JP2008294186A - 結晶化装置および結晶化方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】結晶化装置において、高エネルギー密度の出力が得られる可視光源を提供する。
【解決手段】可視光照射系は、2次元アレイ配列した複数の可視光レーザー光源によって形成する。可視光照射系は、各可視光レーザー光源から発せられた複数の可視光レーザー光の光強度分布をパターンニングする光強度分布形成手段と、この光強度分布形成手段でパターンニングした光強度分布の光を被処理基板上の照射域に結像する結像光学系とを備える。被処理基板と光軸上の結像位置関係にあたる光強度分布形成手段に対して、複数の固体レーザー又は半導体レーザーが発する各可視レーザー光を重畳させる。エキシマレーザー光と可視光レーザー光との重畳において、複数の可視光のレーザー光源から発せられた複数の可視光レーザー光を重畳し、この重畳により形成される可視光レーザー光の光強度分布によって結晶成長を形成する。
【選択図】図3
【解決手段】可視光照射系は、2次元アレイ配列した複数の可視光レーザー光源によって形成する。可視光照射系は、各可視光レーザー光源から発せられた複数の可視光レーザー光の光強度分布をパターンニングする光強度分布形成手段と、この光強度分布形成手段でパターンニングした光強度分布の光を被処理基板上の照射域に結像する結像光学系とを備える。被処理基板と光軸上の結像位置関係にあたる光強度分布形成手段に対して、複数の固体レーザー又は半導体レーザーが発する各可視レーザー光を重畳させる。エキシマレーザー光と可視光レーザー光との重畳において、複数の可視光のレーザー光源から発せられた複数の可視光レーザー光を重畳し、この重畳により形成される可視光レーザー光の光強度分布によって結晶成長を形成する。
【選択図】図3
Description
本発明は、非晶質もしくは多結晶半導体薄膜に光線を用いて溶融し結晶化させる結晶化装置に関し、特に、位相変調して得られる光強度分布を有するレーザー光を非単結晶半導体薄膜に照射して結晶化する技術(Phase Modulated Excimer Laser Annealing:PMELA)に関する。
ガラス基板等の絶縁体上に形成された非結晶半導体層を結晶化させて結晶質半導体層を得、この結晶質半導体層を活性層とした薄膜トランジスタ(TFT:thin film transistor)を形成する技術が知られている。
例えば、アクティブマトリックス型液晶表示装置では、シリコン膜等の半導体膜を設けガラス基板上に薄膜トランジスタを形成し、この薄膜トランジスタを切換え表示を行うためのスイッチング素子として用いている。
薄膜トランジスタの形成は、非晶質又は多結晶などの非単結晶半導体薄膜の結晶化工程を含んでいる。この結晶化技術として、例えば、大エネルギーの短パルス・レーザー光を用いて非単結晶半導体薄膜の照射領域を溶融して、結晶化するレーザー結晶化技術が知られている。
現在、生産に供されているレーザー結晶化装置では、長尺ビーム(例えば、500μm×300mm)形状で均一な強度分布のレーザー光を非晶質シリコンに照射する手法を採用している。しかしながら、この手法では、得られた半導体膜の結晶粒径が0.5μm以下と小さく、そのため、TFTのチャネル領域に結晶粒界が存在することになり、TFTの特性が抑制されるなど性能に限界がある。
このTFTの性能を向上させるために、大きな結晶粒を有する高品質な半導体膜を製造する技術が要求されている。この要求を満足させる結晶化法として、各種のレーザー結晶化技術の中で、特に、位相変調して形成した逆ピークパターン状の光強度分布を有するエキシマレーザー光を非単結晶半導体薄膜に照射して結晶化する技術が注目されている。
前述した位相変調を行うことなく均一な強度分布のレーザー光を非晶質シリコンに照射する手法をELA技術と云うのに対して、位相変調したエキシマレーザー光を照射して行う結晶化する技術をPMELA技術と云い、所定の光強度分布を持つエキシマレーザー光を、非単結晶半導体薄膜に照射し、この半導体膜の照射部を溶融して、結晶化を行う。
所定の光強度分布を持つエキシマレーザー光は、位相変調素子等の光変調素子、例えば位相シフタ等の位相変調素子により入射レーザー光を位相変調させることにより得られる。非単結晶半導体薄膜は、例えば、ガラス基板上に形成した非晶質シリコン若しくは多結晶シリコンの薄膜である。
現在開発されているPMELA技術では、1回のエキシマレーザー光の照射で数mm角程度の大きさの領域を溶融・結晶化させる。この結晶化非単結晶半導体薄膜処理により、数μmから10μm程度の大きさで比較的一様な結晶粒を有する品質の優れた結晶化シリコン薄膜が形成されている(例えば、非特許文献1参照)。この手法で形成した結晶化シリコン薄膜に作成されたTFTは、優れた電気特性を有することが示されている。
このPMELA結晶化技術は、レーザー光の使用効率が高く、大粒径の結晶が得られるという優れた特徴を有する。しかしながら、安定した電気特性を得るためには結晶粒を高い精度で位置決めする必要がある。また、大面積の半導体膜を結晶化させるには、いわゆるステップ・アンド・リピート照射方式と呼ばれる、非単結晶半導体膜にレーザー光を照射後、次の照射位置までガラス基板を移動させ停止させた後再びレーザー光を照射する工程を繰り返す照射方式が用いられている。
PMELA結晶化技術において、シリコン薄膜の微小領域において溶融し結晶化する状態を評価するために観察することが求められている。この結晶化を光学的に観察する技術として、観察用照明光学系を設け、パルス状エネルギー光を照射した後に観察する技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
図8は、PMELA結晶化による結晶化装置の一構成例を説明するための図である。図8において、結晶化装置100は、大粒径の結晶化を行うための結晶化用光パターンを形成する結晶化用光学系101を備える。結晶化用光学系101は、レーザー光源111と、ビームエキスパンダ112と、ホモジナイザ113と、位相シフタ(例えば、位相変調素子)114と、結像光学系115と、基板130を予め定められた位置に案内するステージ140とを備える。レーザー光源111からのレーザー光はビームエキスパンダ112で拡大され、ホモジナイザ113により面内の光強度が均一化され、位相シフタ114に照射される。位相シフタ114を透過したエキシマレーザー光は、所定の光強度分布に変調され、結像光学系115により基板130上に照射される。
また、位相変調を行うことなく均一な強度分布のレーザー光を非晶質シリコンに照射するELA技術では、結晶化用エネルギーとして紫外線領域の光を照射し、観察用の照明用光として可視光領域の光を照射することによって結晶化を光学的に観察する技術が提案されている。
図8において、結晶化プロセスの被処理領域を観察する観察系120は、観察用照明光源121,ビームエキスパンダ122,ハーフミラー123,環状鏡面系124を含む観察用照明光学系と、顕微光学結像系125、光検出器126および撮像装置を含む顕微観察光学系とを備える(例えば、特許文献2参照)。
また、均一な温度分布で加熱することによって、結晶成長を促進して比較的大きな結晶粒を形成し、結晶欠陥を減少させ、半導体膜の電気的特性を向上させるために、半導体膜を結晶化させる第1のエネルギービームと、この第1のエネルギービームよりも半導体膜の吸収率が小さく、半導体膜を結晶化させるエネルギーよりも小さなエネルギーの第2のエネルギービームとを照射することが提案されている。この第2のエネルギービームは半導体膜の下部および基板にまで到達して、半導体膜の厚さ方向にわたって加熱することで基板を加熱し、第1のエネルギービームの照射前後の温度差を減少させる。この第1のエネルギービームとしてエキシマレーザーによるレーザー光を用いて、第2のエネルギービームとして可視光領域の波長成分を含むことが示されている(特許文献3,4参照)。
また、加熱された被処理基板の温度分布を均一に保持するために、基板の上層部分にキャップ層を設ける構成とすることも知られている。被処理基板は、例えば、ベース基板の上に絶縁膜を介して半導体薄膜等の被処理膜を形成し、この膜上に絶縁膜からなるキャップ膜を設ける。キャップ膜は、加熱された被処理基板の放熱を低減して、被処理基板の温度分布の均一化を図る。
また、結晶粒を高い精度で位置決めするには、光変調素子のパターンを精密に基板上に投影する必要があるが、レーザー光を高い頻度で繰り返して連続照射すると、光学系の雰囲気温度が上昇したり、レンズ系が熱膨張することによって、照射中に、基板上に投影される光変調素子のパターンの投影倍率が変動する。
レーザー波長308nmを用いた場合、雰囲気温度が3℃上昇すると、例えば1/5縮小テレセントリックレンズでは、10mmの光変調素子パターンを2mm角に縮小して基板上に転写する際、1/5.000から1/4.994への倍率変動によって、投影されたパターンの周辺部では2.4μm程度の誤差が生じることがシミュレーションから確認される。
この投影倍率の変動は、レーザー光の照射によって形成される結晶化領域において、後工程でトランジスタが結晶粒界をまたいで形成されると、スイッチング特性等の低下を引き起こす要因となる。
数μmに及ぶ擬似単結晶を形成することが可能なPMELA(Phase Modulated Excimer Laser Annealing)結晶化技術において、光変調素子がその結晶成長に重要な役割を担っており、エキシマレーザーによって被処理基板上にその光強度分布が転写される光変調素子の形状を最適化することが重要なファクターである。
井上弘毅、中田充、松村正清;電子情報通信学会論文誌 Vol.J85-C,No.8, pp.624-629, 2002、「シリコン薄膜の振幅・位相制御エキシマ・レーザー溶融再結晶化方法−新しい2−D位置制御大結晶粒形成法−」
特開2006−66462号公報
特開2005−294801号公報
特開2000−68520号公報
特開2002−261015号公報
上述したように、PMELA(Phase Modulated Excimer Laser Annealing)結晶化技術においては光変調素子がその結晶成長に重要な役割を担っており、エキシマレーザーによって被処理基板上にその光強度分布が転写される光変調素子の形状を最適化することが重要なファクターである。
しかしながら、エキシマレーザーがUV光であり、かつパルス照射レーザーであることから、基板上に形成する光強度分布が可視化することが困難である。そのため、所望の結晶化成長を得るための光変調素子を最適化することができないという問題がある。
PMELA(Phase Modulated Excimer Laser Annealing)結晶化技術において、結晶化された状態を光学的に観察することは、上述した特許文献1で提案され、また、ELA技術において、結晶化を紫外光領域のエキシマレーザーで行い、観察を可視光領域の光を用いることも特許文献2で提案されているが、何れも結晶化後の状態を観察するものであるため、この観察結果に基づいて光変調素子の形状を最適化するには、モニタ用の領域について予め結晶化を行い、その結晶化状態を観察した後に光変調素子を調整する必要があるため、光変調素子を調整において即時性の点で問題があり、被処理部分を結晶化する際の光変調素子を調整することができないという問題がある。
また、均一な温度分布を得るために、被処理領域に照射するエネルギービームを、結晶化を行うための第1のエネルギービームと、加熱を行うための第2のエネルギービームの2種類に分けること、および、加熱を行うための第2のエネルギービームとして吸収率が小さく、エネルギーの小さな光を用いることで(特許文献3,4の段落0106,0115,0117等)、被処理領域に影響を与えることなく加熱するものである。
したがって、従来提案される何れのものも、結晶化を行うエネルギービームの光強度分布を結晶化を行う状態で観察・測定することができないという問題があり、この観察・測定に基づいて光変調素子あるいは金属開口を調整して光強度分布を最適化することができないという問題がある。
本出願の発明者は、被処理基板上に転写される光強度分布のパターンを可視領域の光を用いることによって、光強度分布の可視化を可能とする可視化装置を提案している。この可視化装置は、この光強度分布を可視化することによって、光強度分布を形成する光変調素子や金属開口を調整し、また、結晶化を行う光の光軸を照射領域に位置合わせする。
本発明は、被処理基板に照射するレーザー光として紫外域のレーザー光と可視光域のレーザー光の2種類のレーザー光を用いる。紫外域のレーザー光は、被処理基板を均一照射することで被処理基板の結晶化を行う領域を溶融化する。一方、可視光域のレーザー光は、結晶化に必要なエネルギーを有するとともにパターンニングされた光強度分布を有しており、この光強度分布を溶融化された領域に重畳させることによって、溶融化された領域を結晶成長させる。
可視光域のレーザー光のアモルファスシリコン膜の吸収率は小さく、パターンニングした光強度分布を持つ可視光域のレーザー光を単にアモルファスシリコン膜に照射しただけでは、その吸収率が小さいために、結晶化させることはできない。これに対して、本発明者は、溶融化したアモルファスシリコン膜の可視光域のレーザー光の吸収率は十分に大きいことに着目し、溶融化したアモルファスシリコン膜に対して、パターンニングした光強度分布を有する可視光域のレーザー光を照射することによって、結晶化と可視化との両方の達成を可能とする。
この可視光域のレーザー光の光源は、エキシマレーザーのパルス照射時間(約30nsec)に相当する時間内に、被処理基板の膜を破壊して結晶化を開始するに必要なエネルギー密度(臨界フルエンス)を印加する必要がある。この臨界フルエンスとしては、例えば100mJ/cm2のエネルギー密度である。
したがって、結晶化装置において、可視光線を用いて結晶化するには、高エネルギー密度の出力が得られる可視光源が求められ、この可視光源を実現化することで、結晶化と可視化との両方を同時に可能とすることができる。
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、結晶化装置において、高エネルギー密度の出力が得られる可視光源を提供することを目的とする。
本発明が備える結晶化装置の態様は、被処理基板上に紫外光域のレーザー光をパルス照射する紫外光用照射系と、被処理基板上において紫外光域のレーザー光の照射域と同一照射域に、可視光のレーザー光を連続照射する可視光照射系とを備える。紫外光域のレーザー光の均一照射によって溶融化した領域に、可視光のレーザー光の光強度分布によって結晶成長を形成する。本発明の結晶化装置は、紫外光域のレーザー光をパルス照射することによる溶融化と、可視光のレーザー光を連続照射することによる結晶化を組み合わせることで、結晶化を行うレーザー光の可視化を可能とするものである。
紫外光用照射系は、エキシマレーザー光源と、エキシマレーザー光源から発せられたエキシマレーザー光を基板上に均一照射する紫外光用照明光学系とを備える。紫外光用照射系は、エキシマレーザー光を基板上に均一照射することで、基板上に溶融化領域を形成する。
他方、可視光照射系は、可視光レーザー光源と、可視光レーザー光源から発せられた可視光レーザー光の光強度分布をパターンニングする光強度分布形成手段と、光強度分布形成手段でパターンニングした光強度分布の光を被処理基板上のエキシマレーザー光の照射域に結像する結像光学系とを備える。
本発明の可視光照射系は、2次元アレイ配列した複数の可視光レーザー光源によって形成する。可視光照射系は、各可視光レーザー光源から発せられた複数の可視光レーザー光の光強度分布をパターンニングする光強度分布形成手段と、この光強度分布形成手段でパターンニングした光強度分布の光を被処理基板上の照射域に結像する結像光学系とを備える。被処理基板と光軸上の結像位置関係にあたる光強度分布形成手段に対して、複数の固体レーザー又は半導体レーザーが発する各可視レーザー光を重畳させる。
この複数の可視光のレーザー光源から発せられた複数の可視光レーザー光で形成した可視光レーザー光の光強度分布を、紫外光域のエキシマレーザー光を均一照射して溶融化した照射域に照射して、エキシマレーザー光と可視光レーザー光とを重畳させる。このエキシマレーザー光と可視光レーザー光との重畳によって、エキシマレーザー光で溶融化された領域を結晶化する。このエキシマレーザー光と可視光レーザー光との重畳において、複数の可視光のレーザー光源から発せられた複数の可視光レーザー光を重畳し、この重畳により形成される可視光レーザー光の光強度分布によって結晶成長を形成する。
本発明の結晶化装置は、複数の可視光レーザー光を重畳することによって、全体のビームの均一性を向上させることができ、また、照射するエネルギーのエネルギー密度を高めることができる。さらに、エキシマレーザー光の照射エネルギーと、可視光レーザー光とを重畳させることで、臨界フルエンスを最小エネルギーとした光強度調整を行うことができ、エネルギー勾配を利用した結晶の横方向成長に利用することができる。
結晶化は、溶融化された状態のアモルファスシリコン膜の可視光の吸収率が高まることを利用することによって、可視光レーザー光を照射する領域で行うことができるため、結晶化を行う領域を可視化することができる。
また、可視光照射系は、複数の可視光レーザー光源と光強度分布形成手段との間にホモジナイザを備える構成とすることができる。ホモジナイザは、複数の可視光レーザー光源と一対一で対応する複数のレンズを備える構成としてもよい。
光強度分布形成手段は、可視光レーザー光源から発せられた可視光レーザー光の位相をシフトして光強度を変化させる光変調素子、あるいは、可視光レーザー光源から発せられた可視光レーザー光の一部を遮蔽して光強度を変化させる金属開口とすることができる。
被処理基板はアモルファスシリコン膜を有する。エキシマレーザー光のアモルファスシリコン膜での吸収率は、可視光レーザー光のアモルファスシリコン膜での吸収率よりも大きいため、パルス照射されたエキシマレーザー光はアモルファスシリコン膜で吸収されて溶融化が行われる。一方、可視光レーザー光のアモルファスシリコン膜での吸収率は、溶融化される前の状態では小さいため、アモルファスシリコン膜の結晶化には寄与しないが、溶融化された後の状態では大きくなるため、アモルファスシリコン膜はパターンニングされた光強度分布によって結晶化される。
また、本発明の結晶化方法の態様では、被処理基板上のアモルファスシリコン膜に紫外光域のレーザー光を均一にパルス照射して溶融化し、複数の可視光レーザー光源から発せられた複数の可視光レーザー光の光強度分布をパターンニングし、このパターンニングした可視光のレーザー光を、溶融化した液状化シリコン領域上に重畳して照射することによって結晶成長を形成する。
本発明によれば、高エネルギー密度の出力が得られる可視光源を形成することができ、結晶化装置の光源に適用することができる。
また、結晶化装置において、被処理基板上に転写される光変調素子あるいは金属開口の作る光強度分布を可視化することができる。
また、光強度分布の可視化に基づいて光変調素子や金属開口を調整することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
図1は本発明の結晶化装置1の構成を説明するための概略図である。図1において、本発明の結晶化装置1は、被処理基板30上に紫外光域のレーザー光をパルス照射する紫外光用照射系10と、被処理基板30上において紫外光域のレーザー光の照射域と同一照射域に、可視光のレーザー光を連続照射する可視光照射系20とを備える。紫外光用照射系10は、紫外光域のレーザー光の均一照射によって被処理基板30上の照射領域を溶融化する。可視光照射系20は、溶融化した領域に可視光を重畳して照射することによって、可視光のレーザー光の光強度分布によって結晶成長を形成する。
紫外光用照射系10は、エキシマレーザー光をパルス出射するエキシマレーザー光源11と、レーザー光を照射するUV用照明光学系12とを備え、可視光照射系20と共有する結像光学系24を通して被処理基板30上にエキシマレーザー光を照射し、被処理基板30に設けられた薄膜を溶融する。
可視光照射系20は、可視光レーザー光を連続照射する可視光レーザー光源21と、可視光用照明光学系22と、可視光用照明光学系22で照射された可視光レーザー光を所定の光強度分布の光線に変調する光変調素子23と、光変調素子23の変調光を被処理基板30上に結像させる結像光学系24と、被処理基板30を支持すると共に被処理基板30上の二次元位置を定める位置決めステージ(図示していない)を備える。結像光学系24を介して被処理基板30に照射された変調光は、被処理基板30に設けられた薄膜の内、紫外光用照射系10によって溶融化された領域を結晶化する。
図2はエキシマレーザー光源と可視光レーザー光源のレーザー光の一例を説明するための図である。図2(a)はエキシマレーザー光の一例であり、パルス状のレーザー光が照射される。一方、図2(b)は可視光レーザー光の一例であり、光強度分布されレーザー光は連続して照射される。
可視光用照明光学系22は、可視光レーザー光源21から射出された可視光レーザー光のビームを拡大するビーム・エキスパンダ(図示していない)や、面内の光強度を均一化するホモジナイザ(図示していない)を備え、光変調素子23を照明する結晶化用レーザー光を射出、調整する。なお、図では、ビームエキスパンダ及びホモジナイザは示していない。
光変調素子23は位相シフタを用いることができ、結晶化用レーザー光を位相変調して所望の光強度分布、例えば、逆ピークパターンの光強度分布を有する光に変調する。また、光変調素子23による光強度分布の調整は光変調素子駆動機構25によって行うことができる。
結像光学系24は、光変調素子23により位相変調された結晶化用レーザー光を結晶化させる非単結晶半導体薄膜に縮小照射する。この縮小照射は、例えば、光変調素子23を照明光学系22と結像光学系24との間に設置したプロジェクション方式によって構成することができる。
可視光レーザー光源21は、被処理基板30に設けられた非単結晶半導体膜、例えば、溶融化された非晶質若しくは多結晶半導体膜を結晶化するために充分なエネルギー、例えば、非単結晶半導体膜上で1J/cm2を有する光を出力する。
一方、エキシマレーザー光源11は、短パルス、例えば、半値幅が約25から30nsecのパルス・レーザー光を出力する。レーザー光は、例えば、波長248nmのKrFエキシマレーザー光、波長308nmのXeClエキシマレーザー光が好ましい。エキシマレーザー光源は、例えば、発振周波数が例えば1Hzから300Hzのパルス発振型である。
ビーム・エキスパンダ(図示していない)は、入射された可視光レーザー光を拡大するもので、例えば、拡大する凹レンズと平行光にする凸レンズとにより構成することができる。また、ホモジナイザ(図示していない)は、入射したレーザー光のXY断面方向の寸法を決定し、かつ決定した形状内の光強度分布を均一にする機能を有する。例えば、X方向シリンドリカルレンズをY方向に複数個並べ、Y方向に並んだ複数の光束を形成し、X方向コンデンサ・レンズで各光束をY方向に重ね合わせて再分布させる。同様に、Y方向シリンドリカルレンズをX方向に複数並べ、X方向に並んだ複数の光束を形成し、Y方向コンデンサ・レンズで各光束をX方向に重ね合わせて再分布させる。ホモジナイザにより可視光レーザー光は、所定の角度広がりをもち断面内の光強度が均一化された照明光に調光される。
位相シフタは、光変調素子23の一例であり、例えば、石英ガラス基板に段差をつけたものである。この段差の境界でレーザー光の回折と干渉をおこさせ、レーザー光強度に周期的な空間分布を付与し、例えば、左右で180°の位相段差を付ける。左右で180°の位相段差を付けた位相シフタは、均一な強度分布の入射光を逆ピーク状の光強度分布に強度変調する。
位相シフタは、例えば、入射光を位相変調して逆ピーク状光強度分布を形成するように段差が形成されており、可視光レーザー光の位相を変調する。この結果、半導体膜を照射するレーザー光は、位相のシフト部(段差)に対応した箇所が強度変調された逆ピークパターンの光強度分布となる。
光変調素子23の位相シフタを透過したレーザー光は、収差補正された結像光学系24により位相シフタ(光変調素子23)と共役な位置に設置された被処理基板30上に、所定の光強度分布で結像する。結像光学系24は、例えば、複数枚のフッ化カルシウム(CaF2)レンズおよび合成石英レンズからなるレンズ群により構成され、例えば、縮小率:1/5、N.A.:0.13、解像力:2μm、焦点深度:±10μm、焦点距離:30mmから70mmの作動距離を有する片側テレセントリックレンズである。
また、光変調素子23に代えて金属開口を用いることができ、開口部のエッジ部の段差によって光強度分布を位相変調する。
また、結晶化の処理を受ける被処理基板30は、一般に、例えば、ガラス基板、プラスチック基板等の絶縁基板、シリコン等の半導体基板(ウェーハ)等の保持基板に絶縁膜を介して非単結晶半導体膜(例えば、非晶質シリコン膜、多結晶シリコン膜、スパッタされたシリコン膜、シリコン・ゲルマニウム膜、若しくは脱水素処理をした非晶質シリコン膜)を形成する。
非単結晶半導体膜の膜厚は、例えば脱水素処理をした非晶質シリコン膜の場合には30nmから300nmであり、例えば、50nmである。絶縁膜は、非単結晶半導体膜を結晶化する際に、保持基板から好ましくない不純物が非単結晶半導体膜に拡散することを防止するために、あるいは、レーザー照射によって生じるジュール熱を蓄積させる目的で設けられた膜である。
また、キャップ絶縁膜を設ける構成も知られている。キャップ絶縁膜は、レーザー光に対するキャップ絶縁膜の紫外光透過特性及び断熱特性を利用して、結晶化のために非単結晶半導体膜が受光して溶融したときの熱を蓄える機能を有する。キャップ絶縁膜の蓄熱効果は、従来構成の結晶化装置において、非単結晶半導体膜の溶融領域に大粒径(5μm以上)の結晶化を可能にする。キャップ絶縁膜は、結晶化の効率を高めるためのものであるが、本発明の結晶化装置は、溶融化と結晶化とを同一領域で行うことができるため、加熱状態を保持するために被処理基板30の非単結晶半導体膜上の設けた絶縁膜よりなるキャップ膜を不要としても良い。
本発明の結晶化装置1は、位置決めステージ(図示していない)を備えてもよい。位置決めステージは、被処理基板30を載置してXY方向の2次元で移動自在とするXYステージ(図していない)の他、XYステージ上の二次元位置を測定する位置測定部(図示していない)を備える。XYステージは、X軸方向に移動するX軸ステージと、Y軸方向に移動するY軸ステージと、このX軸ステージ及びY軸ステージを支持する定盤(図示していない)を備える。XYステージ上には被処理基板30が載置され、XYステージを二次元で移動させることによって、被処理基板30の位置決めを行う。
本発明の結晶化装置1によって被処理基板30を結晶化する場合には、ステージ駆動制御装置(図示していない)によってXYステージを駆動し、レーザー光を被処理基板30上で走査して結晶化を施す。
図3は、本発明の結晶化装置に用いる可視光レーザー光源と、可視光用照明光学系の構成を説明するための断面図を示し、図5は斜視図を示している。
本発明の可視光レーザー光源21は2次元アレイ状光源21aにより構成され、複数の固体レーザー光源や半導体レーザー光源等の光源ユニット21bを2次元アレイ状に配列して形成される。また、2次元アレイ状光源21aと光変調素子23との間の光路上には可視光用照明光学系22が設けられる。この可視光用照明光学系22は、被処理基板30と光軸上の結像位置関係にあたる光変調素子23に対して、2次元アレイ状光源21aの各光源ユニット21bが発する各可視レーザー光を重畳させる。
図4は2次元アレイ状光源21aの一構成例を示している。ここでは、縦方向および横方向に5個の光源ユニット21bをアレイ配列させることで、2次元アレイ状光源21aを形成する例を示している。なお、配列する光源ユニットの個数は5個に限らず任意に定めることができる。
また、可視光用照明光学系22はホモジナイザ22aを備え、均一照明光学系を形成する。ホモジナイザ22aは、シリンドリカルレンズやフライアイレンズを用いることができる。図5において、光源ユニット21bから発した可視光の連続レーザー光は、ホモジナイザ22aを通って、光変調素子23上において被処理基板30と光軸上の結像位置関係にあたる位置に照射される。光変調素子23には、各光源ユニット21bから発生された複数のレーザー光が重畳される。この複数の光源ユニット21bからのレーザー光を重畳することによって、エネルギー密度を高めることができる他、光源ユニット21bのばらつきによる変動を低減することができる。
可視光源の光源ユニット21bとして、例えば、波長532nm、出力15WのYAGレーザーを用いて、この光源ユニット21bを5×5のアレイ状に配列した構成において、光学系全体の伝達率を40%としたときのエネルギー密度を試算すると以下となる。基板に投入されるエネルギーは、エキシマレーザー光の照射時間(30nsec)で換算すると、25(個)×15(w)×30E-9×0.4(J)=4500(nJ)となる。このレーザー光を基板上の2mm×2mmの領域に照射すると、エネルギー密度(フルエンス)は4.5/0.04≒112(mJ/cm2)となる。
ここで、結晶化を開始する際に膜を破壊するために必要なフルエンス(臨界フルエンス)をエキシマレーザーで200mJ/cm2と仮定する。なお、この臨界フルエンスは、被処理基板の膜構成にも依存する。
これによって、本発明の結晶化装置では、エキシマレーザーの照射エネルギーに、可視光の照射エネルギーを重畳することによって、エキシマレーザーによる200mJ/cm2の臨界フルエンスを最小エネルギー密度とし、可視光レーザー光の照射によるエネルギー密度を調整分とすることによって、200mJ/cm2〜312mJ/cm2の範囲で光強度変調を行うことができる。
また、この光強度変調を基板の移動方向に沿って行うことによってエネルギー勾配を形成することができる。このエネルギー勾配は結晶の横方向成長に適用が可能である。
図6,図7は、エキシマレーザー光と可視光レーザー光の重畳による溶融化と結晶化を説明するための図である。
被処理基板30は、ベース基板31の上に絶縁膜32と被処理膜33としてアモルファスシリコン膜が設けられる。被処理基板30上には、エキシマレーザー光10aと可視光レーザー光20aとが重畳されて照射される。エキシマレーザー光10aはパルス照射される。エキシマレーザーは、その短波長によってアモルファスシリコン膜での吸収率が高く、被処理基板30への進入深さは浅く、アモルファスシリコン膜を溶融化する。
一方、連続照射される可視光レーザー光20aはアモルファスシリコン膜での吸収率が小さいため、被処理基板30への進入深さは深く、アモルファスシリコン膜よりも下側の層まで達し、被処理基板30に投入されたエネルギーは分散される。
エキシマレーザー光10aと可視光レーザー光20aとを重畳して照射すると、アモルファスシリコン膜が溶融化する前の状態では、可視光レーザー光20aはその吸収率が小さいためアモルファスシリコン膜の層を通過し結晶化は行われない。これに対して、アモルファスシリコン膜が溶融化した状態では、可視光レーザー光20aはその吸収率が大きくなるためアモルファスシリコン膜の層で吸収され、アモルファスシリコン膜の結晶化が行われる。
図6(a)は、エキシマレーザー光10aと可視光レーザー光20aとを重畳して照射した状態を示し、図6(b)はエキシマレーザー光10aの照射状態を示し、図6(c)は可視光レーザー光20aの照射状態を示している。図6(b)において、アモルファスシリコン膜33の領域13はエキシマレーザー光10aの照射によって溶融化される。図6(c)において、溶融化された領域13に可視光レーザー光20aが照射されることで、結晶化される。
図7は、エキシマレーザー光10aと可視光レーザー光20aの重畳照射位置を移動させることで、被処理基板30上の結晶化を進める状態を示している。図7(a)はレーザー光の照射前の状態を示し、図7(b)はエキシマレーザー光10aと可視光レーザー光20aの重畳照射によって照射位置を結晶化し、図7(c)は被処理基板30上を移動させることによって次の照射位置にエキシマレーザー光10aと可視光レーザー光20aの重畳照射し結晶化を行う。
本発明の態様によれば、安価な可視光源を複数用いて2次元アレイ光源を構成することによって、単一光源のみにより光量不足を解決することができる。
従来のエキシマレーザー光による結晶化では、例えば30nmの短時間で強いパルス光を照射するため、熱を閉じ込めるためにキャップ層が必要となるが、本発明の結晶化装置の態様によれば、エキシマレーザー光で溶融化した領域を可視光レーザー光で結晶化するため、キャップ膜等の初期膜を基板上に形成する工程を省くことができる。
また、本発明の結晶化装置によれば、可視光による光変調素子を用いることによって、光強度分布の可視化および光変調素子の加工が容易となる。
また、本発明の結晶化装置によれば、光学系の光軸調整を可視光レーザー光の連続発振下で行うことができるため、装置の保守管理が容易となる。
1…結晶化装置、11…エキシマレーザー光源、12…UV用照明光学系、13…溶融領域、21…可視光レーザー光源、21a…2次元アレイ状光源、21b…光源ユニット、22…可視光照明用光学系、22a…ホモジナイザ、23…光変調素子、24…結像光学系、30…被処理基板、31…ベース基板、32…絶縁膜、33…被処理膜、34…結晶化領域、100…結晶化装置、101…結晶化用光学系、111…レーザー光源、112…ビームエキスパンダ、113…ホモジナイザ、114…位相シフタ、115…結像光学系、120…観察系、130…基板、140…ステージ。
Claims (5)
- 被処理基板上に紫外光域のレーザー光をパルス照射する紫外光用照射系と、
被処理基板上において前記紫外光域のレーザー光の照射域と同一照射域に、可視光のレーザー光を連続照射する可視光照射系とを備え、
前記可視光照射系は、2次元アレイ配列した複数の可視光レーザー光源を有し、
前記紫外光域のレーザー光の均一照射によって溶融化した領域に、前記複数の可視光のレーザー光源から発せられた複数の可視光レーザー光を重畳して形成される可視光レーザー光の光強度分布によって結晶成長を形成することを特徴とする、結晶化装置。 - 前記紫外光用照射系は、エキシマレーザー光源と、当該エキシマレーザー光源から発せられたエキシマレーザー光を基板上に均一照射する紫外光用照明光学系とを備え、
前記可視光レーザー光源は、固体レーザー又は半導体レーザーであり、
前記可視光照射系は、前記各可視光レーザー光源から発せられた複数の可視光レーザー光の光強度分布をパターンニングする光強度分布形成手段と、当該光強度分布形成手段でパターンニングした光強度分布の光を被処理基板上の前記照射域に結像する結像光学系とを備え、
前記被処理基板と光軸上の結像位置関係にあたる光強度分布形成手段に対して、前記複数の固体レーザー又は半導体レーザーが発する各可視レーザー光を重畳させることを特徴とする、請求項1に記載の結晶化装置。 - 前記可視光照射系は、複数の可視光レーザー光源と光強度分布形成手段との間にホモジナイザを備えることを特徴とする、請求項2に記載の結晶化装置。
- 前記ホモジナイザは、複数の可視光レーザー光源と一対一で対応する複数のレンズを備えることを特徴とする、請求項3に記載の結晶化装置。
- 被処理基板上のアモルファスシリコン膜に紫外光域のレーザー光を均一にパルス照射して溶融化し、
複数の可視光レーザー光源から発せられた複数の可視光レーザー光を光強度分布形成手段に重畳し、
当該光強度分布形成手段によって重畳した可視光レーザー光の光強度分布をパターンニングし、
当該パターンニングした可視光のレーザー光を、前記溶融化した液状化シリコン領域上に重畳して照射することによって結晶成長を形成することを特徴とする、結晶化方法。
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