JP2005156172A - ミドルパワー及びハイパワーic用テストバーンイン装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 サーマル(冷却)ヘッドをバーンインボードの被測定デバイス(DUT)と同じマトリックスで並べ、サーマルアレイとし、昇降機能を持ち、下降時には密着して個別にDUTを冷却/加熱、温度コントロールする。バーンインボードは多数の被測定デバイスDUTを持ち、さらにバーンインボードとサーマルアレイも、恒温槽内に段状に複数持つ。装置は、DUTを指定された温度に個別にコントロールし、良品/不良品の判定試験をする。サーマルアレイの上昇時に、バーンインボードは抜き差しされ、被測定デバイスDUTを交換する。
【選択図】 図1
Description
1.ミドルパワー及びハイパワーのIC等(被測定デバイス)に対応すること。
2.被測定デバイス個々に温度調節がされること。
3.被測定デバイス単位で温度調節する構造が単純で安価であること。
4.被測定デバイス単位での温度調節が正確であること。
5.被測定デバイスの温調システムにランニングコストがかからないこと。
6.被測定デバイスの交換が容易であること。
7.被測定デバイスの性能・構造により保持方法がクラムシェルタイプのテストソケットからオープントップのテストソケットに変更されても可能であること。
8.バーンインボード単位での交換と着脱が容易で短時間であること。
9.同じテストバーンイン装置でミドルパワーからハイパワーの被測定デバイスに変更されても、そのまま使用できるか、又は、チェンジキット化か、大きな改造でなく短時間で安価に変更できること。
10.及び逆の変更が容易であること。
11.総合的にはミドルパワーとハイパワーのIC等(半導体)の製造とテストの効率を向上させること。
などが挙げられる。
2 ドライバー/コンパレータボード
3 マザーボード
4 エクステンションボード
5 パワーコネクター
6 バーンインボード
7 サーマルアレイ
8 サーマルヘッド
9 ワームウオーター
10 温度センサー
11 コールドウオーター
12 ヒーター
13 ディーユーティー(DUT)
14 計装ラック
15 デバイス電源
16 ドライバー(DRV)ボード
17 送風機
18 冷水コイル
19 冷媒
20 温度計
21 ポンプ
22 コントローラー
23 冷却装置
24 水量調節用弁
25 冷凍機
26 熱交換機(コンデンサー)
27 チャンバー(恒温槽)
28 ソケット
29 コントローラー
30 温度計
31 ポンプ
32 供給冷却水
33 熱交換機
34 タンク
35 サーマルコントローラ
36 ヒーターブロック
37 濾水センサー
38 温調冷却水
39 ヒータ・リレーBOX
40 熱電対
Claims (10)
- バーンインボード(BIB)のクラムシェルソケット又はオープントップソケットの被測定デバイス(DUT)を冷却させ、指定されたバーンイン温度に温度コントロールするサーマルヘッド(冷却ヘッド)を持つミドルパワー及びハイパワーIC用テストバーンイン装置。
- バーンインボードのソケットの被測定デバイスを冷却させ、指定されたバーンイン温度に温度コントロールするサーマルヘッドを、バーンインボードのコネクタ部との着脱時は上昇させ、冷却時(バーンインテスト時)には密着のために下降させる機構を持つミドルパワー及びハイパワーIC用テストバーンイン装置。
- バーンインボードの被測定デバイスを冷却し、指定された温度に温度コントロールさせるためのサーマルヘッドの被測定デバイスとの接触位置に、熱電対温度センサーとヒーターの順に設備するミドルパワー及びハイパワーIC用テストバーンイン装置。
- バーンインボードの被測定デバイスを冷却し指定された温度に温度コントロールするサーマルヘッドに濾水センサーを設備し、サーマルヘッドへ温調し供給される冷媒の配管及び被測定デバイスとヒーターにより温められ戻る冷媒の配管の継手より濾水した場合は、直ちにテストを停止させることができる機能を持ち、又、筐体の底に除湿水を受けるパンと排水用のドレンパイプを持つミドルパワー及びハイパワーIC用テストバーンイン装置。
- バーンインボードの被測定デバイスを冷却し、指定された温度に温度コントロールさせるために、サーマルヘッドに温調冷却水、又は添加物を含む水、又はフロリナート、又はガルデン等を供給し循環させるポンプとサーマルコントローラとヒーター・リレーボックス(BOX)を持つミドルパワー及びハイパワー用テストバーンイン装置。
- バーンインボードのソケットの被測定デバイスを冷却させるサーマルヘッドを、恒温槽又は密閉構造内に、バーンインボードのソケットと同数並べ、その並べたブロックを、サーマルアレイ(ユニット)とし、試験するバーンインボードと同数のサーマルアレイを持つミドルパワー及びハイパワーIC用テストバーンイン装置。
- バーンインボードのソケットの被測定デバイスを冷却させるサーマルヘッドを多数並べサーマルアレイと呼び、バーンインボードのソケット実装と同じマトリックス配列させたミドルパワー及びハイパワーIC用テストバーンイン装置。
- バーンインボードのソケットの被測定デバイスを冷却させるため、上昇又は下降するサーマルヘッドを含むサーマルアレイにて、被測定デバイスに密着させ押し圧を1kgf〜数kgfまで調節させ得る上下スライド機構と、サーマルヘッドの上下位置関係のバッファ機能としてのスプリングを持つミドルパワー及びハイパワーIC用テストバーンイン装置。
- バーンインボードのソケットの被測定デバイスを冷却させるサーマルヘッドの水温・水量・ヒーター温度制御し、被測定デバイスとの接触位置に設備された温度センサーにより指定された温度にサーマルヘッド個別に温度コントロールする機能を持つミドルパワー及びハイパワー用テストバーンイン装置。
- バーンインボードのソケットの被測定デバイスを冷却させ、温度コントロールするサーマルヘッド及びサーマルアレイとテストソケットと被測定デバイスを結露させないために、除湿させる機能と密閉構造を持つミドルパワー及びハイパワーIC用テストバーンイン装置。
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