JP2008256616A - 表面欠陥検査システム、方法及びプログラム - Google Patents
表面欠陥検査システム、方法及びプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008256616A JP2008256616A JP2007100893A JP2007100893A JP2008256616A JP 2008256616 A JP2008256616 A JP 2008256616A JP 2007100893 A JP2007100893 A JP 2007100893A JP 2007100893 A JP2007100893 A JP 2007100893A JP 2008256616 A JP2008256616 A JP 2008256616A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement object
- image
- imaging
- surface defect
- edge position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】周期的に変調された線状レーザ光を測定対象物2の表面に照射するレーザ装置10と、測定対象物2からの反射光を撮像する遅延積分型カメラ30とを用いて、測定対象物2に対する線状レーザ光の照射位置を連続的にずらしながら、遅延積分型カメラ30により測定対象物2からの反射光を撮像して光切断画像を出力し、測定対象物2の表面欠陥を検出する表面欠陥検査システムであって、測定対象物2を含んで撮像された輝度画像に基づいて、測定対象物2のエッジ位置を検出するエッジ位置検出511と、エッジ位置検出部511で検出されたエッジ位置に基づいて、遅延積分型カメラ30で得られた画像にセンタリング処理を行うセンタリング処理部507とを備える。
【選択図】図8
Description
本発明の表面欠陥検査方法は、線状レーザ光を測定対象物の表面に照射する照射手段と、前記測定対象物からの反射光を撮像する遅延積分型の撮像手段とを用いて、前記測定対象物に対する前記線状レーザ光の照射位置を連続的にずらしながら、前記撮像手段により前記測定対象物からの反射光を撮像して光切断画像を出力し、前記測定対象物の表面欠陥を検出する表面欠陥検査方法であって、前記測定対象物は、横断面形状において両端部が低くなる或いは高くなる曲線を有し、前記撮像手段或いは他の撮像手段により撮像された前記測定対象物を含む輝度画像に基づいて、前記測定対象物のエッジ位置を検出する手順と、
前記検出されたエッジ位置に基づいて、前記撮像手段で得られた画像にセンタリング処理を行う手順とを有することを特徴とする。
本発明のプログラムは、線状レーザ光を測定対象物の表面に照射する照射手段と、前記測定対象物からの反射光を撮像する遅延積分型の撮像手段とを用いて、前記測定対象物に対する前記線状レーザ光の照射位置を連続的にずらしながら、前記撮像手段により前記測定対象物からの反射光を撮像して光切断画像を出力し、前記測定対象物の表面欠陥を検出するためのプログラムであって、前記測定対象物は、横断面形状において両端部が低くなる或いは高くなる曲線を有し、前記撮像手段或いは他の撮像手段により撮像された前記測定対象物を含む輝度画像に基づいて、前記測定対象物のエッジ位置を検出する手順と、
前記検出されたエッジ位置に基づいて、前記撮像手段で得られた画像にセンタリング処理を行う手順とをコンピュータに実行させることを特徴とする。
図1は本発明の実施形態に係る表面欠陥検査システムを、測定対象物2の移動方向と直交する方向から見た概略構成図である。本発明の実施形態に係る表面欠陥検査システムは、レーザ装置10と、ロッドレンズ20と、遅延積分型カメラ(TDIカメラ)30と、タイミング信号発生部40と、画像処理装置50と、表示装置60とを備える。
M/2π=(h/s)/φ
より、
d={M・s/(2π・tanθ)}φ
となる。これより、スライス縞画像データにおける位相のずれφと測定対象物2の深さdとは比例関係にあることが分かる。
Ij(k)=A(j,k){cos((2πk/M)+φ(j,k))+1}
である。ここで、A(j,k)は画素位置(j,k)におけるスライス縞画像データの振幅、φ(j,k)は画素位置(j,k)におけるスライス縞画像データの位相のずれである。測定対象物2の凹みによって縞画像に発生する縞のずれの影響は、位相のずれφとして現れる。また、線状レーザ光の振幅は一定であるので、通常、上記振幅Aは一定である。しかし、測定対象物2の表面が汚れているような場合には、かかる汚れ位置に対応する画素位置において振幅Aは急激に減少することがある。このため、上式では、振幅Aを画素位置(j,k)に依存する形で書いている。
LPF(Iaj(k))=(A cosφ)/2
LPF(Ibj(k))=−(A sinφ)/2
である。
A(j,k)=2[{LPF(Ibj(k))}2+{LPF(Iaj(k))}2]1/2
より求めることができる。そして、算出された振幅Aに基づいて振幅画像(輝度画像)を作成する。振幅画像は、例えば振幅が小さいほど画像が黒くなるような濃淡画像で表現される。図11には、振幅算出部510で得られた振幅画像の一例を示す。
10 レーザ装置
20 ロッドレンズ
30 遅延積分型カメラ
40 タイミング信号発生部
50 画像処理装置
60 表示装置
501 A/D変換部
502 プレフィルタ部
503 直交正弦波発生部
504a、504b ローパスフィルタ部
505 位相算出部
506 位相連続化処理部
507 センタリング処理部
508 形状補正処理部
509 欠陥検出処理部
510 振幅算出部
511 エッジ位置検出部
Claims (7)
- 線状レーザ光を測定対象物の表面に照射する照射手段と、前記測定対象物からの反射光を撮像する遅延積分型の撮像手段とを用いて、前記測定対象物に対する前記線状レーザ光の照射位置を連続的にずらしながら、前記撮像手段により前記測定対象物からの反射光を撮像して光切断画像を出力し、前記測定対象物の表面欠陥を検出する表面欠陥検査システムであって、
前記測定対象物は、横断面形状において両端部が低くなる或いは高くなる曲線を有し、
前記撮像手段或いは他の撮像手段により撮像された前記測定対象物を含む輝度画像に基づいて、前記測定対象物のエッジ位置を検出するエッジ位置検出手段と、
前記エッジ位置検出手段で検出されたエッジ位置に基づいて、前記撮像手段で得られた画像にセンタリング処理を行うセンタリング処理手段とを備えたことを特徴とする表面欠陥検査システム。 - 線状レーザ光は周期的に変調されたものであることを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査システム。
- 前記輝度画像は前記撮像手段により撮像されることを特徴とする請求項1又は2に記載の表面欠陥検査システム。
- 前記センタリング処理後の画像に偶関数によるフィッティング処理を施し、そのフィッティング処理後の画像と前記センタリング処理後の画像との差分演算を行う第1の形状補正処理手段を備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の表面欠陥検査システム。
- 前記フィッティング処理後の画像を前記測定対象物の長手方向に所定の長さだけ平均或いは積算し、前記フィッティング処理後の画像との差分演算或いは除算演算を行う第2の形状補正処理手段を備えたことを特徴とする請求項4に記載の表面欠陥検査システム。
- 線状レーザ光を測定対象物の表面に照射する照射手段と、前記測定対象物からの反射光を撮像する遅延積分型の撮像手段とを用いて、前記測定対象物に対する前記線状レーザ光の照射位置を連続的にずらしながら、前記撮像手段により前記測定対象物からの反射光を撮像して光切断画像を出力し、前記測定対象物の表面欠陥を検出する表面欠陥検査方法であって、
前記測定対象物は、横断面形状において両端部が低くなる或いは高くなる曲線を有し、
前記撮像手段或いは他の撮像手段により撮像された前記測定対象物を含む輝度画像に基づいて、前記測定対象物のエッジ位置を検出する手順と、
前記検出されたエッジ位置に基づいて、前記撮像手段で得られた画像にセンタリング処理を行う手順とを有することを特徴とする表面欠陥検査方法。 - 線状レーザ光を測定対象物の表面に照射する照射手段と、前記測定対象物からの反射光を撮像する遅延積分型の撮像手段とを用いて、前記測定対象物に対する前記線状レーザ光の照射位置を連続的にずらしながら、前記撮像手段により前記測定対象物からの反射光を撮像して光切断画像を出力し、前記測定対象物の表面欠陥を検出するためのプログラムであって、
前記測定対象物は、横断面形状において両端部が低くなる或いは高くなる曲線を有し、
前記撮像手段或いは他の撮像手段により撮像された前記測定対象物を含む輝度画像に基づいて、前記測定対象物のエッジ位置を検出する手順と、
前記検出されたエッジ位置に基づいて、前記撮像手段で得られた画像にセンタリング処理を行う手順とをコンピュータに実行させるためのプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007100893A JP5194529B2 (ja) | 2007-04-06 | 2007-04-06 | 表面欠陥検査システム、方法及びプログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007100893A JP5194529B2 (ja) | 2007-04-06 | 2007-04-06 | 表面欠陥検査システム、方法及びプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008256616A true JP2008256616A (ja) | 2008-10-23 |
JP5194529B2 JP5194529B2 (ja) | 2013-05-08 |
Family
ID=39980316
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007100893A Active JP5194529B2 (ja) | 2007-04-06 | 2007-04-06 | 表面欠陥検査システム、方法及びプログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5194529B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010237008A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Toyota Central R&D Labs Inc | 高温物体の形状計測装置及び形状計測方法 |
JP2010243263A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Nippon Steel Corp | 帯状体の表面検査装置、表面検査方法及びプログラム |
CN102175604A (zh) * | 2011-01-19 | 2011-09-07 | 西安交通大学 | 一种韧性材料二维局部微缺陷群体损伤的测量方法 |
JP2012194108A (ja) * | 2011-03-17 | 2012-10-11 | Toyota Central R&D Labs Inc | 被計測体の表面異常識別装置 |
JP2014052203A (ja) * | 2012-09-05 | 2014-03-20 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | 平面形状測定装置 |
JP2014119270A (ja) * | 2012-12-13 | 2014-06-30 | Panasonic Corp | 光学式計測装置 |
JP2016070875A (ja) * | 2014-10-01 | 2016-05-09 | Jfeスチール株式会社 | 鋼材表面検査装置及びその方法 |
CN107101651A (zh) * | 2017-05-23 | 2017-08-29 | 西安交通大学 | 一种基于等效m积分的材料损伤面积标定方法 |
CN108234892A (zh) * | 2016-12-15 | 2018-06-29 | 松下知识产权经营株式会社 | 摄像装置及摄像方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5910710B1 (ja) * | 2014-12-02 | 2016-04-27 | Jfeスチール株式会社 | 熱間プレス成形品の評価方法及び製造方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06241740A (ja) * | 1993-02-17 | 1994-09-02 | Nippon Steel Corp | 電縫管溶接ビード切削不良・欠陥検出方法 |
JPH1114557A (ja) * | 1997-06-25 | 1999-01-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | 硬貨認識装置 |
JPH11160046A (ja) * | 1997-11-25 | 1999-06-18 | Matsushita Electric Works Ltd | 外観検査方法 |
JP2002005846A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Tokimec Inc | 欠陥検査装置 |
JP2002174600A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-21 | Nippon Steel Corp | 鋼板の表面疵検出装置、検出方法及び記憶媒体 |
JP2003322516A (ja) * | 2002-04-30 | 2003-11-14 | Ricoh Co Ltd | 形状測定方法及び形状測定装置 |
JP2004003930A (ja) * | 2002-04-04 | 2004-01-08 | Nippon Steel Corp | 光学的形状測定装置及び光学的形状測定方法 |
JP2005030812A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Nippon Steel Corp | 鋼板表面の検査方法、システム、画像処理装置、及びコンピュータプログラム |
JP2006284193A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Alps Electric Co Ltd | 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 |
JP2006292503A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 |
-
2007
- 2007-04-06 JP JP2007100893A patent/JP5194529B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06241740A (ja) * | 1993-02-17 | 1994-09-02 | Nippon Steel Corp | 電縫管溶接ビード切削不良・欠陥検出方法 |
JPH1114557A (ja) * | 1997-06-25 | 1999-01-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | 硬貨認識装置 |
JPH11160046A (ja) * | 1997-11-25 | 1999-06-18 | Matsushita Electric Works Ltd | 外観検査方法 |
JP2002005846A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Tokimec Inc | 欠陥検査装置 |
JP2002174600A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-21 | Nippon Steel Corp | 鋼板の表面疵検出装置、検出方法及び記憶媒体 |
JP2004003930A (ja) * | 2002-04-04 | 2004-01-08 | Nippon Steel Corp | 光学的形状測定装置及び光学的形状測定方法 |
JP2003322516A (ja) * | 2002-04-30 | 2003-11-14 | Ricoh Co Ltd | 形状測定方法及び形状測定装置 |
JP2005030812A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Nippon Steel Corp | 鋼板表面の検査方法、システム、画像処理装置、及びコンピュータプログラム |
JP2006284193A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Alps Electric Co Ltd | 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 |
JP2006292503A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010237008A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Toyota Central R&D Labs Inc | 高温物体の形状計測装置及び形状計測方法 |
JP2010243263A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Nippon Steel Corp | 帯状体の表面検査装置、表面検査方法及びプログラム |
CN102175604A (zh) * | 2011-01-19 | 2011-09-07 | 西安交通大学 | 一种韧性材料二维局部微缺陷群体损伤的测量方法 |
JP2012194108A (ja) * | 2011-03-17 | 2012-10-11 | Toyota Central R&D Labs Inc | 被計測体の表面異常識別装置 |
JP2014052203A (ja) * | 2012-09-05 | 2014-03-20 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | 平面形状測定装置 |
JP2014119270A (ja) * | 2012-12-13 | 2014-06-30 | Panasonic Corp | 光学式計測装置 |
JP2016070875A (ja) * | 2014-10-01 | 2016-05-09 | Jfeスチール株式会社 | 鋼材表面検査装置及びその方法 |
CN108234892A (zh) * | 2016-12-15 | 2018-06-29 | 松下知识产权经营株式会社 | 摄像装置及摄像方法 |
CN107101651A (zh) * | 2017-05-23 | 2017-08-29 | 西安交通大学 | 一种基于等效m积分的材料损伤面积标定方法 |
CN107101651B (zh) * | 2017-05-23 | 2020-08-18 | 西安交通大学 | 一种基于等效m积分的材料损伤面积标定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5194529B2 (ja) | 2013-05-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5194529B2 (ja) | 表面欠陥検査システム、方法及びプログラム | |
JP5347418B2 (ja) | 表面欠陥検査システム、方法及びプログラム | |
TWI306814B (en) | Image-processing based trolley wire wear measurement apparatus,image-processing based trolley wire wear measurement method and image-processing based trolley wire wear inspector vehicle | |
JP2017187348A (ja) | 表面欠陥検査システム、方法及びプログラム | |
JP5561178B2 (ja) | 表面欠陥検査装置、表面欠陥検査方法及びプログラム | |
WO2010016137A1 (ja) | 検査システム | |
JP2009139248A (ja) | 欠陥検出光学系および欠陥検出画像処理を搭載した表面欠陥検査装置 | |
JP5418378B2 (ja) | 表面欠陥検査装置、表面欠陥検査方法及びプログラム | |
JP4235046B2 (ja) | 鋼板表面の検査方法、システム、画像処理装置、及びコンピュータプログラム | |
JP3845354B2 (ja) | 光学的形状測定装置及び光学的形状測定方法 | |
JP4680640B2 (ja) | 画像入力装置および画像入力方法 | |
JP5347661B2 (ja) | 帯状体の表面検査装置、表面検査方法及びプログラム | |
JP2008281493A (ja) | 表面欠陥検査システム、方法及びプログラム | |
JP7010213B2 (ja) | 円筒体表面検査装置および円筒体表面検査方法 | |
JP2012127675A (ja) | 表面形状の評価方法および評価装置 | |
JP2021056183A (ja) | ワークの表面欠陥検出装置及び検出方法、ワークの表面検査システム並びにプログラム | |
JP4495327B2 (ja) | 欠陥検出装置及び方法 | |
JP2010085165A (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP4549838B2 (ja) | 光沢度測定方法および装置 | |
JP5151136B2 (ja) | 形状測定装置 | |
JP2009222611A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP4797568B2 (ja) | スラブ縦割れ検出方法および装置 | |
JP2715897B2 (ja) | Icの異物検査装置及び方法 | |
JP3340879B2 (ja) | 表面欠陥検出方法および装置 | |
JP4815796B2 (ja) | 欠陥検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090916 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110811 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110816 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111014 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121009 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121206 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5194529 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |