JP2005115127A - 反射屈折投影光学系、露光装置及び露光方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1面R1の像を第2面上に形成する反射屈折投影光学系PL1において、2つのミラーM1,M2を含み、第1面R1の中間像を形成する第1結像光学系G1と、中間像を第2面に形成する第2結像光学系G2とを含み、第2結像光学系G2は、中間像側から光線が通過する順に、凹面形状の第1フィールドミラーM3と、第2フィールドミラーM4と、少なくとも2つの負レンズL6,L7を含み、負の屈折力を有する第1レンズ群G21と、正の屈折力を有する第2レンズ群G22と、開口絞りAS1と、正の屈折力を有する第3レンズ群G23とを備える。
【選択図】 図1
Description
0.17 < M/L < 0.6
の条件を満足することを特徴とする。
0.17 < M/L < 0.6
の条件を満足することを特徴とする。
(数式1)
z=(r・y2)/[1+{1−(1+k)・r2・y2}1/2]+c4・y4+c6・y6+c8・y8+c10・y10+c12・y12+c14・y14+c16・y16+c18・y18+c20・y20
像側NA: 1.20
露光エリア:A=14mm B=18mm
H= 26.0mm C=4mm
結像倍率: 1/4 倍
中心波長: 193.306nm
石英屈折率:1.5603261
蛍石屈折率:1.5014548
液体1屈折率:1.43664
石英分散(dn/dλ): −1.591E−6/pm
蛍石分散(dn/dλ): −0.980E−6/pm
液体1分散(dn/dλ): −2.6E−6/pm
条件式の対応値 M=374.65mm L=1400mm
(諸元)
像側NA: 1.20
露光エリア: A=13.5mm B=17.5mm
H= 26.0mm C=4mm
結像倍率: 1/5 倍
中心波長: 193.306nm
石英屈折率:1.5603261
蛍石屈折率:1.5014548
液体1屈折率:1.43664
石英分散(dn/dλ): −1.591E−6/pm
蛍石分散(dn/dλ): −0.980E−6/pm
液体1分散(dn/dλ): −2.6E−6/pm
条件式の対応値 M=424.85mm L=1400mm
(表3)
(光学部材諸元)
Claims (17)
- 第1面の像を第2面上に形成する反射屈折投影光学系において、
2つのミラーを含み、前記第1面の中間像を形成する第1結像光学系と、
前記中間像を前記第2面に形成する第2結像光学系と
を含み、
前記第2結像光学系は、前記中間像側から光線が通過する順に、
凹面形状の第1フィールドミラーと、
第2フィールドミラーと、
少なくとも2つの負レンズを含み、負の屈折力を有する第1レンズ群と、
正の屈折力を有する第2レンズ群と、
開口絞りと、
正の屈折力を有する第3レンズ群と、
を備えることを特徴とする反射屈折投影光学系。 - 前記第1結像光学系は、正の屈折力を有する第4レンズ群と、負レンズと、凹面ミラーと、光路分離ミラーとを備え、
前記第1結像光学系中を進行する光が、前記第4レンズ群及び前記負レンズを透過した後、前記凹面ミラーにて反射されて、再度前記負レンズを透過して前記光路分離ミラーへ導かれ、前記光路分離ミラーにて反射された光が、前記第1フィールドーミラー及び前記第2フィールドミラーにて反射された後に前記第2結像光学系中の前記第1レンズ群に直接的に入射するように構成されることを特徴とする請求項1記載の反射屈折投影光学系。 - 前記第1フィールドミラーは、該第1フィールドミラーに入射した光を該反射屈折投影光学系の光軸に向かう方向に折り曲げて射出させることを特徴とする請求項1または請求項2記載の反射屈折投影光学系。
- 前記第2フィールドミラーは、凸面形状を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の反射屈折投影光学系。
- 前記第1結像光学系に含まれる前記2つのミラーは、前記第1面からの光が入射する順に、凹面形状のミラーと、凸面形状のミラーであり、前記第2結像光学系に含まれる前記第2フィールドミラーは、凸面形状のミラーであることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか一項に記載の反射屈折投影光学系。
- 前記開口絞りは、前記第1フィールドミラーと前記第2面との間に配置され、前記第1フィールドミラーと前記第2面との光軸上距離をM、前記第1面と前記第2面との距離をLとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか一項に記載の反射屈折投影光学系。
0.17 < M/L < 0.6 - 前記第2結像光学系に含まれる前記第1レンズ群は、少なくとも1つの非球面レンズを有することを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れか一項に記載の反射屈折投影光学系。
- 第1面の像を第2面上に形成する反射屈折投影光学系において、
前記第1面と前記第2面との間の光路中に配置されて正の屈折力を有する第1群と、
前記第1群と前記第2面との間の光路中に配置されて少なくとも4つのミラーを含む第2群と、
前記第2群と前記第2面との間の光路中に配置されて、少なくとも2つの負レンズを含み、負の屈折力を有する第3群と、
前記第3群と前記第2面との間の光路中に配置されて、少なくとも3つの正レンズを含み、正の屈折力を有する第4群と、
を備え、
前記第2群中に1つの中間像が形成され、前記第4群中に開口絞りが備えられていることを特徴とする反射屈折投影光学系。 - 前記第2群は、前記第1面からの光が入射する順に、凹面形状の第1反射ミラーと、凸面形状の第2反射ミラーと、凹面形状の第3反射ミラーと、凸面形状の第4反射ミラーとを備えることを特徴とする請求項8記載の反射屈折投影光学系。
- 前記第2群は、少なくとも1つの負レンズを含み、前記第2群の光路中で最も前記第3群側に位置する光学素子は、前記第4反射ミラーまたは光が2度通過する往復レンズであることを特徴とする請求項8または請求項9記載の反射屈折投影光学系。
- 前記第3反射ミラーは、該第3反射ミラーに入射した光を該反射屈折投影光学系の光軸に向かう方向に折り曲げて射出させることを特徴とする請求項8乃至請求項10の何れか一項に記載の反射屈折投影光学系。
- 前記開口絞りは、前記第3反射ミラーと前記第2面との間に配置され、前記第3反射ミラーと前記第2面との光軸上距離をM、前記第1面と前記第2面との距離をLとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項8乃至請求項11の何れか一項に記載の反射屈折投影光学系。
0.17 < M/L < 0.6 - 前記第3群は、少なくとも1つの非球面レンズを備えていることを特徴とする請求項8乃至請求項12の何れか一項に記載の反射屈折投影光学系。
- 前記反射屈折投影光学系に含まれるレンズのうち最も前記第2面側に位置するレンズの前記第1面側のレンズ面は正の屈折力を有し、
該最も前記第2面側に位置するレンズと前記第2面との間の光路中に、前記反射屈折投影光学系中の雰囲気の屈折率を1とするとき、1.1よりも大きな屈折率を持つ媒質を介在させることを特徴とする請求項1乃至請求項13の何れか一項に記載の反射屈折投影光学系。 - 前記反射屈折投影光学系に含まれて所定の屈折力を有する全ての光学素子の光軸は、実質的に単一直線上に配置され、
前記反射屈折投影光学系により前記第2面上に形成される像の領域は、前記光軸を含まない軸外領域であることを特徴とする請求項1乃至請求項14の何れか一項に記載の反射屈折投影光学系。 - 請求項1乃至請求項15の何れか一項に記載の反射屈折投影光学系と、
前記第1面に配置されたマスクを照明するための照明光学系とを備え、
前記反射屈折投影光学系を介して前記マスク上に形成されたパターンを前記第2面に配置された感光性基板に露光することを特徴とする露光装置。 - 所定のパターンが形成されたマスクを照明する照明工程と、
請求項1乃至請求項15の何れか一項に記載の反射屈折投影光学系を用いて、前記第1面に配置された前記マスクのパターンを前記第2面に配置された感光性基板に露光する露光工程と
を含むことを特徴とする露光方法。
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