JP2008264606A

JP2008264606A - Coating device

Info

Publication number: JP2008264606A
Application number: JP2007107145A
Authority: JP
Inventors: Toshihiro Mori; 俊裕森; Toru Fukunaga; 徹福永
Original assignee: Toray Engineering Co Ltd
Current assignee: Toray Engineering Co Ltd
Priority date: 2007-04-16
Filing date: 2007-04-16
Publication date: 2008-11-06

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating device which can efficiently produce a large-size substrate while preventing the production of a defective substrate even in a case that a split part of a guide rail is formed in a guide rail portion on which a gantry travels during coating operation. <P>SOLUTION: The coating device comprises a stage for supporting a substrate, guide rails extending along the stage and divided into a plurality of portions, and a coating unit traveling on the guide rails to apply a coating liquid to the substrate. The guide rails are formed by connecting a plurality of rail portions having a guide surface facing the coating unit, a split groove part is formed by the end parts of adjacent rail portions, and an embedded member is embedded in the split groove part, thereby the guide surfaces of adjacent rail portions and the embedded member form a continuous flat surface. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、基板上に塗布液を塗布する塗布装置に関するものである。 The present invention relates to a coating apparatus that coats a coating solution on a substrate.

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、ガラス基板上にレジスト液が塗布されたもの（塗布基板と称す）が使用されている。この塗布基板は、レジスト液を均一に塗布する塗布装置によって形成されている。 A flat panel display such as a liquid crystal display or a plasma display uses a glass substrate coated with a resist solution (referred to as a coated substrate). This coating substrate is formed by a coating apparatus that uniformly coats a resist solution.

この塗布装置は、ガラス基板を載置するステージと、レジスト液を吐出する口金と、この口金をステージ上に支持するとともにステージに沿って移動させる門型のガントリとを有しており、口金のスリットノズルからレジスト液を吐出させながらガントリをガラス基板に沿う方向に定速で走行させることにより（塗布動作）、均一厚さのレジスト液膜が塗布された塗布基板が形成されるようになっている。 The coating apparatus includes a stage on which a glass substrate is placed, a base for discharging a resist solution, and a portal gantry that supports the base on the stage and moves along the stage. By running the gantry at a constant speed in the direction along the glass substrate while discharging the resist solution from the slit nozzle (coating operation), a coated substrate coated with a resist film of uniform thickness is formed. Yes.

このような塗布装置では、ステージを載置する基台上に一方向に延びる石材製のガイドレールが設置されている。すなわち、ガントリに取り付けられたエアベアリングからガイドレールにエアが排出されることによりガントリが浮上し、この状態でガイドレールに沿って走行するように構成されている。近年では、フラットパネルディスプレイの大型化に伴い、大型の塗布基板を生産すべく、ステージの大型化及びガイドレールの長尺化が余儀なくされている。しかし、ガイドレールが長尺化されると、石材製のガイドレールの長尺化に伴う加工限界の問題や、塗布装置の運送上の問題が避けられないことから、下記特許文献１では、複数のレール部品を連結することによりガイドレールを構成するステージ装置が開示されている。 In such a coating apparatus, a stone guide rail extending in one direction is installed on a base on which a stage is placed. That is, the air is discharged from the air bearing attached to the gantry to the guide rail, so that the gantry is lifted up and travels along the guide rail in this state. In recent years, with the increase in size of flat panel displays, the size of the stage and the length of the guide rails have been forced to produce a large coated substrate. However, when the guide rail is lengthened, the problem of processing limitations associated with the lengthening of the guide rail made of stone and the problem of transportation of the coating device are unavoidable. A stage device that constitutes a guide rail by connecting the rail parts is disclosed.

特開２００６−９５６６５号公報JP 2006-95665 A

しかし、上記特許文献１に示されたステージ装置を塗布装置に適用すると、ガイドレールの継ぎ目の存在により、不良基板が生産されやすいという問題がある。すなわち、上記ステージ装置のガイドレールには、そのほぼ中央部分にガイドレールの継ぎ目（分割部分）が設けられているため、ガントリがガイドレールの分割部分を通過する際にガントリの定速走行に乱れが生じる虞れがあり、これにより、塗布ムラが発生して不良基板が生産されやすいという問題がある。 However, when the stage apparatus disclosed in Patent Document 1 is applied to a coating apparatus, there is a problem that a defective substrate is likely to be produced due to the presence of a joint between guide rails. That is, since the guide rail of the stage apparatus has a guide rail joint (divided portion) at the substantially central portion thereof, the gantry is disturbed by the constant speed running when the gantry passes through the divided portion of the guide rail. As a result, there is a problem that uneven coating occurs and a defective substrate is likely to be produced.

このような問題を回避するために、前記分割部分をガントリが塗布動作中に走行するガイドレール部分以外の部分に設けることが考えられる。しかし、ガントリが塗布動作中に走行するガイドレール部分、すなわち、ガントリがレジスト液を吐出する際に走行するガイドレール部分の長さ寸法が石材加工限界を超える場合には、ガントリが塗布動作中に走行する部分に分割部分を設けざるを得ない。 In order to avoid such a problem, it can be considered that the divided portion is provided in a portion other than the guide rail portion where the gantry travels during the coating operation. However, if the length of the guide rail part that the gantry travels during the coating operation, that is, the guide rail part that travels when the gantry discharges the resist solution, exceeds the stone processing limit, the gantry A divided part must be provided in the traveling part.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、ガイドレールの分割部分をガントリが塗布動作中に走行するガイドレールに設けた場合であっても、不良基板が生産されるのを抑えて効率よく大型基板を生産することができる塗布装置を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and suppresses the production of defective substrates even when the divided portion of the guide rail is provided on the guide rail that travels during the coating operation of the gantry. It is an object of the present invention to provide a coating apparatus that can efficiently produce a large substrate.

上記課題を解決するために本発明の塗布装置は、基板を保持するステージと、前記ステージに沿って延びるとともに複数に分割されたガイドレールと、前記ガイドレール上を走行し、塗布液を基板に塗布する塗布ユニットと、を備え、前記ガイドレールは、前記塗布ユニットと対向するガイド面を有するレール部が複数連結されることによって形成されており、隣接するレール部の端部同士によって分割溝部が形成され、この分割溝部に埋込部材が埋め込まれることにより、前記隣接するレール部のガイド面及び埋込部材が連続する平坦面を形成することを特徴としている。 In order to solve the above-described problems, a coating apparatus of the present invention includes a stage for holding a substrate, a guide rail that extends along the stage and is divided into a plurality of sections, and runs on the guide rail to apply the coating liquid to the substrate. The guide rail is formed by connecting a plurality of rail portions each having a guide surface facing the coating unit, and the dividing groove portion is formed by the ends of the adjacent rail portions. The embedded member is embedded in the divided groove portion, thereby forming a flat surface in which the guide surface of the adjacent rail portion and the embedded member are continuous.

上記塗布装置によれば、隣接するレール部のガイド面及び埋込部材が連続する平坦面を形成することにより、隣接するレール部のガイド面がガイドレール全体に亘って平坦状に形成される。そのため、塗布ユニットがガイドレールの分割部分（分割溝部）を通過した場合であっても、塗布ユニットの定速性に与える影響が小さくなり、塗布ユニットが定速を維持した状態で走行することができる。これにより、ガイドレールの分割溝部を位置的制限を受けることなく配置することができるため、塗布ユニットが塗布動作の際に走行するガイドレール部分、すなわち、ガントリがレジスト液を吐出する際に走行するガイドレール部分に分割溝部を設けることができる。したがって、塗布ユニットが塗布動作の際に走行するガイドレール部分の長さ寸法が石材加工限界を超える大型基板を生産する場合であっても、塗布ムラの発生を抑えて効率よく生産することができる。 According to the coating apparatus, the guide surface of the adjacent rail portion and the embedded member form a flat surface that is continuous, so that the guide surface of the adjacent rail portion is formed flat across the entire guide rail. Therefore, even when the coating unit passes through the divided portion (divided groove portion) of the guide rail, the influence on the constant speed property of the coating unit is reduced, and the coating unit can travel while maintaining a constant speed. it can. As a result, the dividing groove portion of the guide rail can be arranged without being subjected to positional restrictions, so that the guide rail portion where the coating unit travels during the coating operation, that is, the gantry travels when the resist solution is discharged. A dividing groove portion can be provided in the guide rail portion. Therefore, even when a large substrate is produced in which the length of the guide rail portion that travels during the coating operation of the coating unit exceeds the stone processing limit, it can be efficiently produced while suppressing occurrence of coating unevenness. .

また、前記塗布ユニットには、ガイド面にエアを排出することにより塗布ユニットをレールから浮上させる軸受け部が備えられている構成とすることもできる。 Further, the coating unit may be configured to include a bearing portion that floats the coating unit from the rail by discharging air to the guide surface.

この構成によれば、塗布ユニットが分割溝部を通過する際、分割溝部に埋め込まれた埋込部材の存在により軸受け部からガイド面に排出されるエアが乱れるのを抑えることができる。したがって、このような軸受け部を備えている場合であっても、分割溝部を走行する塗布ユニットの定速性を維持することができる。 According to this configuration, when the coating unit passes through the split groove portion, it is possible to suppress disturbance of air discharged from the bearing portion to the guide surface due to the presence of the embedded member embedded in the split groove portion. Therefore, even if it is a case where such a bearing part is provided, the constant speed property of the coating unit which drive | works a division | segmentation groove part can be maintained.

また、前記分割溝部の具体的な様態として、前記分割溝部は、隣接する前記レール部の端部に形成された面取り部によって形成されている場合も含まれる。 In addition, as a specific aspect of the dividing groove portion, the dividing groove portion includes a case where the dividing groove portion is formed by a chamfered portion formed at an end portion of the adjacent rail portion.

この構成によれば、分割溝部が形成されるレール部の端部は、欠けを防止するために面取りされ、面取り部が形成される。そして、このようなレール部同士を連結すると双方の面取り部によって分割溝部が形成されるが、このような分割溝部であっても、埋込部材が埋め込まれることにより、塗布ユニットの定速性が乱れるのを抑えることができる。 According to this structure, the edge part of the rail part in which a division | segmentation groove part is formed is chamfered in order to prevent a chip, and a chamfer part is formed. When such rail portions are connected to each other, a divided groove portion is formed by both chamfered portions. Even in such a divided groove portion, the embedded member is embedded, so that the constant speed property of the coating unit is improved. Disturbance can be suppressed.

また、前記埋込部材は、接着剤であることが好ましい。 The embedding member is preferably an adhesive.

本発明の塗布装置によれば、ガイドレールの分割部分を位置的制限を受けることなく配置することができるため、塗布ユニットが塗布動作の際に走行するガイドレール部分の長さ寸法が石材加工限界を超える大型基板であっても不良基板が生産されるのを抑えて効率よく生産することができる。 According to the coating apparatus of the present invention, since the divided portion of the guide rail can be arranged without being subjected to positional restriction, the length dimension of the guide rail portion that the coating unit travels during the coating operation is the stone processing limit. Even if it is a large substrate exceeding 1, it is possible to efficiently produce it while suppressing the production of defective substrates.

本発明に係る実施の形態を図面を用いて説明する。 Embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、本発明の一実施形態における塗布装置１を示す概略上面図、図２は、その側面図、図３は、塗布ユニット５のユニット支持部５２付近を示す図である。なお、図１においては、塗布ユニット５等は省略している。 FIG. 1 is a schematic top view showing a coating apparatus 1 according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view thereof, and FIG. 3 is a view showing the vicinity of a unit support portion 52 of the coating unit 5. In FIG. 1, the coating unit 5 and the like are omitted.

図１〜図３に示すように、塗布装置は、一辺の長さ寸法が石材加工限界を超える大型基板２に薬液やレジスト等の液状物（以下塗布液と称す）を塗布するものであり、基台３と、基板２を載置するためのステージ４と、このステージ４に対し特定方向に移動可能に構成される塗布ユニット５とを備えている。 As shown in FIGS. 1 to 3, the coating apparatus applies a liquid material such as a chemical solution or a resist (hereinafter referred to as a coating solution) to the large substrate 2 whose one side length exceeds the stone processing limit. A base 3, a stage 4 for placing the substrate 2, and a coating unit 5 configured to be movable in a specific direction with respect to the stage 4 are provided.

なお、以下の説明では、塗布ユニット５が移動する方向をＸ軸方向（本発明の特定方向）、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向とし、基台３に基板２が載置される側を上方、基板２が載置される側と反対側を下方として説明を進めることとする。 In the following description, the direction in which the coating unit 5 moves is the X-axis direction (the specific direction of the present invention), and the direction orthogonal to this on the horizontal plane is orthogonal to both the Y-axis direction, the X-axis direction, and the Y-axis direction. The description will be made with the direction as the Z-axis direction, with the side on which the substrate 2 is placed on the base 3 as the upper side and the side opposite to the side on which the substrate 2 is placed as the lower side.

前記基台３は、ステージ４、塗布ユニット５等が載置されるものであり、ステージ４が載置される基準ベース部３１とこの基準ベース部３１に連結される４体の分割ベース部３２とを有している。そして、基台３上には、ステージ４に沿って特定方向（Ｘ軸方向）に延びるガイドレール６がステージ４を挟むように配置されている。 The base 3 is for mounting the stage 4, the coating unit 5, etc., and a reference base portion 31 on which the stage 4 is mounted and four divided base portions 32 connected to the reference base portion 31. And have. A guide rail 6 extending in a specific direction (X-axis direction) along the stage 4 is arranged on the base 3 so as to sandwich the stage 4.

前記ガイドレール６は、塗布ユニット５の走行をガイドするものである。このガイドレール６は、基準ベース部３１のレール部６１及び分割ベース部３２のレール部６２が連結されることによって構成されており、塗布走行部６ａと延長部６ｂとを有している。 The guide rail 6 guides the travel of the coating unit 5. The guide rail 6 is configured by connecting the rail portion 61 of the reference base portion 31 and the rail portion 62 of the divided base portion 32, and has a coating traveling portion 6a and an extension portion 6b.

ここで、塗布走行部６ａは、前記塗布ユニット５が塗布液の吐出開始から吐出終了まで走行する部分であり、図２において、塗布液の吐出が開始される位置（吐出開始位置Ｓ）から塗布液の吐出が終了する位置（吐出終了位置Ｔ）までに相当する部分である。また、延長部６ｂは、この塗布走行部６ａからＸ軸方向に延長される部分である。そして、塗布走行部６ａ及び延長部６ｂには、ガイドレール６が分割される分割部６３が形成されている。 Here, the application traveling unit 6a is a part where the application unit 5 travels from the start of the discharge of the coating liquid to the end of the discharge, and in FIG. 2, the application is started from the position where the discharge of the application liquid is started (discharge start position S). This is a portion corresponding to the position where the liquid discharge ends (discharge end position T). Moreover, the extension part 6b is a part extended in this X-axis direction from this application | coating traveling part 6a. And the division | segmentation part 63 in which the guide rail 6 is divided | segmented is formed in the application | coating travel part 6a and the extension part 6b.

基準ベース部３１は、石材によって形成されており、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向ほぼ中央部分に分割部６３を有している。ここで、図４（ａ）は、基準ベース部３１をＹ軸方向から見た図、図４（ｂ）は、基準ベース部３１をＸ軸方向から見た図である。図１〜図４に示すように、基準ベース部３１には、Ｙ軸方向両側にＸ軸方向に延びるレール部６１が形成されており、このレール部６１は分割部６３で分割されている。そして、このレール部６１は、塗布走行部６ａと延長部６ｂとを有しており、Ｚ軸方向に突出して形成されている。このレール部６１には、平坦かつ平滑なガイド面６１ａが形成されている。すなわち、このガイド面６１ａは、後述する塗布ユニット５のエアベアリング１４（本発明の軸受け部）と対向する位置に形成されており、本実施形態では、それぞれのレール部６１に、Ｚ軸方向に垂直をなす方向と、Ｙ軸方向に垂直をなす方向との２カ所にガイド面６１ａが形成されている。 The reference base portion 31 is formed of a stone material, and has a dividing portion 63 at a substantially central portion in the X-axis direction as shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b). Here, FIG. 4A is a view of the reference base portion 31 as viewed from the Y-axis direction, and FIG. 4B is a view of the reference base portion 31 as viewed from the X-axis direction. As shown in FIGS. 1 to 4, the reference base portion 31 is formed with rail portions 61 extending in the X-axis direction on both sides in the Y-axis direction. The rail portions 61 are divided by a dividing portion 63. And this rail part 61 has the application | coating driving | running | working part 6a and the extension part 6b, and is formed protruding in the Z-axis direction. The rail portion 61 is formed with a flat and smooth guide surface 61a. That is, the guide surface 61a is formed at a position facing an air bearing 14 (bearing portion of the present invention) of the coating unit 5 described later. In the present embodiment, the guide surface 61a is formed on each rail portion 61 in the Z-axis direction. Guide surfaces 61a are formed at two locations, a direction perpendicular to the direction and a direction perpendicular to the Y-axis direction.

また、基準ベース部３１のＸ軸方向側面、すなわち分割ベース部３２と対向する面には、分割ベース部３２と連結する基準ベース側連結部３３を有している。この基準ベース側連結部３３には、雌ネジ部３３ａが複数行列に亘って形成されており、この雌ネジ部３３ａにボルトを螺合させることにより、基準ベース部３１と分割ベース部３２とが連結されるようになっている。なお、雌ネジ部３３ａの配置は、格子状、千鳥状等であってもよいが、本実施形態では、この雌ネジ部３３ａが格子状に配列されている。 In addition, a reference base side connecting portion 33 connected to the divided base portion 32 is provided on the side surface in the X-axis direction of the reference base portion 31, i. The reference base side connecting portion 33 has a plurality of female screw portions 33a formed in a plurality of rows. By screwing a bolt into the female screw portion 33a, the reference base portion 31 and the divided base portion 32 are connected. It is designed to be connected. In addition, although the arrangement | positioning of the internal thread part 33a may be a grid | lattice form, zigzag form, etc., in this embodiment, this internal thread part 33a is arranged in the grid | lattice form.

また、基準ベース部３１の下面には、基準ベース部３１を支持する支持部３１ｂが取り付けられている。本実施形態では、基準ベース部３１には８つの支持部３１ｂが取り付けられており、この支持部３１ｂにより、基準ベース部３１上面のガイド面６１ａが水平となる姿勢を維持できるようになっている。そして、支持部３１ｂは、高さ調節部（不図示）を有しており、支持部３１ｂが高さ方向（Ｚ軸方向）に変位可能になっている。これにより、基準ベース部３１上面のガイド面６１ａの高さ位置を所定の高さ位置に調節することができるようになっている。 A support portion 31 b that supports the reference base portion 31 is attached to the lower surface of the reference base portion 31. In the present embodiment, eight support portions 31b are attached to the reference base portion 31, and the support portion 31b can maintain a posture in which the guide surface 61a on the upper surface of the reference base portion 31 is horizontal. . And the support part 31b has a height adjustment part (not shown), and the support part 31b can be displaced to a height direction (Z-axis direction). As a result, the height position of the guide surface 61a on the upper surface of the reference base portion 31 can be adjusted to a predetermined height position.

ここで、分割部６３付近における互いに近接する支持部３１ｂ間のＸ軸方向寸法βは、後述する塗布ユニット５のユニット支持部５２の特定方向寸法α（Ｘ軸方向寸法）よりも小さくなっている（図２参照）。すなわち、塗布ユニット５がガイドレール６の分割部６３を通過した際に、分割部６３における基準ベース部３１の塗布走行部６ａには、塗布ユニット５の重量による僅かな撓みが発生するが、支持部３１ｂが上記間隔寸法βを保って配置されていることにより、分割部６３を通過した塗布ユニット５を基台３の下面側から支持することができる。したがって、塗布ユニット５が通過することによる撓みを小さくすることができる。これにより、塗布ユニット５が分割部６３を通過した際、塗布ユニット５の定速走行への影響を抑えることができる。 Here, the X-axis direction dimension β between the support parts 31b close to each other in the vicinity of the divided part 63 is smaller than the specific direction dimension α (X-axis direction dimension) of the unit support part 52 of the coating unit 5 described later. (See FIG. 2). That is, when the coating unit 5 passes through the dividing portion 63 of the guide rail 6, the coating traveling portion 6a of the reference base portion 31 in the dividing portion 63 is slightly bent due to the weight of the coating unit 5, but is supported. Since the part 31b is arranged with the interval dimension β maintained, the coating unit 5 that has passed through the dividing part 63 can be supported from the lower surface side of the base 3. Accordingly, it is possible to reduce the deflection due to the passage of the coating unit 5. Thereby, when the coating unit 5 passes through the dividing portion 63, the influence on the constant speed travel of the coating unit 5 can be suppressed.

分割ベース部３２は、石材で形成されており、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、ブロック状に形成された分割ベース本体部３２ａと、この分割ベース本体部３２ａの上方に配置されるレール部６２とを有している。なお、図５（ａ）は、分割ベース部３２をＹ軸方向から見た図、図４（ｂ）は、分割ベース部３２をＸ軸方向から見た図である。 The divided base portion 32 is formed of stone, and as shown in FIGS. 5A and 5B, the divided base main body portion 32a formed in a block shape and disposed above the divided base main body portion 32a. Rail part 62 to be used. 5A is a view of the divided base portion 32 as viewed from the Y-axis direction, and FIG. 4B is a view of the divided base portion 32 as viewed from the X-axis direction.

分割ベース部３２のレール部６２は、基準ベース部３１のレール部６１と同様に、Ｚ軸方向に突出するとともに、分割ベース部３２のＸ軸方向に亘って連続して形成されている。このレール部６２は、延長部６ｂを有しており、分割ベース本体部３２ａにボルトで連結されている。具体的には、分割ベース本体部３２ａには、レール部６２を連結するためのボルト穴３４ｂが形成されており、このボルト穴３４ｂには、ボルトの取付け、取外し作業を行うための連結作業窓３４からアクセスできるようになっている。そして、この連結作業窓３４からボルト穴３４ｂに挿入されたボルトにより、レール部６２と分割ベース本体部３２ａとが連結されるようになっている。そして、図５に示す例では、連結作業窓３４が２カ所形成されている。 The rail portion 62 of the divided base portion 32 is formed in the Z-axis direction and continuously formed in the X-axis direction of the divided base portion 32, similarly to the rail portion 61 of the reference base portion 31. The rail portion 62 has an extension portion 6b and is connected to the divided base main body portion 32a by bolts. Specifically, a bolt hole 34b for connecting the rail portion 62 is formed in the divided base main body portion 32a, and a connecting work window for performing bolt installation and removal work in the bolt hole 34b. 34 can be accessed. And the rail part 62 and the division | segmentation base main-body part 32a are connected with the volt | bolt inserted in the volt | bolt hole 34b from this connection operation window 34. As shown in FIG. In the example shown in FIG. 5, two connection work windows 34 are formed.

また、レール部６２は、平坦かつ平滑なガイド面６２ａを有しており、このガイド面６２ａは、後述する塗布ユニット５のエアベアリング１４（本発明の軸受け部）と対向する位置に形成されている。すなわち、ガイド面６２ａは基準ベース部３１と同様に、Ｚ軸方向に垂直をなす方向と、Ｙ軸方向に垂直をなす方向との２カ所にガイド面６２ａが形成されている。そして、基準ベース部３１と分割ベース部３２とが連結された状態では、レール部６１，６２がＸ軸方向に延びるように連結され、レール部６１，６２のガイド面６１ａ、６２ａが分割部６３を形成しつつ連続状に連結される。すなわち、ガイドレール６の分割部６３においては、それぞれのレール部６１，６２のガイド面６１ａ，６２ａ同士が連続し、平坦かつ平滑に連結される。これにより、塗布ユニット５が基準ベース部３１のレール部６１及び分割ベース部３２のレール部６２上をスムーズに移動できるようになっている。 The rail portion 62 has a flat and smooth guide surface 62a. The guide surface 62a is formed at a position facing an air bearing 14 (bearing portion of the present invention) of the coating unit 5 described later. Yes. That is, the guide surface 62a is formed in two places, the direction perpendicular to the Z-axis direction and the direction perpendicular to the Y-axis direction, like the reference base portion 31. In a state where the reference base portion 31 and the divided base portion 32 are connected, the rail portions 61 and 62 are connected so as to extend in the X-axis direction, and the guide surfaces 61 a and 62 a of the rail portions 61 and 62 are connected to the divided portion 63. Are connected continuously. That is, in the split part 63 of the guide rail 6, the guide surfaces 61a and 62a of the rail parts 61 and 62 are continuous and are connected flat and smooth. Accordingly, the coating unit 5 can smoothly move on the rail portion 61 of the reference base portion 31 and the rail portion 62 of the divided base portion 32.

また、分割ベース部３２には、基準ベース部３１と連結される側に、基準ベース部３１と連結するためのボルトを挿通するボルト穴３４ａが形成されている。このボルト穴３４ａは、基準ベース部３１側（図５（ａ）において右側）の連結作業窓３４から、アクセスできるようになっている。そして、このボルト穴３４ａは、基準ベース側連結部３３の雌ネジ部３３ａに対応する位置に形成されており、このボルト穴３４ａにボルトを挿通させて雌ネジ部３３ａに螺着させることにより、分割ベース部３２が基準ベース部３１に連結固定されるようになっている。 Further, the divided base portion 32 is formed with a bolt hole 34 a through which a bolt for connecting to the reference base portion 31 is inserted on the side connected to the reference base portion 31. The bolt hole 34a can be accessed from the connecting work window 34 on the reference base portion 31 side (right side in FIG. 5A). The bolt hole 34a is formed at a position corresponding to the female screw portion 33a of the reference base side connecting portion 33. By inserting a bolt into the bolt hole 34a and screwing the bolt into the female screw portion 33a, The divided base portion 32 is connected and fixed to the reference base portion 31.

また、図１、図５に示すように、分割ベース部３２の下面には、分割ベース部３２を支持する支持部３２ｂが取り付けられている。本実施形態では、分割ベース本体部３２ａに３つの支持部３２ｂが取り付けられている。具体的には、図１の破線で示すように、分割ベース部３２の基準ベース部３１側に２つの支持部３２ｂがＹ軸方向に並んだ状態で取り付けられているとともに、この２つの支持部３２ｂよりもＸ軸方向に離れた位置に１つの支持部３２ｂが取り付けられている。この３つの支持部３２ｂにより、分割ベース部３２のガイド面６２ａが水平となる状態に維持されるようになっている。すなわち、分割ベース部３２は、基準ベース部３１と連結に適した姿勢を維持できるようになっている。 As shown in FIGS. 1 and 5, a support portion 32 b that supports the divided base portion 32 is attached to the lower surface of the divided base portion 32. In the present embodiment, three support portions 32b are attached to the divided base main body portion 32a. Specifically, as shown by a broken line in FIG. 1, two support portions 32b are attached to the reference base portion 31 side of the divided base portion 32 in a state of being aligned in the Y-axis direction, and the two support portions. One support portion 32b is attached at a position further away from 32b in the X-axis direction. The three support portions 32b maintain the guide surface 62a of the divided base portion 32 in a horizontal state. That is, the divided base portion 32 can maintain a posture suitable for connection with the reference base portion 31.

また、支持部３２ｂは、高さ調節部を有しており、支持部３２ｂが高さ方向（Ｚ軸方向）に変位可能になっている。これにより、分割ベース部３２のガイド面６２ａの高さ位置を所定の高さ位置に調節することができるようになっている。すなわち、４つの分割ベース部３２は、この支持部３２ｂにより、それぞれ独立して基準ベース部３１と連結される姿勢に維持されるとともに、高さ調節可能になっている。 Moreover, the support part 32b has a height adjustment part, and the support part 32b can be displaced in a height direction (Z-axis direction). Thereby, the height position of the guide surface 62a of the division | segmentation base part 32 can be adjusted to a predetermined height position. That is, the four divided base portions 32 are maintained in postures that are independently connected to the reference base portion 31 by the support portions 32b, and the height can be adjusted.

また、基準ベース部３１の支持部３１ｂのうち分割ベース部３２に最も近接する位置に取り付けられた支持部３１ｂと、分割ベース部３２の支持部３２ｂのうち基準ベース部に最も近接する位置に取り付けられた支持部３２ｂとの間隔寸法γは、後述する塗布ユニット５のユニット支持部５２（本発明の脚部）の特定方向寸法α（Ｘ軸方向寸法）よりも小さくなっている（図２参照）。すなわち、塗布ユニット５がガイドレール６の分割部６３を通過した際に、基準ベース部３１の延長部６ｂ、分割ベース部３２の延長部６ｂには、塗布ユニット５の重量による僅かな撓みが発生するが、支持部３１ｂ、３２ｂが上記間隔寸法γに配置されていることにより、分割部６３を通過した塗布ユニット５を基台３の下面側から支持することができる。したがって、塗布ユニット５が通過することによる撓みを小さくすることができる。これにより、塗布ユニット５が分割部６３を通過した際、塗布ユニット５の定速走行への影響を抑えることができる。 In addition, the support portion 31b of the support portion 31b of the reference base portion 31 attached to the position closest to the split base portion 32 and the support portion 32b of the split base portion 32 attached to the position closest to the reference base portion. An interval dimension γ with the support part 32b is smaller than a specific direction dimension α (X-axis direction dimension) of a unit support part 52 (leg part of the present invention) of the coating unit 5 described later (see FIG. 2). ). That is, when the coating unit 5 passes through the divided portion 63 of the guide rail 6, slight extension due to the weight of the coating unit 5 occurs in the extension portion 6b of the reference base portion 31 and the extension portion 6b of the divided base portion 32. However, since the support portions 31 b and 32 b are arranged at the interval dimension γ, the coating unit 5 that has passed through the dividing portion 63 can be supported from the lower surface side of the base 3. Accordingly, it is possible to reduce the deflection due to the passage of the coating unit 5. Thereby, when the coating unit 5 passes through the dividing portion 63, the influence on the constant speed travel of the coating unit 5 can be suppressed.

また、上記分割部６３には、分割溝部６３ａが形成されており、この分割溝部６３ａは、図６に示すように、埋込部材８によって溝埋めされている。この分割溝部６３ａは、隣接するレール部６１、６２の端部同士によって形成されている。具体的には、レール部６１、６２の端部には、１ｍｍ程度の面取り加工が施されることにより、テーパ部６１ｃ、６２ｃ（本発明の面取り部）が形成されており、隣接するレール部６１，６２のテーパ部６１ｃ、６２ｃにより、Ｖ字状の分割溝部６３ａが形成されている。この分割溝部６３ａにより、分割部６３におけるレール部６１、６２のガイド面６１ａ、６２ａは、Ｘ軸方向において不連続となっている。 Further, the dividing portion 63 is formed with a dividing groove portion 63a, and the dividing groove portion 63a is filled with the embedding member 8 as shown in FIG. The dividing groove portion 63a is formed by the ends of the adjacent rail portions 61 and 62. Specifically, taper portions 61c and 62c (the chamfered portion of the present invention) are formed on the end portions of the rail portions 61 and 62 by chamfering about 1 mm, and adjacent rail portions are formed. The taper portions 61c and 62c of 61 and 62 form a V-shaped split groove portion 63a. Due to the divided groove portion 63a, the guide surfaces 61a and 62a of the rail portions 61 and 62 in the divided portion 63 are discontinuous in the X-axis direction.

また、埋込部材８は、分割溝部６３ａを埋める部材である。具体的には、分割溝部６３ａ全体を埋めるとともに、埋込部材８の上面がレール部６１、６２の上面とほぼ同一高さを有する平面状に形成される。すなわち、隣接するレール部６１，６２のガイド面６１ａ、６２ａ及び埋込部材８が連続する平坦面を形成するようになっている。また、本実施形態では、レール部６１、６２の側面におけるガイド面６１ａ、６２ａについても同様に、ガイド面６１ａ、６２ａ及び埋込部材８が連続する平坦面を形成するようになっている。この平坦面とは、後述する塗布ユニット５のエアベアリング１４からのエアの流れが乱れることにより、塗布ユニットの定速性が損なわれて塗布ムラが発生しない程度の平面である。すなわち、埋込部材８の上面がレール部６１、６２の上面に比べて僅かに内側に窪む形状に形成されるものも含む。 The embedding member 8 is a member that fills the dividing groove 63a. Specifically, the entire divided groove 63a is filled, and the upper surface of the embedded member 8 is formed in a planar shape having substantially the same height as the upper surfaces of the rail portions 61 and 62. That is, the guide surfaces 61a and 62a of the adjacent rail portions 61 and 62 and the embedded member 8 are formed as a continuous flat surface. In the present embodiment, the guide surfaces 61a and 62a on the side surfaces of the rail portions 61 and 62 are similarly formed with a flat surface in which the guide surfaces 61a and 62a and the embedded member 8 are continuous. This flat surface is a plane that does not cause coating unevenness due to impairing the constant speed of the coating unit due to disturbance of the air flow from the air bearing 14 of the coating unit 5 described later. That is, it includes one in which the upper surface of the embedded member 8 is formed in a shape slightly recessed inward compared to the upper surfaces of the rail portions 61 and 62.

また、埋込部材８は、本実施形態では、接着剤が用いられている。接着剤を用いることにより、分割溝部６３ａ全体を隙間なく埋めることができるとともに、塗布ユニット５が分割溝部６３ａを通過する際に、埋込部材８が分割溝部６３ａから外れるのを防止することができる点で有効である。 In the present embodiment, an adhesive is used for the embedded member 8. By using the adhesive, the entire divided groove portion 63a can be filled without any gaps, and the embedding member 8 can be prevented from coming off from the divided groove portion 63a when the coating unit 5 passes through the divided groove portion 63a. Effective in terms.

このように、分割溝部６３ａに埋込部材８が埋め込まれることにより、塗布ユニット５が分割溝部６３ａの影響を受けずに定速走行を維持することができる。すなわち、塗布ユニット５には、後述するようにエアベアリング１４が設けられており、このエアベアリング１４からガイド面６１ａ、６２ａに排出されるエアにより、塗布ユニット５がガイド面６１ａ、６２ａから浮上した状態で走行する。そのため、塗布ユニット５が分割溝部６３ａを通過する際、埋設部材８が存在しない場合には、分割溝部６３ａによって排出されるエアの流れが乱れることにより、塗布ユニット５の浮上する姿勢が僅かに変動し、定速走行に乱れが生じる場合がある。しかし、分割溝部６３ａに埋め込まれた埋込部材８の存在によりエアベアリング１４からガイド面６１ａ、６２ａに排出されるエアの流れが乱れるのを抑えることができる。したがって、分割溝部を走行する塗布ユニットの定速性を維持することができる。 As described above, the embedding member 8 is embedded in the divided groove portion 63a, so that the coating unit 5 can be maintained at a constant speed without being affected by the divided groove portion 63a. That is, the application unit 5 is provided with an air bearing 14 as will be described later, and the application unit 5 floats from the guide surfaces 61a and 62a by the air discharged from the air bearing 14 to the guide surfaces 61a and 62a. Drive in the state. Therefore, when the coating unit 5 passes through the dividing groove portion 63a, if the embedded member 8 does not exist, the flow of air discharged by the dividing groove portion 63a is disturbed, so that the posture of the application unit 5 floating slightly varies. In some cases, however, the constant speed running may be disturbed. However, the presence of the embedded member 8 embedded in the dividing groove 63a can suppress the disturbance of the air flow discharged from the air bearing 14 to the guide surfaces 61a and 62a. Therefore, it is possible to maintain the constant speed of the coating unit that travels through the dividing groove.

前記ステージ４は、搬入された基板２をその表面に載置して保持するものである。具体的には、ステージ４には、その表面に開口する複数の吸引孔（不図示）が形成されており、これらの吸引孔と真空ポンプとが連通して接続されている。そして、ステージ４の表面に基板２が載置された状態で真空ポンプを作動させることにより、吸引孔に吸引力が発生し基板２がステージ４の表面側に吸引されて吸着保持されるようになっている。 The stage 4 places and holds the substrate 2 that has been loaded on the surface thereof. Specifically, the stage 4 is formed with a plurality of suction holes (not shown) opened on the surface thereof, and these suction holes and a vacuum pump are connected in communication. Then, by operating the vacuum pump while the substrate 2 is placed on the surface of the stage 4, a suction force is generated in the suction hole so that the substrate 2 is sucked and held by suction on the surface side of the stage 4. It has become.

また、ステージ４には、基板２を昇降動作させる基板昇降機構（不図示）が設けられている。すなわち、ステージ４の表面には複数のピン孔が形成されており、このピン孔にはＺ軸方向に昇降動作可能なリフトピンが埋設されている。これにより、ステージ４の表面に基板２を載置した状態でリフトピンを上昇又は下降させることにより、基板２にリフトピンの先端部分が当接した状態で、基板２の昇降動作、及び、基板２を所定の高さ位置に保持できるようになっている。 The stage 4 is provided with a substrate lifting mechanism (not shown) that moves the substrate 2 up and down. That is, a plurality of pin holes are formed on the surface of the stage 4, and lift pins that can be moved up and down in the Z-axis direction are embedded in the pin holes. As a result, the lift pins are lifted or lowered while the substrate 2 is placed on the surface of the stage 4, so that the lift operation of the substrate 2 and the substrate 2 can be performed while the tip of the lift pin is in contact with the substrate 2. It can be held at a predetermined height position.

前記塗布ユニット５は、ステージ４に載置された基板２に塗布液を塗布するためのものであり、図３に示すように、一方向に延び塗布液を吐出する口金部５１と、この口金部５１の両端部分に設けられたユニット支持部５２とを有している。本実施形態では、互いに独立して動作することができる塗布ユニット５が２台設置されている。これら塗布ユニット５は、塗布動作前では、図２に示すように、初期位置Ｐで停止している。すなわち、図２において左側の塗布ユニット５は左側の初期位置Ｐで停止しており（二点鎖線で示す）、右側の塗布ユニット５は右側の初期位置Ｐで停止している。 The coating unit 5 is for coating a coating solution on the substrate 2 placed on the stage 4. As shown in FIG. 3, the coating unit 51 extends in one direction and discharges the coating solution, and the nozzle. And unit support portions 52 provided at both end portions of the portion 51. In the present embodiment, two coating units 5 that can operate independently from each other are installed. These application units 5 are stopped at the initial position P as shown in FIG. 2 before the application operation. That is, in FIG. 2, the left coating unit 5 is stopped at the left initial position P (indicated by a two-dot chain line), and the right coating unit 5 is stopped at the right initial position P.

前記ユニット支持部５２は、口金部５１を昇降動作可能に支持するとともに、この口金部５１をＸ軸方向に移動させるためのものである。すなわち、このユニット支持部５２は、口金部５１を昇降動作させる昇降装置２０と、口金部５１を走行させる走行装置１０とを有している。 The unit support portion 52 supports the base portion 51 so that it can be moved up and down, and moves the base portion 51 in the X-axis direction. That is, the unit support portion 52 includes the lifting device 20 that moves the base portion 51 up and down, and the traveling device 10 that runs the base portion 51.

昇降装置２０は、図３に示すように、口金部５１を昇降動作させるものであり、Ｚ軸方向に延びるガイドレール２１と、口金部５１と連結されるスライダ２２とを有している。このガイドレール２１には、スライダ２２がガイドレール２１に沿ってスライド自在に取り付けられている。また、スライダ２２にはサーボモータにより駆動されるボールねじ機構が取り付けられており、このサーボモータを駆動制御することにより、スライダ２２がＺ軸方向に移動するとともに、任意の位置で停止できるようになっている。これにより、口金部５１は、Ｚ軸方向への昇降動作が駆動制御され、ステージ４に対して接離可能に動作するようになっている。 As shown in FIG. 3, the lifting device 20 moves the base part 51 up and down, and includes a guide rail 21 extending in the Z-axis direction and a slider 22 connected to the base part 51. A slider 22 is slidably attached to the guide rail 21 along the guide rail 21. Also, a ball screw mechanism driven by a servo motor is attached to the slider 22. By controlling the servo motor, the slider 22 moves in the Z-axis direction and can be stopped at an arbitrary position. It has become. As a result, the base 51 is controlled to move up and down in the Z-axis direction, and operates so as to be able to contact and separate from the stage 4.

走行装置１０は、図３に示すように、口金部５１をＸ軸方向に走行させるためのものであり、スライド支持部１１とリニアモータ１２とを有している。 As shown in FIG. 3, the traveling device 10 is for traveling the base portion 51 in the X-axis direction, and includes a slide support portion 11 and a linear motor 12.

このスライド支持部１１は、ガイドレール６との間に設けられるエアベアリング１４（本発明の軸受け部）によってガイドレール６上に支持されている。そして、スライド支持部１１に取り付けられたリニアモータ１２を駆動制御することにより、スライド支持部１１がＸ軸方向に移動するようになっている。具体的には、スライド支持部１１に設けられたエアベアリング１４にはコンプレッサが接続されており、このコンプレッサを作動させることにより、エアベアリング１４からガイド面６１ａ、６２ａ側にエアが供給される。そして、エアベアリング１４とガイド面６１ａ、６２ａとの間にエアが供給されることにより、スライド支持部１１がガイド面６１ａ、６２ａから浮上する状態に維持される。そして、スライド支持部１１が浮上する状態においてリニアモータ１２を駆動させることにより、スライド支持部１１がＸ軸方向に移動するようになっている。すなわち、塗布ユニット５は、リニアモータ１２を駆動させることにより、エアベアリング１４がガイドレール６から浮上した状態で、Ｘ軸方向に沿って走行することができるようになっている。 The slide support portion 11 is supported on the guide rail 6 by an air bearing 14 (bearing portion of the present invention) provided between the slide support portion 11 and the guide rail 6. And the slide support part 11 moves to a X-axis direction by drive-controlling the linear motor 12 attached to the slide support part 11. FIG. Specifically, a compressor is connected to the air bearing 14 provided on the slide support portion 11, and air is supplied from the air bearing 14 to the guide surfaces 61a and 62a by operating the compressor. And by supplying air between the air bearing 14 and the guide surfaces 61a and 62a, the slide support part 11 is maintained in the state of floating from the guide surfaces 61a and 62a. The slide support 11 is moved in the X-axis direction by driving the linear motor 12 while the slide support 11 is floating. That is, the application unit 5 can travel along the X-axis direction by driving the linear motor 12 while the air bearing 14 floats from the guide rail 6.

また、塗布ユニット５はＸ軸方向における位置が検出されるようになっている。すなわち、ガイドレール６上には、ガイド面６２ａに沿ってスケール１５ｂが設けられている。そして、スライド支持部１１には、このスケール１５ｂと対向する位置にスケール読取部１５ａが取り付けられており、このスケール読取り部１５ａによりスケール１５ｂを読み取ることにより、塗布ユニット５が走行中であっても、現在における塗布ユニット５の位置を精度よく検出できるようになっている。 In addition, the position of the coating unit 5 in the X-axis direction is detected. That is, the scale 15b is provided on the guide rail 6 along the guide surface 62a. A scale reading unit 15a is attached to the slide support unit 11 at a position facing the scale 15b, and the scale reading unit 15a reads the scale 15b so that the coating unit 5 is running. The current position of the coating unit 5 can be detected with high accuracy.

これにより、塗布ユニット５は、初期位置ＰからＸ軸方向において移動終了位置Ｑまで移動することができるとともに、これらを含めた任意の位置で停止できるようになっている。なお、この移動終了位置Ｑは、塗布動作終了後、塗布ユニット５が基板２の取出しの妨げになることのない位置である。 Thereby, the coating unit 5 can move from the initial position P to the movement end position Q in the X-axis direction, and can be stopped at any position including these. The movement end position Q is a position where the coating unit 5 does not interfere with the removal of the substrate 2 after the coating operation is completed.

前記口金部５１は、基板２上に塗布液を吐出するものである。この口金部５１は、Ｙ軸方向に延びる形状を有する柱状部材であり、ステージ４の表面と対向する側には塗布液を吐出するノズル５１ａ（図３参照）が形成されている。このノズル５１ａは、ステージ４の表面側に突出し、この突出した部分にはＹ軸方向に延びる形状のスリットが形成されている。すなわち、このスリットを通じて口金部５１に供給された塗布液が基板２の表面に吐出されるようになっている。本実施形態では、塗布ユニット５は、初期位置ＰからＸ軸方向に移動し、吐出開始位置Ｓで塗布液の吐出が開始されるとともに吐出終了位置Ｔで塗布液の吐出を終了させ、さらに、移動終了位置Ｑまで移動できるようになっている。 The base 51 discharges the coating liquid onto the substrate 2. The base 51 is a columnar member having a shape extending in the Y-axis direction, and a nozzle 51 a (see FIG. 3) that discharges the coating liquid is formed on the side facing the surface of the stage 4. The nozzle 51a protrudes to the surface side of the stage 4, and a slit having a shape extending in the Y-axis direction is formed in the protruding portion. That is, the coating liquid supplied to the base 51 through this slit is discharged onto the surface of the substrate 2. In the present embodiment, the coating unit 5 moves in the X-axis direction from the initial position P, starts discharging the coating liquid at the discharge start position S and ends the discharge of the coating liquid at the discharge end position T. It can move to the movement end position Q.

また、分割ベース部３２上には、口金部５１を清掃する清掃装置７が設けられている。この清掃装置７は、スクレーパとトレイとを有しており、スクレーパにより口金部５１のノズル付近に付着した塗布液の残留物を掻き取って、剥がれた付着物をトレイにて受け取るように構成されている。本実施形態では、清掃装置７が分割ベース部３２上に２カ所設けられており、図２において右側の塗布ユニット５が右側の清掃装置７で清掃されるとともに、左側の塗布ユニット５が左側の清掃装置７で清掃されるようになっている。なお、初期位置Ｐは、この清掃装置７上に口金部５１が位置する状態である。 A cleaning device 7 for cleaning the base 51 is provided on the divided base portion 32. The cleaning device 7 has a scraper and a tray, and is configured to scrape off the residue of the coating liquid adhering to the vicinity of the nozzle of the base 51 by the scraper and receive the peeled off deposit on the tray. ing. In the present embodiment, two cleaning devices 7 are provided on the divided base portion 32. In FIG. 2, the right coating unit 5 is cleaned by the right cleaning device 7, and the left coating unit 5 is disposed on the left side. Cleaning is performed by the cleaning device 7. The initial position P is a state in which the base 51 is positioned on the cleaning device 7.

次に、この塗布装置における動作について、図７に示すフローチャート及び図８に示す塗布ユニット５とガイドレール６等との位置関係を示す概略図を参照しながら説明する。なお、以下の説明では、一方の塗布ユニット５（図２において左側）によって塗布動作を行う場合について説明するものとし、他方の塗布ユニット５（図２において右側）については、一方の塗布ユニット５の塗布動作と同様であるため説明は省略する。 Next, the operation of the coating apparatus will be described with reference to the flowchart shown in FIG. 7 and the schematic diagram showing the positional relationship between the coating unit 5 and the guide rail 6 shown in FIG. In the following description, the case where the coating operation is performed by one coating unit 5 (left side in FIG. 2) will be described, and the other coating unit 5 (right side in FIG. 2) Since it is the same as the coating operation, the description is omitted.

まず、ステップＳ１において、基板２の搬入が行われる。すなわち、図示しないロボットハンドにより基板２が搬入される。具体的には、ステージ４の表面から複数のリフトピンが突出した状態で待機されており、これらのリフトピンの先端部分に基板２が載置される。そして、リフトピンを下降させて基板２をステージ４の表面に載置し、この状態で真空ポンプを作動させて吸引孔に吸引力を発生させることにより、基板２をステージ４の表面上に吸着させて保持させる。 First, in step S1, the substrate 2 is carried in. That is, the substrate 2 is carried in by a robot hand (not shown). Specifically, the apparatus is on standby with a plurality of lift pins protruding from the surface of the stage 4, and the substrate 2 is placed on the tip portions of these lift pins. Then, the lift pins are lowered to place the substrate 2 on the surface of the stage 4, and in this state, the vacuum pump is operated to generate a suction force in the suction hole, so that the substrate 2 is adsorbed on the surface of the stage 4. Hold.

次に、ステップＳ２において、塗布ユニット５が初期位置Ｐに位置しているか否かの確認が行われる。具体的には、塗布ユニット５に設けられた位置検出器１５ａ、１５ｂにより、それぞれの塗布ユニット５が初期位置Ｐに位置しているか否か判断される。そして、塗布ユニット５が初期位置Ｐに位置していないと判断した場合には、ステップＳ２においてＮＯの方向に進み、リニアモータ１２を駆動制御することにより、それぞれの塗布ユニット５を初期位置Ｐに復帰させる（ステップＳ３）。すなわち、塗布ユニット５は、図８（ａ）に示す位置に配置された状態となる。 Next, in step S2, it is confirmed whether or not the coating unit 5 is located at the initial position P. Specifically, whether or not each coating unit 5 is located at the initial position P is determined by position detectors 15 a and 15 b provided in the coating unit 5. If it is determined that the coating unit 5 is not located at the initial position P, the process proceeds in the NO direction in step S2, and the linear motor 12 is driven to control each coating unit 5 to the initial position P. Return (step S3). That is, the coating unit 5 is in a state of being disposed at the position shown in FIG.

ステップＳ２において、塗布ユニット５がそれぞれの初期位置Ｐに位置している場合には、ステップＳ２においてＹＥＳの方向に進み、塗布動作が行われる（ステップＳ４）。具体的には、塗布動作を行う塗布ユニット５（図８において左側）がガイドレール６の延長部６ｂを走行し、吐出開始位置Ｓまで移動する（図８（ｂ））。このとき、ガイドレール６の分割部６３を通過するが、埋設部材８が分割溝部６３ａに埋め込まれていることにより、塗布ユニット５が定速走行を維持したまま通過することができる。 In step S2, when the coating unit 5 is located at each initial position P, the process proceeds to YES in step S2 and a coating operation is performed (step S4). Specifically, the application unit 5 (the left side in FIG. 8) that performs the application operation travels along the extension 6b of the guide rail 6 and moves to the discharge start position S (FIG. 8B). At this time, it passes through the dividing portion 63 of the guide rail 6, but since the embedded member 8 is embedded in the dividing groove portion 63a, the coating unit 5 can pass while maintaining constant speed running.

そして、吐出開始位置Ｓから塗布ユニット５の口金部５１から塗布液が吐出され、その状態で塗布ユニット５がガイドレール６の塗布走行部６ａを走行することにより、基板上に塗布液が塗布される。そして、塗布ユニット５は、塗布走行部６ａを走行中にガイドレール６の分割部６３を通過するが、埋設部材８が分割溝部６３ａに埋め込まれていることにより、塗布ユニット５が定速走行を維持したまま通過することができるため、塗布ユニット５の定速走行の乱れから塗布ムラが発生するのを抑えることができる。そして、塗布ユニット５が吐出終了位置Ｔに達すると塗布液の吐出が停止した後、さらにガイドレール６の延長部６ｂを走行して移動終了位置Ｑで停止する（図８（ｃ））。 Then, the coating liquid is discharged from the base portion 51 of the coating unit 5 from the discharge start position S, and the coating unit 5 travels on the coating traveling portion 6a of the guide rail 6 in this state, so that the coating liquid is coated on the substrate. The The application unit 5 passes through the dividing portion 63 of the guide rail 6 while traveling through the application traveling portion 6a. However, since the embedded member 8 is embedded in the divided groove portion 63a, the application unit 5 travels at a constant speed. Since it can pass while maintaining, it is possible to suppress the occurrence of coating unevenness due to the disturbance of the constant speed travel of the coating unit 5. When the coating unit 5 reaches the discharge end position T, the discharge of the coating liquid stops, and then travels along the extension 6b of the guide rail 6 and stops at the movement end position Q (FIG. 8C).

塗布動作が終了すると、次に初期位置復帰動作が行われる（ステップＳ５）。すなわち、塗布ユニット５のリニアモータ１２を駆動制御することにより、塗布ユニット５をもとの初期位置Ｐに位置させる（図８（ｄ））。このとき、塗布ユニット５がガイドレール６の分割部６３を通過するが、埋設部材８が分割溝部６３ａに埋め込まれていることにより、塗布ユニット５が定速走行を維持したまま通過することができる。 When the application operation is completed, an initial position return operation is then performed (step S5). That is, by driving and controlling the linear motor 12 of the coating unit 5, the coating unit 5 is positioned at the original initial position P (FIG. 8D). At this time, the coating unit 5 passes through the dividing portion 63 of the guide rail 6. However, since the embedded member 8 is embedded in the dividing groove 63a, the coating unit 5 can pass while maintaining constant speed running. .

次に、塗布ユニット５の清掃処理が行われる（ステップＳ６）。具体的には、図８（ｅ）に示すように、初期位置Ｐに位置した塗布ユニット５の口金部５１を下降させることにより、口金部５１の下方部分と清掃装置７のスクレーパを接触させる。この状態からスクレーパを口金部５１の延びる方向に移動させることにより、スリットノズル５１ａ付近の付着物が掻き取られ、口金部５１のノズル部分の清掃が完了する。 Next, the coating unit 5 is cleaned (step S6). Specifically, as shown in FIG. 8E, the lower part of the base part 51 and the scraper of the cleaning device 7 are brought into contact with each other by lowering the base part 51 of the coating unit 5 located at the initial position P. By moving the scraper in the extending direction of the base 51 from this state, the deposits near the slit nozzle 51a are scraped off, and the cleaning of the nozzle portion of the base 51 is completed.

次に、基板２の取出しが行われる（ステップＳ７）。具体的には、リフトピンを上昇させることにより、リフトピンの先端部分で基板２を保持する。そして、図示しないロボットハンドに基板２の受け渡しが行われ、ステージ４表面から基板２が排出される。 Next, the substrate 2 is taken out (step S7). Specifically, the substrate 2 is held at the tip of the lift pin by raising the lift pin. Then, the substrate 2 is transferred to a robot hand (not shown), and the substrate 2 is discharged from the surface of the stage 4.

このように、本実施形態における塗布装置によれば、隣接するレール部６１、６２のガイド面６１ａ、６２ａ及び埋込部材８が連続する平坦面を形成することにより、隣接するレール部６１、６２のガイド面６１ａ、６２ａをガイドレール６全体に亘って平坦状に形成される。そのため、塗布ユニット５がガイドレール６の分割部６３（分割溝部６３ａ）を通過した場合であっても、塗布ユニット５の定速性に与える影響が小さくなり、塗布ユニット５が定速を維持した状態で走行することができる。したがって、ガイドレールの分割部６３を位置的制限を受けることなく配置することができるため、ガイドレール６の分割部６３をガイドレール６の塗布走行部６ａに設けることにより、石材加工限界を超える大型基板２を生産する場合であっても、不良基板が生産されるのを抑えることができる。なお、基板２の一辺の長さが石材加工限界を超えず、前記塗布ユニット５が塗布液の吐出開始から吐出終了まで走行する塗布走行部６ａの長さ寸法が石材加工限界を超える場合、すなわち、塗布ユニットが塗布動作の際に走行するガイドレール部分の長さ寸法が石材加工限界を超える場合であっても、上記同様に不要基板が生産されるのを抑えることができる。 Thus, according to the coating apparatus in this embodiment, the adjacent rail parts 61 and 62 are formed by forming a flat surface in which the guide surfaces 61a and 62a of the adjacent rail parts 61 and 62 and the embedded member 8 are continuous. The guide surfaces 61 a and 62 a are formed flat over the entire guide rail 6. Therefore, even when the coating unit 5 passes through the dividing portion 63 (dividing groove portion 63a) of the guide rail 6, the influence on the constant speed property of the coating unit 5 is reduced, and the coating unit 5 maintains the constant speed. You can drive in the state. Therefore, since the guide rail division part 63 can be arranged without being subjected to positional restrictions, the provision of the division part 63 of the guide rail 6 in the application travel part 6a of the guide rail 6 makes it possible to exceed the stone processing limit. Even when the substrate 2 is produced, the production of defective substrates can be suppressed. When the length of one side of the substrate 2 does not exceed the stone processing limit, and the length dimension of the coating traveling unit 6a in which the coating unit 5 travels from the start of discharge of the coating liquid to the end of discharge exceeds the stone processing limit, Even if the length dimension of the guide rail portion that the coating unit travels during the coating operation exceeds the stone processing limit, it is possible to suppress the production of unnecessary substrates in the same manner as described above.

また、上記実施形態では、埋込部材８として接着剤を用いる例について説明したが、樹脂等からなり、分割溝部６３ａに嵌合可能な別部材であってもよい。このような部材で分割溝部６３ａの溝埋めを行うことにより、隣接するレール部６１、６２のガイド面６１ａ、６２ａをガイドレール６全体に亘って平坦状に形成することができ、塗布ユニット５の定速走行に乱れが生じるのを抑えることができる。 Moreover, although the example which uses an adhesive agent as the embedding member 8 was demonstrated in the said embodiment, it may be another member which consists of resin etc. and can be fitted to the division | segmentation groove part 63a. By performing the groove filling of the dividing groove portion 63a with such a member, the guide surfaces 61a and 62a of the adjacent rail portions 61 and 62 can be formed flat over the entire guide rail 6, and the coating unit 5 Disturbances in constant speed running can be suppressed.

また、上記実施形態では、基準ベース部３１の分割部６３における支持部３１ｂ同士の間隔寸法β、及び、分割ベース部３２に近接する基準ベース部３１の支持部３１ｂと、基準ベース部３１に近接する分割ベース部３２の支持部３２ｂの支持部３２ｂとの間隔寸法γが、ユニット支持部５２の特定方向寸法αよりも小さい例について説明したが、それぞれの支持部３１ｂ同士、あるいは支持部３１ｂ、３２ｂが接する（β、γ≒０）ものであってもよい。これにより、塗布ユニット５がガイドレール６の分割部６３を通過した際の僅かな撓みの発生を有効に抑制することができるため、塗布ユニット５が分割部６３を通過した際の塗布ムラの発生を有効に抑えることができる。 In the above embodiment, the distance β between the support portions 31 b in the split portion 63 of the reference base portion 31, the support portion 31 b of the reference base portion 31 close to the split base portion 32, and the reference base portion 31 are close to each other. The example in which the distance dimension γ between the support part 32b of the divided base part 32 and the support part 32b is smaller than the specific direction dimension α of the unit support part 52 has been described, but the support parts 31b or the support parts 31b, 32b may be in contact (β, γ≈0). Thereby, since the generation | occurrence | production of slight bending when the coating unit 5 passes the division | segmentation part 63 of the guide rail 6 can be suppressed effectively, generation | occurrence | production of the coating nonuniformity when the coating unit 5 passes the division | segmentation part 63 is produced | generated. Can be effectively suppressed.

本発明の一実施形態における塗布装置を示す概略上面図である。It is a schematic top view which shows the coating device in one Embodiment of this invention. 上記塗布装置の側面図である。It is a side view of the said coating device. 上記塗布装置のユニット支持部付近を示す図である。It is a figure which shows the unit support part vicinity of the said coating device. 基準ベース部を示す図であり、（ａ）は、Ｙ軸方向から見た図、（ｂ）は、Ｘ軸方向から見た図である。It is a figure which shows a reference | standard base part, (a) is the figure seen from the Y-axis direction, (b) is the figure seen from the X-axis direction. 分割ベース部を示す図であり、（ａ）は、Ｙ軸方向から見た図、（ｂ）は、Ｘ軸方向から見た図である。It is a figure which shows a division | segmentation base part, (a) is the figure seen from the Y-axis direction, (b) is the figure seen from the X-axis direction. 分割溝部付近を示す概略図である。It is the schematic which shows the division | segmentation groove part vicinity. 上記塗布装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of the said coating device. 塗布ユニットとレールとの位置関係を示す概略図である。It is the schematic which shows the positional relationship of a coating unit and a rail.

Explanation of symbols

２基板
３基台
５塗布ユニット
６レール
６ａ塗布走行部
６ｂ延長部
８埋込部材
１４エアベアリング
６１、６２レール部
６１ａ、６２ａガイド面
６３分割部
６３ａ分割溝部 2 Substrate 3 Base 5 Application unit 6 Rail 6a Application running part 6b Extension part 8 Embedding member 14 Air bearing 61, 62 Rail part 61a, 62a Guide surface 63 Dividing part 63a Dividing groove part

Claims

A stage for holding a substrate;
A guide rail extending along the stage and divided into a plurality of sections;
An application unit that runs on the guide rail and applies the application liquid to the substrate;
With
The guide rail is formed by connecting a plurality of rail portions each having a guide surface facing the coating unit, and a split groove portion is formed by ends of adjacent rail portions, and embedded in the split groove portion. A coating apparatus, wherein a member is embedded to form a flat surface in which the guide surface of the adjacent rail portion and the embedded member are continuous.

The coating apparatus according to claim 1, wherein the coating unit includes a bearing portion that floats the coating unit from the rail by discharging air to the guide surface.

The coating apparatus according to claim 1, wherein the divided groove portion is formed by a chamfered portion formed at an end portion of the adjacent rail portion.

The coating apparatus according to claim 1, wherein the embedded member is an adhesive.