JP2021043182A - バーンイン装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第1実施形態について説明する。図1〜図3を参照して本実施形態にかかるバーンイン装置の構造について説明すると共に、図4を参照してバーンイン装置の制御構成について説明する。
第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してソケット21の構成を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1、第2実施形態に対して1つのカセットボックス2に対して検査できる試料体10の数を増やしたものであり、その他については第1、第2実施形態と同様であるため、第1、第2実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
第4実施形態について説明する。本実施形態は、第1〜第3実施形態に対してソケット21やヒータプレート21bの構成を変更したものであり、その他については第1〜第3実施形態と同様であるため、第1〜第3実施形態と異なる部分についてのみ説明する。なお、ここでは第2実施形態のように爪部21eを備えたソケット21を例に挙げるが、爪部21eを備えていない構成とされていても良いし、第3実施形態のように複数のソケット21を備える構成としても良い。
本開示は、上記した実施形態に準拠して記述されたが、当該実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、様々な組み合わせや形態、さらには、それらに一要素のみ、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本開示の範疇や思想範囲に入るものである。
2 カセットボックス
6 制御部
10 試料体
10a 温度センサ
21 ソケット
21b ヒータプレート
21c ヒータ
21d 放熱フィン
21e 爪部
22 ソケットボード
23 ファン
Claims (8)
- 試料体(10)を所定温度に加熱しつつ該試料体に電圧を印加してバーンイン試験を行うバーンイン装置であって、
前記試料体が収容されるカセットボックス(2)と、
前記カセットボックス内に送風を行うファン(23)と、
前記カセットボックス内に収容され、前記試料体が設置される設置台を構成すると共に、該試料体が設置される一面に該試料体を加熱するヒータ(21c)および該ヒータの熱を前記試料体に伝えるヒータプレート(21b)が配置され、かつ、前記ヒータが配置された一面と反対側の一面に放熱フィン(21d)が備えられたソケット(21)と、
前記カセットボックス内に収容され、前記ソケットが設置されるソケットボード(22)と、
前記ファンによって前記カセットボックス内に送風を行いつつ、前記ヒータによって前記試料体を加熱し、前記試料体に備えられた温度センサ(10a)によって前記試料体の温度(Tt)を測定すると共に、該試料体の温度に基づいて前記ヒータの出力を制御する制御部(6)と、を有するバーンイン装置。 - 前記ソケットには、前記試料体が該ソケットに設置された際に前記試料体を前記ヒータ側に押圧する押圧部(21e)を有している、請求項1に記載のバーンイン装置。
- 前記ソケットボードに前記ソケットが複数設置され、前記カセットボックス内に複数の前記ソケットと共に前記ソケットボードが収容され、複数の前記試料体に対して同時にバーンイン試験が行われる、請求項1または2に記載のバーンイン装置。
- 前記ヒータは、複数の前記ソケットに共通して用いられ、1つの前記ヒータにて複数の前記ソケットに設置される前記試料体を同時に加熱する、請求項3に記載のバーンイン装置。
- 前記ファンは、前記放熱フィンに加えて、前記試料体にも当たる送風を行う、請求項1ないし4のいずれか1つに記載のバーンイン装置。
- 前記ファンの送風を冷却風とする冷却器(5)を備えている、請求項1ないし5のいずれか1つに記載のバーンイン装置。
- 前記制御部は、前記試料体の温度に応じて、該温度が高いほど前記ファンの風量を多くする、請求項1ないし6のいずれか1つに記載のバーンイン装置。
- 前記制御部は、昇温時に試験電圧を印加させる、請求項1ないし7のいずれか1つに記載のバーンイン装置。
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