JP2008232862A - 半導体素子の検査用治具及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体素子1を保持する検査用治具100が収容される恒温槽20と、恒温槽20内の温度を制御する温度制御手段60と、半導体素子1を駆動して得られる信号を検出する検出手段70とを備える半導体素子1の検査装置10において、検査用治具100は、貫通孔106を有するベース板102と、ベース板102上に配設され複数の半導体素子1を保持する保持手段104と、保持手段104に保持される半導体素子1から発生する熱を放熱する放熱体110と、を備え、恒温槽20は1の検査用治具100が収容される送風流路34を有し、送風流路34は、検査用治具100によって上流側送風流路36と下流側送風流路38とに区画され、上流側送風流路36に供給した温度制御手段60からの空気が貫通孔106を介して下流側送風流路38より排気されることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
10…検査装置
20…恒温槽
28…収容空間
30…供給流路
34…送風流路
36…上流側送風流路
38…下流側送風流路
40…供給口
42…排気口
60…温度制御手段
70…検出手段
100…検査用治具
102…ベース板
104…保持手段
106…貫通孔
110…放熱体
Claims (11)
- ベース板と、前記ベース板上に配設され複数の半導体素子を保持する保持手段と、前記保持手段に保持される前記半導体素子から発生する熱を放熱する放熱体とを備え、恒温槽内に収容される半導体素子の検査用治具において、前記ベース板は前記恒温槽内の空気が流通する貫通孔を備えることを特徴とする検査用治具。
- 前記貫通孔は、前記放熱体に沿って延びる長孔であることを特徴とする請求項1に記載の検査用治具。
- 前記保持手段は所定間隔をあけて互いに平行に複数設けられ、前記放熱体及び前記貫通孔は前記各保持手段に対応して複数設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の検査用治具。
- 前記放熱体の下方に前記貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の検査用治具。
- 前記放熱体には前記貫通孔と連通する連通孔が設けられていることを特徴とする請求項4に記載の検査用治具。
- 半導体素子を保持する検査用治具が収容される恒温槽と、前記恒温槽内の雰囲気温度を制御する温度制御手段と、前記半導体素子を駆動して得られる信号を検出する検出手段とを備える半導体素子の検査装置において、
前記検査用治具は、貫通孔を有するベース板と、前記ベース板上に配設され複数の半導体素子を保持する保持手段と、前記保持手段に保持される前記半導体素子から発生する熱を放熱する放熱体と、を備え、
前記恒温槽は1の前記検査用治具が収容される送風流路を有し、
前記送風流路は、前記検査用治具によって上流側送風流路と下流側送風流路とに区画され、前記上流側送風流路に供給した前記温度制御手段からの空気が前記貫通孔を介して前記下流側送風流路より排気されることを特徴とする検査装置。 - 前記貫通孔が前記放熱体に沿って設けられていることを特徴とする請求項6に記載の検査装置。
- 前記検査用治具は、前記保持手段が所定間隔をあけて互いに平行に複数設けられ、前記放熱体及び前記貫通孔が前記各保持手段に対応して複数設けられ、
前記放熱体の並列方向に前記温度制御手段からの空気を送風することを特徴とする請求項6及び7に記載の検査装置。 - 前記上流側送風流路は、前記温度制御手段からの空気を前記上流側送風流路内に供給する供給口から離れるほど狭くなることを特徴とする請求項8のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記上流側送風流路を形成し前記検査用治具と対向する壁面に前記貫通孔へ前記温度制御手段からの空気を案内するガイドフィンが設けられていることを特徴とする請求項8又は9に記載の検査装置。
- 前記送風流路は前記恒温槽内に複数設けられ、前記温度制御手段からの空気を各上流側送風流路に供給する供給流路を備え、
前記供給流路は上流から下流に行くにしたがって狭くなることを特徴とする請求項6〜10のいずれか1項に記載の検査装置。
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