JP2008247031A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8328331B2 (en) * 2010-03-19 2012-12-11 Xerox Corporation Ink jet print head plate
WO2011149469A1 (en) * 2010-05-27 2011-12-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Printhead and related methods and systems
US8567913B2 (en) * 2010-06-02 2013-10-29 Xerox Corporation Multiple priming holes for improved freeze/thaw cycling of MEMSjet printing devices
EP2617076B1 (en) * 2010-09-15 2014-12-10 Ricoh Company, Limited Electromechanical transducing device and manufacturing method thereof
US9096062B2 (en) * 2011-08-01 2015-08-04 Xerox Corporation Manufacturing process for an ink jet printhead including a coverlay
US9421772B2 (en) 2014-12-05 2016-08-23 Xerox Corporation Method of manufacturing ink jet printheads including electrostatic actuators

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10157104A (ja) * 1996-11-28 1998-06-16 Tec Corp インクジェットプリンタヘッド
US6648453B2 (en) * 1997-07-15 2003-11-18 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet printhead chip with predetermined micro-electromechanical systems height
JP3659811B2 (ja) 1998-08-07 2005-06-15 株式会社リコー インクジェットヘッド
JP2001072073A (ja) 1999-08-31 2001-03-21 Yoshino Kogyosho Co Ltd 計量具
JP3796394B2 (ja) * 2000-06-21 2006-07-12 キヤノン株式会社 圧電素子の製造方法および液体噴射記録ヘッドの製造方法
JP2002052705A (ja) 2000-08-04 2002-02-19 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法および当該ヘッドを用いた画像形成装置
JP4070175B2 (ja) 2000-09-29 2008-04-02 株式会社リコー 液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置
US6568794B2 (en) * 2000-08-30 2003-05-27 Ricoh Company, Ltd. Ink-jet head, method of producing the same, and ink-jet printing system including the same
JP4039799B2 (ja) 2000-11-06 2008-01-30 株式会社リコー 液滴吐出ヘッド、画像形成装置及び液滴を吐出する装置
JP3963341B2 (ja) 2000-08-30 2007-08-22 株式会社リコー 液滴吐出ヘッド
US6705708B2 (en) * 2001-02-09 2004-03-16 Seiko Espon Corporation Piezoelectric thin-film element, ink-jet head using the same, and method for manufacture thereof
JP4088817B2 (ja) * 2001-02-09 2008-05-21 セイコーエプソン株式会社 圧電体薄膜素子の製造方法、これを用いたインクジェットヘッド
JP3828116B2 (ja) * 2003-01-31 2006-10-04 キヤノン株式会社 圧電体素子
JP3479530B2 (ja) * 2003-05-14 2003-12-15 ブラザー工業株式会社 インクジェットヘッドの形成方法
WO2005037558A2 (en) * 2003-10-10 2005-04-28 Dimatix, Inc. Print head with thin membrane
WO2006047326A1 (en) * 2004-10-21 2006-05-04 Fujifilm Dimatix, Inc. Sacrificial substrate for etching
JP4654458B2 (ja) * 2004-12-24 2011-03-23 リコープリンティングシステムズ株式会社 シリコン部材の陽極接合法及びこれを用いたインクジェットヘッド製造方法並びにインクジェットヘッド及びこれを用いたインクジェット記録装置
JP4259509B2 (ja) * 2004-12-27 2009-04-30 セイコーエプソン株式会社 静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び静電デバイス並びにそれらの製造方法
JP2006187934A (ja) 2005-01-06 2006-07-20 Seiko Epson Corp 静電アクチュエータ及びその製造方法、液滴吐出ヘッド及びその製造方法、液滴吐出装置並びにデバイス
US7625073B2 (en) 2005-06-16 2009-12-01 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head and recording device
JP5087824B2 (ja) * 2005-07-25 2012-12-05 富士ゼロックス株式会社 圧電素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置
US7993969B2 (en) * 2006-08-10 2011-08-09 Infineon Technologies Ag Method for producing a module with components stacked one above another

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