JP2008241935A - グレーマスク及びグレーマスク用パターン製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この製造方法は:相互に同じ長さと幅を有し、夫々が幅方向に等ピッチで配置された複数の直角四辺形パターン10a〜10iを含むグループ10A〜10Iを、夫々のパターンの長さ及び幅そして上記ピッチの少なくとも一方を変えて複数準備する工程と;所定部位の所望の光透過率と配光特性になるよう、夫々に含まれる複数のパターンのピッチが同じであって夫々に含まれる複数のパターンの夫々の幅が異なる複数のグループが、夫々に含まれる複数のパターンの長さ方向中心線CLを合致されて上記長さ方向に組み合わされ、前記長さ方向に組み合わせる相互に隣接した2つのグループの夫々の複数のパターンを前記長さ方向に相互に接触もしくはオーバーラップさせる工程と;を含む。
【選択図】 図2
Description
Claims (4)
- 相互に同じ長さと幅を有し夫々の中心が前記中心を通る夫々の長さ方向中心線に対し直交する幅方向に相互に等間隔のピッチで配置された複数の直角四辺形のパターンを含んでいて、夫々のパターンの長さ及び幅そして上記ピッチの少なくとも一つを変えた複数のパターングループの中から選択された、夫々に含まれる複数のパターンの前記幅方向におけるピッチが同じであって夫々に含まれる複数のパターンの夫々の幅が異なる複数のパターングループが、所定の部位において求められる光透過率と配光特性になるように、夫々に含まれる複数のパターンの長さ方向の中心線を合致されて上記長さ方向に組み合わされるとともに、前記長さ方向に組み合わせる相互に隣接したパターングループの夫々が含む複数のパターンが前記長さ方向に相互に接触もしくはオーバーラップされている、ことを特徴とするグレーマスク。
- 前記長さ方向に組み合わされた複数のパターングループにおいては、前記長さ方向に相互に接した複数のパターンの幅が前記長さ方向に沿い周期的に変化するのに応じ、幅方向に隣接するパターン間の間隔が周期的に変化している、ことを特徴とする請求項1に記載のグレーマスク。
- 相互に同じ長さと幅を有し、夫々の中心が前記中心を通る夫々の長さ方向中心線に対し直交する幅方向に相互に等間隔のピッチで配置された複数の直角四辺形のパターンを含むパターングループを、夫々のパターンの長さ及び幅そして上記ピッチの少なくとも一つを変えて複数準備するパターングループ準備工程と;そして、
所定の部位において求められる光透過率と配光特性になるように、夫々に含まれる複数のパターンの前記幅方向におけるピッチが同じであって夫々に含まれる複数のパターンの夫々の幅が異なる複数のパターングループが、夫々に含まれる複数のパターンの長さ方向の中心線を合致されて上記長さ方向に組み合わされるとともに、前記長さ方向に組み合わせる相互に隣接したパターングループの夫々が含む複数のパターンを前記長さ方向に相互に接触もしくはオーバーラップさせる、パターングループ組み合わせ工程と;
を備えることを特徴とするグレーマスク用パターン製造方法。 - 上記パターングループ組み合わせ工程では、前記長さ方向に組み合わされた複数のパターングループにおいて前記長さ方向に相互に接した複数のパターンの幅が前記長さ方向に沿い周期的に変化するのに応じ、幅方向に隣接するパターン間の間隔が周期的に変化している、ことを特徴とする請求項3に記載のグレーマスク用パターン製造方法。
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