JP2008286888A - 露光装置 - Google Patents
露光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008286888A JP2008286888A JP2007129797A JP2007129797A JP2008286888A JP 2008286888 A JP2008286888 A JP 2008286888A JP 2007129797 A JP2007129797 A JP 2007129797A JP 2007129797 A JP2007129797 A JP 2007129797A JP 2008286888 A JP2008286888 A JP 2008286888A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- concave
- reflection surface
- exposure apparatus
- optical system
- reflecting surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70258—Projection system adjustments, e.g. adjustments during exposure or alignment during assembly of projection system
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70325—Resolution enhancement techniques not otherwise provided for, e.g. darkfield imaging, interfering beams, spatial frequency multiplication, nearfield lenses or solid immersion lenses
- G03F7/70333—Focus drilling, i.e. increase in depth of focus for exposure by modulating focus during exposure [FLEX]
Abstract
【解決手段】 本発明は、物体面Oから像面Iに至る光路において、第一凹反射面M1、凸反射面M2、第二凹反射面M3が順に配列された投影光学系を備えた露光装置に関する。投影光学系は、物体面Oと第一凹反射面M1との間、第一凹反射面M1と凸反射面M2との間、凸反射面M2と第二凹反射面M3との間、及び、第二凹反射面M3と像面Iとの間のそれぞれにパワーを有する屈折光学部材L1〜4を含み、かつ、軸外に有限範囲の輪帯状良像域を有する。投影光学系に含まれる反射光学部材M1〜3のパワーの総和をφ1とし、屈折光学部材L1〜4のパワーの総和をφ2としたとき、φ1及びφ2が、0.001≦|φ2/φ1|≦0.1を満たす。
【選択図】図1
Description
以下、本発明に係る露光装置の一例を説明する。この実施形態の露光装置は、軸外の輪帯状良像域を露光照明として用い、マスクに形成されたパターンをレジストが塗布された基板上に投影露光しつつ、マスクと基板を同期走査させることでパターンを基板上に転写する。以下の説明では、パターンが形成されたマスクを「物体」、レジストが塗布された基板表面を「像面」と呼ぶ。本実施形態の露光装置は、図1、3、5、7に示されるように、物体面Oから像面Iに至る光路において、第一凹反射面M1、凸反射面M2、第二凹反射面M3が順に配列された投影光学系を備える。投影光学系は、物体Oと第一凹反射面M1との間に屈折光学部材L1を含み、第一凹反射面M1と凸反射面M2との間に屈折光学部材L2を含む。また、投影光学系は、凸反射面M2と第二凹反射面M3との間に屈折光学部材L3を含み、第二凹反射面M3と像面Iとの間に屈折光学部材L4を含む。屈折光学部材L1〜L4はパワーを有する屈折光学部材である。投影工学系は、軸外に有限範囲の良像域を有する。投影光学系に含まれる反射光学部材M1〜M3のパワーの総和をφ1とし、屈折光学部材L1〜L4のパワーの総和をφ2としたとき、φ1及びφ2は以下の条件式(1)を満たしている。
0.001≦|φ2/φ1|≦0.1・・・(1)
このφ1及びφ2の条件式は、投影光学系の結像性能は良好にしつつ、かつ光学系を小さくするための条件式である。
0.002<|ΔS/R|≦0.2・・・・(2)
|ΔS/R|が0.2以下であると、より広い画面領域で非点隔差を良好に補正することが可能となる。
1×10−6≦|ΔA/R|≦1×10−3・・・・(3)
ΔAがその範囲内にあれば、凹面ミラーを非球面化することで画面全域での良好な収差補正とミラー径の小型化を両立することが可能となる。|ΔA/R|上限値を超えると、非球面量が大きくなり、加工コスト高、長期加工時間、計測精度の困難さなどの影響が生じてくる。また、|ΔA/R|が下限値未満であると、非球面としての作用が小さくなり、収差補正、小型化で効果が小さくなってしまう。
図1は、数値実施例1に係る投影光学系の断面図を示している。図1において、M1は正のパワーを有する第一反射面としての凹面ミラー、M2は負のパワーを有する第二反射面としての凸面ミラー、M3は正のパワーを有する第三反射面としての凹面ミラーである。光束は、物体面Oから順にレンズL1、第一凹反射面M1、レンズL2、凸反射面M2、レンズL3、第二凹反射面M3、レンズL4を通り、像面Iで結像する。なお、本数値実施例1の投影光学系は等倍光学系であり、第1凹反射面M1と第2凹反射面M3とが単一の光学部材の各一部である。また、レンズL1とレンズL4、レンズL2とレンズL3もそれぞれ同一形状の光学素子である。物体面OとレンズL1との間、レンズL1と像面Iとの間等にノーパワーのレンズ等を導入することにより、像面収差等を更に良好に補正することも可能である。図2に本数値実施例1の縦収差図を示す。数値実施例1のレンズデータは表1のとおりである。
図3は、数値実施例2に係る投影光学系の断面図を示している。図3において、M1は正のパワーを有する第一反射面としての凹面ミラー、M2は負のパワーを有する第二反射面としての凸面ミラー、M3は正のパワーを有する第三反射面としての凹面ミラー、L1、L2、L3、L4はレンズである。光束は、物体面Oから順にレンズL1、第一凹反射面M1、レンズL2、凸反射面M2、レンズL3、第二凹反射面M3、レンズL4を通り、像面Iで結像する。なお、本数値実施例2の投影光学系は等倍光学系であり、第1凹反射面M1と第2凹反射面M3とが単一の光学部材の各一部である。また、レンズL1とレンズL4、レンズL2とレンズL3もそれぞれ同一形状の光学素子である。図4に本数値実施例2の縦収差図を示す。数値実施例2のレンズデータは表3のとおりである。
図5は、数値実施例3に係る投影光学系の断面図を示している。図5において、M1は正のパワーを有する第一反射面としての凹面ミラー、M2は負のパワーを有する第二反射面としての凸面ミラー、M3は正のパワーを有する第三反射面としての凹面ミラー、L1、L2、L3。L4はレンズである。光束は、物体面Oから順にレンズL1、第一凹反射面M1、レンズL2、凸反射面M2、レンズL3、第二凹反射面M3、レンズL4を通り、像面Iで結像する。なお、本数値実施例3の投影光学系は等倍光学系であり、第1凹反射面M1と第2凹反射面M3とが単一の光学部材の各一部である。また、レンズL1とレンズL4、レンズL2とレンズL3もそれぞれ同一形状の光学素子である。物体面OとレンズL1との間、レンズL4と像面との間等にノーパワーのレンズ等を導入することにより、像面収差等を更に良好に補正することも可能である。図6に数値実施例3の縦収差図を示す。数値実施例3の非球面式は、数値実施例1の非球面式と同様である。数値実施例3のレンズデータは表5のとおりである。
図7は、数値実施例4に係る投影光学系の断面図を示している。図7において、M1は正のパワーを有する第一反射面としての凹面ミラー、M2は負のパワーを有する第二反射面としての凸面ミラー、M3は正のパワーを有する第三反射面としての凹面ミラー、L1、L2、L3、L4、L5はレンズである。光束は、物体面Oから順にレンズL1、レンズL2、第一凹反射面M1、レンズL3、第凸反射面M2、レンズL4、第二凹反射面M3、レンズL5を通り、像面Iで結像する。なお、本数値実施例4においては拡大光学系であるため、第一凹反射面M1と第二凹反射面M3とは互いに異なる拡大倍率又は縮小倍率を有している。レンズL3とレンズL4のみが同一形状の光学素子である。図8に数値実施例4の縦収差図を示す。数値実施例4の非球面式は、数値実施例1と同様である。数値実施例4のレンズデータは表7のとおりである。
次に、図9及び図10を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施形態を説明する。図9は、デバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
Claims (8)
- 物体面から像面に至る光路において、第一凹反射面、凸反射面、第二凹反射面が順に配列された投影光学系を備えた露光装置において、
前記投影光学系は、前記物体面と前記第一凹反射面との間、前記第一凹反射面と前記凸反射面との間、前記凸反射面と前記第二凹反射面との間、及び、前記第二凹反射面と前記像面との間のそれぞれにパワーを有する屈折光学部材を含み、かつ、軸外に有限範囲の輪帯状良像域を有し、
前記投影光学系に含まれる反射光学部材のパワーの総和をφ1とし、前記屈折光学部材のパワーの総和をφ2としたとき、φ1及びφ2が、0.001≦|φ2/φ1|≦0.1を満たすことを特徴とする露光装置。 - 前記第一凹反射面の近軸曲率半径をRとし、前記第一凹反射面の近軸曲率中心と前記凸反射面の近軸曲率中心との差をΔSとしたとき、ΔSは、0.002<|ΔS/R|≦0.2を満たすことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記第一凹反射面と前記第二凹反射面とは同一の光学特性を有し、
前記第一凹反射面及び前記第二凹反射面の非球面サグ量ΔAを、近軸曲率中心と最大光線有効径位置とを結ぶことで記述できる参照球面との光軸に平行な方向の差分として定義したとき、ΔAは、1×10−6≦|ΔA/R|≦1×10−3を満たすことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の露光装置。 - 前記第一凹反射面と前記第二凹反射面とは、単一の光学部材の各一部であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記第一凹反射面と前記第二凹反射面とは、同一光学特性を有する別の光学部材であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記第一凹反射面と前記第二凹反射面とは、互いに異なる拡大倍率又は縮小倍率を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の露光装置。
- 前記物体はパターンが形成されたマスクであり、前記像面はレジストが塗布された基板の表面であり、
前記マスクに形成されたパターンを前記基板上に投影露光しつつ、前記マスクと前記基板を同期走査させることで前記パターンを前記基板の上に転写することを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の露光装置。 - 請求項7項に記載の露光装置を用いて基板を投影露光する工程と、
前記投影露光された基板を現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007129797A JP5196869B2 (ja) | 2007-05-15 | 2007-05-15 | 投影光学系、露光装置及びデバイス製造方法 |
TW097116652A TWI440988B (zh) | 2007-05-15 | 2008-05-06 | Projection optical systems and exposure devices |
KR1020080044230A KR100966190B1 (ko) | 2007-05-15 | 2008-05-14 | 투영 광학계 및 노광장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007129797A JP5196869B2 (ja) | 2007-05-15 | 2007-05-15 | 投影光学系、露光装置及びデバイス製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008286888A true JP2008286888A (ja) | 2008-11-27 |
JP2008286888A5 JP2008286888A5 (ja) | 2010-07-15 |
JP5196869B2 JP5196869B2 (ja) | 2013-05-15 |
Family
ID=40146698
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007129797A Active JP5196869B2 (ja) | 2007-05-15 | 2007-05-15 | 投影光学系、露光装置及びデバイス製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5196869B2 (ja) |
KR (1) | KR100966190B1 (ja) |
TW (1) | TWI440988B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018092116A (ja) * | 2016-12-05 | 2018-06-14 | キヤノン株式会社 | カタディオプトリック光学系、照明光学系、露光装置および物品製造方法 |
JP2018167000A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-01 | 株式会社ニデック | 眼底撮影装置および眼科装置 |
JP2021039282A (ja) * | 2019-09-04 | 2021-03-11 | キヤノン株式会社 | 露光装置、および物品製造方法 |
CN112596342A (zh) * | 2019-10-01 | 2021-04-02 | 佳能株式会社 | 投影光学系统、扫描曝光装置以及物品制造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6635904B2 (ja) * | 2016-10-14 | 2020-01-29 | キヤノン株式会社 | 投影光学系、露光装置及び物品の製造方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53100230A (en) * | 1977-02-11 | 1978-09-01 | Perkin Elmer Corp | Ring zone fielddoffview optical system |
JPS5890610A (ja) * | 1981-11-24 | 1983-05-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カタデイオプトリツク光学系 |
JPS60168116A (ja) * | 1984-02-13 | 1985-08-31 | Canon Inc | 反射光学系 |
JPS60201316A (ja) * | 1984-03-26 | 1985-10-11 | Canon Inc | 反射光学系 |
JPH0553057A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-03-05 | Nikon Corp | 反射光学系 |
JPH09146281A (ja) * | 1995-05-12 | 1997-06-06 | He Holdings Inc Dba Hughes Electron | マスク像拡大によるリソグラフシステムおよび方法 |
JP2005025199A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Asml Holding Nv | フラットパネルディスプレイ製造用露光システムおよびフラットパネルディスプレイ製造用ユニット拡大環状光学系 |
JP2006078592A (ja) * | 2004-09-07 | 2006-03-23 | Canon Inc | 投影光学系及びそれを有する露光装置 |
JP2008089832A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Canon Inc | 露光装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09180985A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Nikon Corp | 投影露光装置 |
-
2007
- 2007-05-15 JP JP2007129797A patent/JP5196869B2/ja active Active
-
2008
- 2008-05-06 TW TW097116652A patent/TWI440988B/zh active
- 2008-05-14 KR KR1020080044230A patent/KR100966190B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53100230A (en) * | 1977-02-11 | 1978-09-01 | Perkin Elmer Corp | Ring zone fielddoffview optical system |
JPS5890610A (ja) * | 1981-11-24 | 1983-05-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カタデイオプトリツク光学系 |
JPS60168116A (ja) * | 1984-02-13 | 1985-08-31 | Canon Inc | 反射光学系 |
JPS60201316A (ja) * | 1984-03-26 | 1985-10-11 | Canon Inc | 反射光学系 |
JPH0553057A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-03-05 | Nikon Corp | 反射光学系 |
JPH09146281A (ja) * | 1995-05-12 | 1997-06-06 | He Holdings Inc Dba Hughes Electron | マスク像拡大によるリソグラフシステムおよび方法 |
JP2005025199A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Asml Holding Nv | フラットパネルディスプレイ製造用露光システムおよびフラットパネルディスプレイ製造用ユニット拡大環状光学系 |
JP2006078592A (ja) * | 2004-09-07 | 2006-03-23 | Canon Inc | 投影光学系及びそれを有する露光装置 |
JP2008089832A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Canon Inc | 露光装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018092116A (ja) * | 2016-12-05 | 2018-06-14 | キヤノン株式会社 | カタディオプトリック光学系、照明光学系、露光装置および物品製造方法 |
JP2018167000A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-01 | 株式会社ニデック | 眼底撮影装置および眼科装置 |
JP7167417B2 (ja) | 2017-03-30 | 2022-11-09 | 株式会社ニデック | 眼底撮影装置および眼科装置 |
JP2021039282A (ja) * | 2019-09-04 | 2021-03-11 | キヤノン株式会社 | 露光装置、および物品製造方法 |
CN112596342A (zh) * | 2019-10-01 | 2021-04-02 | 佳能株式会社 | 投影光学系统、扫描曝光装置以及物品制造方法 |
JP7332415B2 (ja) | 2019-10-01 | 2023-08-23 | キヤノン株式会社 | 投影光学系、走査露光装置および物品製造方法 |
CN112596342B (zh) * | 2019-10-01 | 2024-03-29 | 佳能株式会社 | 投影光学系统、扫描曝光装置以及物品制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI440988B (zh) | 2014-06-11 |
TW200903187A (en) | 2009-01-16 |
KR100966190B1 (ko) | 2010-06-25 |
KR20080101695A (ko) | 2008-11-21 |
JP5196869B2 (ja) | 2013-05-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH11214293A (ja) | 投影光学系及び該光学系を備えた露光装置並びにデバイス製造方法 | |
US6867922B1 (en) | Projection optical system and projection exposure apparatus using the same | |
KR102266723B1 (ko) | 투영 광학계, 노광 장치 및 물품 제조 방법 | |
JP5196869B2 (ja) | 投影光学系、露光装置及びデバイス製造方法 | |
KR100511360B1 (ko) | 투영광학계 및 그것을 사용한 투영노광장치, 및디바이스제조방법 | |
JP2006049527A (ja) | 反射屈折型投影光学系及び当該反射屈折型投影光学系を有する露光装置、デバイス製造方法 | |
US6924937B2 (en) | Aberration correcting optical system | |
US6621555B1 (en) | Projection optical system and projection exposure apparatus with the same, and device manufacturing method | |
JP2009145724A (ja) | 投影光学系及びそれを有する露光装置 | |
JP2006119244A (ja) | 反射屈折型投影光学系及び当該反射屈折型投影光学系を有する露光装置、デバイス製造方法 | |
JP2006138940A (ja) | 反射屈折型投影光学系及び投影反射屈折型投影光学系を有する露光装置、デバイス製造方法 | |
JP3423644B2 (ja) | 投影光学系及びそれを用いた投影露光装置 | |
JPH10197791A (ja) | 投影レンズ | |
JP3376318B2 (ja) | 投影光学系及びそれを用いた投影露光装置 | |
JP2006078631A (ja) | 投影光学系及びそれを有する露光装置 | |
US11966043B2 (en) | Imaging optical system, exposure apparatus, and article manufacturing method | |
JP2006078592A (ja) | 投影光学系及びそれを有する露光装置 | |
JP2019211798A (ja) | 投影光学系、露光装置及び物品の製造方法 | |
JP2023004358A (ja) | 投影光学系、露光装置、および物品の製造方法 | |
JP2023010009A (ja) | 投影光学系、露光装置、および物品の製造方法 | |
JP2004342711A (ja) | 照明光学装置、露光装置、および露光方法 | |
JP2000352667A (ja) | 投影光学系及びそれを用いた投影露光装置 | |
JPS6120919A (ja) | 投影レンズ | |
JP2000356742A (ja) | 投影光学系及びそれを用いた投影露光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100514 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120427 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120730 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120925 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130205 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5196869 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215 Year of fee payment: 3 |