JP2008288423A - ウェーハの検査方法及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
ウェーハの電極付近に切削屑等の異物が付着しているかどうかを効率よく検査できるようにする。
【解決手段】
複数のエレメントが整列状態で配設されたラインセンサを用いてストリートに沿って走査を行い、走査によって取得した画像情報からストリートの側方に形成された電極付近の異物の付着状態を判定する。ラインセンサを用いることで、デバイスの良否を効率良く判定することができる。
【選択図】図3
Description
2:チャックテーブル
3:検査装置
30:ラインセンサ 30a:エレメント列
31:表示手段 32:記録手段 33:判定手段
4:アライメント手段 40:撮像部
5:カセット載置テーブル 5a:カセット
6:搬出手段
7:仮置きテーブル
8:搬送手段
80:レール 81:移動部 82:吸着部
9:チャックテーブル駆動手段
90:ボールネジ 91:ガイドレール 92:モータ 93:スライド板
94:回転駆動部
10:割り出し送り手段
100:ボールネジ 101:ガイドレール 102:パルスモータ
103:スライド板 104:昇降手段
W:ウェーハ
S:ストリート D:デバイス B:ボンディングパッド G:切削溝
Claims (4)
- 複数のデバイスがストリートによって区画されて形成されたウェーハを該ストリートに沿って検査するウェーハの検査方法であって、
複数のエレメントが整列状態で配設されたラインセンサを用いて該ストリートに沿って走査を行い、
該走査によって取得した画像情報から該ストリートの側方に形成された電極付近の異物の付着状態を判定するウェーハの検査方法。 - 複数のデバイスがストリートによって区画されて形成されたウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハの表面を検査する検査手段と、検査すべき領域と該検査手段とを位置合わせするアライメント手段とを少なくとも備えた検査装置であって、
該検査手段は、複数のエレメントが整列状態で配設されたラインセンサと、該ラインセンサの走査によって取得した画像情報を表示する表示手段と、該画像情報を記録する記録手段とから少なくとも構成される検査装置。 - 前記ストリートの側方に形成された電極の良否を判定する判定手段が含まれる請求項2に記載の検査装置。
- 前記ラインセンサの走査方向をX軸方向、該X軸方向に直交する前記ストリートの幅方向をY軸方向とした場合に、
前記チャックテーブルを該X軸方向に移動させるチャックテーブル駆動手段と、
前記検査手段を該Y軸方向に移動させる割り出し送り手段と、
複数のウェーハが収容されたカセットが載置されるカセット載置テーブルと、
該カセットからウェーハを搬出する搬出手段と、
該搬出手段によって搬出されたウェーハが仮置きされる仮置きテーブルと、
該仮置きテーブルに仮置きされたウェーハを該チャックテーブルに搬送する搬送手段と
が含まれる請求項2または3に記載の検査装置。
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