JP2022103021A - フォトマスク、フォトマスクの製造方法、表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の一実施形態について、詳細に説明する。図1は、本実施形態におけるフォトマスク1Aの構成を示す平面図である。図2の(a)は、フォトマスク1Aのパターン形成領域Aに形成されたパターンデザインを示す図であり、図2の(b)は、透明基板2に対して垂直な平面で切断したフォトマスク1Aの断面図である。なお、図2の(b)は、後述する1つのパターン形成領域Aの周辺を拡大した断面図である。
実施形態1のフォトマスク1Aのパターン形成領域Aの変形例について説明する。図8の(a)は、本変形例におけるパターン形成領域Aを示す平面図であり、図8の(b)は、本変形例のフォトマスク1Aを介してフォトレジスト膜20に対して光を照射させたときのフォトレジスト膜20に照射される光の強度を示す図であり、図8の(c)は、本変形例のフォトマスク1Aを介してフォトレジスト膜20に対して露光し、現像した後のフォトレジスト膜20の形状を示す図である。
実施形態1のフォトマスク1Aのパターン形成領域Aの更なる変形例について説明する。図9の(a)は、本変形例におけるパターン形成領域Aを示す平面図であり、図9の(b)は、本変形例のフォトマスク1Aを介してフォトレジスト膜20に対して光を照射させたときのフォトレジスト膜20に照射される光の強度を示す図であり、図9の(c)は、本変形例のフォトマスク1Aを介してフォトレジスト膜20に対して露光し、現像した後のフォトレジスト膜20の形状を示す図である。
実施形態1のフォトマスク1Aのパターン形成領域Aの更なる変形例について説明する。図10の(a)は、本変形例におけるパターン形成領域Aを示す平面図であり、図10の(b)は、本変形例のフォトマスク1Aを介してフォトレジスト膜20に対して光を照射させたときのフォトレジスト膜20に照射される光の強度を示す図であり、図10の(c)は、本変形例のフォトマスク1Aを介してフォトレジスト膜20に対して露光し、現像した後のフォトレジスト膜20の形状を示す図である。
実施形態1のフォトマスク1Aのパターン形成領域Aの更なる変形例について説明する。図11の(a)は、本変形例におけるパターン形成領域Aを示す平面図であり、図11の(b)は、本変形例のフォトマスク1Aを介してフォトレジスト膜20に対して光を照射させたときのフォトレジスト膜20に照射される光の強度を示す図であり、図11の(c)は、本変形例のフォトマスク1Aを介してフォトレジスト膜20に対して露光し、現像した後のフォトレジスト膜20の形状を示す図である。
実施形態1のフォトマスク1Aのパターン形成領域Aの更なる変形例について説明する。図12の(a)は、本変形例におけるパターン形成領域Aを示す平面図である。図12の(b)は、本変形例のフォトマスク1Aを介してフォトレジスト膜20に対して光を照射させたときのフォトレジスト膜20に照射される光の強度を示す図であり、図12の(c)は、本変形例のフォトマスク1Aを介してフォトレジスト膜20に対して露光し、現像した後のフォトレジスト膜20の形状を示す図である。
実施形態1のフォトマスク1Aのパターン形成領域Aの更なる変形例について説明する。図13の(a)は、本変形例におけるパターン形成領域Aを示す平面図である。図13の(b)は、本変形例のフォトマスク1Aを介してフォトレジスト膜20に対して光を照射させたときのフォトレジスト膜20に照射される光の強度を示す図であり、図13の(c)は、本変形例のフォトマスク1Aを介してフォトレジスト膜20に対して露光し、現像した後のフォトレジスト膜20の形状を示す図である。
実施形態1のフォトマスク1Aのパターン形成領域Aの更なる変形例について説明する。図14の(a)は、本変形例のフォトマスク1Aのパターン形成領域Aに形成されたパターンデザインを示す平面図であり、図14の(b)は、透明基板2に対して垂直な平面で切断した、本変形例のフォトマスク1Aの断面図である。図15の(a)は、本変形例のフォトマスク1Aを介してフォトレジスト膜20に対して光を照射させたときのフォトレジスト膜20に照射される光の強度を示す図であり、図15の(b)は、本変形例のフォトマスク1Aを介してフォトレジスト膜20に対して露光し、現像した後のフォトレジスト膜20の形状を示す図である。
T=T0×exp(-4πkz/λ) ・・・(1)
上記式(1)において、Tは透過率、T0は基板ガラス(すなわち、透明基板2)および半透過膜の光学的性質より一意的に決まる値、λは露光光の波長、kは半透過膜の消衰係数、zは半透過膜の膜厚である。上記式(1)に示すように、T0、λ、kが一定の場合、半透過膜が複数層積層された領域における透過率は、半透過膜の膜厚によって定まる。第9工程R9では、上記式(1)から算出される透過率が第4半透過部94の透過率となるように、成膜する半透過膜の膜厚が設定される。なお、第4半透過部94は1層の半透過膜3により構成されるため、上記式(1)におけるλは第9工程R9において成膜される半透過膜3の膜厚となる。第9工程R9において形成された第4半透過部94の透過率が、本変形例におけるフォトマスク1Aの透過率の基準となる。
本発明の他の実施形態について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
上記いずれかの実施形態または変形例として説明したフォトマスクは、遮光膜5と半透過膜3との透過率の差、遮光膜5と半透過膜3との面積比による透過率差などを利用するものであったが、本発明のフォトマスクはこれに限られず、半透過膜3に代えて、または、半透過膜3と併用して位相シフト膜を適用することも可能である。位相シフト膜の適用は、透明基板2に対する位相シフト膜の位相差、および、位相シフト膜の透過率を調整するとともに、位相効果を適用する領域を設定することにより可能となる。
上述の各実施形態では、パターン形成領域Aが円形状となっているフォトマスクについて説明したが、本発明のフォトマスクはこれに限られず、上記表示装置の各画素の形状に合わせてパターン形成領域Aを所望の形状とすることができる。これについて、図23を参照しながら説明する。
本発明の一態様のフォトマスクは、パターン形成領域Aが楕円形であってもよい。これについて、図24を参照しながら説明する。
以上の説明では、本発明のフォトマスクを介してポジ型のフォトレジスト膜に対して露光を行うことにより、被転写基板に対して凸形状のレジスト形状を形成する構成について説明したが、本発明のフォトマスクは、ネガ型のフォトレジスト膜に対して用いることもできる。この場合、形成されるレジスト形状は、被転写基板に対して凹形状となる。当該凹形状は、外縁部が緩やかに傾斜した形状を有するものとなる。当該構成について以下に詳細に説明する。
上述の各実施形態では、中央から外側に向かうにつれてフォトレジスト膜20に照射される光の強度が大きくなるようにパターン形成領域Aが形成されているフォトマスクについて説明したが、本発明のフォトマスクはこれに限られない。本発明の一態様のフォトマスクは、中央から外側に向かうにつれてフォトレジスト膜20に照射される光の強度が小さくなるようにパターン形成領域Aが形成されている構成であってもよい。これについて、図26を用いて説明する。
実施形態5では、パターン形成領域Aの中央部に透光領域を有し、当該透光領域を取り囲むように非重畳領域が形成されている、ボトム型のフォトマスク1Eについて説明したが、本発明のフォトマスクはこれに限られない。本発明の一態様のフォトマスクは、パターン形成領域Aの中央部に透光領域を有し、当該透光領域を取り囲むように非重畳領域が形成されている、トップ型のフォトマスクであってもよい。これについて以下に詳細に説明する。
実施形態6のフォトマスク1Fのパターン形成領域Aの変形例について説明する。図36は、本変形例におけるパターン形成領域Aを示す平面図である。図36に示すように、本変形例では、パターン形成領域Aを平面視した場合、半透過膜3および遮光膜5が存在していない矩形の透光部85と、半透過膜3に遮光膜5が重畳していない矩形の非重畳領域11とが交互に配置されているチェック柄領域12が形成されている。また、本変形例では、チェック柄領域12の外周に、半透過膜3に遮光膜5が重畳していない領域が形成されている。すなわち、本変形例のパターン形成領域Aは、(1)半透過膜3および遮光膜5が存在していない透光部85と、半透過膜3に遮光膜5が重畳していない非重畳領域11とを含む混在領域と、(2)前記混在領域の外縁に形成され、半透過膜3に遮光膜5が重畳していない非混在領域とを有している。本変形例における第1領域D1は、チェック柄領域12の内部に存在し、かつ、パターン形成領域Aの中央部に位置する矩形の透光部85を少なくとも含むように設定される。すなわち、第1領域D1は、パターン形成領域Aの中央部に位置する透光部85のみを含む領域であってもよいし、当該透光部85とその周囲の非重畳領域11とを含む領域であってもよい。本変形例における第2領域D2は、チェック柄領域12の外側の領域、すなわちパターン形成領域Aの外縁部に形成された非重畳領域11内に設定される。
実施形態6のフォトマスク1Fのパターン形成領域Aの更なる変形例について説明する。図37は、本変形例におけるパターン形成領域Aを示す平面図である。図37に示すように、本変形例では、パターン形成領域Aを平面視した場合、パターン形成領域Aの中央領域14において、半透過膜3および遮光膜5が存在していない透光部85が形成されている。また、本変形例では、半透過膜3および遮光膜5が存在していない透光部85と、半透過膜3に遮光膜5が重畳していない複数の非重畳領域11とを有する領域15が中央領域14の外側に形成されている。領域15では、非重畳領域11が外縁部に向かうにつれて面積が大きくなるように形成されている。また、領域15の外周には、半透過膜3に遮光膜5が重畳していない領域が形成されている。本変形例における第1領域D1は、中央領域14の内部に設定される。本変形例における第2領域D2は、領域15の外側の領域、すなわちパターン形成領域Aの外縁部に形成された非重畳領域11内に設定される。
実施形態6のフォトマスク1Fのパターン形成領域Aの更なる変形例について説明する。図38は、本変形例におけるパターン形成領域Aを示す平面図である。図38に示すように、本変形例では、パターン形成領域Aを平面視した場合、パターン形成領域Aの中央部は、半透過膜3および遮光膜5が存在していない矩形の透光部85と、半透過膜3に遮光膜5が重畳されていない矩形の非重畳領域11とが交互に配置されている。また、矩形の透光部85と矩形の非重畳領域11とが交互に配置されている領域の外側には、半透過膜3のみが存在している領域が形成されている。さらに、半透過膜3のみが存在している領域の外縁部には、遮光膜5と半透過膜3とが重畳している複数の矩形の重畳領域86が形成されている。本変形例における第1領域D1は、透光部85と非重畳領域11とが交互に配置された領域であって、かつ、少なくとも一部に透光部85を含む領域となるように設定される。本変形例における第2領域D2は、パターン形成領域Aの外縁部に形成された領域であって、少なくとも一部に重畳領域86を含むように設定される。
実施形態6のフォトマスク1Fのパターン形成領域Aの更なる変形例について説明する。図39は、本変形例におけるパターン形成領域Aを示す平面図である。図39に示すように、本変形例では、パターン形成領域Aを平面視した場合、パターン形成領域Aの中央領域17において、半透過膜3および遮光膜5が存在していない透光部85が形成されている。また、本変形例では、中央領域17からパターン形成領域Aの外縁部に向けて透光部85が放射状に延びる放射状領域87が形成されている。放射状領域87は、パターン形成領域Aの外縁部に向かうにつれて幅が狭くなっている。本変形例における第1領域D1は、中央領域17の内部に設定される。本変形例における第2領域D2は、パターン形成領域Aの外縁部の領域であって、少なくとも一部に非重畳領域11を含むように設定される。すなわち、本変形例のパターン形成領域Aは、(1)半透過膜3および遮光膜5が存在していない非混在領域(透光部85)と、(2)前記非混在領域の外縁に形成され、半透過膜3および遮光膜5が存在していない領域と、半透過膜3に遮光膜5が重畳していない非重畳領域とを含む混在領域78とを有している。
実施形態6のフォトマスク1Fのパターン形成領域Aの更なる変形例について説明する。図40は、本変形例におけるパターン形成領域Aを示す平面図である。図40に示すように、本変形例では、パターン形成領域Aを平面視した場合、パターン形成領域Aの中央領域88において、半透過膜3および遮光膜5が存在していない透光部85が形成されている。また、本変形例では、中央領域88からパターン形成領域Aの外縁部に向けて透光部が渦巻き状に延びる渦巻き状領域89が形成されている。複数の渦巻き状領域89の間には、非重畳領域11が形成されている。渦巻き状領域89は、パターン形成領域Aの外縁部に向かうにつれて幅が狭くなる場合もある。本変形例における第1領域D1は、中央領域88の内部に設定される。本変形例における第2領域D2は、パターン形成領域Aの外縁部の領域であって、少なくとも一部に非重畳領域11を含むように設定される。
実施形態6のフォトマスク1Fのパターン形成領域Aの更なる変形例について説明する。図41は、本変形例におけるパターン形成領域Aを示す平面図である。図41に示すように、本変形例では、パターン形成領域Aを平面視した場合、パターン形成領域Aの中央領域102において、半透過膜3および遮光膜5が存在していない透光部85が形成されている。中央領域102の外側には、半透過膜3と遮光膜5とが重畳している重畳領域10と、遮光膜5および半透過膜3が存在していない複数の透光部85とを有する領域103が形成されている。領域103は、重畳領域10がパターン形成領域Aの外側に向かうにつれて面積が大きくなるように形成されている。また、領域103の外周には、第1半透過部100がリング状に形成されている。また、第1半透過部100の外周に第2半透過部101がリング状に形成されている。第1半透過部100は、第2半透過部101よりも透過率が高くなるように設計される。本変形例における第1領域D1は、中央領域102の内部に設定される。本変形例における第2領域D2は、パターン形成領域Aの外縁部に形成された非重畳領域11内に設定される。
実施形態6のフォトマスク1Fのパターン形成領域Aの更なる変形例について説明する。図42は、本変形例のフォトマスクのパターン形成領域Aに形成されたパターンデザインを示す平面図である。図42に示すように、本変形例では、パターン形成領域Aを平面視した場合、パターン形成領域Aの中央領域110において、半透過膜3および遮光膜5が存在していない透光部85が形成されている。中央領域110の外側には、第1半透過部111、第2半透過部112、第3半透過部113、および第4半透過部114がこの順で内側からリング状に形成されている。第1半透過部111、第2半透過部112、第3半透過部113、および第4半透過部114は、半透過膜3で構成されている。第1半透過部111、第2半透過部112、第3半透過部113、および第4半透過部114のうち第1半透過部111の膜厚が最も小さく、第2半透過部112、第3半透過部113、第4半透過部114の順で膜厚が大きくなっている。これにより、第1半透過部111の光の透過率が最も大きくなっており、第2半透過部112、第3半透過部113、第4半透過部114の順で光の透過率が低くなっている。
2 透明基板
3 半透過膜
4 エッチングストッパー膜
5 遮光膜
7、85 透光部
10、86、103 重畳領域
11 非重畳領域
12 チェック柄領域
14、17、70、80、88、90、102、110 中央領域
16 透光性領域
20、84 フォトレジスト膜
30、50 マスクブランクス
40、60 第1フォトレジスト膜
41、61 第2フォトレジスト膜
A パターン形成領域
D1 第1領域
D2 第2領域
Claims (19)
- 少なくとも2つの互いに透過率が異なる領域を含む所定形状を有する複数のパターン形成領域を透明基板上に有しており、
前記パターン形成領域の中央部を含む所定面積の領域を第1領域とし、前記パターン形成領域の外縁部における所定面積の領域を第2領域とし、
前記第1領域内の透過率よりも前記第2領域内の透過率の方が高いまたは低いフォトマスク。 - 第2領域は、前記第1領域に対して同心円状に形成されている請求項1に記載のフォトマスク。
- 前記パターン形成領域を平面視した場合の外縁形状の少なくとも一部には円弧が含まれている請求項1に記載のフォトマスク。
- 前記パターン形成領域は、多角形形状である、請求項1に記載のフォトマスク。
- 前記パターン形成領域は、少なくとも半透過膜のパターンと遮光膜のパターンとが一部重畳するように積層されることによって形成されており、
前記透明基板上に前記パターン形成領域が形成されていない透光部を有しており、
前記第1領域内の透過率よりも前記第2領域内の透過率の方が高い請求項1から4のいずれか1項に記載のフォトマスク。 - 前記パターン形成領域を平面視した場合に、前記半透過膜と前記遮光膜とが重畳している重畳領域が、前記パターン形成領域の中央部から外縁部に向けて放射状または渦巻き状に延びている請求項5に記載のフォトマスク。
- 前記パターン形成領域を平面視した場合に前記半透過膜に前記遮光膜が重畳していない所定の形状を有する複数の非重畳領域を有し、
前記非重畳領域は外縁部に向かうにつれて面積が大きくなるように形成されている請求項5に記載のフォトマスク。 - 前記パターン形成領域を平面視した場合に、前記半透過膜と前記遮光膜とが重畳している矩形の重畳領域と、前記半透過膜に前記遮光膜が重畳していない矩形の非重畳領域とが交互に配置されているチェック柄領域が形成されており、前記チェック柄領域の外周に、前記半透過膜に前記遮光膜が重畳していない領域が形成されている請求項5に記載のフォトマスク。
- 前記パターン形成領域を平面視した場合に前記遮光膜および前記半透過膜が存在していない透光部が前記パターン形成領域の外縁部に形成されている請求項5に記載のフォトマスク。
- 前記パターン形成領域は、透光部と、半透過膜により形成される半透過部とが少なくとも形成されており、
前記パターン形成領域が形成されていない領域には、前記半透過膜と遮光膜とが積層されることによって形成された遮光部が前記透明基板上に形成されており、
前記第1領域内の透過率よりも前記第2領域内の透過率の方が低い請求項1から4のいずれか1項に記載のフォトマスク。 - 前記パターン形成領域を平面視した場合に、前記遮光膜および前記半透過膜が存在していない透光部が前記パターン形成領域の中央部から外縁部に向けて放射状または渦巻き状に延びている請求項10に記載のフォトマスク。
- 前記パターン形成領域を平面視した場合に前記半透過膜に前記遮光膜が重畳していない所定の形状を有する複数の非重畳領域を有し、
前記非重畳領域は外縁部に向かうにつれて面積が大きくなるように形成されている請求項10に記載のフォトマスク。 - 前記パターン形成領域を平面視した場合に、前記遮光膜および前記半透過膜が存在していない透光部と、前記半透過膜に前記遮光膜が重畳していない矩形の非重畳領域とが交互に配置されているチェック柄領域が形成されており、前記チェック柄領域の外周に、前記非重畳領域が形成されている請求項10に記載のフォトマスク。
- 前記パターン形成領域を平面視した場合に前記半透過膜と前記遮光膜とが重畳している重畳領域が前記パターン形成領域の外縁部に形成されている請求項10に記載のフォトマスク。
- 透明基板上に半透過膜による半透過領域と、前記透明基板上に少なくとも前記半透過膜および遮光膜が、前記半透過膜が前記遮光膜よりも前記透明基板側に位置するように積層された積層領域と、前記透明基板が露出する透明領域とを備えたフォトマスクの製造方法であって、
前記透明基板の表面に、少なくとも前記半透過膜および前記遮光膜が、前記半透過膜が前記遮光膜よりも前記透明基板側に位置するように積層されて形成されたマスクブランクスを準備する工程と、
前記マスクブランクスの表面に第1フォトレジスト膜を形成し、前記第1フォトレジスト膜に対して前記第1フォトレジスト膜を描画装置で描画して第1フォトレジストパターンを形成する工程と、
前記第1フォトレジストパターンをマスクとして、前記遮光膜の一部を除去する工程と、
露出した前記半透過膜を除去する工程と、
遮光膜を含む前記フォトマスクの全面に第2フォトレジスト膜を形成し、前記第2フォトレジスト膜に対して描画装置で描画して第2フォトレジストパターンを形成する工程と、
前記第2フォトレジストパターンをマスクとして、前記遮光膜の一部を除去する工程とを含み、
前記遮光膜と前記半透過膜とによって形成されるパターン形成領域の中央部を含む所定面積の領域を第1領域とし、前記パターン形成領域の外周部における所定面積の領域を第2領域としたときに、前記第1領域内の透過率よりも前記第2領域内の透過率の方が高くなるように、前記パターン形成領域を形成する、フォトマスクの製造方法。 - 透明基板上に半透過膜による半透過領域と、前記透明基板上に遮光膜および前記半透過膜がこの順に積層された積層領域と、前記透明基板が露出する透明領域とを備えたフォトマスクの製造方法であって、
透明基板の表面に遮光膜が形成されたマスクブランクスを準備する工程と、
前記マスクブランクスの表面に第1フォトレジスト膜を形成する工程と、
前記第1フォトレジスト膜に対して描画装置で描画して第1フォトレジストパターンを形成する工程と、
前記第1フォトレジストパターンをマスクとして、前記遮光膜の一部を除去する工程と、
前記遮光膜を含む前記フォトマスクの全面に半透過膜を形成する工程と、
前記半透過膜の表面に第2フォトレジスト膜を形成する工程と、
前記第2フォトレジスト膜に対して描画装置で描画して第2フォトレジストパターンを形成する工程と、
前記第2フォトレジストパターンをマスクとして、前記半透過膜の一部を除去する工程とを含み、
前記遮光膜と前記半透過膜とによって形成されるパターン形成領域の中央部を含む所定面積の領域を第1領域とし、前記パターン形成領域の外周部における所定面積の領域を第2領域としたときに、前記第1領域内の透過率よりも前記第2領域内の透過率の方が高くなるように、前記パターン形成領域を形成する、フォトマスクの製造方法。 - 透明基板上に半透過膜による半透過領域と、前記透明基板上に少なくとも前記半透過膜および遮光膜が、前記半透過膜が前記遮光膜よりも前記透明基板側に位置するように積層された積層領域と、前記透明基板が露出する透明領域とを備えたフォトマスクの製造方法であって、
前記透明基板の表面に、少なくとも前記半透過膜および前記遮光膜が、前記半透過膜が前記遮光膜よりも前記透明基板側に位置するように積層されて形成されたマスクブランクスを準備する工程と、
前記マスクブランクスの表面に第1フォトレジスト膜を形成し、前記第1フォトレジスト膜に対して前記第1フォトレジスト膜を描画装置で描画して第1フォトレジストパターンを形成する工程と、
前記第1フォトレジストパターンをマスクとして、前記遮光膜の一部を除去する工程と、
露出した前記半透過膜を除去する工程と、
遮光膜を含む前記フォトマスクの全面に第2フォトレジスト膜を形成し、前記第2フォトレジスト膜に対して描画装置で描画して第2フォトレジストパターンを形成する工程と、
前記第2フォトレジストパターンをマスクとして、前記半透過膜の一部を除去する工程とを含み、
前記遮光膜と前記半透過膜とによって形成されるパターン形成領域の中央部を含む所定面積の領域を第1領域とし、前記パターン形成領域の外周部における所定面積の領域を第2領域としたときに、前記第1領域内の透過率よりも前記第2領域内の透過率の方が低くなるように、前記パターン形成領域を形成する、フォトマスクの製造方法。 - 透明基板上に半透過膜による半透過領域と、前記透明基板上に遮光膜および前記半透過膜がこの順に積層された積層領域と、前記透明基板が露出する透明領域とを備えたフォトマスクの製造方法であって、
透明基板の表面に遮光膜が形成されたマスクブランクスを準備する工程と、
前記マスクブランクスの表面に第1フォトレジスト膜を形成する工程と、
前記第1フォトレジスト膜に対して描画装置で描画して第1フォトレジストパターンを形成する工程と、
前記第1フォトレジストパターンをマスクとして、前記遮光膜の一部を除去する工程と、
前記遮光膜を含む前記フォトマスクの全面に半透過膜を形成する工程と、
前記半透過膜の表面に第2フォトレジスト膜を形成する工程と、
前記第2フォトレジスト膜に対して描画装置で描画して第2フォトレジストパターンを形成する工程と、
前記第2フォトレジストパターンをマスクとして、前記半透過膜の一部を除去する工程とを含み、
前記遮光膜と前記半透過膜とによって形成されるパターン形成領域の中央部を含む所定面積の領域を第1領域とし、前記パターン形成領域の外周部における所定面積の領域を第2領域としたときに、前記第1領域内の透過率よりも前記第2領域内の透過率の方が低くなるように、前記パターン形成領域を形成する、フォトマスクの製造方法。 - 請求項1~14のいずれか1項に記載のフォトマスクを使用して被転写基板に所望のレジスト形状を形成するレジスト形成工程を含む表示装置の製造方法であって、
前記レジスト形成工程は、
前記フォトマスクを介して、レジストに対して露光を行う露光工程と、
露光した前記レジストを現像することにより前記所望のレジスト形状を形成する工程とを含む、表示装置の製造方法。
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