぞれ異なる領域に光束を導き、各照明手段の発光毎に得られる試料からの反射光の光強度に対応する各受光データに基づいて各照明手段による試料の見かけの反射特性値を求め、予め記憶されている各照明手段による見かけの反射特性値の重み係数及び見かけの反射特性値の2乗の重み係数を乗じて線形結合することによって特定照明条件における試料の反射特性を求めることにより、特定照明条件について更に互換性の高い反射特性データを得ることができる。
【0085】
また、試料からの反射光の内で試料の表面の法線から略8°の方向の成分を受光する受光手段と、積分球内の広い領域に向けて光束を導く第1の照明手段と、積分球内の上記略8°の方向と上記法線に関して対称な方向の領域に向けて光束を導く第2の照明手段とを備えることにより、所望の照明条件について更に互換性の高い反射特性データを精度よく得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る反射特性測定装置の一実施形態の構成図である。
【図2】(a)(b)は配光の相違に起因する機種間差を説明する図である。
【図3】試料からの反射光による再照明に起因する誤差を説明する図である。
【図4】試料からの反射光による再照明に起因する誤差の例を示す図である。
【図5】従来の反射特性測定装置の構成図である。
【符号の説明】
1 積分球
1a 内壁
2 試料用開口
3 試料
4 第2の照明手段の直接照明域
5 第1の照明手段の直接照明域
10 第1の照明手段
11,21 光源
12,22 発光回路
16,26 光源用開口
20 第2の照明手段
23 マスク板
24 照明光学系
25 反射鏡
27 拡散板
30 試料用分光手段(受光手段)
31 受光用開口
32 受光光学系
40 参照用分光手段
41 参照用光ファイバ
50 制御手段
51 記憶手段
52 測定制御手段
53 演算処理手段

Claims (2)

  1. 互いに異なる位置に形成された複数の照明用開口、試料用開口及び受光用開口を有し、上記試料用開口に配置された試料を照明する積分球と、
    上記複数の照明用開口のそれぞれに配設され、上記積分球内に光束を導く複数の照明手段と、
    上記受光用開口に配設され、上記試料からの反射光を受光してその光強度に対応する受光データを出力する受光手段と、
    上記複数の照明手段をそれぞれ個別に発光させ、上記受光手段から、上記複数の照明手段に対応し、積分球効果による再照明に基づく反射光を含む受光データをそれぞれ個別に出力させる測定制御手段と、
    上記再照明に基づく反射光を含む受光データに基づき算出された上記複数の照明手段それぞれ個別の照明による上記試料の見かけの反射特性値及び上記見かけの反射特性値の2乗からなる線形結合が、互換性を得るために設定された特定の照明条件における上記試料の特定照明条件反射特性値に近似するように設定された、上記複数の照明手段のそれぞれに関する見かけの反射特性値に対する重み係数及び上記見かけの反射特性値の2乗に対する重み係数を記憶する記憶手段と、
    上記複数の照明手段のそれぞれに対応する上記受光データに関して、それぞれ上記試料の上記見かけの反射特性値及び上記見かけの反射特性値の2乗を求めるとともに、求めた上記それぞれの照明手段に対応する上記見かけの反射特性値及び上記見かけの反射特性値の2乗の各々に対応する上記各重み係数を乗じて線形結合することにより上記特定の照明条件における上記試料の特定照明条件反射特性値を求める演算処理手段と、
    を備えたことを特徴とする反射特性測定装置。
  2. 請求項1記載の反射特性測定装置において、上記受光用開口は、上記試料の表面の法線から略8°の方向に形成され、上記受光手段は、上記試料からの反射光の内で上記略8°の方向の成分を受光するもので、上記照明手段は、上記積分球内の所定の領域に向けて光束を導く第1の照明手段と、上記積分球内の上記略8°の方向と上記法線に関して対称な方向の領域に向けて光束を導く第2の照明手段とからなるものであることを特徴とする反射特性測定装置。
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