JP2008284634A - ワークスピンドル - Google Patents
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Abstract
【課題】研磨する半導体ウエハの僅かな傾斜にも抵抗することなく追従できると共に、遠心力が一方に偏ることなくワークスピンドルを構成でき、安定した回転が得られるワークスピンドルの提供。
【解決手段】スピンドル軸2とワークヘッド3との間に球面軸受4を介装し、中心穴5aを開口させフランジ部5bを膨出させた金属製サスペンション5と、球面軸受4の太陽球4aと凹面受け部4bと間隙部4cと、凹面受け部4bに埋設させた多数の遊星球4dと、ワークヘッド3に形成した加圧室3aと、加圧室3aに張設した可撓性膜6と、を備え、加圧室3aにゲル状流体を流入させて可撓性膜6を膨縮させる流体流通系7は太陽球4aを固定したスピンドル軸2の軸心と金属製サスペンション5の中心穴5aとワークヘッド3を連通させた。
【選択図】図1
【解決手段】スピンドル軸2とワークヘッド3との間に球面軸受4を介装し、中心穴5aを開口させフランジ部5bを膨出させた金属製サスペンション5と、球面軸受4の太陽球4aと凹面受け部4bと間隙部4cと、凹面受け部4bに埋設させた多数の遊星球4dと、ワークヘッド3に形成した加圧室3aと、加圧室3aに張設した可撓性膜6と、を備え、加圧室3aにゲル状流体を流入させて可撓性膜6を膨縮させる流体流通系7は太陽球4aを固定したスピンドル軸2の軸心と金属製サスペンション5の中心穴5aとワークヘッド3を連通させた。
【選択図】図1
Description
本発明は、研磨装置におけるワークスピンドルに関するものであって、更に、詳細には、半導体ウエハを水張り又は粘着層によりワークヘッドの可撓性膜に貼着させ、ポリシングクロスにより研磨するCMP研磨装置のワークスピンドルに関するものである。
昨今要求されている半導体ウエハは、歩留まりの観点からの超高精度の平坦精度及び鏡面精度、並びに、小型化の観点からの極薄化、生産性の観点からの拡径化される傾向にあり、更には、多数のMEMSデバイス又はNEMSデバイスに製造する過程の半導体ウエハは、ミクロン単位の研磨加工が必要となり、従来方法の研磨加工では徐々に対処できなく成っており、ワークヘッドに貼着させての研磨加工もより高度な改良を求められている実情である。
従来、この種のワークスピンドルにおいて、スピンドル軸とワークヘッドとを球面軸受を介して接続したものも各種開発されており、例えば先に開示された、研磨テーブルに対向して基板を保持するトップリング10と、該トップリングを球面軸受38を介して傾動自在に支持し、かつ伝達機構40を介して駆動機構からの回転駆動力を伝達する支持軸28とを有し、前記支持軸は前記球面軸受及び伝達機構を含む先端側部分と、伝達機構に連絡された基端側部分に分割され、この分割部に、前記先端側部分と基端側部分を着脱自在に連結するクランプ継手60が設けられているもの(特許文献1参照)や、上定盤を加圧する加圧軸と該加圧軸を駆動する加圧シリンダからなる加圧装置と、該加圧シリンダを支持する支持台と、支持台をワーク方向に移動させる移動手段と、該加圧軸の移動距離を計測するリニアスケールと、該加圧装置、移動装置を制御する制御装置とを具備し、前記加圧軸と上定盤の連結部に球面軸受けを設けて該上定盤を全方向に回動自在すると共に回動を固定する手段を設けたことを特徴としているもの(特許文献2参照)や、本発明の加工ヘッドは、主軸6、球面軸受4、保持プレート3、板バネ2などにより構成される。被加工物9は保持プレート3の下面に装着され、保持プレート3は球面軸受4及び板バネ2を介して主軸6の下端部に接続され、主軸6は回転駆動機構に接続される。球面軸受4は主軸6の回転軸上に傾動中心を有す。板バネ2は軸対称形状を備え、中央に開口部27を有し、外周部に径方向に伸びる複数の腕部21を有す。板バネ2の内周に沿って取付穴25が形成され、これに支持プレート1が結合される。各腕部21の先端に取付穴26が形成され、これに保持プレート3が結合される。上記の取付穴26及び取付穴25は、それぞれ、主軸6の回転軸を中心とする大小二つの同心円上に位置しているもの(特許文献3参照)等が開示されている。
特開2000−61825号公報
特開平11−291156号公報
特開平10−118919号公報
つまり、特許文献1、特許文献2、特許文献3には夫々球面軸受が記載されているが、球体の外周面とその外周面を受ける凹球面状とでのみスピンドル軸とワークヘッドとの傾斜を保つように構成されているものであるが、この種の研磨装置で研磨する半導体ウエハはミクロン単位の傾斜であり、尚且つ、相互に回転を伴っての研磨加工を実施するもので対処できなく成っているが現状である。
また、特許文献1、特許文献3には半導体ウエハの着脱をするために真空源と接続した流通系を形成しているが、球面軸受を介装しているため中心位置を貫通させて配設できないのでスピンドル軸の横方に突出させた流通配管系をワークヘッドに接続しており、これらの回転する装置においては遠心力を均等に付与させることが回転のぶれを無くするためには好適なものである。
本発明のワークスピンドルは、前述の課題に鑑み、鋭意研鑽の結果、研磨装置に設けられたスピンドル軸とワークヘッドとの間に球面軸受を介装するワークスピンドルであって、スピンドル軸とワークヘッドとを接続する中心穴を開口させフランジ部を膨出させた金属製サスペンションと、上方と下方とを平坦状に形成した球面軸受と、球面軸受のスピンドル軸に固定した太陽球と、球面軸受のワークヘッドに固定した凹面受け部と、凹面受け部と太陽球との間に設けた間隙部と、間隙部の凹面受け部に基部側を略埋設させた状態で頂部を太陽球の外周に接触させる多数の遊星球と、ワークヘッドの下面に凹陥状に形成した加圧室と、加圧室を覆うようにワークヘッドの下面に張設した可撓性膜と、を備え、加圧室にゲル状流体を流入させて可撓性膜を膨縮させる流体流通系は太陽球を固定したスピンドル軸の軸心と金属製サスペンションの中心穴とワークヘッドの中心を貫いて連通させたものである。
本発明のワークスピンドルは、スピンドル軸とワークヘッドとの間に弾性を有した金属製サスペンションと太陽球と凹面受け部と間隙部と多数の遊星球とを備えた球面軸受を介装したものであって、研磨する半導体ウエハの僅かな傾斜にも抵抗することなく追従できると共に、ワークヘッドの下面に形成した加圧室にゲル状流体を流入させて可撓性膜を膨縮させる流体流通系は太陽球を固定したスピンドル軸の軸心と金属製サスペンションの中心穴とワークヘッドの中心を貫いて連通させたもので、遠心力が一方に偏ることなくワークスピンドルを構成でき、安定した回転が得られるものである。
以下、本発明のワークスピンドルの実施例の図面を用いて詳細に説明すると、図1は本発明のワークスピンドルの実施例の概要を説明するための概要側面説明図であり、図2は本発明のワークスピンドルの要部とする球面軸受の実施例の概要を説明するたの側面図である。
本発明は、研磨装置におけるワークスピンドルに関するものであって、更に、詳細には、半導体ウエハを水張り又は粘着層によりワークヘッドの可撓性膜に貼着させ、ポリシングクロスにより研磨するCMP研磨装置のワークスピンドルに関するものであり、研磨装置の昇降且つ回転自在に設けられたスピンドル軸2の下端と略円板状のワークヘッド3との間に球面軸受4を介装したワークスピンドル1であって、前記スピンドル軸2の下端とワークヘッド3の上面とを接続する中心穴5aを開口させ外周縁部にフランジ部5bを膨出させた略皿状の金属製サスペンション5と、上方と下方とを夫々平坦状に平行させて形成した球面軸受4と、該球面軸受4の前記スピンドル軸2の下端に固定した太陽球4aと、前記球面軸受4のワークヘッド3の上面に固定した凹面受け部4bと、該凹面受け部4bと前記太陽球4aとの間に設けた間隙部4cと、該間隙部4cの前記凹面受け部4bに基部側の略半分程度を埋設させた状態で頂部を太陽球4aの外周に接触させる多数の遊星球4dと、前記ワークヘッド3の下面に凹陥状に形成した加圧室3aと、該加圧室3aを覆うようにワークヘッド3の下面に水密状態で張設した可撓性膜6と、を備え、前記加圧室3aにゲル状流体を流入させて前記可撓性膜6を膨縮させる流体流通系7は太陽球4aを固定したスピンドル軸2の軸心と金属製サスペンション5の中心穴5aとワークヘッド3の上方の中心を貫いて連通させたことを特徴とするものである。
即ち、本発明のワークスピンドルは、CMP等の半導体ウエハの研磨装置に適応されるワークスピンドル1であって、スピンドル軸2とワークヘッド3との間に太陽球4aと凹面受け部4bと間隙部4cと遊星球4dとを備えた球面軸受4を介装したものである。
そして、スピンドル軸2は上方にスピンドルケーシングを備え、該スピンドルケーシングに昇降且つ回転自在に設けられているものであり、前記スピンドルケーシングはコラムに固定されているもので、コラムにより研磨位置まで移送されるものである。
次に、ワークヘッド3は全体的には略円板状のもので、プレートホルダー3bとワークプレート3cとから成り、プレートホルダー3bは下面に略円板状の凹陥部が形成され、該プレートホルダー3bの凹陥部に嵌入されるワークプレート3cから成るもので、更に、ワークプレート3cには後述する加圧室3aが形成されているものである。
次いで、金属製サスペンション5は略皿状のもので、有底円筒状の底部には比較的大きな中心穴5aを開口させ、外周縁部にはフランジ部5bを膨出させた弾性を有するステンレス等の金属製のもので、フランジ部5bには弾性をしなやかに付与できるように切り込みを入れても構わなく、フランジ部5bと底部には夫々スピンドル軸2の下端とワークヘッド3の上面とを接続するための複数のボルト孔を穿設しているものである。
更に、球面軸受4は、球体である太陽球4aと、該太陽球4aを受けるための内面が球面となる凹面受け部4bとを備え、太陽球4aと凹面受け部4bとの間には後述する複数の遊星球4dを介装するための間隙部4cを設けているものであり、太陽球4aと凹面受け部4bとの上方と下方とは平行させて夫々平坦状に形成しているものである。
また、太陽球4aは、スピンドル軸2の下方に上面の平坦部を固定しているものであり、凹面受け部4bは、ワークヘッド3の上面に下面の平坦部を固定しているものである。
更には、間隙部4cは、太陽球4aと凹面受け部4bとの間に設けたもので、該間隙部4cには多数の遊星球4dを配設するものであるが、多数の遊星球4dは硬質の小球体であり、等間隔で凹面受け部4bに基部側の略半分程度を埋設した状態で頂部を太陽球4aの外周に接触させるものである。
そして、加圧室3aは、ワークヘッド3の下方に配設されたワークプレート3cの下面に凹陥状に形成しているものであり、実施例では、なだらかなテーパー状に形成しているものである。
次に、可撓性膜6は、可撓性のゴム等で形成しているもので、加圧室3aを覆うようにワークヘッド3のワークプレート3cの下面に水密状態で張設しているものであり、実施例では、ワークヘッド3の側面まで覆うようにしているものである。
更には、流体流通系7は、可撓性膜6を膨縮させるために加圧室3aにゲル状流体を流入させるものであるが、太陽球4aを固定したスピンドル軸2の軸心と、金属製サスペンション5の中心穴5aと、ワークヘッド3の上方の中心を貫いて連通させているものである。
つまり、本発明のワークスピンドルは、半導体ウエハをワークヘッド3の可撓性膜6に水張り又は粘着剤を塗布して粘着層を形成して貼着するものであるが、予め、可撓性膜6の外周縁部には半導体ウエハを保護するための保護リングが張設されいるものであり、ワークスピンドルとポリシングクロスとは夫々回転をしながら近接して半導体ウエハを研磨するものであり、半導体ウエハの裏面の傾斜はゲル状流体で膨縮される可撓性膜6で吸収し、半導体ウエハの研磨面の傾斜はワークスピンドルに介装した多数の遊星球4dを備えた球面軸受4で対応するものである。
本発明のワークスピンドルは、特に、昨今要求されいる超高精度の平坦精度及び鏡面精度、並びに、極薄化、拡径化されMEMSデバイス又はNEMSデバイスに製造する半導体ウエハに研磨加工を施すCMP装置に用いるもので、スピンドル軸とワークヘッドとの間に弾性を有した金属製サスペンションと太陽球と凹面受け部と間隙部と多数の遊星球から成る球面軸受を介装したものであって、研磨する半導体ウエハの僅かな傾斜にも抵抗することなく追従できると共に、ワークヘッドの下面に形成した加圧室にゲル状流体を流入させて可撓性膜を膨縮させる流体流通系は太陽球を固定したスピンドル軸の軸心と金属製サスペンションの中心穴とワークヘッドの中心を貫いて連通させたもので、一方に偏ることなくワークスピンドルを構成でき、安定した回転が得られるワークスピンドルを提供できるものである。
1 ワークスピンドル
2 スピンドル軸
3 ワークヘッド
3a 加圧室
3b プレートホルダー
3c ワークプレート
4 球面軸受
4a 太陽球
4b 凹面受け部
4c 間隙部
4d 遊星球
5 金属製サスペンション
5a 中心穴
5b フランジ部
6 可撓性膜
7 流体流通系
2 スピンドル軸
3 ワークヘッド
3a 加圧室
3b プレートホルダー
3c ワークプレート
4 球面軸受
4a 太陽球
4b 凹面受け部
4c 間隙部
4d 遊星球
5 金属製サスペンション
5a 中心穴
5b フランジ部
6 可撓性膜
7 流体流通系
Claims (1)
- 研磨装置の昇降且つ回転自在に設けられたスピンドル軸の下端と略円板状のワークヘッドとの間に球面軸受を介装するワークスピンドルであって、前記スピンドル軸の下端とワークヘッドの上面とを接続する中心穴を開口させ外周縁部にフランジ部を膨出させた略皿状の金属製サスペンションと、上方と下方とを夫々平坦状に平行させて形成した球面軸受と、該球面軸受の前記スピンドル軸の下端に固定した太陽球と、前記球面軸受のワークヘッドの上面に固定した凹面受け部と、該凹面受け部と前記太陽球との間に設けた間隙部と、該間隙部の前記凹面受け部に基部側の略半分程度を埋設させた状態で頂部を太陽球の外周に接触させる多数の遊星球と、前記ワークヘッドの下面に凹陥状に形成した加圧室と、該加圧室を覆うようにワークヘッドの下面に水密状態で張設した可撓性膜と、を備え、前記加圧室にゲル状流体を流入させて前記可撓性膜を膨縮させる流体流通系は太陽球を固定したスピンドル軸の軸心と金属製サスペンションの中心穴とワークヘッドの上方の中心を貫いて連通させたことを特徴とするワークスピンドル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007130638A JP2008284634A (ja) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | ワークスピンドル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007130638A JP2008284634A (ja) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | ワークスピンドル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008284634A true JP2008284634A (ja) | 2008-11-27 |
Family
ID=40144848
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007130638A Pending JP2008284634A (ja) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | ワークスピンドル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008284634A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015126001A (ja) * | 2013-12-25 | 2015-07-06 | 株式会社東京精密 | ウェーハ研磨装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0970750A (ja) * | 1995-09-07 | 1997-03-18 | Sony Corp | 基板研磨装置 |
JPH1170461A (ja) * | 1997-06-19 | 1999-03-16 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体ウェハの研磨装置 |
JP2000094309A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-04 | Toshiba Corp | ポリッシング装置 |
JP2000271861A (ja) * | 1999-03-24 | 2000-10-03 | Mitsubishi Materials Corp | サブキャリア及びこれを具備した研磨装置並びにこの装置を用いてウェ−ハを製造する方法 |
-
2007
- 2007-05-16 JP JP2007130638A patent/JP2008284634A/ja active Pending
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