JP2013529318A - 誘電体コーティングされたミラー - Google Patents
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Abstract
基板(3)上に誘電体コーティング(2)を有し、エタロンへの利用が提案されるミラーであって、誘電体コーティング(2)は、基板上に高屈折率酸化物層(41)および低屈折率酸化物層(42)が交互に配置される第1積層(4)と、該第1積層(4)の上にフッ化物層(52)および酸化物層(51)が交互に配置された第2の積層(5)との、ちょうど2つの積層を有し、フッ化物層(52)の層数が誘電体コーティング(2)の全層数に対する割合として、0.45未満である。
【選択図】図1
Description
2 誘電体コーティング
3 基板
4 酸化物積層
5、5A、5B、5C 酸化物−フッ化物混合積層
41 高屈折率酸化物層
42 低屈折率酸化物層
51、501、511、521、522 酸化物層
52、502、512、523 フッ化物層
60 エタロン
61 誘電体ミラー
62 基板
63 誘電体コーティング
64 スペーサー
65 空隙
66 入射する部分光線
67 出現する部分光線
68 干渉パターン
Claims (11)
- 基板(3)上に、誘電体コーティング(2)を有するミラーであって、
前記誘電体コーティング(2)は、ちょうど2つの積層(4、5)であって、前記基板上に高屈折率酸化物層(41)および低屈折率酸化物層(42)が交互に配置される第1積層(4)と、該第1積層(4)の上にフッ化物層(52、512、502、523)および酸化物層(51、511、501、521、522)が交互に配置される第2積層(5、5A、5B、5C)とを有し、
フッ化物層(52、512、502、523)の層数が、前記誘電体コーティング(2)の全層数に対する割合として、0.45未満であるミラー。 - 吸収率が2%未満である、請求項1に記載のミラー。
- 最大反射率が93%以上97%以下である、請求項1または2に記載のミラー。
- 石英ガラスでできた基板を有する、請求項1から3のいずれか1項に記載のミラー。
- 前記第2積層(5、5A、5B、5C)の前記フッ化物層(52、512、502、523)は、低屈折率フッ化物からなる、請求項1から4のいずれか1項に記載のミラー。
- フッ化物層(52、512、502、523)として、フッ化マグネシウムを有し、酸化物層(51、511、501、521、522)として、酸化アルミニウムおよび/または二酸化ケイ素を有する、請求項1から5のいずれか1項に記載のミラー。
- 前記第2積層(5)は2つの下位積層(5A、5B)を有し、第1下位積層(5A)はフッ化物層(502、512)と第1酸化物層(501)とを交互に有し、第2下位積層(5B)は前記フッ化物層(502、512)と第2酸化物層(511)とを交互に有する、請求項1から6のいずれか1項に記載のミラー。
- 前記第2積層(5)は2つの下位積層(5C、5B)を有し、第1下位積層(5C)はフッ化物層(523、512)と2つの酸化物層(512、522)とを交互に有し、第2下位積層(5B)は前記フッ化物層(523、512)と前記2つの酸化物層(521、522)のどちらか一方とを交互に有する、請求項1から6のいずれか1項に記載のミラー。
- 前記誘電体コーティング(2)は、前記第1積層(4)と前記第2積層(5、5A、5B、5C)とで構成される、請求項1から8のいずれか1項に記載のミラー。
- 基板(3)から最も離れている前記層(51、511)として、酸化アルミニウム層を有する、請求項1から9のいずれか1項に記載のミラー。
- 請求項1から10に記載のいずれか1項に記載の、2枚の平面平行のミラー(61)を具えるエタロン。
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