JPH11241949A - 反射特性測定装置 - Google Patents

反射特性測定装置

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JPH11241949A
JPH11241949A JP10220606A JP22060698A JPH11241949A JP H11241949 A JPH11241949 A JP H11241949A JP 10220606 A JP10220606 A JP 10220606A JP 22060698 A JP22060698 A JP 22060698A JP H11241949 A JPH11241949 A JP H11241949A
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reflection characteristic
reflection
light receiving
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JP10220606A
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Kenji Imura
健二 井村
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Original Assignee
Minolta Co Ltd
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
    • G01N21/474—Details of optical heads therefor, e.g. using optical fibres

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  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 積分球の劣化による反射特性の変化を白色校
正により容易に補正可能にする。 【解決手段】 第１の照明手段１０により積分球１の内
壁１ａの広い直接照明域５に向けて光束を導き、試料３
をほぼ一様に拡散照明し、第２の照明手段２０により直
接照明域４に向けて光束を導き、試料３を鏡面反射を強
調するような拡散照明光によって照明する。係数演算手
段５４により、積分球１が劣化する前に、第１、第２の
反射特性ｗ1，ｗ2が既知の白色標準試料を測定して、比
例係数Ｃを求めておき、積分球１の劣化後、同じ標準試
料を再度測定して第１、第２の補正係数Ａ1，Ａ2を求め
る。補正反射特性演算手段５５により、第１の補正係数
Ａ1を用いて第１の反射特性を補正し、第２の補正係数
Ａ2を用いて第２の反射特性を補正する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、積分球を用いた分
光測色計等に適用されるもので、試料の反射特性を測定
する反射特性測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、試料の反射特性の測定は、照明
系と受光系の光学的条件(ジオメトリ)によって大きい影
響を受ける。従って、分光測色計等の反射特性測定装置
の多くは、ＣＩＥ(国際照明委員会)が推奨する45／0(45
°照明、垂直受光)、0／45(垂直照明、45°受光)や、d
／0(拡散照明、垂直受光)、0／d(垂直照明、拡散受光)
のいずれかのジオメトリを採用している。
【０００３】従来、それらの内でもd／0の一種であるd
／8(拡散照明、8°受光)ジオメトリは、試料表面の構造
に影響されず安定性が高い鏡面反射成分を含む(Specula
r Component Included)反射特性（以下「ＳＣＩ反射特
性」という。）と、目視に近い鏡面反射成分を除去した
(Specular Component Excluded)反射特性（以下「ＳＣ
Ｅ反射特性」という。）の双方の測定が可能であること
から、広く用いられている。
【０００４】従来、d／8ジオメトリでのＳＣＩ反射特性
及びＳＣＥ反射特性の測定には、鏡面反射の光源となる
積分球の内壁部分に機械的に開閉可能なトラップを設
け、閉じた状態でＳＣＩ反射特性、開いた状態でＳＣＥ
反射特性の測定をする方式が主流であった。
【０００５】一方、特開平９−６１２４３号公報には、
異なる配光の２種の照明光で試料を照明する積分球を用
いることによって、機械的な駆動部分をなくした反射特
性測定装置が開示されている。
【０００６】図５、図６は上記特開平９−６１２４３号
公報記載の反射特性測定装置の概略構成図である。図５
は、第１の照明手段１０が発光したときの照明光の配光
を示し、図中、照明光Ｉ1d，Ｉ1d'は、劣化前及び劣化
後の積分球１による試料面における拡散照明光で、照明
光Ｍ1d，Ｍ1d'は、劣化前及び劣化後の積分球１による
参照用光ファイバ４１の入射端における拡散照明光であ
る。
【０００７】図６は、第２の照明手段２０が発光したと
きの照明光の配光を示し、図中、照明光Ｉ2d，Ｉ2d'
は、劣化前及び劣化後の積分球１による試料面における
拡散照明成分、照明光Ｉ2s，Ｉ2s'は、同位置における
鏡面反射照明成分で、照明光Ｍ2d，Ｍ2d'は、劣化前及
び劣化後の積分球１による参照用光ファイバ４１の入射
端における拡散照明成分、照明光Ｍ2s，Ｍ2s'は、同位
置における鏡面反射照明成分である。
【０００８】この反射特性測定装置では、第１の照明手
段１０による照明光Ｉ1が照明光Ｍ1と、第２の照明手段
２０による照明光Ｉ2が照明光Ｍ2と、それぞれ比例関係
にある。参照用光ファイバ４１は、図略の参照用分光手
段に接続されており、照明光Ｉ1が照明光Ｍ1によりモニ
タされ、照明光Ｉ2が照明光Ｍ2によりモニタされる、い
わゆるデュアルビームシステムを構成している。但し、
Ｉ1＝Ｉ1d，Ｍ1＝Ｍ1d，Ｉ2＝Ｉ2d＋Ｉ2s，Ｍ2＝Ｍ2d＋
Ｍ2sである。
【０００９】この反射特性測定装置において、積分球１
は、試料用開口２と、光源用開口１６，２６と、受光用
開口３１とを有し、その内壁１ａは硫酸バリウムなど高
拡散性、高反射率の材料が塗布されている。
【００１０】第１の照明手段１０の光源１１からの光束
は、最初に積分球１の内壁１ａの広い直接照明域５を照
明し、多重反射された後、試料３を照明する。一方、第
２の照明手段２０の光源２１からの光束は、積分球１の
内壁１ａの内で、試料面の法線２ａに関して受光光学系
３２の方向と対称な方向の直接照明域４を最初に照明す
る。
【００１１】従って、第１の照明手段１０は、試料用開
口２に配置された試料３及び参照用光ファイバ４１の入
射端をほぼ一様に拡散照明し、第２の照明手段２０は、
各位置を特定の方向を強調して照明することになるの
で、第１の照明手段１０と第２の照明手段２０とは、各
位置を異なる配光で照明することとなる。
【００１２】そして、試料３は、図５に示すように、第
１の照明手段１０からの拡散照明光Ｉ1dによって照明さ
れ、受光光学系３２を介して図略の試料用分光手段及び
処理手段により第１の反射特性ｒ1が求められる。
【００１３】また、試料３は、図６に示すように、第２
の照明手段２０により、拡散照明成分Ｉ2dに、受光光学
系３２への鏡面反射光の入射光となる鏡面反射照明成分
Ｉ２ｓが加えられた照明光（Ｉ2d＋Ｉ2s)によって照明
され、受光光学系３２を介して試料用分光手段及び処理
手段により第２の反射特性ｒ2が求められる。
【００１４】更に、処理手段によって、下記数１に示す
ように、第１、第２の反射特性ｒ1，ｒ2を鏡面反射込み
重み係数ｐ1，ｐ2を用いて線形結合してＳＣＩ反射特性
ｒiが求められ、鏡面反射除去重み係数ｑ1，ｑ2を用い
て線形結合してＳＣＥ反射特性ｒeが求められる。
【００１５】
【数１】ｒi＝ｐ1・ｒ1＋ｐ2・ｒ2 ｒe＝ｑ1・ｒ1＋ｑ2・ｒ2
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】上記特開平９−６１２
４３号公報記載の反射特性測定装置において、積分球１
が汚れや経時変化によって劣化し、内壁１ａの反射率が
低下した場合でも、測定データを補正する手段を備える
ことによって、高精度の測定を継続して行うことができ
る。
【００１７】一般に、このような積分球の劣化に対する
補正は、測定前に行われるいわゆる白色校正によるもの
が考えられる。すなわち、反射特性ｗが既知の白色標準
試料を劣化した積分球を用いて測定したときの反射特性
をｗ'とし、その劣化した積分球を用いて任意の試料を
測定したときの反射特性をｒ'とすると、その試料の真
の反射特性ｒを、
【００１８】
【数２】ｒ＝(ｗ／ｗ')・ｒ' によって求める。
【００１９】しかし、特開平９−６１２４３号公報記載
の反射特性測定装置における第２の照明手段２０による
反射特性ｒ2は、このような白色校正により補正するこ
とができない。その理由を以下に説明する。
【００２０】まず、図５を用いて第１の照明手段１０が
発光したときについて説明する。このとき、受光光学系
３２に入射する光束Ｓ1は、照明光Ｉ1の試料３による拡
散反射成分と鏡面反射成分との和になるので、試料３の
拡散反射特性をｒd、鏡面反射特性をｒsとすると、Ｉ1
＝Ｉ1dであるので、
【００２１】
【数３】 Ｓ1＝Ｋ・Ｉ1(ｒd＋ｒs) ＝Ｋ・Ｉ1d(ｒd＋ｒs) と表される。ここで、Ｋは半空間に反射される反射光の
内で受光光学系３２に入射する光束の割合で、受光光学
系３２の構成によって決まる定数である。
【００２２】従って、このときの第１の反射特性ｒ
1は、Ｍ1＝Ｍ1dであるので、
【００２３】
【数４】 ｒ1＝Ｃ1・(Ｓ1／Ｍ1) ＝Ｃ1・Ｋ・Ｉ1d(ｒd＋ｒs)／Ｍ1d と表される。但し、Ｃ1は比例係数である。
【００２４】ここで、積分球１の劣化によって、拡散照
明光Ｉ1d，Ｍ1dがそれぞれａs，ａm(ａs，ａm≪１)だけ
低下し、下記数５に示すように、それぞれ拡散照明光Ｉ
1d'，Ｍ1d'に変化したとする。
【００２５】
【数５】Ｉ1d'＝Ｉ1d(１−ａs) Ｍ1d'＝Ｍ1d(１−ａm) このとき、数４、数５より、変化後の第１の反射特性ｒ
1'は、
【００２６】
【数６】 ｒ1'＝Ｃ1・Ｋ・Ｉ1d'(ｒd＋ｒs)／Ｍ1d' ＝Ｃ1・Ｋ・Ｉ1d・(１−ａs)(ｒd＋ｒs)／[Ｍ1d・(１−ａm)] ＝ｒ1・(１−ａs)／(１−ａm) と表わされる。
【００２７】従って、
【００２８】
【数７】ｒ1＝Ａ1・ｒ1' となる。但し、Ａ1は第１の補正係数で、Ａ1＝(１−
ａm)／(１−ａs)である。
【００２９】積分球１の拡散性が良好であれば、ａs≒
ａmであるので、 Ａ1＝(１−ａm)／(１−ａs)≒１ となることから、 ｒ1≒ｒ1' となる。
【００３０】一方、積分球１及び他の構成要素が劣化し
て、Ａ1≠１、すなわちｒ1≠ｒ1'となる場合には、上記
数２に示す白色校正を行い、劣化前後の反射特性ｗ1，
ｗ1'の関係から、第１の補正係数Ａ1＝ｗ1／ｗ1'を求め
ることができ、これによって、第１の反射特性ｒ1'を補
正することができる。
【００３１】次に、図６を用いて第２の照明手段２０が
発光したときについて説明する。このとき、上述したよ
うに、第２の照明手段２０による照明光Ｉ2，Ｍ2は、
【００３２】
【数８】Ｉ2＝Ｉ2d＋Ｉ2s M2＝Ｍ2d＋Ｍ2s と表わされる。
【００３３】従って、受光光学系３２に入射する光束Ｓ
2は、照明光Ｉ2dの試料３による拡散反射成分と鏡面反
射成分による項と、照明光Ｉ2sの試料３による拡散反射
成分と鏡面反射成分による項との和になるので、
【００３４】
【数９】Ｓ2＝Ｋ・Ｉ2d(ｒd＋ｒs)＋Ｉ2s(Ｋ・ｒd＋ｒs) と表される。ここで、ｒd，ｒs，Ｋは、上述したよう
に、それぞれ試料３の拡散反射特性、鏡面反射特性、半
空間に反射される反射光の内で受光光学系３２に入射す
る光束の割合である。
【００３５】従って、このときの第２の反射特性ｒ
2は、
【００３６】
【数１０】 ｒ2＝Ｃ2・(Ｓ2／Ｍ2) ＝Ｃ2・[Ｋ・Ｉ2d(ｒd＋ｒs)＋Ｉ2s(Ｋ・ｒd＋ｒs)]／Ｍ2 と表わされる。但し、Ｃ2は比例係数である。
【００３７】積分球１の劣化によって、照明光Ｉ2，Ｍ2
の拡散照明成分Ｉ2d，Ｍ2dが、それぞれａs，ａm(ａs，
ａm≪１)だけ低下し、照明光Ｉ2d'，Ｍ2d'に変化したと
すると、
【００３８】
【数１１】Ｉ2d'＝Ｉ2d(１−ａs) Ｍ2d'＝Ｍ2d(１−ａm) と表わされる。
【００３９】ここで、照明光Ｉ2，Ｍ2の拡散照明成分Ｉ
2d，Ｍ2dは、積分球１の内壁１ａで多重反射された後、
試料３及び参照用光ファイバ４１を照明するのに対し、
鏡面反射照明成分Ｉ2s，Ｍ2sは、１回だけ反射された
後、試料３及び参照用光ファイバ４１を照明する。
【００４０】従って、拡散照明成分に対する積分球１の
劣化による反射率低下の影響に比べて、鏡面反射照明成
分に対する影響は極めて小さい。
【００４１】そこで、鏡面反射照明成分に対する積分球
１の劣化による反射率低下の影響を無視すると、劣化後
の積分球１によって変化した照明光Ｉ2'，Ｍ2'は、
【００４２】
【数１２】Ｉ2'≒Ｉ2d(１−ａs)＋Ｉ2s Ｍ2'≒Ｍ2d(１−ａm)＋Ｍ2s と表わされる。
【００４３】従って、劣化後の第２の反射特性ｒ2'は、
上記数１０、数１２より、
【００４４】
【数１３】 ｒ2'≒Ｃ2・(Ｓ2'／Ｍ2') ＝C2・[K・I2d・(1−as)(rd＋rs)＋I2s(K・rd＋rs)]／[M2d・(1−am)＋M2s] と表わされる。
【００４５】上記数１０、数１３に示すように、第２の
照明手段２０による照明光では、劣化前後の第２の反射
特性ｒ2，ｒ2'が単純な比例関係にない。従って、上記
数７に示すように劣化前後の第１の反射特性ｒ1，ｒ1'
が比例関係にある第１の照明手段１０による照明光のよ
うに、上記数２に示す白色校正を行うことによっては、
劣化による影響を補正することができない。
【００４６】上記数１２に示すように、積分球１の劣化
による照明光への影響の内で、拡散照明成分への影響と
鏡面反射照明成分への影響とが大きく異なっている。
【００４７】これは、積分球１の劣化によって、一般に
は等しくない、第２の照明手段２０による照明光の試料
３の表面及び参照用光ファイバ４１の入射端における拡
散照明成分と鏡面反射照明成分の相対強度、すなわち照
明光Ｉ2dと照明光Ｉ2sの相対強度Ｉ2d／Ｉ2s、及び照明
光Ｍ2dと照明光Ｍ2sの相対強度Ｍ2d／Ｍ2sが、それぞれ
変化することを意味する。
【００４８】上記特開平９−６１２４３号公報記載の反
射特性測定装置では、上記数１の重み係数ｐ1，ｐ2，ｑ
1，ｑ2は、上記各相対強度が変化しない場合に限り用い
ることができるものである。
【００４９】従って、上述したように、積分球の劣化に
より、この相対強度が無視できない程度まで変化した場
合には、これらの重み係数を再度求める必要がある。し
かし、これらの重み係数を求めるには、上記特開平９−
６１２４３号公報に記載されているように、複数の標準
試料を測定する必要があり、それらの標準試料の管理を
含めて相当の手間が必要になる。
【００５０】そこで、第２の照明手段２０の照明光によ
る積分球劣化後の第２の反射特性ｒ2'を、第１の照明手
段１０の照明光による第１の反射特性ｒ1'の場合のよう
に、白色校正のような簡単な方法で、積分球劣化前の重
み係数を用いることができる第２の反射特性ｒ2に補正
可能にすることが望まれる。
【００５１】また、第１、第２の照明手段１０，２０に
よる第１、第２の反射特性の測定に誤差等の悪影響を及
ぼす要因は、積分球１の劣化以外にも、受光光学系３２
等の積分球１以外の光学部品などの構成要素の経時劣化
や、温度や湿度等の雰囲気の変化等が考えられる。そこ
で、このような積分球１の劣化以外の要因による第１、
第２の反射特性への影響についても補正可能にすること
が望まれる。
【００５２】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
積分球の劣化による反射特性の変化を白色校正により容
易に補正可能にした反射特性測定装置を提供することを
目的とする。
【００５３】また、本発明は、積分球の劣化に加えて、
積分球の劣化以外の要因による反射特性の変化を白色校
正により容易に補正可能にした反射特性測定装置を提供
することを目的とする。
【００５４】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、第１
の光源用開口、第２の光源用開口、試料用開口及び受光
用開口を有し、上記試料用開口に配置された試料を照明
する積分球と、上記受光用開口に配設され、上記試料か
らの反射光を受光してその光強度に対応する受光データ
を出力する受光手段と、上記第１の光源用開口に配設さ
れ、上記積分球内の所定の領域に向けて光束を導く第１
の照明手段と、上記第２の光源用開口に配設され、上記
試料の表面の法線に関して、上記積分球内の上記受光用
開口の方向と対称な方向の領域に向けて光束を導く第２
の照明手段と、上記第１、第２の照明手段をそれぞれ個
別に発光させ、上記受光手段から上記受光データとして
上記第１の照明手段に対応する第１の受光データ及び上
記第２の照明手段に対応する第２の受光データをそれぞ
れ個別に出力させる測定制御手段と、上記第１の受光デ
ータから上記試料の第１の反射特性を算出するととも
に、上記第２の受光データから上記試料の第２の反射特
性を算出する反射特性演算手段と、反射特性が既知の標
準試料を用いて得られる比例係数及び第１、第２の補正
係数を記憶する係数記憶手段と、下記式に従って上記第
１、第２の反射特性を補正して上記積分球の劣化前の上
記試料の第１、第２の劣化前反射特性を算出する補正反
射特性演算手段とを備えたことを特徴としている。
【００５５】ｒ1＝Ａ1・ｒ1' r2＝ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1) 又はｒ2＝ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1') ここに、 ｒ1：上記試料の第１の劣化前反射特性 ｒ2：上記試料の第２の劣化前反射特性 Ａ1：上記第１の補正係数 Ａ2：上記第２の補正係数 Ｃ：上記比例係数 ｒ1'：上記試料の第１の反射特性 ｒ2'：上記試料の第２の反射特性 この構成によれば、積分球の試料用開口に試料が配置さ
れた状態で第１、第２の照明手段が個別に発光する。第
１の照明手段が発光すると、積分球内の所定の領域に向
けて光束が導かれ、試料はほぼ均一な拡散照明光によっ
て照明され、試料からの反射光の光強度に対応する第１
の受光データが出力され、この第１の受光データから試
料の第１の反射特性が算出される。
【００５６】また、第２の照明手段が発光すると、試料
の表面の法線に関して、積分球内の受光用開口の方向と
対称な方向の領域に向けて光束が導かれ、試料は鏡面反
射を強調するような配光を有する拡散照明光によって照
明され、試料からの反射光の光強度に対応する第２の受
光データが出力され、この第２の受光データから試料の
第２の反射特性が算出される。
【００５７】そして、係数記憶手段に記憶されている比
例係数及び第１、第２の補正係数を用いて、上記式に従
って第１、第２の反射特性が補正されて積分球の劣化前
の試料の第１、第２の劣化前反射特性が算出される。
【００５８】これによって、積分球の劣化により反射特
性の測定に影響を及ぼすことが防止され、高精度の反射
特性の測定が継続して行われることとなる。
【００５９】また、請求項２の発明は、請求項１記載の
反射特性測定装置において、上記比例係数及び上記第
１、第２の補正係数を算出する係数演算手段を備え、上
記測定制御手段は、積分球の劣化前及び劣化後に反射特
性が既知の標準試料を上記試料用開口に配置した状態で
上記第１、第２の照明手段をそれぞれ個別に発光させ、
上記受光手段から上記受光データとして上記第１の照明
手段に対応する第１の標準受光データ及び上記第２の照
明手段に対応する第２の標準受光データをそれぞれ個別
に出力させるもので、上記反射特性演算手段は、上記第
１の標準受光データから上記標準試料の第１の標準反射
特性を算出するとともに、上記第２の標準受光データか
ら上記標準試料の第２の標準反射特性を算出するもの
で、上記係数演算手段は、上記積分球劣化前の第１、第
２の標準受光データを用いて上記比例係数を算出すると
ともに、上記積分球劣化後の第１、第２の標準反射特性
を用いて上記第１、第２の補正係数を算出するものであ
ることを特徴としている。
【００６０】この構成によれば、積分球劣化前に、積分
球の試料用開口に標準試料が配置された状態で第１の照
明手段が発光して第１の標準受光データが出力され、更
に第２の照明手段が発光して第２の標準受光データが出
力される。そして第１、第２の標準受光データを用いて
比例係数が算出される。
【００６１】更に、積分球の劣化後、積分球の試料用開
口に標準試料が配置された状態で、第１の照明手段が発
光し、第１の標準受光データが出力され、標準試料の第
１の標準反射特性が算出される。また、第２の照明手段
が発光し、第２の標準受光データが出力され、標準試料
の第２の標準反射特性が算出される。そして、第１、第
２の標準反射特性を用いて第１、第２の補正係数が算出
される。
【００６２】これによって、試料の第１、第２の劣化前
反射特性の算出が精度よく行われることとなる。
【００６３】また、請求項３の発明は、第１の光源用開
口、第２の光源用開口、試料用開口及び受光用開口を有
し、上記試料用開口に配置された試料を照明する積分球
と、上記受光用開口に配設され、上記試料からの反射光
を受光してその光強度に対応する受光データを出力する
受光手段と、上記第１の光源用開口に配設され、上記積
分球内の所定の領域に向けて光束を導く第１の照明手段
と、上記第２の光源用開口に配設され、上記試料の表面
の法線に関して、上記積分球内の上記受光用開口の方向
と対称な方向の領域に向けて光束を導く第２の照明手段
と、上記第１、第２の照明手段をそれぞれ個別に発光さ
せ、上記受光手段から上記受光データとして上記第１の
照明手段に対応する第１の受光データ及び上記第２の照
明手段に対応する第２の受光データをそれぞれ個別に出
力させる測定制御手段と、上記第１の受光データから上
記試料の第１の反射特性を算出するとともに、上記第２
の受光データから上記試料の第２の反射特性を算出する
反射特性演算手段と、反射特性が既知の標準試料を用い
て得られる比例係数及び第１、第２の補正係数を記憶す
る係数記憶手段と、下記式に従って上記第１、第２の反
射特性を補正して上記試料の第１、第２の劣化前反射特
性を算出する補正反射特性演算手段とを備えたことを特
徴としている。
【００６４】ｒ1＝Ａ1・ｒ1' ｒ2＝Ａ1・{ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1)} 又はｒ2＝Ａ1・{ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1')} ここに、 ｒ1：上記試料の第１の劣化前反射特性 ｒ2：上記試料の第２の劣化前反射特性 Ａ1：上記第１の補正係数 Ａ2：上記第２の補正係数 Ｃ：上記比例係数 ｒ1'：上記試料の第１の反射特性 ｒ2'：上記試料の第２の反射特性 この構成によれば、積分球の試料用開口に試料が配置さ
れた状態で第１、第２の照明手段が個別に発光する。第
１の照明手段が発光すると、積分球内の所定の領域に向
けて光束が導かれ、試料はほぼ均一な拡散照明光によっ
て照明され、試料からの反射光の光強度に対応する第１
の受光データが出力され、この第１の受光データから試
料の第１の反射特性が算出される。
【００６５】また、第２の照明手段が発光すると、試料
の表面の法線に関して、積分球内の受光用開口の方向と
対称な方向の領域に向けて光束が導かれ、試料は鏡面反
射を強調するような配光を有する拡散照明光によって照
明され、試料からの反射光の光強度に対応する第２の受
光データが出力され、この第２の受光データから試料の
第２の反射特性が算出される。
【００６６】そして、係数記憶手段に記憶されている比
例係数及び第１、第２の補正係数を用いて、上記式に従
って第１、第２の反射特性が補正されて、試料の第１、
第２の劣化前反射特性が算出される。これによって、積
分球の劣化に加えて、積分球の劣化以外の要因によって
反射特性の測定に影響を及ぼすことが防止され、高精度
の反射特性の測定が継続して行われることとなる。
【００６７】また、請求項４の発明は、請求項３記載の
反射特性測定装置において、上記比例係数及び上記第
１、第２の補正係数を算出する係数演算手段を備え、上
記測定制御手段は、積分球の劣化前及び劣化後に反射特
性が既知の標準試料を上記試料用開口に配置した状態で
上記第１、第２の照明手段をそれぞれ個別に発光させ、
上記受光手段から上記受光データとして、上記第１の照
明手段に対応する第１の標準受光データ及び上記第２の
照明手段に対応する第２の標準受光データをそれぞれ個
別に出力させるもので、上記反射特性演算手段は、上記
第１の標準受光データから上記標準試料の第１の標準反
射特性を算出するとともに、上記第２の標準受光データ
から上記標準試料の第２の標準反射特性を算出するもの
で、上記係数演算手段は、上記積分球劣化前の第１、第
２の標準受光データを用いて上記比例係数を算出すると
ともに、上記積分球劣化後の第１、第２の標準反射特性
を用いて上記第１、第２の補正係数を算出するものであ
ることを特徴としている。
【００６８】この構成によれば、積分球劣化前に、積分
球の試料用開口に標準試料が配置された状態で第１の照
明手段が発光して第１の標準受光データが出力され、更
に第２の照明手段が発光して第２の標準受光データが出
力される。そして第１、第２の標準受光データを用いて
比例係数が算出される。
【００６９】更に、積分球の劣化後、積分球の試料用開
口に標準試料が配置された状態で、第１の照明手段が発
光し、第１の標準受光データが出力され、標準試料の第
１の標準反射特性が算出される。また、第２の照明手段
が発光し、第２の標準受光データが出力され、標準試料
の第２の標準反射特性が算出される。そして、第１、第
２の標準反射特性を用いて第１、第２の補正係数が算出
される。
【００７０】これによって、試料の第１、第２の劣化前
反射特性の算出が精度よく行われることとなる。
【００７１】また、請求項５の発明は、請求項１乃至４
のいずれかに記載の反射特性測定装置において、上記第
１、第２の劣化前反射特性を用いて鏡面反射光を含む反
射特性及び鏡面反射光を除去した反射特性を算出する鏡
面特性演算手段を備えたことを特徴としている。
【００７２】この構成によれば、第１、第２の劣化前反
射特性を用いて鏡面反射光を含む反射特性及び鏡面反射
光を除去した反射特性が算出されることにより、双方の
反射特性の測定が、継続して高精度に行われることとな
る。
【００７３】また、請求項６の発明は、請求項１乃至５
のいずれかに記載の反射特性測定装置において、上記受
光用開口は、上記法線から略８°の方向に穿設され、上
記受光手段は、上記試料からの反射光の内で上記略８°
の方向の成分を受光するものであることを特徴としてい
る。
【００７４】この構成によれば、積分球は、試料の表面
の法線から略８°の方向に穿設された受光用開口を有
し、受光手段は、試料からの反射光の内で上記略８°の
方向の成分を受光することにより、照明系及び受光系
が、拡散照明、８°受光の光学的条件に構成され、反射
特性の測定が精度よく行われることとなる。
【００７５】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係る反射特性測定
装置の一実施形態の構成図である。積分球１は、その内
壁１ａに高拡散、高反射率の例えばMgOやBaSO4等の白色
拡散反射塗料が塗布された中空の球である。
【００７６】この積分球１は、底部に形成され、測定対
象である試料３を照明するための試料用開口２と、側面
のほぼ中央に形成され、光源１１からの光束を入射させ
るための光源用開口１６と、試料用開口２の側方に形成
され、光源２１からの光束を入射させるための光源用開
口２６と、試料３表面の法線２ａに対して8°だけ傾斜
した方向に形成され、試料３からの反射光を受光光学系
３２に入射させるための受光用開口３１とを備えてい
る。
【００７７】第１の照明手段１０は、光源用開口１６の
直後に配置された光源１１や発光回路１２等から構成さ
れている。光源１１は、Ｘｅフラッシュ等が用いられ、
積分球１内に光束を供給して、内壁１ａの広い直接照明
域５を最初に照明するものである。発光回路１２は、光
源１１を発光させるもので、後述する測定制御手段５２
により動作が制御される。
【００７８】第２の照明手段２０は、光源２１、発光回
路２２、マスク板２３、照明光学系２４、反射鏡２５及
び拡散板２７等から構成されている。光源２１は、Ｘｅ
フラッシュ等が用いられ、積分球１内に光束を供給する
ものである。発光回路２２は、光源２１を発光させるも
ので、測定制御手段５２により動作が制御される。
【００７９】拡散板２７は、光源２１に近接して配置さ
れ、光源２１から入射する光束を拡散する半透明板であ
る。マスク板２３は、開口２３ａを有し、光源２１から
の光束による照射域を制限するものである。照明光学系
２４は、レンズ等からなり、反射鏡２５を介して開口２
３ａの像を積分球１の内壁１ａの直接照明域４に結像す
るものである。
【００８０】この直接照明域４は、試料３表面の法線２
ａに対して−8°の方向に位置しており、受光用開口３
１とは法線２ａに関して対称な位置になるように、第２
の照明手段２０が配設されている。
【００８１】受光光学系３２は、レンズ等からなり、そ
の光軸が試料３表面の法線２ａに対して8°だけ傾斜し
た方向に設定されて、拡散照明、8°受光のd／8光学系
を形成しており、試料３からの反射光の内で8°方向の
成分３２ａを試料用分光手段３０の受光面に集束するも
のである。
【００８２】試料用分光手段３０は、試料３からの反射
光を受光して、その分光強度に対応する受光データを出
力するもので、受光データは後述する制御手段５０に送
られる。
【００８３】このような構成により、第１の照明手段１
０の光源１１が発光すると、積分球１の内壁１ａの広い
直接照明域５に向けて光束が導かれた後、内壁１ａで多
重反射するため、ほぼ均一な拡散照明光となる。従っ
て、第１の照明手段１０により、試料３はあらゆる方向
からほぼ一様に拡散照明されることとなる。
【００８４】また、第２の照明手段２０の光源２１が発
光すると、光源２１の光束は拡散板２７によって均一化
された後、マスク板２３の開口２３ａを通り、照明光学
系２４によって開口２３ａの像を積分球１の内壁１ａの
直接照明域４に形成し、この直接照明域４を最初に照明
する。
【００８５】この照明光は直接照明域４で反射した後、
やはり多重反射されるが、この多重反射による拡散照明
光以外に直接照明域４からの反射光が直接試料３を照明
し、試料面で鏡面反射された光束は、受光用開口３１を
通って受光光学系３２に入射する。従って、第２の照明
手段２０により、試料３は拡散照明に加えて鏡面反射を
強調するような配光を有する照明光によって照明される
こととなる。
【００８６】積分球１には、更に、参照用光ファイバ４
１が取り付けられている。この参照用光ファイバ４１
は、その入射端（以下「参照光入射端」という。）に入
射する積分球１内の照明光の一部を参照用分光手段４０
に導くものである。
【００８７】上記参照光入射端は、試料３と同様に、第
１の照明手段１０により、ほぼ一様に拡散照明され、第
２の照明手段２０により、拡散照明に加えて方向性を有
する配光で照明される。
【００８８】参照用分光手段４０は、参照用光ファイバ
４１により導かれる照明光を受光して、その分光強度に
対応する受光データを出力するもので、受光データは制
御手段５０に送られて、照明光がモニタされることとな
る。
【００８９】制御手段５０は、ＣＰＵなどからなり、こ
の反射特性測定装置の動作を制御するもので、記憶手段
５１と、測定制御手段５２と、反射特性演算手段５３
と、係数演算手段５４と、補正反射特性演算手段５５
と、鏡面特性演算手段５６とを備えている。
【００９０】記憶手段５１は、測定のための制御プログ
ラム、ＳＣＩ反射特性及びＳＣＥ反射特性を求めるため
の鏡面反射込み重み係数ｐ1，ｐ2及び鏡面反射除去重み
係数ｑ1，ｑ2、積分球１の劣化を補正するための第１、
第２の補正係数Ａ1，Ａ2や、試料用分光手段３０及び参
照用分光手段４０から送られる受光データなどを記憶す
るものである。
【００９１】測定制御手段５２は、発光回路１２，２２
を介して光源１１，２１を個別に点灯させることによ
り、第１、第２の照明手段１０，２０を個別に発光させ
て、試料用分光手段３０及び参照用分光手段４０から第
１、第２の照明手段１０，２０に対応する受光データを
それぞれ出力させるものである。
【００９２】反射特性演算手段５３は、試料用分光手段
３０から送られる第１の照明手段１０に対応する試料３
からの反射光による受光データと、参照用分光手段４０
から送られる第１の照明手段１０に対応する参照用照明
光による受光データとから、試料３の第１の反射特性を
算出するものである。
【００９３】また、反射特性演算手段５３は、試料用分
光手段３０から送られる第２の照明手段２０に対応する
試料３からの反射光による受光データと、参照用分光手
段４０から送られる第２の照明手段２０に対応する参照
用照明光による受光データとから、試料３の第２の反射
特性を算出するものである。
【００９４】係数演算手段５４は、以下の〜の機能
を有する。 第１、第２の反射特性ｗ1，ｗ2が既知の白色標準試料
を用いて、後述する手順に従って、比例係数Ｃ1，Ｃ2を
算出するとともに、Ｃ＝Ｃ2／Ｃ1を算出して、この比例
係数Ｃを記憶手段５１に記憶させる。
【００９５】第１の反射特性ｗ1が既知の白色標準試
料を測定して得られる測定値ｗ1'を用いて、上記数７を
変形して得られる、
【００９６】
【数１４】Ａ1＝ｒ1／ｒ1'、すなわちＡ1＝ｗ1／ｗ1' によって、第１の補正係数Ａ1を求める。
【００９７】後述するように、第１、第２の反射特性
ｗ1，ｗ2が既知の白色標準試料を測定し、下記数２４又
は数２６に従って第２の補正係数Ａ2を求める。 求めた第１、第２の補正係数Ａ1，Ａ2を記憶手段５１
に記憶させる。 後述するように、鏡面反射込み重み係数ｐ1，ｐ2及び
鏡面反射除去重み係数ｑ1，ｑ2を求めるとともに、求め
た重み係数を記憶手段５１に記憶させる。
【００９８】補正反射特性演算手段５５は、記憶手段５
１に記憶されている第１の補正係数Ａ1を用いて、上記
数７に従って第１の反射特性を補正するとともに、後述
するように、第２の補正係数Ａ2を用いて、下記数２１
又は数２２に従って第２の反射特性を補正するものであ
る。
【００９９】鏡面特性演算手段５６は、補正された第
１、第２の反射特性と、記憶手段５１に記憶されている
鏡面反射込み重み係数ｐ1，ｐ2及び鏡面反射除去重み係
数ｑ1，ｑ2とを用いて、上記数１に従って、試料３のＳ
ＣＩ反射特性ｒi及びＳＣＥ反射特性ｒeを求めるもので
ある。
【０１００】次に、係数演算手段５４による第２の補正
係数Ａ2を求める原理について説明する。ここで、上記
数８〜数１２については同様である。
【０１０１】次いで、第２の照明手段２０による照明光
での第２の反射特性ｒ2において、上記数１１で示した
拡散照明成分Ｉ2d，Ｍ2dの積分球劣化による低下分であ
るａsとａmの差がもたらす誤差は、相対強度Ｉ2d／Ｉ2s
と相対強度Ｍ2d／Ｍ2sの差がもたらす誤差に比べて、極
めて小さいと考えられる。そこで、ａs＝ａm＝ａとす
る。
【０１０２】この場合には、上記数８、数１２より下記
数１５のＭ2'が得られ、上記数９、数１２より下記数１
５のＳ2'が得られる。
【０１０３】
【数１５】 Ｍ2'≒Ｍ2d−ａm・Ｍ2d＋Ｍ2s ＝Ｍ2(１−ａ・Ｍ2d／Ｍ2) Ｓ2'≒Ｋ・Ｉ2d'(ｒd＋ｒs)＋Ｉ2s(Ｋ・ｒd＋ｒs) ＝Ｋ・Ｉ2d(１−ａ)(ｒd＋ｒs)＋Ｉ2s(Ｋ・ｒd＋ｒs) =S2−ａ・Ｋ・Ｉ2d(ｒd＋ｒs) また、上記数１０、数１５より、
【０１０４】
【数１６】 ｒ2'≒Ｃ2・(Ｓ2'／Ｍ2') ＝Ｃ2・[Ｓ2−ａ・Ｋ・Ｉ2d(ｒd＋ｒs)]／[Ｍ2(１−ａ・Ｍ2d／Ｍ2)] ≒(Ｃ2／Ｍ2)・(１＋ａ・Ｍ2d／Ｍ2)[Ｓ2−ａ・Ｋ・Ｉ2d(ｒd＋ｒs)] ≒ｒ2＋ｒ2・ａ・Ｍ2d／Ｍ2−(Ｃ2／Ｍ2)・ａ・Ｋ・Ｉ2d(ｒd＋ｒs) が得られる。ここで、上記数４を変形すると、
【０１０５】
【数１７】Ｋ・(ｒd＋ｒs)＝(ｒ1・Ｍ1d)／(Ｃ1・Ｉ1d) が得られる。上記数１７を上記数１６に代入すると、
【０１０６】
【数１８】 ｒ2'≒r2＋r2・a・M2d／M2−(C2／C1)・a・I2d・(r1・M1d)／(M2・I1d) ＝r2＋r2・a・M2d／M2−r1・a・(C2／C1)(M2d／M2)・(I2d／M2d)(M1d／I1d) が得られる。
【０１０７】試料面と参照光入射端における拡散照明成
分の相対強度は、第１の照明手段１０と第２の照明手段
２０とで変化しない、すなわち、
【０１０８】
【数１９】Ｉ2d／Ｍ2d≒Ｉ1d／Ｍ1d と考えられる。
【０１０９】従って、上記数１８、数１９より、
【０１１０】
【数２０】 ｒ2'≒ｒ2＋ｒ2・ａ・Ｍ2d／Ｍ2−ｒ1・ａ・(Ｃ2／Ｃ1)(Ｍ2d／Ｍ2) ＝ｒ2＋ａ・Ｍ2d／Ｍ2[ｒ2−ｒ1・(Ｃ2／Ｃ1)] となる。
【０１１１】この数２０において、Ｃ＝Ｃ2／Ｃ1，Ａ2
＝ａ・Ｍ2d／Ｍ2とおくと、
【０１１２】
【数２１】 ｒ2≒ｒ2'−Ａ2・(ｒ2−Ｃ・ｒ1) ≒ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1) となる。
【０１１３】この数２１において、第２項は第１項に比
べて十分小さく、ｒ2をｒ2'に置き換えても大きな誤差
を与えないとしている。
【０１１４】なお、上記数２１は、下記数２２としても
よい。
【０１１５】
【数２２】ｒ2≒ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1') この数２２は、上記数２１と同様に第２項は第１項に比
べて十分小さく、ｒ1をｒ1'に置き換えても大きな誤差
を与えないとしている。
【０１１６】上記数２１又は数２２に示すように、劣化
後積分球による第２の照明手段２０からの照明光による
第２の反射特性ｒ2'は、上記数４、数１０に示す比例係
数、すなわち劣化前の積分球での試料用分光手段３０と
参照用分光手段４０に入射する光束の比Ｓ1／Ｍ1，Ｓ2
／Ｍ2と反射特性ｒ1，ｒ2を結び付ける比例係数Ｃ1，Ｃ
2の比Ｃ＝Ｃ2／Ｃ1を予め求めておくことにより、第２
の補正係数Ａ2によって劣化前の第２の反射特性ｒ2に補
正することができる。
【０１１７】なお、上記数２１を用いる場合には、第２
の反射特性ｒ2'に先立って、第１の反射特性ｒ1'の補正
を行えばよい。
【０１１８】上記数２１を変形すると、
【０１１９】
【数２３】Ａ2≒(ｒ2'−ｒ2)／(ｒ2'−Ｃ・ｒ1) となる。
【０１２０】従って、第２の補正係数Ａ2は、劣化前の
積分球１による第１、第２の反射特性ｗ1，ｗ2が既知の
白色標準試料を劣化後の積分球１で測定し、そのときの
第１、第２の反射特性をｗ1'，ｗ2'とすると、
【０１２１】
【数２４】Ａ2≒(ｗ2'−ｗ2)／(ｗ2'−Ｃ・ｗ1) によって、第２の補正係数Ａ2を求めることができる。
【０１２２】また、上記数２２を変形すると、
【０１２３】
【数２５】Ａ2≒(ｒ2'−ｒ2)／(ｒ2'−Ｃ・ｒ1') となる。従って、
【０１２４】
【数２６】Ａ2≒(ｗ2'−ｗ2)／(ｗ2'−Ｃ・ｗ1') によって、第２の補正係数Ａ2を求めるようにしてもよ
い。
【０１２５】次に、係数演算手段５４による鏡面反射込
み重み係数ｐ1，ｐ2及び鏡面反射除去重み係数ｑ1，ｑ2
を求める原理について説明する。この原理は、上記特開
平９−６１２４３号公報に開示されている原理と同様で
ある。すなわち、ＳＣＩ反射特性及びＳＣＥ反射特性が
既知で、異なる反射特性値、例えば異なる表面状態を有
する２つの標準試料を測定することによって求める。
【０１２６】ここで、標準試料ＳａのＳＣＩ反射特性を
Ｒａi、ＳＣＥ反射特性をＲａeとし、標準試料ＳｂのＳ
ＣＩ反射特性をＲｂi、ＳＣＥ反射特性をＲｂeとする。
但し、Ｒａi≠Ｒｂi，Ｒａe≠Ｒｂeである。
【０１２７】標準試料Ｓａを試料用開口２に配置し、第
１の照明手段１０及び第２の照明手段２０を個別に発光
させて、見かけの第１、第２の反射特性ｒａ1，ｒａ2が
得られる。
【０１２８】また、標準試料Ｓｂを試料用開口２に配置
し、第１の照明手段１０及び第２の照明手段２０を個別
に発光させて、見かけの第１、第２の反射特性ｒｂ1，
ｒｂ2が得られる。
【０１２９】これらの値の間には、
【０１３０】
【数２７】Ｒａi＝ｐ1・ｒａ1＋ｐ2・ｒａ2
【０１３１】
【数２８】Ｒｂi＝ｐ1・ｒｂ1＋ｐ2・ｒｂ2
【０１３２】
【数２９】Ｒａe＝ｑ1・ｒａ1＋ｑ2・ｒａ２
【０１３３】
【数３０】Ｒｂｅ＝ｑ1・ｒｂ1＋ｑ2・ｒｂ2 の関係がある。
【０１３４】従って、上記数２７、数２８の連立方程式
を解くことにより鏡面反射込み重み係数ｐ1，ｐ2を求め
ることができる。また、上記数２９、数３０の連立方程
式を解くことにより鏡面反射除去重み係数ｑ1，ｑ2を求
めることができる。これらの重み係数ｐ1，ｐ2，ｑ1，
ｑ2は、その測定装置に固有の値であるので、積分球の
劣化前に１度求めておけばよい。
【０１３５】次に、図２〜図４のフローチャートを用い
て、種々の場面における本反射特性測定装置の動作手順
について説明する。図２は本反射特性測定装置の製造工
場における校正手順を示すフローチャートである。
【０１３６】製品となる反射特性測定装置（以下「測定
装置Ｘ」という。）と同タイプで予め校正された基準測
定装置を用いて、上記測定装置Ｘに付属するべき白色標
準試料（以下「白色標準試料Ｘ」という。）を試料用開
口２に配置し、第１、第２の照明手段１０，２０を個別
に発光させて、得られた各受光データを上記測定装置Ｘ
の記憶手段５１に記憶する（＃１００）。
【０１３７】次いで、記憶手段５１に記憶された各受光
データから、第１、第２の反射特性ｗ1，ｗ2を算出し
て、記憶手段５１に記憶する（＃１１０）。
【０１３８】次いで、測定装置Ｘで白色標準試料Ｘを試
料用開口２に配置し、第１、第２の照明手段１０，２０
を個別に発光させて、白色標準試料Ｘからの反射光
Ｓ1，Ｓ2による第１、第２の受光データｓ1，ｓ2と、参
照用の照明光Ｍ1，Ｍ2による第１、第２の受光データｍ
1，ｍ2とを記憶手段５１に記憶する（＃１２０）。
【０１３９】続いて、受光データｓ1，ｓ2，ｍ1，ｍ2か
ら、比例係数Ｃ1＝ｗ1／(ｓ1／ｍ1)，Ｃ2＝ｗ2／(ｓ2／
ｍ2)を算出し、Ｃ＝Ｃ2／Ｃ1を算出して、この比例係数
Ｃを記憶手段５１に記憶する（＃１３０）。
【０１４０】続いて、複数の異なる反射特性値を有する
標準試料、例えば上記標準試料Ｓａ，Ｓｂをそれぞれ試
料用開口２に配置し、それぞれ第１、第２の照明手段１
０，２０を個別に発光させて、得られた各受光データを
記憶し（＃１４０）、上記数２７〜数３０に従って、重
み係数ｐ1，ｐ2，ｑ1，ｑ2を求め、記憶手段５１に記憶
して（＃１５０）、終了する。ここで求められたデータ
は全て積分球劣化前のデータである。
【０１４１】図３は測定装置Ｘを用いた試料測定の前に
測定現場で行われる校正の手順を示すフローチャートで
ある。測定現場では、測定装置Ｘによる試料３の測定に
先立って、第１、第２の反射特性ｗ1，ｗ2が既知の白色
標準試料Ｘを試料用開口２に配置し、第１、第２の照明
手段１０，２０を個別に発光させて、得られる第１、第
２の受光データから第１、第２の反射特性ｗ1'，ｗ2'を
求める（＃２００）。
【０１４２】次いで、この第１、第２の反射特性ｗ1'，
ｗ2'は、測定装置Ｘの積分球１の劣化による影響を受け
ている虞れがあるので、これらと記憶手段５１に記憶さ
れている比例係数Ｃを用いて、上記数１４に従って第１
の補正係数Ａ1を求めるとともに、上記数２４又は数２
６に従って第２の補正係数Ａ2を求めて記憶手段５１に
記憶して（＃２１０）、終了する。
【０１４３】図４は測定装置Ｘを用いた試料の測定手順
を示すフローチャートである。測定対象の試料３を試料
用開口２に配置した状態で、第１、第２の照明手段１
０，２０を個別に発光させ、得られる受光データから第
１、第２の反射特性ｒ1'，ｒ2'を求める（＃３００）。
【０１４４】次いで、この第１、第２の反射特性ｒ1'，
ｒ2'は、積分球１の劣化による影響を受けている虞れが
あるので、記憶手段５１に記憶されている第１、第２の
補正係数Ａ1，Ａ2を用いて、上記数７に従って、劣化前
の第１の反射特性ｒ1の近似値に補正するとともに、上
記数２１又は数２２に従って、劣化前の第２の反射特性
ｒ2の近似値に補正する（＃３１０）。
【０１４５】次いで、上記数１に従って、記憶されてい
る鏡面反射込み重み係数ｐ1，ｐ2を用いてＳＣＩ反射特
性を求めるとともに、鏡面反射除去重み係数ｑ1，ｑ2を
用いてＳＣＥ反射特性を求めて（＃３２０）、終了す
る。
【０１４６】このように、本実施形態によれば、第１、
第２の照明手段１０，２０の照明光による積分球１の劣
化前の第１、第２の反射特性ｗ1，ｗ2が既知の白色標準
試料を測定し、第１、第２の反射特性ｗ1'，ｗ2'を求
め、数１４によって補正係数Ａ1を求めるとともに、求
められている比例係数Ｃを用いて上記数２４又は数２６
によって第２の補正係数Ａ2を求め、この第２の補正係
数Ａ2により試料３の第２の反射特性ｒ2を補正するよう
にしたので、積分球１の劣化、例えば経時変化による反
射率の低下によって測定に悪影響が及ぼされるのを容
易、かつ好適に防止することができ、高精度の測定を継
続して行うことができる。
【０１４７】また、予め求められ、記憶されている鏡面
反射込み重み係数ｐ1，ｐ2及び鏡面反射除去重み係数ｑ
1，ｑ2と、補正した第１、第２の反射特性ｒ1，ｒ2とを
用いてＳＣＩ反射特性及びＳＣＥ反射特性を求めること
により、ＳＣＩ反射特性及びＳＣＥ反射特性を継続して
精度よく求めることができる。
【０１４８】次に、上記実施形態の変形形態について説
明する。この変形形態は、係数演算手段５４及び補正反
射特性演算手段５５の機能及び動作の点において、先に
説明した実施形態と大きく相違するが、その他の構成に
ついてはほぼ同一である。そこで、以下においては、変
形形態に係る反射特性測定装置がそのような相違点を有
する理由及びその装置の動作を中心に説明する。
【０１４９】第１、第２の照明手段１０，２０による第
１、第２の反射特性の測定に誤差等の悪影響を及ぼす要
因は、上述したように、積分球１の劣化に限られず、積
分球１の劣化以外の要因、例えば受光光学系３２や参照
用光ファイバ４１等の積分球１以外の構成要素の経時劣
化や、温度や湿度等の雰囲気の変化等が考えられる。
【０１５０】積分球１以外の光学系、例えば受光光学系
３２と参照用光ファイバ４１との受光効率が相対的に変
化すると、第１の補正係数Ａ1は、Ａ1≠１となる。この
場合でも、第１の反射特性ｒ1'については、上記数１４
の白色校正によって第１の補正係数Ａ1を求めることに
よって、上記数７により補正することができる。
【０１５１】積分球１の劣化は、上述したように、劣化
前の第１、第２の反射特性ｒ1，ｒ2に対してそれぞれ異
なる影響を及ぼす。これに対し、積分球１の劣化以外の
要因は、劣化前の第１、第２の反射特性ｒ1，ｒ2に対し
てそれぞれ同一の影響を及ぼすと考えられるので、この
影響を考慮した第２の反射特性ｒ2'に対する補正は、上
記数２１に代えて、下記数３１によって行うことができ
る。
【０１５２】
【数３１】 ｒ2≒Ａ1・{ｒ2'−Ａ2・(ｒ2−Ｃ・ｒ1)} ≒Ａ1・{ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1)} なお、この数３１は、上記数２１に対する数２２と同様
に、下記数３２としてもよい。
【０１５３】
【数３２】ｒ2≒Ａ1・{ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1')} 上記数３１を変形すると、
【０１５４】
【数３３】Ａ2≒(ｒ2'−ｒ2／Ａ1)／(ｒ2'−Ｃ・ｒ1) となる。
【０１５５】従って、第２の補正係数Ａ2は、上記数２
４に代えて、下記数３４によって求めることができる。
【０１５６】
【数３４】Ａ2≒(ｗ2'−ｗ2／Ａ1)／(ｗ2'−Ｃ・ｗ1) また、上記数３２を変形すると、
【０１５７】
【数３５】Ａ2≒(ｒ2'−ｒ2／Ａ1)／(ｒ2'−Ｃ・ｒ1') となる。従って、
【０１５８】
【数３６】Ａ2≒(ｗ2'−ｗ2／Ａ1)／(ｗ2'−Ｃ・ｗ1') によって、第２の補正係数Ａ2を求めるようにしてもよ
い。
【０１５９】この変形形態における動作について説明す
ると、図３のフローチャートの＃２１０において、上記
数２４又は数２６に代えて、上記数３４又は数３６に従
って第２の補正係数Ａ2を求め、図４のフローチャート
の＃３１０において、上記数２１又は数２２に代えて、
上記数３１又は数３２に従って劣化前の第２の反射特性
ｒ2の近似値に補正する。
【０１６０】上記実施形態では積分球１の劣化以外の要
因による測定への影響を考慮していないが、この変形形
態によれば、積分球１の劣化に加えて、積分球１の劣化
以外の要因による測定への影響を、上記実施形態と同様
に容易、かつ好適に補正することができる。
【０１６１】なお、上記実施形態及び変形形態では、第
１、第２の反射特性ｗ1，ｗ2が既知の白色標準試料を用
いているが、本発明は、これに限られず、例えば、特定
の波長における第１、第２の反射特性が既知の標準試料
を用いてもよい。この形態によれば、その特定波長にお
ける各反射特性について、上記実施形態及び変形形態と
それぞれ同様の効果を得ることができる。
【０１６２】また、上記実施形態及び変形形態では、重
み係数ｐ1，ｐ2，ｑ1，ｑ2を求めるために、２つの標準
試料を測定して連立方程式を導いているが、さらに多く
の標準試料を測定して最小自乗法で最適な重み係数
ｐ1，ｐ2，ｑ1，ｑ2を求めるようにしてもよい。また、
ＳＣＩ反射特性ｒi及びＳＣＥ反射特性ｒeを数１に示す
ように第１、第２の反射特性ｒ1，ｒ2の一次項のみを含
む線形結合としているが、これを二次項若しくは三次項
まで含む線形結合としてもよい。
【０１６３】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、比例係数及び第１、第２の補正係数を用いて、
下記式に従って第１、第２の反射特性を補正して積分球
の劣化前の試料の第１、第２の劣化前反射特性を算出す
るようにしたので、積分球の劣化により反射特性の測定
に悪影響が及ぼされるのを、容易かつ好適に防止するこ
とができ、これによって高精度の反射特性の測定を継続
して行うことができ、測定装置としての実用性を著しく
向上することができる。
【０１６４】ｒ1＝Ａ1・ｒ1' ｒ2＝ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1) 又はｒ2＝ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1') ここに、 ｒ1：上記試料の第１の劣化前反射特性 ｒ2：上記試料の第２の劣化前反射特性 Ａ1：上記第１の補正係数 Ａ2：上記第２の補正係数 Ｃ：上記比例係数 ｒ1'：上記試料の第１の反射特性 ｒ2'：上記試料の第２の反射特性 また、請求項２の発明によれば、標準試料を用いて比例
係数及び第１、第２の補正係数を算出することにより、
試料の第１、第２の劣化前反射特性の算出を精度よく、
かつ容易に行うことができる。
【０１６５】また、請求項３の発明によれば、比例係数
及び第１、第２の補正係数を用いて、下記式に従って第
１、第２の反射特性を補正して試料の第１、第２の劣化
前反射特性を算出するようにしたので、積分球の劣化に
加えて、積分球の劣化以外の要因により反射特性の測定
に悪影響が及ぼされるのを、容易かつ好適に防止するこ
とができ、これによって高精度の反射特性の測定を継続
して行うことができ、測定装置としての実用性を著しく
向上することができる。
【０１６６】ｒ1＝Ａ1・ｒ1' ｒ2＝Ａ1・{ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1)} 又はｒ2＝Ａ1・{ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1')} ここに、 ｒ1：上記試料の第１の劣化前反射特性 ｒ2：上記試料の第２の劣化前反射特性 Ａ1：上記第１の補正係数 Ａ2：上記第２の補正係数 Ｃ：上記比例係数 ｒ1'：上記試料の第１の反射特性 ｒ2'：上記試料の第２の反射特性 また、請求項４の発明によれば、標準試料を用いて比例
係数及び第１、第２の補正係数を算出することにより、
試料の第１、第２の劣化前反射特性の算出を精度よく、
かつ容易に行うことができる。
【０１６７】また、請求項５の発明によれば、第１、第
２の劣化前反射特性を用いて鏡面反射光を含む反射特性
及び鏡面反射光を除去した反射特性を算出することによ
り、双方の反射特性の測定を、継続して高精度に行うこ
とができる。
【０１６８】また、請求項６の発明によれば、積分球
は、試料の表面の法線から略８°の方向に穿設された受
光用開口を有し、受光手段は、試料からの反射光の内で
上記略８°の方向の成分を受光することにより、照明系
及び受光系を一般的に採用されている拡散照明、８°受
光の光学的条件に構成することができ、反射特性の測定
を精度よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る反射特性測定装置の一実施形態の
構成図である。
【図２】この反射特性測定装置の製造工場における校正
手順を示すフローチャートである。
【図３】測定装置Ｘを用いた試料測定の前に測定現場で
行われる校正の手順を示すフローチャートである。
【図４】測定装置Ｘを用いた試料の測定手順を示すフロ
ーチャートである。
【図５】従来の反射特性測定装置の概略構成図で、第１
の照明手段による試料面及び参照光入射端での照明光の
配光及びその積分球劣化による照明光の配光の変化を示
している。
【図６】従来の反射特性測定装置の概略構成図で、第２
の照明手段による試料面及び参照光入射端での照明光の
配光及びその積分球劣化による照明光の配光の変化を示
している。
【符号の説明】
１ 積分球 １ａ 内壁 ２ 試料用開口 ３ 試料 ４ 第２の照明手段の直接照明域 ５ 第１の照明手段の直接照明域 １０ 第１の照明手段 １１，２１ 光源 １２，２２ 発光回路 １６，２６ 光源用開口 ２０ 第２の照明手段 ２３ マスク板 ２４ 照明光学系 ２５ 反射鏡 ２７ 拡散板 ３０ 試料用分光手段 ３１ 受光用開口 ３２ 受光光学系 ３２ａ 受光光束 ４０ 参照用分光手段 ４１ 参照用光ファイバ ５０ 制御手段 ５１ 記憶手段 ５２ 測定制御手段 ５３ 反射特性演算手段 ５４ 係数演算手段 ５５ 補正反射特性演算手段 ５６ 鏡面特性演算手段

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 第１の光源用開口、第２の光源用開口、
    試料用開口及び受光用開口を有し、上記試料用開口に配
    置された試料を照明する積分球と、 上記受光用開口に配設され、上記試料からの反射光を受
    光してその光強度に対応する受光データを出力する受光
    手段と、 上記第１の光源用開口に配設され、上記積分球内の所定
    の領域に向けて光束を導く第１の照明手段と、 上記第２の光源用開口に配設され、上記試料の表面の法
    線に関して、上記積分球内の上記受光用開口の方向と対
    称な方向の領域に向けて光束を導く第２の照明手段と、 上記第１、第２の照明手段をそれぞれ個別に発光させ、
    上記受光手段から上記受光データとして上記第１の照明
    手段に対応する第１の受光データ及び上記第２の照明手
    段に対応する第２の受光データをそれぞれ個別に出力さ
    せる測定制御手段と、 上記第１の受光データから上記試料の第１の反射特性を
    算出するとともに、上記第２の受光データから上記試料
    の第２の反射特性を算出する反射特性演算手段と、 反射特性が既知の標準試料を用いて得られる比例係数及
    び第１、第２の補正係数を記憶する係数記憶手段と、 下記式に従って上記第１、第２の反射特性を補正して上
    記積分球の劣化前の上記試料の第１、第２の劣化前反射
    特性を算出する補正反射特性演算手段とを備えたことを
    特徴とする反射特性測定装置。 ｒ1＝Ａ1・ｒ1' ｒ2＝ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1) 又はｒ2＝ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1') ここに、 ｒ1：上記試料の第１の劣化前反射特性 ｒ2：上記試料の第２の劣化前反射特性 Ａ1：上記第１の補正係数 Ａ2：上記第２の補正係数 Ｃ：上記比例係数 ｒ1'：上記試料の第１の反射特性 ｒ2'：上記試料の第２の反射特性
  2. 【請求項２】 請求項１記載の反射特性測定装置におい
    て、上記比例係数及び上記第１、第２の補正係数を算出
    する係数演算手段を備え、 上記測定制御手段は、積分球の劣化前及び劣化後に反射
    特性が既知の標準試料を上記試料用開口に配置した状態
    で上記第１、第２の照明手段をそれぞれ個別に発光さ
    せ、上記受光手段から上記受光データとして上記第１の
    照明手段に対応する第１の標準受光データ及び上記第２
    の照明手段に対応する第２の標準受光データをそれぞれ
    個別に出力させるもので、 上記反射特性演算手段は、上記第１の標準受光データか
    ら上記標準試料の第１の標準反射特性を算出するととも
    に、上記第２の標準受光データから上記標準試料の第２
    の標準反射特性を算出するもので、 上記係数演算手段は、上記積分球劣化前の第１、第２の
    標準受光データを用いて上記比例係数を算出するととも
    に、上記積分球劣化後の第１、第２の標準反射特性を用
    いて上記第１、第２の補正係数を算出するものであるこ
    とを特徴とする反射特性測定装置。
  3. 【請求項３】 第１の光源用開口、第２の光源用開口、
    試料用開口及び受光用開口を有し、上記試料用開口に配
    置された試料を照明する積分球と、 上記受光用開口に配設され、上記試料からの反射光を受
    光してその光強度に対応する受光データを出力する受光
    手段と、 上記第１の光源用開口に配設され、上記積分球内の所定
    の領域に向けて光束を導く第１の照明手段と、 上記第２の光源用開口に配設され、上記試料の表面の法
    線に関して、上記積分球内の上記受光用開口の方向と対
    称な方向の領域に向けて光束を導く第２の照明手段と、 上記第１、第２の照明手段をそれぞれ個別に発光させ、
    上記受光手段から上記受光データとして上記第１の照明
    手段に対応する第１の受光データ及び上記第２の照明手
    段に対応する第２の受光データをそれぞれ個別に出力さ
    せる測定制御手段と、 上記第１の受光データから上記試料の第１の反射特性を
    算出するとともに、上記第２の受光データから上記試料
    の第２の反射特性を算出する反射特性演算手段と、 反射特性が既知の標準試料を用いて得られる比例係数及
    び第１、第２の補正係数を記憶する係数記憶手段と、 下記式に従って上記第１、第２の反射特性を補正して上
    記試料の第１、第２の劣化前反射特性を算出する補正反
    射特性演算手段とを備えたことを特徴とする反射特性測
    定装置。 ｒ1＝Ａ1・ｒ1' ｒ2＝Ａ1・{ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1)} 又はｒ2＝Ａ1・{ｒ2'−Ａ2・(ｒ2'−Ｃ・ｒ1')} ここに、 ｒ1：上記試料の第１の劣化前反射特性 ｒ2：上記試料の第２の劣化前反射特性 Ａ1：上記第１の補正係数 Ａ2：上記第２の補正係数 Ｃ：上記比例係数 ｒ1'：上記試料の第１の反射特性 ｒ2'：上記試料の第２の反射特性
  4. 【請求項４】 請求項３記載の反射特性測定装置におい
    て、上記比例係数及び上記第１、第２の補正係数を算出
    する係数演算手段を備え、 上記測定制御手段は、積分球の劣化前及び劣化後に反射
    特性が既知の標準試料を上記試料用開口に配置した状態
    で上記第１、第２の照明手段をそれぞれ個別に発光さ
    せ、上記受光手段から上記受光データとして、上記第１
    の照明手段に対応する第１の標準受光データ及び上記第
    ２の照明手段に対応する第２の標準受光データをそれぞ
    れ個別に出力させるもので、 上記反射特性演算手段は、上記第１の標準受光データか
    ら上記標準試料の第１の標準反射特性を算出するととも
    に、上記第２の標準受光データから上記標準試料の第２
    の標準反射特性を算出するもので、 上記係数演算手段は、上記積分球劣化前の第１、第２の
    標準受光データを用いて上記比例係数を算出するととも
    に、上記積分球劣化後の第１、第２の標準反射特性を用
    いて上記第１、第２の補正係数を算出するものであるこ
    とを特徴とする反射特性測定装置。
  5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載の反射
    特性測定装置において、上記第１、第２の劣化前反射特
    性を用いて鏡面反射光を含む反射特性及び鏡面反射光を
    除去した反射特性を算出する鏡面特性演算手段を備えた
    ことを特徴とする反射特性測定装置。
  6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかに記載の反射
    特性測定装置において、 上記受光用開口は、上記法線から略８°の方向に穿設さ
    れ、 上記受光手段は、上記試料からの反射光の内で上記略８
    °の方向の成分を受光するものであることを特徴とする
    反射特性測定装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010190785A (ja) * 2009-02-19 2010-09-02 Konica Minolta Sensing Inc 反射特性測定装置、反射特性測定装置の校正基準装置、および反射特性測定装置の校正基準板の劣化測定装置
JP2015206687A (ja) * 2014-04-21 2015-11-19 キヤノン株式会社 色測定装置及び方法
WO2016136402A1 (ja) * 2015-02-24 2016-09-01 コニカミノルタ株式会社 光線束均一化機構、照明光学系、受光光学系、参照光学系及び測色計
JP2021513645A (ja) * 2018-01-30 2021-05-27 グラインセンス オーワイＧｒａｉｎｓｅｎｓｅ Ｏｙ 積分キャビティを較正する方法
US20230152612A1 (en) * 2020-08-07 2023-05-18 Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Reflection rate detection device and reflection rate detection method for liquid crystal panel

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6850233B2 (en) * 2002-05-01 2005-02-01 Microsoft Corporation Systems and methods for optimizing geometric stretch of a parametrization scheme
US7248350B2 (en) * 2004-04-27 2007-07-24 E. I. Du Pont De Nemours And Company Non-destructive method of determining the refractive index of clear coats
GB2416834A (en) * 2004-08-03 2006-02-08 Intercolor Ltd A method of measuring the lustre of a surface having a metallic appearance
DE102010041749A1 (de) * 2010-09-30 2012-04-05 Carl Zeiss Microlmaging Gmbh Messeinrichtungen und Vorrichtungen zur spektroskopischen Untersuchung von Proben
CN102538970B (zh) * 2010-12-08 2014-02-26 武汉红金龙印务股份有限公司 用于镭射纸色度检测的分光光度计
US8525997B1 (en) * 2012-03-30 2013-09-03 Datacolor, Inc. System and apparatus for improved low reflectance color measurement
JP6221738B2 (ja) * 2013-01-07 2017-11-01 セイコーエプソン株式会社 記録媒体判別装置および記録媒体判別方法
US10746650B2 (en) * 2016-05-31 2020-08-18 Konica Minolta, Inc. Reflection characteristic measuring device
US10591354B1 (en) * 2018-10-30 2020-03-17 Datacolor Inc. Simultaneous SCE and SCI measurements
CN111452538B (zh) * 2020-04-02 2021-02-12 中国资源卫星应用中心 一种白板切换保护机构

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4932779A (en) * 1989-01-05 1990-06-12 Byk Gardner, Inc. Color measuring instrument with integrating sphere
US5369481A (en) * 1992-05-08 1994-11-29 X-Rite, Incorporated Portable spectrophotometer
JPH0650817A (ja) * 1992-07-29 1994-02-25 Minolta Camera Co Ltd 試料の光学特性測定装置
JP3353560B2 (ja) * 1995-08-24 2002-12-03 ミノルタ株式会社 反射特性測定装置
JP2000042204A (ja) * 1998-05-27 2000-02-15 Aruze Corp 遊技機

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010190785A (ja) * 2009-02-19 2010-09-02 Konica Minolta Sensing Inc 反射特性測定装置、反射特性測定装置の校正基準装置、および反射特性測定装置の校正基準板の劣化測定装置
JP2015206687A (ja) * 2014-04-21 2015-11-19 キヤノン株式会社 色測定装置及び方法
WO2016136402A1 (ja) * 2015-02-24 2016-09-01 コニカミノルタ株式会社 光線束均一化機構、照明光学系、受光光学系、参照光学系及び測色計
CN107250743A (zh) * 2015-02-24 2017-10-13 柯尼卡美能达株式会社 光束均匀化机构、照明光学系统、受光光学系统、参照光学系统及测色计
JP2021513645A (ja) * 2018-01-30 2021-05-27 グラインセンス オーワイＧｒａｉｎｓｅｎｓｅ Ｏｙ 積分キャビティを較正する方法
US20230152612A1 (en) * 2020-08-07 2023-05-18 Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Reflection rate detection device and reflection rate detection method for liquid crystal panel
US11977285B2 (en) * 2020-08-07 2024-05-07 Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Reflection rate detection device and reflection rate detection method for liquid crystal panel

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