JP2007093273A - 反射特性測定装置及び反射特性測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反射特性測定装置Sは、積分球2、第1照明手段3、第2照明手段4、受光手段5及び制御演算手段6を備える。また積分球2は、試料開口2aと、該試料開口2aに配置される試料面1の法線2nに関して対称な位置に設けられた受光開口2b及び鏡面反射開口2tとを備える。制御演算手段6は、第1照明手段3及び第2照明手段4により順次試料面を照明させ、そのときの前記受光手段の出力から求められる第1、第2の反射特性を、所定の重み係数を用いて線形結合することで、SCIの反射特性と、SCEの反射特性とを算出する。
【選択図】図1
Description
(1)鏡面反射トラップによる方法
図9は、鏡面反射トラップが採用された反射特性測定装置P1の構成図である。この反射特性測定装置P1は、積分球80、光源85及び受光系86を備えている。そして、前記積分球80は、試料開口81と、該試料開口81に配置される試料面84の法線84aから8度の方向にある受光開口82と、法線84aに関して受光開口82と対称な位置にある鏡面反射開口83とを有し、さらに鏡面反射開口83を開閉する鏡面反射トラップ83Tを具備してなる。
図10は、線形結合による方法を実現可能な反射特性測定装置P2の構成図である。この反射特性測定装置P2は、積分球90、試料面94を拡散成分が強調された照明光で照明する第1の光源部95、8度方向の指向性成分が強調された照明光で照明する第2の光源部96及び受光系97を備えている。前記積分球90には、試料面94の法線94aから8度の方向にある受光開口82が設けられているが、鏡面反射トラップは備えられていない(符号93で示す部分が鏡面反射トラップ相当部分である)。
[装置構成の説明]
図1は、本発明の一実施形態に係る反射特性測定装置Sの全体構成を示す構成図である。この反射特性測定装置Sは、測定対象とされる試料面1に所定の照明光を照射したときの反射特性を求めるものであって、積分球2、該積分球2を構成要素として含む第1照明手段3、第2照明手段4、受光手段5及び制御演算手段6を備えて構成されている。
次に、制御演算手段6の演算処理部62において実行される演算の際に用いられる第1、第2の反射率係数の算出手法、及びSCI及びSCEの反射率係数の算出手法について説明する。
先ず、基礎反射特性演算部621で行われる第1の反射率係数r1及び第2の反射率係数r2の算出手法について説明する。測定制御部61により第1光源31及び第2光源41が順次点灯され、それぞれ第1、第2照明光で照明された試料面1及び参照域2rの反射光の、試料光スリット51s及び参照光スリット51rに入射した成分である、試料光S1、S2及び参照光R1、R2の分光分布S1(λ)、S2(λ)及びR1(λ)、R2(λ)がポリクロメータ51により測定される。
r1(λ)=C1(λ)・S1(λ)/R1 (λ) ・・・(1−1)
r2(λ)=C2(λ)・S2(λ)/R2 (λ) ・・・(1−2)
C1(λ)=W1(λ)・RW1(λ)/SW1(λ) ・・・(2−1)
C2(λ)=W2(λ)・RW2(λ)/SW2(λ) ・・・(2−2)
I1=I1s +I1d ・・・(3−1)
I2=I2s +I2d ・・・(3−2)
r1=K・(I1・rd+I1d・rs)/I1+I1s・rs/I1
=K・rd+(K・I1d+I1s)/I1・rs
=D1・rd+S1・rs ・・・(4−1)
r2=K・(I2・rd+I2d・rs)/I2+I2s・rs/I2
=K・rd+(K・I2d+I2s)/I2・rs
=D2・rd+S2・rs ・・・(4−2)
但し、D1、D2、S1、S2は重み係数であり、いずれも照明受光光学系に固有のものであって、次の通り表される。
D1=D2=K
S1=(K・I1d+I1s)/I1
S2=(K・I2d+I2s)/I2
続いて、SCI/SCE反射特性演算部622で行われるSCIの反射率係数ri及びSCEの反射率係数reの算出手法について説明する。SCIの反射率係数ri及びSCEの反射率係数reは、前掲の拡散反射率係数rd、鏡面反射率係数rs及び定数Kを用いて、それぞれ次の(5−1)式、(5−2)式で表すことができる。
ri=K・rd+K・rs ・・・(5−1)
re=K・rd ・・・(5−2)
ri=A1・r1+A2・r2 ・・・(6−1)
re=B1・r1+B2・r2 ・・・(6−2)
以上説明した反射特性測定装置Sの動作について説明する。図5は、反射特性測定装置Sによる測定フローを示すフローチャートである。積分球2の測定開口2aに、被測定対象となる試料面1をセットした上で、先ず測定制御部61により第1光源31がパルス点灯され、前記試料面1が第1照明光にて拡散照明される。このときにポリクロメータ51で検出される受光データ(第1の受光手段出力)に基づき、演算処理部62の基礎反射特性演算部621において、第1の反射率係数r1が求められる(ステップS11)。
riN=A1・r1N+A2・r2N ・・・(7−1)
E1=ΣN(riN−ri0N)2 ・・・(7−2)
reN=B1・r1N+B2・r2N ・・・(7−3)
E2=ΣN(reN−re0N)2 ・・・(7−4)
上記実施形態では、演算処理部62の基礎反射特性演算部621により算出された第1、第2の反射率係数r1、r2に、上記(6−1)式、(6−2)式を適用して、直接SCIの反射率係数riとSCEの反射率係数reとを求める場合について説明したが、先ずSCEの反射率係数reと鏡面反射の反射率係数rsとを求め、その後にSCIの反射率係数riを求めるようにすることもできる。
rs=C1・r1+C2・r2 ・・・(8−1)
rs0=ri0−re0 ・・・(8−2)
ri=re+rs ・・・(8−3)
上記実施形態では、第2照明手段4に備えられる拡散板43を照明する第2光源41として、Xeフラッシュランプ等を用いる例について示したが、これに代えて、限定された立体角で効率よく光束を放射する白色LEDランプを用いることができる。この場合、第2光源41の電力消費や発熱を抑えることができるという利点がある。
2 積分球
2a 試料開口
2b 受光開口
2t 鏡面反射開口
2n 試料面の法線
3 第1照明手段
31 第1光源
4 第2照明手段
41 第2光源
43 拡散板(面光源)
44 光源開口
45 コリメーターレンズ
5 受光手段
51 ポリクロメータ
6 制御演算手段
61 測定制御部
62 演算処理部
621 基礎反射特性演算部621
622 SCI/SCE反射特性演算部
63 記憶部
S,S’ 反射特性測定装置
Claims (10)
- 試料開口と、該試料開口に配置される試料面の法線に関して対称な位置に設けられた受光開口及び鏡面反射開口とを備える積分球と、
所定の照明光を発生する第1光源及び第2光源を有する第1照明手段及び第2照明手段と、
前記第1照明手段又は第2照明手段で照明された前記試料面の反射光の一部を、前記受光開口を通して受光する受光手段と、
測定動作を制御すると共に反射特性を算出する演算を行う制御演算手段とを具備する反射特性測定装置であって、
前記第1照明手段は、前記積分球と第1光源とから構成され、前記試料面を拡散照明するものであり、
前記第2照明手段は前記第2光源と所定の光学系とから構成され、前記積分球の鏡面反射開口から試料面を直接照明するものであり、
前記制御演算手段は、前記第1光源及び第2光源を順次点灯して試料面を照明させ、そのときの前記受光手段の出力である第1の受光手段出力及び第2の受光手段出力に基づいて、鏡面反射を含む反射特性と、鏡面反射が除去された反射特性とを算出することを特徴とする反射特性測定装置。 - 前記制御演算手段が、
所定の重み係数を記憶する記憶部と、
前記第1の受光手段出力及び第2の受光手段出力から第1の反射特性及び第2の反射特性を求める基礎反射特性演算部と、
前記第1の反射特性及び第2の反射特性を、前記記憶部に記憶されている重み係数を用いて線形結合することで、鏡面反射を含む反射特性と、鏡面反射が除去された反射特性とを算出するSCI/SCE反射特性演算部と、
を具備することを特徴とする請求項1に記載の反射特性測定装置。 - 前記制御演算手段が、
所定の重み係数を記憶する記憶部と、
前記第1の受光手段出力及び第2の受光手段出力から第1の反射特性及び第2の反射特性を求める基礎反射特性演算部と、
前記第1の反射特性及び第2の反射特性を、前記記憶部に記憶されている重み係数を用いて線形結合することで、鏡面反射が除去された反射特性と、鏡面反射の反射特性とを求める第1演算と、前記鏡面反射が除去された反射特性と前記鏡面反射の反射特性とを加算して、鏡面反射を含む反射特性を求める第2演算とを行うSCI/SCE反射特性演算部と、
を具備することを特徴とする請求項1に記載の反射特性測定装置。 - 前記第2照明手段が、面光源と、前記面光源の光束を収束して試料面に照射するコリメーターレンズとからなり、
当該第2照明手段による照明域及び配光が、前記コリメーターレンズ及び面光源の有効径によって与えられる構成とされていることを特徴とする請求項1に記載の反射特性測定装置。 - 前記面光源が、拡散板と、前記拡散板を照明する白色LEDとで構成されることを特徴とする請求項4に記載の反射特性測定装置。
- 前記制御演算手段により求められる反射特性が、分光反射率係数であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の反射特性測定装置。
- 前記制御演算手段は、鏡面反射の分光反射率係数を求めるに際し、一部の波長における前記分光反射率係数を、内挿或いは外挿により求めることを特徴とする請求項6に記載の反射特性測定装置。
- 前記制御演算手段は、各波長についての鏡面反射の分光反射率係数を求めるに際し、前記波長近傍の波長について重みつき平均により求めることを特徴とする請求項6に記載の反射特性測定装置。
- 前記重み係数が、2つ以上の基準試料についての既知の鏡面反射を含む反射特性と鏡面反射が除去された反射特性、若しくは鏡面反射が除去された反射特性と鏡面反射の反射特性と、
前記基準試料を実際に測定し、前記基礎反射特性演算部により求められる前記第1の反射特性及び第2の反射特性とから求められることを特徴とする請求項2又は3に記載の反射特性測定装置。 - 鏡面反射光の光源となる部分が除かれた態様で試料面を拡散照明する第1照明手段で試料面を拡散照明し、前記試料面の反射光の少なくとも一部を受光手段で受光し、第1の受光手段出力を取得するステップと、
鏡面反射光の光源となる部分から試料面を直接照明する第2照明手段で試料面を直接照明し、前記試料面の反射光の少なくとも一部を前記受光手段で受光し、第2の受光手段出力を取得するステップと、
前記第1照明手段で試料面を拡散照明して前記受光手段から第1の受光手段出力を取得するステップと、
前記第2照明手段で試料面を直接照明して前記受光手段から第2の受光手段出力を取得するステップと、
前記第1の受光手段出力及び第2の受光手段出力から第1の反射特性及び第2の反射特性を演算により求めるステップと、
前記第1の反射特性及び第2の反射特性に基づいて、鏡面反射を含む反射特性と、鏡面反射が除去された反射特性とを演算により求めるステップと、
を含むことを特徴とする反射特性測定方法。
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