JP2008242332A - 反射光学素子及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反射光学素子1は、基板SBと、該基板上に積層された誘電体多層膜12とを有する。誘電体多層膜は、基板側から順に、互いに屈折率が異なる2以上の誘電体層a,bが4層以上積層されて構成された、第1の周期長を有する第1の積層群10と、互いに屈折率が異なる2以上の誘電体層が4層以上積層されて構成された、第1の周期長より長い第2の周期長を有する第2の積層群11とを含む。
【選択図】図1
Description
k1λ0/4<k2λ0/4<…kiλ0/4…<knλ0/4 …(1)
を満足するとよい。ただし、kmin≦k1<k2<…ki…<kn≦kmax、1≦i≦n、n≧2、knは正の数、iは正の整数である。
12 誘電体多層膜
a 低屈折率層
b 高屈折率層
100 露光装置
110 照明装置
112 光源
114 照明光学系
120 投影光学系
140 アライメント機構
141 アライメント光源
144 検出器
RT レチクル
GS 被処理体
AM1、AM2 アライメントマーク
PR フォトレジスト
Claims (6)
- 基板と、
該基板上に積層された誘電体多層膜とを有し、
前記誘電体多層膜は、前記基板側から順に、
互いに屈折率が異なる2以上の誘電体層が4層以上積層されて構成された、第1の光学膜厚換算周期長を有する第1の積層群と、
互いに屈折率が異なる2以上の誘電体層が4層以上積層されて構成された、前記第1の光学膜厚換算周期長より長い第2の光学膜厚換算周期長を有する第2の積層群とを含むことを特徴とする反射光学素子。 - 該反射光学素子の設計中心波長をλ0とするとき、
前記4層以上の各誘電体層は、λ0/4の整数倍とは異なる光学膜厚を有することを特徴とする請求項1に記載の反射光学素子。 - 前記誘電体多層膜は、それぞれ前記第1及び第2の積層群の関係を有する積層群の組を複数含み、
該反射光学素子に入射する光のうち少なくとも一部の波長範囲が2kminλ0/4以上2kmaxλ0/4以下である場合において、前記複数組の積層群を構成する積層群であって光学膜厚換算周期長がkminλ0/4以上kmaxλ0/4以下である複数の特定積層群は以下の条件を満足することを特徴とする請求項1又は2に記載の反射光学素子。
前記特定積層群の光学膜厚換算周期長は、基板側の特定積層群から順に、
k1λ0/4<k2λ0/4<…kiλ0/4…<knλ0/4
ただし、kmin≦k1<k2<…ki…<kn≦kmax、1≦i≦n、n≧2、knは正の数、iは正の整数である。 - 露光光を、請求項1から3のいずれか1つに記載の反射光学素子を含む投影光学系を介して被処理体に照射することにより、該被処理体を露光することを特徴とする露光装置。
- 光源からの照明光でレチクルを照明する照明光学系と、
前記レチクルのパターンを前記被処理体に投影する前記投影光学系と、
前記レチクルと前記被処理体との位置を合わせるアライメント機構とを有することを特徴とする請求項4に記載の露光装置。 - 請求項4又は5に記載の露光装置を用いて被処理体を露光する工程と、
露光された前記被処理体を現像する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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