JP2006078592A - 投影光学系及びそれを有する露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 物体側からの光路順に、少なくとも正の第1反射面、負の第2反射面、正の第3反射面で構成される投影光学系において、少なくとも前記第1反射面及び前記第3反射面は非球面であり、結像倍率をβとし、前記第nミラーの屈折力をφnとしたとき、β>1.0、及び、|Σφn|<0.1を満たすことを特徴とする投影光学系を提供する。
【選択図】 図1
Description
また、タンジェンシャル像面湾曲△M、サジタル像面湾曲△Sは、非点収差係数をIII、画角をωとして、各々以下の式で表される。
M2 第2反射面
M3 第3反射面
L1 第1レンズ
L2 第2レンズ
O 物体面
I 像面
Claims (7)
- 物体側からの光路順に、正の第1反射面、負の第2反射面、正の第3反射面を有する投影光学系において、少なくとも前記第1反射面及び前記第3反射面は非球面であり、結像倍率をβとし、前記第nミラーの屈折力をφnとしたとき、β>1.0、及び、|Σφn|<0.1を満たすことを特徴とする投影光学系。
- 物体側からの光路順に、正の第1反射面、負の第2反射面、正の第3反射面を有する投影光学系において、少なくとも前記第1反射面及び前記第3反射面は非球面であり、結像倍率をβとし、前記第nミラーの屈折力をφnとし、前記物体の最大物高をRをするとき、β>1.0、及び、1.0×10−3<|Σφn|×R<0.5を満たすことを特徴とする投影光学系。
- |Σφn|<0.01を満たすことを特徴とする請求項1記載の投影光学系。
- 軸外主光線入射高がゼロとなる光軸上の位置をPとしたとき、前記Pは第1反射面から第2反射面間の光路中に存在することを特徴とする請求項1乃至3いずれか一項に記載の投影光学系。
- 前記第1反射面及び前記第3反射面の曲率は異なることを特徴とする請求項1乃至4いずれか一項に記載の投影光学系。
- 請求項1乃至5のうちいずれか一項記載の投影光学系を有することを特徴とする露光装置。
- 請求項6記載の露光装置を用いて被処理体を投影露光するステップと、
前記投影露光された前記被処理体を現像するステップとを有するデバイス製造方法。
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---|---|---|---|---|
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2004
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