JP2008285742A - AlまたはAl合金 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(1)陽極酸化膜を有するAlまたはAl合金であって、前記陽極酸化膜がその厚み方向において硬さが異なる部位を有し、この中の硬さ最大部位での硬さと硬さ最小部位での硬さとの差がビッカース硬さで5以上であることを特徴とするAlまたはAl合金、(2)前記AlまたはAl合金における硬さ最小部位での硬さがビッカース硬さで300以上であるもの、(3)前記AlまたはAl合金における陽極酸化膜でのFe含有量が500ppm以下であるもの。
【選択図】 図1
Description
基材のAl合金が露出しない程度に陽極酸化皮膜を100cc の7%塩酸水溶液に溶解させた。そして、この溶解前後の試験片の重量変化から溶解量W(g)を測定した。一方、この溶解後の塩酸水溶液をICP分析して該塩酸水溶液中でのFe濃度を求め、該塩酸水溶液100cc 中に溶解しているFeの重量WFe(g)を算出した。このWFeと前記Wとの比(WFe/W)から陽極酸化膜中のFe含有量(濃度)を求めた。
試験片を断面方向に(陽極酸化膜断面および基材断面が研磨面となるように)樹脂に埋め込み、研磨をした後、陽極酸化膜断面についてJIS Z2244(1998)の方法にて硬さを測定した。また、この陽極酸化膜断面の光学顕微鏡写真から陽極酸化膜の厚みを確認した。
試験片を試験容器内に設置し、加熱した。このとき、30分間で室温から150℃まで昇温し、この150℃に60分間保持した後、30分間で150℃から250℃まで昇温し、この250℃に1時間保持した。なお、試験容器内の圧力は大気圧にした。
試験片の陽極酸化皮膜面(30×30mm面)の半分をフッ素系樹脂にてマスキングしてプラズマ照射した。このとき、プラズマ照射条件は、ガス:BCl3、ガス圧:2mTorr 、ガス流量:1000ccm 、ICP :2000W、バイアス:100 W、温度:120 〜150 ℃、プラズマ照射時間:6hrとした。
上記陽極酸化膜中のFe含有量の測定、陽極酸化膜の硬さの測定、陽極酸化膜の耐クラック性評価試験、耐プラズマ性評価試験の結果を、表3〜4に示す。
Claims (3)
- 陽極酸化膜を有するAlまたはAl合金であって、前記陽極酸化膜がその厚み方向において硬さが異なる部位を有し、この中の硬さ最大部位での硬さと硬さ最小部位での硬さとの差がビッカース硬さで5以上であることを特徴とするAlまたはAl合金。
- 前記硬さ最小部位での硬さがビッカース硬さで300以上である請求項1記載のAlまたはAl合金。
- 前記陽極酸化膜でのFe含有量が500ppm以下である請求項1または2記載のAlまたはAl合金。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023033120A1 (ja) * | 2021-09-06 | 2023-03-09 | 株式会社Uacj | 半導体製造装置用アルミニウム部材およびその製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117491375B (zh) * | 2024-01-02 | 2024-03-22 | 中信戴卡股份有限公司 | 一种铝合金铸件氧化膜缺陷的定量表征及评价方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06330386A (ja) * | 1993-05-20 | 1994-11-29 | Fujikura Ltd | 硬質陽極酸化皮膜の形成方法および硬質陽極酸化皮膜形成用アルミニウム合金 |
JPH08311692A (ja) * | 1995-05-17 | 1996-11-26 | Kobe Steel Ltd | 真空チャンバ用部品及びその製造方法 |
JPH0953196A (ja) * | 1995-08-15 | 1997-02-25 | Nikkoshi Prod Kk | 電極材料と、その製造方法 |
JPH09176892A (ja) * | 1995-12-20 | 1997-07-08 | Ricoh Co Ltd | 陽極酸化法及び装置 |
JPH1050663A (ja) * | 1996-07-29 | 1998-02-20 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 電極の製造方法およびこの電極を備えるプラズマ処理装置 |
JPH11181595A (ja) * | 1997-12-19 | 1999-07-06 | Sky Alum Co Ltd | 耐加熱クラック性に優れた高強度Al−Zn−Mg−Cu系合金アルマイト部材およびその製造方法 |
JP2000192293A (ja) * | 1998-12-24 | 2000-07-11 | Aisin Seiki Co Ltd | アルマイト皮膜 |
JP2002196603A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-12 | Ricoh Co Ltd | 薄肉定着ロール及びその製造方法 |
JP2004068145A (ja) * | 2002-05-28 | 2004-03-04 | Applied Materials Inc | 半導体処理装置のための無菌アルミニウム合金 |
JP2004241992A (ja) * | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Yazaki Corp | 車両用電源重畳多重通信装置 |
JP2006241589A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-09-14 | Applied Materials Inc | 多層コーティングを有する耐食アルミニウムコンポーネント |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS506536A (ja) * | 1973-05-23 | 1975-01-23 | ||
JPS5832977B2 (ja) * | 1980-05-08 | 1983-07-16 | 東京アルミニウム工業株式会社 | 鍋 |
JPS59117675U (ja) * | 1983-01-24 | 1984-08-08 | 旭可鍛鉄株式会社 | アルミニウム又はその合金における陽極酸化皮膜の構造 |
JP2935789B2 (ja) * | 1993-06-23 | 1999-08-16 | 本田技研工業株式会社 | アルミニウムまたはアルミニウム合金の着色被膜形成方法 |
JP3855663B2 (ja) * | 2001-02-15 | 2006-12-13 | 日本軽金属株式会社 | 耐電圧特性に優れた表面処理装置用部品 |
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06330386A (ja) * | 1993-05-20 | 1994-11-29 | Fujikura Ltd | 硬質陽極酸化皮膜の形成方法および硬質陽極酸化皮膜形成用アルミニウム合金 |
JPH08311692A (ja) * | 1995-05-17 | 1996-11-26 | Kobe Steel Ltd | 真空チャンバ用部品及びその製造方法 |
JPH0953196A (ja) * | 1995-08-15 | 1997-02-25 | Nikkoshi Prod Kk | 電極材料と、その製造方法 |
JPH09176892A (ja) * | 1995-12-20 | 1997-07-08 | Ricoh Co Ltd | 陽極酸化法及び装置 |
JPH1050663A (ja) * | 1996-07-29 | 1998-02-20 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 電極の製造方法およびこの電極を備えるプラズマ処理装置 |
JPH11181595A (ja) * | 1997-12-19 | 1999-07-06 | Sky Alum Co Ltd | 耐加熱クラック性に優れた高強度Al−Zn−Mg−Cu系合金アルマイト部材およびその製造方法 |
JP2000192293A (ja) * | 1998-12-24 | 2000-07-11 | Aisin Seiki Co Ltd | アルマイト皮膜 |
JP2002196603A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-12 | Ricoh Co Ltd | 薄肉定着ロール及びその製造方法 |
JP2004068145A (ja) * | 2002-05-28 | 2004-03-04 | Applied Materials Inc | 半導体処理装置のための無菌アルミニウム合金 |
JP2004241992A (ja) * | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Yazaki Corp | 車両用電源重畳多重通信装置 |
JP2006241589A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-09-14 | Applied Materials Inc | 多層コーティングを有する耐食アルミニウムコンポーネント |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023033120A1 (ja) * | 2021-09-06 | 2023-03-09 | 株式会社Uacj | 半導体製造装置用アルミニウム部材およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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JP4774014B2 (ja) | 2011-09-14 |
WO2008142932A1 (ja) | 2008-11-27 |
CN101680103A (zh) | 2010-03-24 |
CN103540987B (zh) | 2017-09-22 |
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