JP2008241495A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】設置台の取替え時期を延ばして、製造費用コストの嵩みを抑え、作業性を向上さ
せることができた、光学装置を検査するための検査装置を提供する。
【解決手段】光学装置４４を設置する光学装置設置部５５を備え、光学装置設置部５５に
は、光学装置４４側に設けられた位置決めピン４９１，４９２と嵌め合う位置決め孔５７
Ａ，５７Ｂが設けられ、この位置決め孔５７Ａ，５７Ｂの周縁部５７Ａ１，５７Ｂ１には
、この周縁部５７Ａ１，５７Ｂ１を保護する補強具５８Ａ，５８Ｂが設けられている。
【選択図】図８

Description

本発明は、プロジェクタに内蔵される光学装置を検査する検査装置に関する。

従来から、光源から射出された光束をダイクロイックミラー等を用いた色分離光学系に
よって三原色の赤、緑、青の色光に分離するとともに、液晶パネル等を用いた３つの光変
調装置により色光毎に画像情報に応じて変調し、画像変調後の各色光をクロスダイクロイ
ックプリズムで合成し、投射レンズを介してカラー画像を拡大投射する、いわゆる三板式
のプロジェクタが知られている。

このようなプロジェクタに用いられる光学装置としては、光変調装置を位置調整した後
、クロスダイクロイックプリズムの光束入射端面に直接固定して一体化させた光学装置が
知られている（例えば、特許文献１参照）。この光学装置の構造としては、四隅に孔が形
成された保持枠に光変調装置を収納し、その孔に接着剤を周囲に塗布したピンを挿入して
、ピンの端面とクロスダイクロイックプリズムの光束入射端面、および、ピンの側面と保
持枠の孔とを相互に接着固定している。

ところで、上述した光学装置を製造するにあたっては、各部の組み付けが終わって、こ
の光学装置を検査する検査工程を有する。この検査工程においては、光学装置を設置させ
る設置台を備えた検査装置が用いられている。その検査装置の設置台に光学装置を設置し
、この光学装置の検査を行う。
この検査工程においては、この光学装置を、設置台に対して正しく位置決めして設置す
ることを要する。そこで、従来では、光学装置に設けられた固定ピン（位置決め用凸部）
を、設置台に設けられた位置決め穴に嵌め合わせることにより、設置台に対して正しく位
置決めしていた。なお、設置台に設けられる位置決め穴は、一般に設置台と一体化して設
けられている。

特開２０００−２２１５８８号公報

一方、上述した検査工程は、一つの検査装置で、多数の光学装置を順次検査する。すな
わち、設置台に設けられた位置決め穴は固定ピンが多数回に亘って嵌め合わせられる。そ
うすると、この位置決め穴は、次第に磨耗して変形してしまう。このように位置決め穴が
変形してしまうと、光学装置を正しい位置に位置決めし設置することが難しくなるので、
正しい位置決め穴を備えた新しい設置台に交換する必要が生じる。この交換は、製造費用
コストも嵩む不具合や、設置台自体の位置決めも要するので作業として煩雑なものとなっ
てしまう不具合をもたらす。

本発明は、このような事情に鑑みなされたものであって、その目的は、設置台に設けら
れていた位置決め穴の寿命を延ばすことにより、設置台の取替え時期を延ばして、製造費
用コストの嵩みを抑え、作業性を向上させることができた、光学装置を検査するための検
査装置を提供することにある。

上述した課題を解決するために、本発明は、以下の手段の検査装置を提供する。
なお、本発明に係る検査装置は、プロジェクタに内蔵される光学装置を検査するための
ものである。この検査装置は、この光学装置の製造工程の一部とされる検査工程をはじめ
、故障が発生しているか否かを検査する適宜の検査工程においても用いてもよい。

すなわち、本発明に係る検査装置は、入射した光束を画像情報に応じて変調する複数の
光変調装置、および前記複数の光変調装置にて変調された光が入射する複数の光束入射側
端面を有し前記変調された各光束を合成する色合成光学装置が一体化された光学装置に用
いられ、前記光学装置に導入され前記光学装置から射出される光束に基づいて前記光学装
置を検査する検査装置であって、前記光学装置は、前記色合成光学装置の前記複数の光束
入射側端面に交差する端面側に取り付けられる台座を備え、前記台座には、位置決め用の
位置決め凸部が形成され、前記検査装置は、前記光学装置を支持する支持面を有し前記光
学装置を所定位置に設置する設置台を備え、前記設置台には、前記光学装置を設置した状
態で、前記位置決め凸部に嵌合する位置決め凹部が形成され、前記支持面における前記位
置決め凹部の周縁部には、前記位置決め凸部を形成する材料より硬い材料を用いた補強部
が設けられていることを特徴とする。

この検査装置によれば、光学装置の台座に形成された位置決め凸部を、設置台に設けら
れた位置決め凹部に嵌め合わせることによって、光学装置を検査装置に備えられた設置台
の適切な位置に位置決めする。ここで、光学装置を支持する支持面における位置決め凹部
の周縁部には、位置決め凸部を形成する材料より硬い材料を用いた補強部が設けられてい
るので、位置決め凸部を位置決め凹部に多数回に亘って嵌め合わせたとしても、補強部に
より、嵌め合わされる位置決め凸部の衝撃や摩擦から、位置決め凹部の周縁部を保護する
ことができ、この位置決め凹部を磨耗変形し難くする。また、補強具自体も、位置決め凸
部を形成する材料より硬いので、磨耗変形し難い。

したがって、設置台に多数の光学装置を設置して順次検査していったとしても、長い期
間に亘って光学装置を適切な位置に位置決めして、適切に検査することができる。また、
設置台も劣化し難くなるので、交換する時期を延ばすことができる。これによって、製造
費用コストの嵩みを抑えることに貢献し、作業性を向上させることに繋がる。

また、上述の検査装置は、前記補強部に、前記位置決め凹部の内周面に沿って延びる筒
部が形成されていることが好ましい。
このように、補強部に、位置決め凹部の内周面に沿って延びる筒部が形成されていると
、嵌め合わされる位置決め凸部の衝撃や摩擦から位置決め凹部の内周面を保護することが
でき、磨耗変形し難くする。

また、上述の検査装置は、前記補強部は、前記位置決め凹部とは別体の部材により構成
されていることが好ましい。
このように、補強部が、位置決め凹部とは別体の部材により構成されていると、従来か
ら使用されていた設置台の位置決め凹部に対して、簡単かつ安価に補強部を設けることが
できる。また、この補強部が劣化してきた場合であっても、設置台をそのままにした状態
で、この補強部を取り替えるだけでよくなる。したがって、取替え作業を簡単にし、さら
に取替えコストも安価なものにする。

また、上述の検査装置は、前記補強部が、金属で構成されていることが好ましい。
このように、補強部が金属で構成されていると、上述した所望の作用効果を得ることが
できながら、この位置決め凹部やその周辺に合致させた形状に成型し易い。特に、選択さ
れる金属としては、成型時に利点から銅が好ましい。

以下、本発明に係る検査装置の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
〔１．プロジェクタの構成〕
図１は、本発明の実施形態に係るプロジェクタ１を上方から見た斜視図である。図２は
、プロジェクタ１を下方から見た斜視図である。
図１および図２において、プロジェクタ１は、略直方体状の外装ケース２を備えている
。外装ケース２は、プロジェクタ１の本体部分を収納する合成樹脂製の筐体であり、アッ
パーケース２１と、ロアーケース２２と、これらのアッパーケース２１、ロアーケース２
２の前方側を跨るように取り付けられるフロントケース２３とを備える。

アッパーケース２１は、図１に示すように、プロジェクタ１の天面、側面、および背面
をそれぞれ構成する上面部２１１、側面部２１２、および背面部２１３を含んで構成され
る。上面部２１１の前方側には、操作パネル２５が設けられている。また、図２に示すよ
うに、アッパーケース２１において、前記操作パネルの後方側には、上面部２１１の後方
側と背面部２１３とを跨る凹部２１Ａが形成されている。この凹部２１Ａから外装ケース
２に収納された回路基板５の一部が外部に露出している。外部に露出する回路基板５の一
部とは、インターフェース部を構成する各種コネクタ５Ａである。これらのコネクタ５Ａ
を介して、プロジェクタ１には、外部機器が接続される。

ロアーケース２２は、図２に示すように、プロジェクタ１の底面、側面、および背面を
それぞれ構成する底面部２２１、側面部２２２、および背面部２２３を含んで構成される
。底面部２２１には、開口部２２１Ｘが形成されている。この矩形状の開口部２２１Ｘに
は、ランプカバー２４が嵌め込み式で着脱可能に設けられている。さらに、底面部２２１
には、外部から冷却空気を吸入するための吸気口２２１Ａ，２２１Ｂが形成されている。

底面部２２１において、後方側の略中央部分には、プロジェクタ１の脚部を構成する後
脚２２Ｒが形成されている。また、底面部２２１における前方側の左右の隅部には、同じ
くプロジェクタ１の脚部を構成する前脚２２Ｆがそれぞれ設けられている。つまり、プロ
ジェクタ１は、後脚２２Ｒおよび２つ前脚２２Ｆにより３点で支持されている。
２つの前脚２２Ｆは、それぞれ上下方向に進退可能に構成されており、プロジェクタ１
の前後方向および左右方向の傾き（姿勢）を調整して、投射画像の位置合わせができるよ
うになっている。

フロントケース２３は、図１に示すように、プロジェクタ１の前面、天面、および側面
をそれぞれ構成する前面部２３１、天面部２３２、および側面部２３３を含んで構成され
る。
フロントケース２３には、前面部２３１および天面部２３２を跨ぐ開口部２３Ａが形成
されている。この開口部２３Ａに対応するように、外装ケース２内部には、投射レンズ４
６が配置されている。この際、開口部２３Ａから投射レンズ４６の一部が外部に露出して
おり、この露出部分の一部であるレバー４６Ａを介して、投射レンズ４６のズーム操作、
フォーカス操作が手動で行えるようになっている。

また、前面部２３１において、前述した開口部２３Ａの反対側の位置には、開口部とし
ての排気口２３Ｂが形成されている。この排気口２３Ｂの内側には、プロジェクタ１内の
空気を誘導する排気ダクト６７が設けられており、排気口２３Ｂには、排気ダクト６７の
排出口が対向している。この排気口２３Ｂには、プロジェクタ１の外部側となる外部ルー
バ２３Ｂ１が形成されている。

このような外装ケース２の側面側には、図１に示すように、アッパーケース２１の側面
部２１２とロアーケース２２の側面部２２２に跨って吸気口２Ａが形成されている。この
吸気口２Ａの内側には、図示しないシロッコファンが設けられている。

図３は、光学ユニット４を模式的に示した平面図である。
光学ユニット４は、図３に示すように、インテグレータ照明光学系４１と、色分離光学
系４２と、リレー光学系４３と、光学装置４４と、投射光学系としての投射レンズ４６と
を備える。

インテグレータ照明光学系４１は、光学装置４４を構成する３枚の液晶パネル４４１（
赤、緑、青の色光毎にそれぞれ液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂとする）の画像
形成領域を略均一に照明するための光学系であり、光源装置４１１と、第１レンズアレイ
４１２と、第２レンズアレイ４１３と、偏光変換素子４１４と、重畳レンズ４１５とを備
える。

光源装置４１１は、放射光源としての光源ランプ４１６と、リフレクタ４１７とを備え
、光源ランプ４１６から射出された放射状の光線をリフレクタ４１７で反射して平行光線
とし、この平行光線を外部へと射出する。
光源ランプ４１６としては、ハロゲンランプを採用している。なお、ハロゲンランプ以
外に、メタルハライドランプや高圧水銀ランプ等も採用できる。
リフレクタ４１７としては、放物面鏡を採用している。なお、放物面鏡の代わりに、平
行化凹レンズおよび楕円面鏡を組みあわせたものを採用してもよい。

第１レンズアレイ４１２は、光軸方向から見てほぼ矩形状の輪郭を有する小レンズがマ
トリクス状に配列された構成を有している。各小レンズは、光源ランプ４１６から射出さ
れる光束を、複数の部分光束に分割している。

第２レンズアレイ４１３は、第１レンズアレイ４１２と略同様な構成を有しており、小
レンズがマトリクス状に配列された構成を有している。この第２レンズアレイ４１３は、
重畳レンズ４１５とともに、第１レンズアレイ４１２の各小レンズの像を液晶パネル４４
１上に結像させる機能を有する。

偏光変換素子４１４は、第２レンズアレイ４１３と重畳レンズ４１５との間に配置され
るとともに、第２レンズアレイ４１３と一体でユニット化されている。このような偏光変
換素子４１４は、第２レンズアレイ４１３からの光を１種類の偏光光に変換するものであ
り、これにより、光学装置４４での光の利用効率が高められている。

具体的に、偏光変換素子４１４によって１種類の偏光光に変換された各部分光は、重畳
レンズ４１５によって最終的に光学装置４４の液晶パネル４４１上にほぼ重畳される。偏
光光を変調するタイプの液晶パネル４４１を用いたプロジェクタ１では、１種類の偏光光
しか利用できないため、他種類のランダムな偏光光を発する光源ランプ４１６からの光の
ほぼ半分が利用されない。このため、偏光変換素子４１４を用いることにより、光源ラン
プ４１６から射出された光束を全て１種類の偏光光に変換し、光学装置４４での光の利用
効率を高めている。

色分離光学系４２は、２枚のダイクロイックミラー４２１，４２２と、反射ミラー４２
３とを備え、ダイクロイックミラー４２１，４２２によりインテグレータ照明光学系４１
から射出された複数の部分光束を赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色の色光に分離する
機能を有している。

リレー光学系４３は、入射側レンズ４３１と、リレーレンズ４３３と、反射ミラー４３
２，４３４とを備え、色分離光学系４２で分離された色光である赤色光を液晶パネル４４
１Ｒまで導く機能を有している。

この際、色分離光学系４２のダイクロイックミラー４２１では、インテグレータ照明光
学系４１から射出された光束の赤色光成分と緑色光成分とが透過するとともに、青色光成
分が反射する。ダイクロイックミラー４２１によって反射した青色光は、反射ミラー４２
３で反射し、フィールドレンズ４１８を通って、青色用の液晶パネル４４１Ｂに到達する
。このフィールドレンズ４１８は、第２レンズアレイ４１３から射出された各部分光束を
その中心軸（主光線）に対して平行な光束に変換する。他の液晶パネル４４１Ｇ，４４１
Ｂの光入射側に設けられたフィールドレンズ４１８も同様である。

また、ダイクロイックミラー４２１を透過した赤色光と緑色光のうちで、緑色光は、ダ
イクロイックミラー４２２によって反射し、フィールドレンズ４１８を通って、緑色用の
液晶パネル４４１Ｇに到達する。一方、赤色光は、ダイクロイックミラー４２２を透過し
てリレー光学系４３を通り、さらにフィールドレンズ４１８を通って、赤色光用の液晶パ
ネル４４１Ｒに到達する。
なお、赤色光にリレー光学系４３が用いられているのは、赤色光の光路の長さが他の色
光の光路の長さよりも長いため、光の拡散等による光の利用効率の低下を防止するためで
ある。すなわち、入射側レンズ４３１に入射した部分光束をそのまま、フィールドレンズ
４１８に伝えるためである。

光学装置４４は、入射された光束を画像情報に応じて変調してカラー画像を形成するも
のであり、色分離光学系４２で分離された各色光が入射される３つの入射側偏光板４４２
と、各入射側偏光板４４２の後段に配置される光変調装置としての液晶パネル４４１Ｒ，
４４１Ｇ，４４１Ｂと、各液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂの後段に配置される
射出側偏光板４４３と、色合成光学装置としてのクロスダイクロイックプリズム４４４と
を備える。

液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂは、例えば、ポリシリコンＴＦＴをスイッチ
ング素子として用いたものである。
光学装置４４において、色分離光学系４２で分離された各色光は、これら３枚の液晶パ
ネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂ、入射側偏光板４４２、および射出側偏光板４４３に
よって、画像情報に応じて変調された光学像を形成する。

入射側偏光板４４２は、色分離光学系４２で分離された各色光のうち、一定方向の偏光
光のみ透過させ、その他の光束を吸収するものであり、サファイヤガラス等の基板に偏光
膜が貼付されたものである。
射出側偏光板４４３も、入射側偏光板４４２と略同様に構成され、液晶パネル４４１（
４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂ）から射出された光束のうち、所定方向の偏光光のみ透過
させ、その他の光束を吸収するものである。
これらの入射側偏光板４４２および射出側偏光板４４３は、互いの偏光軸の方向が直交
するように設定されている。

クロスダイクロイックプリズム４４４は、射出側偏光板４４３から射出され、各色光毎
に変調された光学像を合成してカラー画像を形成するものである。
クロスダイクロイックプリズム４４４には、赤色光を反射する誘電体多層膜と青色光を
反射する誘電体多層膜とが、４つの直角プリズムの界面に沿って略Ｘ字状に設けられ、こ
れらの誘電体多層膜により３つの色光が合成される。なお、特に図示しないが、このクロ
スダイクロイックプリズム４４４のうち、射出側偏光板４４３と対向する端面が光束入射
側端面となっている。
投射レンズ４６は、光学装置４４のクロスダイクロイックプリズム４４４で合成された
カラー画像を拡大して投射するものである。

以上説明した光学装置４４は、図４に示すようクロスダイクロイックパネル４４４に３
つの液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂが組み付けられることにより一体化された
構成である。図４は、光学装置４４を示す斜視図である。光学装置４４は、図４に示すよ
うに、３つのパネル支持板４４５Ｒ，４４５Ｇ，４４５Ｂをクロスダイクロイックプリズ
ム４４４の３つの光入射端面に配している。３つのパネル支持板４４５Ｒ，４４５Ｇ，４
４５Ｂには、それぞれの液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂが、射出側偏光板４４
３を挟み込んだ状態で適宜のネジ部材４８によって固定されて一体化されている。また、
クロスダイクロイックプリズム４４４の３つの光入射端面に交差する端面側（底部）には
台座４７が取り付けられている。すなわち、台座４７の上には、クロスダイクロイックプ
リズム４４４が載置されている。台座４７は、３つのパネル支持板４４５Ｒ，４４５Ｇ，
４４５Ｂのそれぞれの底部（光束入射側端面に交差する端面側）も支持固定している。

図５は、台座４７の裏側を示す平面図である。台座４７は、図５に示すように、平面視
正方形状に形成された台座本体４７１と、この台座本体４７１の中心から放射状に延びる
ように形成された２つの腕部４７２Ａ，４７２Ｂとを備えて構成される。この２つの腕部
４７２Ａ，４７２Ｂは、光学装置４４を光学部品用筐体４０内に配した際に、光学部品用
筐体４０内の適宜個所に案内固定される個所である。

また、台座４７の裏側には、位置決め凸部としての２つの位置決めピン４９１，４９２
が設けられている。すなわち、１つの腕部４７２Ｂの先端裏面においては、下方に突出す
るようにピン状に形成された、第１位置決めピン４９１が設けられている。また、台座本
体４７１のうち、第１位置決めピン４９１が設けられた個所とは対角線方向に位置する裏
面においても、下方に突出するようにピン状に形成された第２位置決めピン４９２が設け
られている。この第１位置決めピン４９１および第２位置決めピン４９２が、光学部品用
筐体４０に設けられた位置決め穴に嵌め合わせることにより、台座４７を光学部品用筐体
４０内の適切な位置に位置決めする。なお、この第１位置決めピン４９１および第２位置
決めピン４９２は、材料としてポリカーボネートなどのプラスチック樹脂が選択されてお
り、この台座４７と一体となって形成されている。

以上説明した各光学系４１〜４４は、プラスチック樹脂製の光学部品用筐体４０内に収
容される。この光学部品用筐体４０は、各光学部品４１２〜４１５，４１８，４２１〜４
２３，４３１〜４３４，４４２を上方からスライド式に嵌め込む溝部が形成された収納部
と、この収納部の上部の開口側を閉塞する蓋部とを備えて構成される。また、この光学部
品用筐体４０の一端側には、光源装置４１１が収容され、他端側には、ヘッド部を介して
投射レンズ４６がねじ止め固定される。

〔２．光学装置４４の検査装置の構成〕
次に、上述したプロジェクタ１を構成する光学装置の検査装置を説明する。図６は、本
発明に係る検査装置１０を示す側面図である。図７は、この検査装置１０を示す平面図で
ある。
検査装置１０は、図６および図７に示すように、製造された光学装置４４が収納配置さ
れる検査部本体５０と、投射部本体６０とを備える。
検査部本体５０は、ＵＶ遮光カバー５０Ａと、このＵＶ遮光カバー内に設けられ、光学
装置４４を設置するための設置台５０Ｂとを備える。

設置台５０Ｂは、製造された光学装置４４を適切に検査するため光学装置４４の液晶パ
ネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂに赤色光、緑色光および青色光を対応させて入射させ
る検査用照明装置５６Ａと、検査用投射レンズ５６Ｂと、検査対象となる光学装置４４を
設置する光学装置設置部５５が設けられている。

検査用照明装置５６Ａは、上述した光学ユニット４の構成、すなわちインテグレータ照
明光学系４１と、色分離光学系４２と、リレー光学系４３と同様の構成が採用されている
。また、検査用投射レンズ５６Ｂは、上述したプロジェクタ１の投射レンズ４６と同様の
構成が採用されている。

図８は、設置台５０Ｂに設けられた光学装置設置部５５を上から見た拡大平面図である
。なお、図８は、２つの位置決め孔５７Ａ，５７Ｂを見易いものにするため、検査用照明
装置５６Ａおよび検査用投射レンズ５６Ｂが省略された図となっている。上述したように
設置台５０Ｂに設けられる光学装置設置部５５は、検査対象とされる完成品とされた光学
装置（図４参照）４４を設置する個所であり、光学装置４４を設置可能なスペースが確保
され、光学装置４４を所定位置に設置する。

この光学装置設置部５５には、光学部品用筐体４０の収納部４０Ａと同様に、位置決め
凹部としての２つの位置決め孔５７Ａ，５７Ｂが、台座４７の腕部４７２Ｂに設けられた
第１位置決めピン４９１と嵌め合う第１位置決め孔５７Ａと、台座４７の台座本体４７１
に設けられた第２位置決めピン４９２と嵌め合う第２位置決め孔５７Ｂとが、光学装置４
４の台座４７に設けられた２つの位置決めピン４９１，４９２と対応位置において形成さ
れている。符号５５Ａは、設置された光学装置４４を支持する支持面である。

図８に示すように、第１位置決め孔５７Ａおよび第２位置決め孔５７Ｂのそれぞれには
、補強部材（補強部）としての補強具５８Ａ，５８Ｂが取り付けられている。この第１位
置決め孔５７Ａに設けられるのが第１補強具５８Ａとなっており、第２位置決め孔５７Ｂ
に設けられるのが第２補強具５８Ｂとなっている。

図９（Ａ）は、第１補強具５８Ａを示す斜視図である。図９（Ｂ）は、この第１補強具
５８Ａを第１位置決め孔５７Ａに取り付けた例を示す断面図である。図９（Ａ）に示す第
１補強具５８Ａは、中央に貫通孔５８Ａ１が設けられた円盤状に形成される。この貫通孔
５８Ａ１は、第１位置決め孔５７Ａの上面視と同一形状で形成されている。具体的には、
貫通孔５８Ａ１及び第１位置決め孔５７Ａの上面視の形状は、所定の方向への第１位置決
めピン４９１の位置ズレを規制する長孔形状で形成されている。なお、第１位置決めピン
４９１は、第１位置決め孔５７Ａの長孔の短軸方向において嵌合する円柱形状となってい
る。

図９（Ｂ）に示すように、第１補強具５８Ａは、第１位置決め孔５７Ａの周縁部５７Ａ
１を覆って保護するように、支持面５５Ａに取り付けられている。ここで、第１補強具５
８Ａは、第１補強具５８Ａの貫通孔５８Ａ１の孔形状と、第１位置決め孔５７の孔形状と
が、合致するように支持面５５Ａに取り付けられている。これによって、第１位置決めピ
ン４９１を、第１位置決め孔５７Ａに嵌合させた場合であっても、この第１位置決め孔５
７Ａの周縁部５７Ａ１に第１位置決めピン４９１が衝突することが無い。

また、この第１補強具５８Ａは、金属である銅を材料とした成型品で構成されている。
つまり、第１補強具５８Ａは、第１位置決めピン４９１の材料のプラスチック樹脂よりも
硬い材料を用いて、第１位置決め孔５７Ａに取り付け可能な別体の部材で構成されている
。なお、第１補強具５８Ａは、この周縁部５７Ａ１に対して、適宜の樹脂接着剤により接
着固定されるものであってもよいし、適宜のネジ部材により螺着固定されるものであって
もよい。

第２位置決め孔５７Ｂおよび第２補強具５８Ｂにあっても、上述した第１位置決め孔５
７Ａおよび第１補強具５８Ａと、孔の大きさと形状が異なるだけでほぼ同様な構成が採用
される。すなわち、図示して説明することを省略するが、第１補強具５８Ａは、第１位置
決め孔５７Ａおよび第１位置決めピン４９１に対応して形成されるものであったものに対
し、第２補強具５８Ｂは、第２位置決め孔５７Ｂおよび第２位置決めピン４９２に対応し
て形成されている点について異なるのみで、その他の構成は第１補強具５８Ａのように構
成される。なお、この第２補強具５８Ｂにあっても、第２位置決め孔５７Ｂの周縁部５７
Ｂ１を覆って保護するように、支持面５５Ａに取り付けられている。

このように構成された２つの位置決め孔５７Ａ，５７Ｂのそれぞれには、上述した補強
具５８Ａ，５８Ｂが固着させてあり、上述した光学装置４４の台座４７に設けられた位置
決めピン４９１，４９２を嵌合させることによって、光学装置４４を検査用照明装置５６
Ａと検査用投射レンズ５６Ｂに対して適切な位置となるように位置決めする。

また、図６および図７に示すように、ＵＶ遮光カバー５０Ａは、設置台５０Ｂを囲む側
板５１と、底板５２と、側板５１に開閉自在に設けられたドア５３と、下部に設けられた
載置台５４とを備える。側板５１には、検査用投射レンズ５６Ｂから照射された画像光を
投射部本体６０に透過するための透過窓５１Ａが設けられている。

ドア５３は、検査対象となる光学装置４４を給材・除材する時等に設けられるものであ
り、紫外線を透過しないアクリル板から形成される。
載置台５４の下部側には、装置据え付け時に、検査部本体５０の移動を容易にするキャ
スタ５４Ａが設けられている。

投射部本体６０は、透過型スクリーン装置としてのスクリーンユニット７０と、撮像装
置としての画像検出装置８０と、これらのスクリーンユニット７０および画像検出装置８
０を収納する暗室６０Ａとを備える。暗室６０Ａは、スクリーンユニット７０および画像
検出装置８０を囲む側板６１、底板６２および天板６３と、載置台６４とを備える。側板
６１には、検査用投射レンズ５６Ｂから照射される画像光を透過するための透過窓６１Ａ
が設けられ、載置台６４の下部には、キャスタ６４Ａが設けられている。

スクリーンユニット７０は、検査用投射レンズ５６Ｂから射出された画像光を投射する
ものであり、暗室６０Ａの検査部本体５０側に配置された透過型スクリーン７１と、暗室
６０Ａの検査部本体５０側とは反対側に配置された反射ユニット７２とを備える。

図１０は、透過型スクリーン７１を背面側から見た図である。
透過型スクリーン７１は、図１０に示すように、周囲に設けられる矩形状の枠体７１１
と、この枠体７１１の内側に設けられるスクリーン本体７１２とを備える。スクリーン本
体７１２は、例えば、不透明樹脂層上に光学ビーズを均一に分散配置して構成でき、光学
ビーズが配置された側から光束を入射すると、光学ビーズがレンズとなって、該光束をス
クリーン本体７１２の裏面側に射出するようになっている。また、スクリーン本体７１２
には、検査用投射レンズ５６Ｂから射出された画像光を透過する透過窓７１Ａが設けられ
ている。

反射ユニット７２は、図６に示すように、検査用投射レンズ５６Ｂから射出された画像
光を透過型スクリーン７１に向けて反射させるものであり、この検査用投射レンズ５６Ｂ
に正対配置される反射装置本体７２１と、この反射装置本体７２１を検査用投射レンズ５
６Ｂに対して進退方向に移動可能とする反射装置移動機構７２２とを備える。

反射装置本体７２１は、射出される画像光の位置に応じて同一面内に配置されたミラー
７２１Ａと、このミラー７２１Ａが取り付けられる取付板７２１Ｂと、この取付板７２１
Ｂの下部を支持する支持板７２１Ｃとを備える。ミラー７２１Ａの反射面７２１Ａ１は、
検査用投射レンズ５６Ｂから照射される画像光の光軸と直交となるように構成されている
。

反射装置移動機構７２２は、暗室６０Ａの底板６２に透過型スクリーン７１の平面と直
交する方向に延びる複数のレール７２２Ａと、これらのレール７２２Ａ上を回転移動可能
とされ支持板７２１Ｃに設けられた車輪７２２Ｃと、この車輪７２２Ｃを回転駆動する図
示しない駆動機構とを備える。

画像検出装置８０は、透過型スクリーン７１に形成された投射画像における所定部分の
検出を行う装置であり、透過型スクリーン７１の裏面側の四隅部分に設けられる４台の３
ＣＣＤカメラ８１と、各３ＣＣＤカメラ８１を透過型スクリーン７１の面に沿って移動さ
せる移動機構８２とを備える。

撮像装置としての３ＣＣＤカメラ８１は、投射画像を複数の色光である３色光（赤、緑
、青）に分解し、これらの分解された色光毎に専用の撮像素子であるＣＣＤで撮像するも
のであり、スクリーン本体７１２の背面側から投射画像を検出している。また、３ＣＣＤ
カメラ８１は、遠隔制御により自由にズーム・フォーカスを調整できるようになっている
。

移動機構８２は、図１０に示すように、枠体７１１の水平方向に沿って延びる水平部８
２１と、垂直方向に延びる垂直部８２２と、３ＣＣＤカメラ８１が取り付けられるカメラ
取付部８２３とを備える。これにより、各３ＣＣＤカメラ８１は、水平部８２１に対して
垂直部８２２が水平方向に摺動し、この垂直部８２２に対してカメラ取付部８２３が垂直
方向に摺動して、透過型スクリーン７１に沿って自在に移動可能となっている。

図１１は、検査装置１０の制御構造を模式的に示す図である。検査部本体５０内の光学
装置４４および投射部本体６０は、図１１に示すように、画像処理装置であるコンピュー
タ９０と電気的に接続されている。
コンピュータ９０は、ＣＰＵおよび記憶装置を備え、検査対象の光学装置４４の液晶パ
ネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂの動作制御を行い、投射部本体６０の移動機構の動作
制御を行うとともに、図示しないビデオキャプチャボード等の画像取込装置を介して、４
台の３ＣＣＤカメラ８１と接続されている。

３ＣＣＤカメラ８１で撮像された投射画像は、前記画像取込装置を介してコンピュータ
９０に入力され、コンピュータに適合する画像信号に変換された後、ＣＰＵを含むコンピ
ュータ９０の動作制御を行うＯＳ上に展開される画像処理プログラムにより画像処理がな
される。

図１２は、コンピュータ９０の機能を示すブロック図である。
図１２に示すように、コンピュータ９０は、処理部９１と、フォーカス位置調整部９２
と、移動量取得部９３と、液晶パネル位置測定部９４と、撮像素子調整部９５と、外周端
部位置取得部９６と、画素ズレ測定部９７と、良否判定部９８と液晶パネル制御部９９と
を備える。

処理部９１は、３ＣＣＤカメラ８１で撮像された投射画像Ｘを、画像取込装置としての
ビデオキャプチャボード１００で画像信号に変換して取り込み、この取り込んだ画像信号
に基づいて画像の演算処理を行う部分である。
フォーカス位置調整部９２は、処理部９１で演算処理がなされた画像に基づいて、この
画像のフォーカスが合致するように反射装置移動機構７２２を駆動制御して、反射装置本
体７２１の位置を変化させる部分である。なお、フォーカス位置調整部９２は、３色光毎
に実施される。

移動量取得部９３は、フォーカス位置調整部９２によってフォーカス調整された際にお
ける反射装置本体７２１の基準位置からの移動量を色光毎に取得する部分である。
液晶パネル位置測定部９４は、移動量取得部９３で取得された色光毎の移動量に基づい
て、光軸上における、液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂの位置を測定する部分で
ある。

撮像素子調整部９５は、処理部９１で演算処理がなされた略矩形状のアライメントパタ
ーン画像に基づいて、このアライメントパターン画像の外周端部である四隅部分Ｙに対応
する位置に、４台の３ＣＣＤカメラ８１が移動するように移動機構８２を駆動制御する部
分である。
外周端部位置取得部９６は、アライメントパターン画像の四隅部分Ｙの位置に移動した
各３ＣＣＤカメラ８１の位置を３色光毎に取得する部分である。

画素ズレ測定部９７は、外周端部位置取得部９６で３色光毎に取得された四隅位置に基
づいて、画素ズレを測定する部分である。
良否判定部９８は、測定された液晶パネルの光軸上の位置や画素ズレの値に基づいて、
検査対象である光学装置４４の良否を判定する部分である。なお、この良否の判定により
、この光学装置４４が良品か不良品かを判断している。

〔３．光学装置検査方法〕
このような検査装置１０において、調整対象となる光学装置４４の検査方法は、図１３
および図１４に示すフローチャートに基づいて行われる。なお、図１３および図１４は、
上述の検査装置１０を用いた光学装置４４の検査の手順を示すフローチャートである。

（１）まず、完成品である光学装置４４の、台座４７に設けられた２つの位置決めピン
４９１，４９２を、光学装置設置部５５に設けられた２つの位置決め孔５７Ａ，５７Ｂに
あわせて嵌め合わせることにより、光学装置４４を光学装置設置部５５の適切位置に位置
決めして、この光学装置４４を設置台５０Ｂにセットする（処理Ｓ１）。

（２）検査装置１０の検査用照明装置５６Ａを点灯させ（処理Ｓ２）、液晶パネル制御
部９９から液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂに所定の信号を出力して、投射画像
を全白状態に設定する（処理Ｓ３：投射画像形成手順）。そうすると、この検査用照明装
置５６Ａから射出された光束は、液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂに入射し、ク
ロスダイクロイックプリズム４４４で合成され、検査用投射レンズ５６Ｂから射出される
。この射出された合成画像光は、反射装置本体７２１で反射されてから、透過型スクリー
ン７１に投射されて投射画像Ｘが形成される。

（３）反射装置移動機構７２２の反射ミラー軸を駆動して、反射装置本体７２１を基準
投射距離に設定する（処理Ｓ４）。具体的には、基準投射距離は、光学装置４４から透過
型スクリーン７１までが、製品により異なるが、概ね１．８ｍとなる位置である。
（４）前記反射ミラー軸を動作して、反射装置本体７２１を透過型スクリーン７１に対
して前後する方向に進退させる（処理Ｓ５：スクリーン装置移動手順）。

（５）投射画像Ｘの四隅部分に位置する４台の３ＣＣＤカメラ８１で投射画像Ｘを撮像
して処理部９１で演算処理しながら、フォーカス位置調整部９２で３色光毎に略同時のタ
イミングで投射画像Ｘのフォーカス調整を行う（処理Ｓ６：スクリーン装置移動手順）。
この際、移動量取得部９３で基準投射距離に基づいて最適フォーカス位置を各色光毎に取
得する（処理Ｓ７：移動量取得手順）。

また、液晶パネル位置測定部９４でこれらの取得された最適フォーカス位置により、緑
色光における最適フォーカス位置を基準とした赤色光および青色光の最適フォーカス位置
であるフォーカス位置差、つまり光軸上における、緑色光用液晶パネルの位置に対する赤
色光用液晶パネルの位置ズレ、及び緑色光用液晶パネルの位置に対する青色光用液晶パネ
ルの位置ズレを算出する（処理Ｓ８：液晶パネル位置ズレ測定手順）。

（６）次に、良否判定部９８において、前記赤色または青色の液晶パネル位置差が所定
の基準値の範囲内にあるか否かを判定し（処理Ｓ９：良否判定手順）、範囲内にないと判
定した場合には、光学装置４４を不良と判定する。一方、範囲内にあると判定した場合に
は、処理Ｓ１０に進む。

（７）次に、良否判定部９８において、取得した各色光毎の最適フォーカス位置が、基
準投射距離に基づく所定範囲内にあるか否かを判定し（処理Ｓ１０：良否判定手順）、範
囲内にないと判定した場合には、光学装置４４を不良と判定する。一方、範囲内にあると
判定した場合には、処理Ｓ１１に進む。

（８）次に、液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂに所定の信号を出力して、投射
画像を全白状態に設定しスクリーン上にフォーカスを合わせる（処理Ｓ１１）。スクリー
ン上の投影画像において光学装置４４におけるごみ・ケバ・汚れ・キズが規格数以下であ
るか否かを判定し（処理Ｓ１２）、規格数より多いと判定した場合には、光学装置４４を
不良と判定する。一方、規格数以内にあると判定した場合には、処理Ｓ１３に進む。

（９）次に、コンピュータ９０は、各液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂにアラ
イメント調整用の画像パターンを含む画像信号を出力して、図１５に示すように、投射画
像を黒地ＰＢに白枠ＰＷ状のアライメントパターン画像Ｐとしてから（処理Ｓ１３）、撮
像素子調整部９５により、４台の３ＣＣＤカメラ８１をそれぞれ移動させて（処理Ｓ１４
：撮像素子調整手順）、外周端部位置取得部９６により、アライメントパターン画像Ｐの
白枠ＰＷの四隅部分Ｙを検索し（処理Ｓ１５）、四隅部分Ｙの位置を計測して取得する（
処理Ｓ１６：外周端部位置取得手順）。これらの動作は、３色光について４台の３ＣＣＤ
カメラ８１のそれぞれで実施される。

（１０）次に、画素ズレ測定部９７により、緑色光における四隅位置を基準とした赤色
光および青色光の四隅位置の差を算出し（処理Ｓ１７）、この赤色または青色の四隅位置
の差（画素ズレ量）として計測する（Ｓ１８）。
（１１）良否判定部９８において、この画素ズレ量が所定の基準値の範囲内にあるか否
かを判定し（処理Ｓ１９：良否判定手順）、範囲内にないと判定した場合には、光学装置
４４を不良と判定する。一方、範囲内にあると判定した場合には、処理Ｓ２０に進む。

（１２）次に、液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂに所定の信号を出力して、投
射画像を全黒状態に設定しスクリーン上にフォーカスを合わせる（処理Ｓ２０）。スクリ
ーン上の全黒状態の投射画像において光漏れがあるか否かを判定し（処理Ｓ２１）、光漏
れがあると判定した場合には、光学装置４４を不良と判定する。一方、光漏れがないと判
定した場合には、処理Ｓ２２に進む。

（１３）次に、液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂに所定の信号を出力して、投
射画像が全黒状態でスクリーン上にフォーカスが合わせされたまま、スクリーン上の投影
画像において光学装置４４における点欠陥数が規格数以下であるか否かを判定し（処理Ｓ
２２）、規格数より多いと判定した場合には、光学装置４４を不良と判定する。一方、規
格数以内にあると判定した場合には、光学装置４４を良品と判定し、プロジェクタに組み
込む。

〔４．実施形態の効果〕
本実施形態によれば、次のような作用効果を奏する。
すなわち、位置決め孔５７Ａ，５７Ｂの周縁部５７Ａ１，５７Ｂ１には、この位置決め
ピン４９１，４９２を形成する材料のプラスチック樹脂より硬い銅を用いた補強具５８Ａ
，５８Ｂが取り付けられているので、この位置決めピン４９１，４９２を、位置決め孔５
７Ａ，５７Ｂに多数回に亘って嵌め合わせたとしても、この補強具５８Ａ，５８Ｂにより
、嵌め合わされる位置決めピン４９１，４９２の衝撃や摩擦から、位置決め孔５７Ａ，５
７Ｂの周縁部５７Ａ１，５７Ｂ１を保護することができる。ここで、この位置決め孔５７
Ａ，５７Ｂは、プラスチック製樹脂からなる光学部品用筐体４０において形成されており
、磨耗変形し易いので、このような作用効果により、設置台５０Ｂ（光学装置設置部５５
）のライフサイクルは、飛躍的に向上する。

また、上述の補強具５８Ａ，５８Ｂは、材料としては銅が選択され、位置決め孔５７Ａ
，５７Ｂとは別体に成型されて構成されるものなので、簡単かつ安価に取り付けることが
できる。また、この補強具５８Ａ，５８Ｂが劣化してきた場合であっても、設置台５０Ｂ
をそのままにした状態で、この補強部を取り替えるだけでよくなる。

以上により、この設置台５０Ｂに多数の光学装置４４を設置して順次検査しても、長い
期間に亘って光学装置４４を設置台５０Ｂの適切な位置に位置決めして、光学装置４４を
適切に検査することができる。また、設置台５０Ｂも劣化し難くなるので、交換する時期
を延ばすことができる。これによって、製造費用コストの嵩みを抑えることに貢献し、作
業性を向上させることに繋がる。

〔５．実施形態の変形〕
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成でき
る他の構成等を含み、以下に示すような変形等も本発明に含まれる。
例えば、上述の補強具５８Ａ，５８Ｂは、次のように構成されるものであってもよい。
図１６（Ａ）は、補強具の他の例を斜視図である。図１６（Ｂ）は、この補強具を第１位
置決め孔５７Ａに取り付けた例を示す断面図である。なお、この補強具５９は、上述した
第１補強具５８Ａおよび第２補強具５８Ｂの何れか一方において採用されるものであって
もよいし、また両方において採用されるものであってもよい。

図１６（Ａ）に示す例の補強具５９Ａは、中空筒状に形成された筒部５９Ａ１と、その
筒部５９Ａ１の上端において筒部５９Ａ１径方向に延びてなるフランジ部５９Ａ２とを備
える。筒部５９Ａ１は、横断面視小判型形状の中空筒状構造で構成されており、外径寸法
は第１位置決め孔５７Ａの内径寸法に合わせた寸法に設定されている。また、この筒部５
９Ａ１の内径寸法は、第１位置決めピン４９１の外径寸法に合わせた寸法に設定されてい
る。

また、第１補強具５９Ａの筒部５９Ａ１の長さは、この第１位置決めピン４９１の長さ
よりも長い寸法で設定されている。つまり、筒部５９Ａ１は、この中空内部に第１位置決
めピン４９１が嵌挿された場合に、この第１位置決めピン４９１が接するに十分な長さを
有している。フランジ部５９Ａ２は、第１位置決め孔５７Ａの内径寸法よりも長い寸法に
設定されて形成されている。

ここで、この第１補強具５９Ａは、第１位置決め孔５７Ａ内のうち、少なくとも位置決
めピン４９１が接する個所において設けられるものであり、位置決めピン４９１，４９２
と接する個所の周辺まで拡大したフランジ部５９Ａ２は、第１位置決め孔５７Ａの周縁部
５７Ａ１を覆って保護するようになっている。また、筒部５９Ａ１は、第１位置決め孔５
７Ａの内周面に沿って延びるように形成されている。ここで、第１位置決めピン４９１と
接する個所の周辺まで拡大した形状となっている。これにより、第１位置決めピン４９１
を、第１位置決め孔５７Ａに嵌合させた場合には、第１位置決めピン４９１は、第１補強
具５８Ａの内周面と接し、第１位置決め孔５７Ａの内部を保護する。

この例のように、補強具５９Ａに第１位置決め孔５７Ａの内周面に沿って延びる筒部５
９Ａ１が形成されていると、嵌め合わされる位置決めピン４９１の衝撃や摩擦から第１位
置決め孔５７Ａの内周面を保護することができ、磨耗変形し難くする。また、この例のよ
うに補強具５９Ａに、第１位置決め孔５７Ａの内周面に沿って延びる筒部５９Ａ１が形成
されていると、位置決めピン４９１，４９２と接する個所の周辺の剛性も高める。これに
よって、位置決めピン４９１，４９２を第１位置決め孔５７Ａ，５７Ｂに嵌め合わせて、
設置台５０Ｂに光学装置４４を順次設置した場合であっても、この位置決め孔５７Ａ，５
７Ｂを破壊され難くいものにし、位置決めも正確に行える。

また、上述の実施の形態においては、位置決め凸部としての位置決めピン４９１，４９
２の材料がプラスチック樹脂であったのに対して、補強具５８Ａ，５８Ｂは、そのプラス
チック樹脂より硬い銅を材料として選択して形成されるものであった。しかしながら、こ
の補強具および位置決めピンの材料は、この例に限定されることなく、適宜に選択するこ
とができる。

すなわち、本発明における補強部としての補強具は、位置決めピンが位置決め孔に多数
回嵌め合わせたとしても、この位置決め孔が磨耗変形し難い程度の硬い材料が選択されて
形成されるものであればよい。例えば、位置決めピンの材料がプラスチック樹脂である場
合には、補強具の材料は、このプラスチック樹脂の硬度より高い硬度のプラスチック樹脂
が選択されるものであってもよい。

本発明に係る検査装置は、設置台に設けられていた位置決め穴の寿命を延ばすことによ
り、設置台の取替え時期を延ばして、製造費用コストの嵩みを抑え、作業性を向上させる
ので、光学装置の製造の検査工程において利用することができる。

プロジェクタを上方から見た斜視図。 プロジェクタを下方から見た斜視図。 プロジェクタを構成する光学ユニットを模式的に示した平面図。 光学装置を示す斜視図。 台座の裏側を示す平面図。 本発明に係る検査装置を示す側面図。 検査装置を示す平面図。 設置台の光学装置設置部を示す拡大平面図。 補強具の例を示す図。 検査装置を構成する透過型スクリーンを背面側から見た図。 検査装置の制御構造を模式的に示す図。 検査装置を構成するコンピュータの機能を示すブロック図。 検査装置を用いた光学装置の検査の手順を示すフローチャート。 検査装置を用いた光学装置の検査の手順を示すフローチャート。 透過型スクリーンに投射された投射画像を示す図。 補強具の他の例を示す図。

符号の説明

１…プロジェクタ、２…外装ケース、４…光学ユニット、５…回路基板、１０…検査装
置、２１…アッパーケース、２２…ロアーケース、４０Ａ…収納部、４０…光学部品用筐
体、４１…インテグレータ照明光学系、４２…色分離光学系、４３…リレー光学系、４４
…光学装置、４６…投射レンズ、４７…台座、５０Ｂ…設置台、５５…光学装置設置部、
５５Ａ…支持面、５６Ａ…検査用照明装置、５６Ｂ…検査用投射レンズ、５７Ａ…第１位
置決め孔、５７Ｂ…第２位置決め孔、５７Ａ１…第１位置決め孔の周縁部、５７Ｂ１…第
２位置決め孔の周縁部、５８Ａ，５９Ａ…第１補強具、５８Ｂ，５９Ｂ…第２補強具、５
８Ａ１…貫通孔、５９Ａ１…筒部、５９Ａ２…フランジ部。

Claims (4)

1. 入射した光束を画像情報に応じて変調する複数の光変調装置、および前記複数の光変調
   装置にて変調された光が入射する複数の光束入射側端面を有し前記変調された各光束を合
   成する色合成光学装置が一体化された光学装置に用いられ、前記光学装置に導入され前記
   光学装置から射出される光束に基づいて前記光学装置を検査する検査装置であって、
   前記光学装置は、前記色合成光学装置の前記複数の光束入射側端面に交差する端面側に
   取り付けられる台座を備え、
   前記台座には、位置決め用の位置決め凸部が形成され、
   前記検査装置は、前記光学装置を支持する支持面を有し前記光学装置を所定位置に設置
   する設置台を備え、
   前記設置台には、前記光学装置を設置した状態で、前記位置決め凸部に嵌合する位置決
   め凹部が形成され、
   前記支持面における前記位置決め凹部の周縁部には、前記位置決め凸部を形成する材料
   より硬い材料を用いた補強部が設けられていることを特徴とする検査装置。
2. 請求項１に記載の検査装置において、
   前記補強部には、前記位置決め凹部の内周面に沿って延びる筒部が形成されていること
   を特徴とする検査装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の検査装置において、
   前記補強部は、前記位置決め凹部とは別体の部材により構成されていることを特徴とす
   る検査装置。
4. 請求項１から請求項３の何れか一項に記載の検査装置において、
   前記補強部が、金属で構成されていることを特徴とする検査装置。

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