JP2008258450A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】外部から熱的応力や機械的応力が加わっても、金属放熱板と接着材あるいは接着材と被覆樹脂との界面剥離を確実に防止することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】金属放熱板8や被覆樹脂3の形状を変化させ、例えば応力が大きい箇所の接着材7の厚みを厚くすることにより、接着材7が緩衝材的な役割を果たす。
【選択図】図1
【解決手段】金属放熱板8や被覆樹脂3の形状を変化させ、例えば応力が大きい箇所の接着材7の厚みを厚くすることにより、接着材7が緩衝材的な役割を果たす。
【選択図】図1
Description
本発明は、配線基板上の半導体素子を覆う被覆樹脂上に金属放熱板が貼付されている半導体装置に関するものである。
近年では、OA機器や家電機器等に組み込まれる電子機器などのセット機器において、その大型化、さらには一般ユーザーからの幅広い要望に応えた多種多機能化が進むにつれ、その部品として使用される半導体装置には、信号端子の多ピン化、かつ高放熱化が要求されてくる。
これらの要求に対して、従来から主流となっていた金属放熱板内蔵型の半導体装置においては、金属放熱板とボンディングワイヤとの隙間が狭くなるため、内部の半導体素子を被覆するための被覆樹脂の注入条件を誤ると、ボンディングワイヤを倒してしまったり、また金属放熱板そのものがボンディングワイヤと接触する危険性があった。
これらの問題を解決する従来技術として、例えば特許文献1に開示されている技術が一般的に知られている。すなわち配線基板上に半導体素子が搭載され、さらに半導体素子と配線基板上の配線パターンとがワイヤボンディングで電気的に接続され、成型金型を用いて被覆樹脂が形成され、その被覆樹脂の上面に接着材を介して金属放熱板が貼り付けられた半導体装置である。
このような構造を用いることにより、上記の問題を解決することができ、さらに従来からの設備インフラを最大限に利用できるということから、比較的低コストで高放熱化を実現している。
特開2004−260051号公報
しかしながら上記の特許文献1に開示された構造に代表されるような従来の半導体装置においては、例えば外部から熱が加わることに起因して発生する反り応力を緩和する工夫が見られない。
例えば、特許文献1に代表されるBGA(ボールグリッドアレイパッケージ)型半導体装置は、配線基板上の一方の面にのみ被覆樹脂や金属放熱板が存在するため、セット機器のプリント基板へ半田実装する際のリフロー加熱などにより熱的ストレスや機械的ストレスが加わる環境においては、金属放熱板や接着材に過度の応力がかかり、金属放熱板と接着材あるいは接着材と被覆樹脂との界面剥離を引き起こす事例が後を絶たない。
あるいはプリント基板が外的応力により撓んだり、曲がったりする際にも、同様の不具合が生じる恐れがある。
本発明は、上記従来の問題点を解決するもので、被覆樹脂上に貼り付けられた金属放熱板を有する半導体装置に対して、外部から熱的応力や機械的応力が加わっても、金属放熱板と接着材あるいは接着材と被覆樹脂との界面剥離を確実に防止することができる半導体装置を提供する。
本発明は、上記従来の問題点を解決するもので、被覆樹脂上に貼り付けられた金属放熱板を有する半導体装置に対して、外部から熱的応力や機械的応力が加わっても、金属放熱板と接着材あるいは接着材と被覆樹脂との界面剥離を確実に防止することができる半導体装置を提供する。
上記の課題を解決するために、本発明の請求項1記載の半導体装置は、配線基板上に搭載された半導体素子の一部または全てを被覆する樹脂の上面に、接着材を介して金属板が貼付された構造の半導体装置において、前記金属板の一部の厚みが薄く形成されていることを特徴とする。
また、本発明の請求項2記載の半導体装置は、配線基板上に搭載された半導体素子の一部または全てを被覆する樹脂の上面に、接着材を介して金属板が貼付された構造の半導体装置において、前記樹脂の一部の厚みが薄く形成されていることを特徴とする。
また、本発明の請求項3記載の半導体装置は、配線基板上に搭載された半導体素子の一部または全てを被覆する樹脂の上面に、接着材を介して金属板が貼付された構造の半導体装置において、前記接着材の厚みが、前記樹脂の中心部分よりも周辺部分のほうが厚く形成されていることを特徴とする。
また、本発明の請求項4記載の半導体装置は、配線基板上に搭載された半導体素子の一部または全てを被覆する樹脂の上面に、接着材を介して金属板が貼付された構造の半導体装置において、前記樹脂もしくは前記金属板の一部に前記接着材の流れ防止用の空間が施されていることを特徴とする。
また、本発明の請求項5記載の半導体装置は、配線基板上に搭載された半導体素子の一部または全てを被覆する樹脂の上面に、接着材を介して金属板が貼付された構造の半導体装置において、前記金属板に凹凸形状が施されていることを特徴とする。
また、本発明の請求項6記載の半導体装置は、配線基板上に搭載された半導体素子の一部または全てを被覆する樹脂の上面に、接着材を介して金属板が貼付された構造の半導体装置において、前記金属板の一部のみ前記接着材を介して前記樹脂の一部に貼付されていることを特徴とする。
以上のように本発明によれば、半導体装置に対して外部から熱的ストレスや機械的ストレスが加わる環境において、半導体装置が被覆樹脂上に金属放熱板が貼り付けられた構造であっても、繰り返される熱的応力や機械的応力の発生に対して、金属放熱板や接着材に加わる応力を緩和することができる。
そのため、被覆樹脂上に貼り付けられた金属放熱板を有する半導体装置に対して、外部から熱的応力や機械的応力が加わっても、金属放熱板と接着材あるいは接着材と被覆樹脂との界面剥離を確実に防止することができる。
以下、本発明の実施の形態を示す半導体装置について、図面を参照しながら具体的に説明する。なお、以下の図面においては、説明の簡潔化のために実質的に同一の機能を有する構成要素は同一の参照符号で示す。
まずはじめに、発明者らが実験した、従来構造の半導体装置を組み立てた際の不具合事例を簡単に説明する。
図6は従来の半導体装置の組み立てにおける流れ図であり、図7は従来の半導体装置の全体構造を示す断面図である。ここで、従来の半導体装置は、製造工程で図6の矢印で示す流れに従って組み立てられる。
図6は従来の半導体装置の組み立てにおける流れ図であり、図7は従来の半導体装置の全体構造を示す断面図である。ここで、従来の半導体装置は、製造工程で図6の矢印で示す流れに従って組み立てられる。
また、従来の半導体装置は、図6および図7に示すように、配線パターン(図示せず)が形成された配線基板1と、配線基板1の一方の面に搭載された半導体素子2と、半導体素子2の一部または全てを被覆する被覆樹脂3と、配線基板1の他方の面に形成され配線パターンを通じて半導体素子2と電気的に接続された少なくとも1つ以上の外部電極部4(形状は図示せず)と、少なくとも1つ以上の外部電極部4上に形成された金属ボール5とから成る半導体装置6であって、通常、ボールグリッドアレイ(以下、BGA)と呼ばれており、ここでは、便宜上、BGA半導体装置6と記載することにする。
このBGA半導体装置6の被覆樹脂3の表面の一部に接着材7を介して金属放熱板8を貼り付けることで、放熱性が高い半導体装置、すなわち例えば特許文献1に開示された従来の半導体装置であるヒートシンク(HS)型BGAが完成する。このHSBGAに用いられる接着材7としては、HSBGAが発熱する熱を金属放熱板8に効率良く伝導させるため、金属粒子を含む接着材を用いるのが望ましいが、一方で緩衝材料的な役割も必要とされる。緩衝材料的な役割が必要な理由は以下の通りである。
図8は、プリント基板へのリフロー実装を想定した高温領域に、BGA半導体装置6を放置した場合の反り挙動を示す実験結果画像を説明する図である。図中における数値のうち、℃の単位が付いている数値は半導体装置表面の温度を示しており、μmの単位が付されている数値は半導体装置の反り量を示す。
BGA半導体装置6の被覆樹脂3面を上にした状態において、被覆樹脂3面が上部に膨らんでいる場合の反り量を+(プラス)表示しており、被覆樹脂3面が下部に凹んでいる、すなわち金属ボール5面が膨らんでいる場合の反り量を−(マイナス)表示している。数分間の短い時間のなかで、常温状態(発明者らの実験では、35℃付近)から半田溶融温度である高温状態(同じく245℃)までに、BGA半導体装置6は−28μmから+313μmまで約340μmの反り挙動を示しているのがわかる。
これはBGA半導体装置6を構成する配線基板1、半導体素子、被覆樹脂3における熱的な伸び率などその材料が持つ物性値、各々の材料の大きさや容量、組み立て工程における製造条件などに大きく左右される。近年では、高性能な計算式により、予め設計段階において、半導体装置の熱的挙動を予測する技術も進んできている。
一方、これら高温加熱時における反り量が過度に大きい場合、機器セットメーカーでのプリント基板への半田実装時において、実装不具合を誘発する原因となる恐れがある。すなわち高温状態において、半田ペーストが溶融している際に半導体装置の反り量によって、半田が潰されることから生じる半田ショートやブリッジ、あるいは半田ペーストに届かない半田オープンといったものである。
次に、図9は、例えば特許文献1に開示された金属放熱板8が貼付された従来のHSBGAを用いた場合の、同じく加熱時反り挙動を示す画像である。反り挙動は−57μmから+77μmまで約134μmとなり、図8と同一条件下において、あきらかにHSBGAのほうが反り挙動が少ないことが分かる。すなわちBGAパッケージの被覆樹脂3上に金属放熱板8を貼付することにより、熱的あるいは機械的な反り挙動が少ないHSBGA半導体装置を提供することができる。
これら2つの事象を比較考察すると、HSBGAの金属放熱板8の存在により、HSBGA自身の反り挙動が大きく変化することがよく分かるが、その一方で被覆樹脂3と金属放熱板8とを接続する接着材7へ絶大な応力が加わっているということにもなる。
従って、HSBGA型の半導体装置において、接着材7の周辺部分の工夫が必要であるが、最も効果的な方法として、半導体装置の中央部分よりも周辺部分における接着材7の厚みを厚くすること、あるいは金属放熱板8と被覆樹脂3とを接続するための接着面積を小さくすることが、最も効果的であると考える。
上記の効果を得ることができる本実施の形態の半導体装置を以下に説明する。
図1および図2は、それぞれ本実施の形態1、2の半導体装置の断面方向の概略図である。
図1および図2は、それぞれ本実施の形態1、2の半導体装置の断面方向の概略図である。
ここで用いられる配線基板1は、厚みが0.1〜0.5mm程度のものが多く、その層構成は銅貼り両面有機基板のような2層導体あるいは4層導体で、配線密度や放熱性など必要に応じて使い分けると良い。
外部電極ランド(図示せず)は直径が約0.15mmΦ〜0.80mmΦが一般的であり電気的接続を有利に行うため表層から順に金、ニッケルなどのめっき処理が施されているとなお良い。金属ボール5は直径が0.3mmΦ〜0.76mmΦが一般的である。
図示はしていないが、被覆樹脂3の内部構造としては、半導体素子と配線基板1を金属細線でつなぐワイヤボンディング方式や、半導体素子の配線面と配線基板とを向かい合わせて接合することができるバンプ接合方式などがある。
金属放熱板8は放熱効果が期待できる銅板などが望ましく、酸化防止や外観の見栄えを考えてNi(ニッケル)などのメッキを施すと良い。被覆樹脂3と金属放熱板8とを接続する接着材7は、数〜数十μm程度の厚みが在れば良いが、過度に塗布した場合、それにより金属放熱板8よりも広くハミ出すと見栄えが良くないため、接着材7の使用量には注意が必要である。
図1に示す半導体装置では、金属放熱板8の一部、例えば周辺部分を薄く形成することにより、接着材7は中心部よりも周辺部へいくにつれて厚みが増す構造となっており、熱的あるいは機械的な応力(ストレス)により変形しやすい周辺部分での応力緩和を実現することができる。
また、図2に示す半導体装置では、被覆樹脂3の一部、例えば周辺部分を薄く形成することにより、接着材7は中心部よりも周辺部へいくにつれて厚みが増す構造となっており、先に述べた現象と同じく、接着材7が緩衝的な役割を果たすことで、熱的あるいは機械的応力に対して柔軟に対応できる構造となる。
図3および図4は本実施の形態3、4の半導体装置の構造を説明したものである。図3および図4に示すように、被覆樹脂3は表面が平らであり断面方向の厚みの違いがほぼゼロであるBGAである。また金属放熱板8についても断面方向の厚みの違いが無い構造となっている。
そして、金属放熱板8の一部のみが接着材7を介して被覆樹脂3の一部に貼付されている。これらの場合、接着材7が存在する箇所は中央付近でも周辺付近でも構わないが、接続面積については金属放熱板8の面積に比べて約50%以下の接着面積とするのが望ましい。また図4では、金属放熱板8について断面方向の厚みの違いは無いが、金属放熱板8に凹凸形状部81が施されている。
先述のように被覆樹脂3と金属放熱板8とを接続する面積を少なくすることにより、反り挙動変化から来る接着材7への応力を逃がすことが可能であり、柔軟性に富むHSBGAを準備することができる。
図5は本実施の形態5の半導体装置の構造を説明したものであり、図5(b)は図5(a)の溝部分の詳細な拡大図であり、図5(d)は図5(c)の溝部分の詳細な拡大図である。
先述した特に図1と図2における半導体装置の構造においては、被覆樹脂3の周辺部にある接着材7が金属放熱板8からハミ出すことが予想されるが、そこで図5に示すように、被覆樹脂3の表面上や金属放熱板8の一方の面(図では下方)に、接着材7を留めて外周への流れを抑止する例えば角溝(図5(a)および図5(b))やV溝(図5(c)および図5(d))などの空間、いわゆる接着材溜まり9を設けることが重要である。
これらの構造により、接着材7が金属放熱板8の外側にハミ出すことなく、外観見栄え的にも問題の無いHSBGAを提供することができる。
本発明の半導体装置は、被覆樹脂上に貼り付けられた金属放熱板を有する半導体装置に対して、外部から熱的応力や機械的応力が加わっても、金属放熱板と接着材あるいは接着材と被覆樹脂との界面剥離を確実に防止することができるもので、半導体素子を覆う被覆樹脂上に金属放熱板が貼付されている構造の半導体装置等に適用できる。
1 配線基板
2 半導体素子
3 被覆樹脂
4 外部電極部
5 金属ボール
6 BGA半導体装置
7 接着材
8 金属放熱板
9 接着材溜まり
81 凹凸形状部
2 半導体素子
3 被覆樹脂
4 外部電極部
5 金属ボール
6 BGA半導体装置
7 接着材
8 金属放熱板
9 接着材溜まり
81 凹凸形状部
Claims (6)
- 配線基板上に搭載された半導体素子の一部または全てを被覆する樹脂の上面に、接着材を介して金属板が貼付された構造の半導体装置において、
前記金属板の一部の厚みが薄く形成されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 配線基板上に搭載された半導体素子の一部または全てを被覆する樹脂の上面に、接着材を介して金属板が貼付された構造の半導体装置において、
前記樹脂の一部の厚みが薄く形成されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 配線基板上に搭載された半導体素子の一部または全てを被覆する樹脂の上面に、接着材を介して金属板が貼付された構造の半導体装置において、
前記接着材の厚みが、前記樹脂の中心部分よりも周辺部分のほうが厚く形成されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 配線基板上に搭載された半導体素子の一部または全てを被覆する樹脂の上面に、接着材を介して金属板が貼付された構造の半導体装置において、
前記樹脂もしくは前記金属板の一部に前記接着材の流れ防止用の空間が施されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 配線基板上に搭載された半導体素子の一部または全てを被覆する樹脂の上面に、接着材を介して金属板が貼付された構造の半導体装置において、
前記金属板に凹凸形状が施されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 配線基板上に搭載された半導体素子の一部または全てを被覆する樹脂の上面に、接着材を介して金属板が貼付された構造の半導体装置において、
前記金属板の一部のみ前記接着材を介して前記樹脂の一部に貼付されている
ことを特徴とする半導体装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014093356A (ja) * | 2012-11-01 | 2014-05-19 | Toyota Motor Corp | 半導体装置 |
-
2007
- 2007-04-06 JP JP2007099950A patent/JP2008258450A/ja active Pending
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