JP2017026332A - バーンイン装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】多段のバーンインボード2に配置された半導体デバイス1の温度バラツキを軽減する。【解決手段】バーンイン装置100は、バーンインボード2の端部に配置され、バーンインボード2上の試験空間5に導入する空気の流量を調整する送風口71が各別に設けられた流量調整用端板である送風側端板7を備えている。送風側端板7に開口された複数の送風口71は、バーンインボード2とファン11の配置に応じて開口面積が各々調整され、ファン11の吹き出し口に近い送風口71は、ファン11の吹き出し口から遠い送風口11よりも開口面積が小さく形成され、各バーンインボード2上の試験空間5における空気の流量が均一化されている。【選択図】図1
Description
本発明は、被試験物のバーンイン試験に用いるバーンイン装置に関するものである。
被試験物となる半導体デバイスの製造工程の最終試験としてバーンイン試験が行われている。バーンイン試験とは、通常の半導体デバイスの使用温度よりも高温・高電圧の条件下でデバイスを動作させることにより、不良を前落としする試験である。半導体デバイスは試験中に自己発熱するため、バーンイン試験は温度調整用気体を用いて、半導体デバイスを冷却することで温度調整を行っている。特に数十ワット以上電力を用いるバーンイン試験では、冷却性能を向上させるためにフィン形状などの放熱ブロックを有したバーンイン治具上に半導体デバイスを装着して、試験が実施されている。
通常、バーンイン試験を行うバーンイン装置には、半導体デバイスを通電するためにプリント基板で形成したバーンインボードが用いられ、そのバーンインボード上に複数の半導体デバイスを装着して試験が行われている。また、試験時間が1時間から2時間と長時間に及ぶため、複数のバーンインボードを一つのバーンイン装置の温度槽内に収容し、1度に数十個の半導体デバイスに対して試験が行われる。
この時、バーンイン試験においては、バーンイン装置に収容された個々の半導体デバイスへの負荷を均一にする必要がある。バーンイン装置内に収容された一部の半導体デバイスの温度にばらつきが生じ、所望の温度より高くなると、半導体デバイスへの負荷が大きくなり、半導体デバイスを故障させてしまう。バーンイン試験において、個々の被試験物にかかる負荷のばらつきは、歩留悪化、生産性低下を招く原因となる。従って、バーンイン装置は、温度槽内に収容され、同一環境下で試験される全ての半導体デバイスの温度を均一化させることが求められている。
この時、バーンイン試験においては、バーンイン装置に収容された個々の半導体デバイスへの負荷を均一にする必要がある。バーンイン装置内に収容された一部の半導体デバイスの温度にばらつきが生じ、所望の温度より高くなると、半導体デバイスへの負荷が大きくなり、半導体デバイスを故障させてしまう。バーンイン試験において、個々の被試験物にかかる負荷のばらつきは、歩留悪化、生産性低下を招く原因となる。従って、バーンイン装置は、温度槽内に収容され、同一環境下で試験される全ての半導体デバイスの温度を均一化させることが求められている。
従来のバーンイン装置では、温度槽内の温度を均一化するために、バーンインボードに設置されたバーンイン治具の上に、仕切り板で隔てられた送風経路と排気経路を設ける構造が採用されていた。この従来のバーンイン装置によれば、同一バーンインボードに搭載された半導体デバイスの温度を均一化することはできる。しかし、流路抵抗は送風機側から下流側に向かって大きくなり、各バーンボードによって流路は異なる。従って、送風機に近いバーンインボードにより多くの気体が流れ、各バーンインボード上の試験空間の温度を均一にすることは難しかった(例えば、特許文献1参照)。
また、個々のバーンイン治具に搭載された半導体デバイスの温度を調整する方法として、各バーンイン治具上に空気の吹き出し口を設け、それら吹き出し口に空気の流量を調整する流量調整機構をそれぞれ配設する方法が開示されている。この流量調整機構によって空気の送風量を調整する方法は、個々の半導体デバイスの温度を所望の温度に調整することができるが、半導体デバイスごとに、空気の流量を調整するための駆動機器等が必要となるものであった。そのため、バーンイン装置自体が高価になるという問題があった(例えば、特許文献2参照)。
従来のバーンイン装置では、温度槽内に複数段に配置されたバーンインボードに対し、送風機に近いバーンインボードへより多くの温度調整用の気体が流れるため、温度槽内全体の温度を均一化することが難しかった。また、バーンイン治具上に温度調整用の気体を吹き出す吹き出し口を設け、送風量を調整する方法では、バーンイン試験ごとに送風量の調整が必要であり、また、装置自体が高価となるなどの課題があった。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、多数の発熱する半導体デバイスを同時に試験するバーンイン装置において、各半導体デバイスの温度バラツキを軽減し、且つ安価なバーンイン装置を提供するものである。
この発明に係わるバーンイン装置は、被試験物を載置するバーンインボード、上記バーンインボードが多段に配設された温度槽、上記バーンインボード上に上記被試験物の温度を調整する温度調整用気体を送風する送風機、上記バーンインボードの端部に配置され、上記バーンインボードの各段上に導入される上記温度調整用気体の流量を調整する開口部が各別に設けられた流量調整用端板を備え、上記流量調整用端板に開口された複数の上記開口部は、上記バーンインボードと上記送風機の配置に応じて開口面積が各々調整され、上記送風機の吹き出し口に近い上記開口部は、上記送風機の吹き出し口から遠い上記開口部よりも開口面積が小さいことを特徴とするものである。
この発明のバーンイン装置によれば、送風機の吹き出し口とバーンインボードの配置に応じて、各バーンインボード上に導入される温度調整用気体の流量を、流量調整用端板の開口部の開口面積によって調整することができる。従って、温度槽内の各バーンインボードの配置によって異なる流路抵抗を一定に近づけることができ、多段に配置されたバーンインボードの各段上に導入される温度調整用気体の流量を一定にすることが可能となる。
実施の形態1.
本発明の実施の形態1のバーンイン装置100について、図1から図4を用いて説明する。図1は、本発明を適用したバーンイン試験を行うバーンイン装置100の全体構成を示す概略断面図である。図1は、温度槽内に多段に配置されるバーンインボード2の試料
載置面をXY平面とした場合のXZ断面を示している。
図1に例示するように、本実施の形態1のバーンイン装置100は、断熱壁12で囲まれた温度槽内においてバーンイン試験を行う。そして、温度槽内には、バーンインボード支持板20が高さ方向(Z方向)に多段に配置されている。バーンインボード支持板20上には、被試験物である半導体デバイス1が載置されたバーンインボード2が配置されている。この被試験物である半導体デバイス1は、バーンインボード2上のバーンイン治具6に搭載されている。
本発明の実施の形態1のバーンイン装置100について、図1から図4を用いて説明する。図1は、本発明を適用したバーンイン試験を行うバーンイン装置100の全体構成を示す概略断面図である。図1は、温度槽内に多段に配置されるバーンインボード2の試料
載置面をXY平面とした場合のXZ断面を示している。
図1に例示するように、本実施の形態1のバーンイン装置100は、断熱壁12で囲まれた温度槽内においてバーンイン試験を行う。そして、温度槽内には、バーンインボード支持板20が高さ方向(Z方向)に多段に配置されている。バーンインボード支持板20上には、被試験物である半導体デバイス1が載置されたバーンインボード2が配置されている。この被試験物である半導体デバイス1は、バーンインボード2上のバーンイン治具6に搭載されている。
バーンインボード2の各段上の空間は、それぞれ試験空間5となる。バーンイン試験時、バーンイン装置100の温度槽(恒温槽)内は、半導体デバイス1の温度を調整するための温度調整用気体(バーンイン用の気体であり、例えば空気が用いられる。以下、空気とする。)が循環している。半導体デバイス1の温度を調節する空気は、モータ10によって駆動されるファン11(送風機に相当する。)の吹き出し口から送風され、送風経路3を介して各バーンインボード2上に導入され、排気経路4を介して温度調整機9に送られる。この温度槽内の空気の温度は、温度調整機9によって調節される。図1の例では、ファン11の吹き出し口から、Z方向上向きに空気が吹き出す。
本実施の形態1のバーンイン装置100の特徴は、空気が、ファン11からバーンインボード2の端部に至る送風経路3からバーンインボード2上に導入される際に、後述する送風側端板7(流量調整用端板に相当する。)に開口された送風口71(開口部に相当する。)を通過し、導入量が調整されることにある。
本実施の形態1のバーンイン装置100の特徴は、空気が、ファン11からバーンインボード2の端部に至る送風経路3からバーンインボード2上に導入される際に、後述する送風側端板7(流量調整用端板に相当する。)に開口された送風口71(開口部に相当する。)を通過し、導入量が調整されることにある。
図2(a)は、図1のバーンイン装置100のA−A矢視図であり、送風側端板7を示している。この送風側端板7は、図1に示すように、バーンイン装置100の温度槽内に多段に配置されたバーンインボード2を支持するバーンインボード支持板20の送風側端面に配設されている。そして、この送風側端板7には、空気をバーンインボード2の各段上に導入する送風口71が各別に開口されている。送風口71は、ファン11の吹き出し口と各バーンインボード2の配置に依存して開口寸法が調整されている。温度槽内では、ファン11の吹き出し口により近いバーンインボード2は、送風経路3がより短く、試験空間5に空気が導入されやすい。そのため、空気を導入する送風口71は、送風経路3が長くなるバーンインボード2の近傍に配置される送風口71よりも、その開口寸法が小さく形成され、各試験空間5への空気の導入量が均等となるように試験空間5への空気の流入量を規制している。
図2(b)は、図1のバーンイン装置100のB−B矢視図であり、多段に配置されたバーンインボード2を支持するバーンインボード支持板20の排気側端面に配設された排気側端板8を示している。この排気側端板8には、空気をバーンインボード2の各段上の試験空間5から排気経路4に排出する排気口81が各別に開口されている。これら複数の排気口81の開口寸法は、ファン11との配置に依存せず、同形状となるように形成されている。
このバーンイン装置100において、半導体デバイス1の温度を調整する空気は、送風経路3を通り、送風側端板7に設けられた送風口71を通り、半導体デバイス1が設置されたバーンイン治具6に送られ、排気側端板8に設けられた排気口81を通り、排気経路4へ排出される。排出された空気は、温度調整機9に送られ、所望の温度に空気温度を調整され、ファン11へ送られる。
このとき、図2(a)に示す送風側端板7の送風口71a、71b、71cから、各バーンインボード2上の試験空間5に導入された空気は、図2(b)に示す排気側端板8の排気口81a、81b、81cからそれぞれ排気経路4に排出される。
このとき、図2(a)に示す送風側端板7の送風口71a、71b、71cから、各バーンインボード2上の試験空間5に導入された空気は、図2(b)に示す排気側端板8の排気口81a、81b、81cからそれぞれ排気経路4に排出される。
このように、バーンイン装置100では、バーンイン試験時には、温度調整された空気を適切な開口寸法の送風口71を介して試験空間5へ送ることによって、半導体デバイス1の温度調節を行っている。
なお、被試験物である半導体デバイス1は、通常、発熱体であり、このバーンイン装置100では、空気によって半導体デバイス1を冷却している。
なお、被試験物である半導体デバイス1は、通常、発熱体であり、このバーンイン装置100では、空気によって半導体デバイス1を冷却している。
また、図1に示すバーンイン装置100では、Z方向に3段のバーンインボード2を配置した例を示したが、実際には、5から10段程度の多段となるようにバーンインボード2が配設される。また、バーンイン用の気体は、空気だけでなく、窒素などの不活性ガスを用いることもできる。
図3は、バーンイン装置100のバーンインボード2上の半導体デバイス1を搭載したバーンイン治具6の配置例を示す図であり、バーンインボード2の上面を示すXY平面図である。バーンインボード2上に配置される複数のバーンイン治具6は、流入した空気が均一に各バーンイン治具6に送られるように、例えば、図3に示すように間隔を空けて交互に配置されている。
また、図3に示すように、このバーンイン装置100は、バーンインボード2上の試験空間5を断熱壁12と断熱扉21で囲んで断熱している。これにより、試験空間5の温度環境が、外気の影響で変動することを抑制している。
さらに、バーンイン装置100には、バーンインボード2の端面に構成された先端部2aを接続するコネクタ22が備えられている。図3においては記載を省略しているが、バーンイン装置100の外部の電源や計器類は、プリント基板で構成されるバーンインボード2を通し、電圧印加や信号の送受信等を行い、バーンイン試験中の半導体デバイス1を作動させている。
さらに、バーンイン装置100には、バーンインボード2の端面に構成された先端部2aを接続するコネクタ22が備えられている。図3においては記載を省略しているが、バーンイン装置100の外部の電源や計器類は、プリント基板で構成されるバーンインボード2を通し、電圧印加や信号の送受信等を行い、バーンイン試験中の半導体デバイス1を作動させている。
次に、図4に、バーンイン治具6の概要図を示す。図4(a)は、バーンイン治具6の側面図であり、図4(b)は、図4(a)のC−C線に沿った断面図である。
図4に示すように、半導体デバイス1を搭載するバーンイン治具6は、半導体デバイス1とバーンインボード2との間で電圧印加や信号の送受信などを行う基板61、半導体デバイス1の熱を効率的に逃がす放熱フィン62及び半導体デバイス押え機構90によって主に構成されている。
ここで、放熱フィン62は、銅やアルミニウムなどの熱伝導率が高い金属製であり、放熱性を向上させるために、例えば、多数の通風路を設けたくし形のフィン形状をしている。また、放熱フィン62の半導体デバイス載置面部6aは、面粗度が小さい平坦な面となっている。
図4に示すように、半導体デバイス1を搭載するバーンイン治具6は、半導体デバイス1とバーンインボード2との間で電圧印加や信号の送受信などを行う基板61、半導体デバイス1の熱を効率的に逃がす放熱フィン62及び半導体デバイス押え機構90によって主に構成されている。
ここで、放熱フィン62は、銅やアルミニウムなどの熱伝導率が高い金属製であり、放熱性を向上させるために、例えば、多数の通風路を設けたくし形のフィン形状をしている。また、放熱フィン62の半導体デバイス載置面部6aは、面粗度が小さい平坦な面となっている。
また、図4(a)に示すように、半導体デバイス押え機構90は、半導体デバイス1を放熱フィン62側に押さえ付ける構造であり、ヒンジ97によって例えば90度の角度に開閉することができ、閉状態の場合に、押え固定部98で固定することができる。図4(b)に示すように、半導体デバイス押え機構90は、ばね91、上部押え蓋92、下部押え蓋93、シャフト94、止め輪95、半導体デバイス押え部96の各構成要素も備えている。ここで、ばね91は、シャフト94に配置された止め輪95と上部押え蓋92の間に配置され、半導体デバイス1を基板61上に固定する際、ばね91が縮むことにより、半導体デバイス1を所望の荷重で放熱フィン62へ押圧することができる。また、押え固定部98を解放し、ヒンジ97を回転させることで、半導体デバイス1が脱着可能となる。なお、押え固定部98による固定を、ボールキャッチやマグネットを用いた固定方法とすることで、容易に半導体デバイス1を脱着させることが可能となる。
また、図4では、記載を省略しているが、より小さな荷重で半導体デバイス1を放熱フィン62へ押え付けるために、半導体デバイス1と放熱フィン62の間に、熱伝導シートを配置してもよい。
さらに、上述の例では、ばね91による荷重で半導体デバイス1を押える機構を示しているが、クランプ等で押える方式を用いてもよい。
また、放熱フィン62の形状は、くし形に限らず多数のピンを配置した構成とすることも可能である。
さらに、上述の例では、ばね91による荷重で半導体デバイス1を押える機構を示しているが、クランプ等で押える方式を用いてもよい。
また、放熱フィン62の形状は、くし形に限らず多数のピンを配置した構成とすることも可能である。
次に、図2(a)のバーンイン装置100の送風側端板7の送風口71の寸法について、より詳細に説明する。この図2(a)において、図示しないファン11の吹き出し口が送風側端板7の下方部に位置しており、吹き出し口から近い順に送風口71a、71b、17cが配置されている。つまり、送風口71a、71b、17cの順に、送風経路3が短く、流路抵抗が小さくなっている。
一方、図2(b)に示すように、この実施の形態1のバーンイン装置100では、バーンインボード2の一端側(送風口側端部)において、各バーンインボード2上に導入される空気の流量を規制しているため、バーンインボード2の他端側(排気口側端部)においては流量調節を行う必要がなく、排気口81a、81b、81cの開口寸法は同一とすることができる。
一方、図2(b)に示すように、この実施の形態1のバーンイン装置100では、バーンインボード2の一端側(送風口側端部)において、各バーンインボード2上に導入される空気の流量を規制しているため、バーンインボード2の他端側(排気口側端部)においては流量調節を行う必要がなく、排気口81a、81b、81cの開口寸法は同一とすることができる。
本発明のバーンイン装置100では、上述したように、送風側端板7が備える送風口71a、71b、71cの開口面積が、ファン11の吹き出し口から近いものほど小さくなるように構成されている。図2(a)では、送風口71a、71b、71cの開口幅wは共通であり、開口高さAによって開口面積S[m2] (S=w×A)が調節されている。
送風口71a、71b、71cの開口高さA1、A2、A3は、それぞれバーンインボード2に載置されたバーンイン治具6上の半導体デバイス1の載置高さを中心として設定され、その大きさは、ファン11の吹き出し口に近い送風口71aで最も小さく(A1)、次に、中段の送風口71bで中間的な大きさとなり(A2)、そして吹き出し口から遠い送風口71cで最も大きく(A3)開口されている(A1<A2<A3)。
送風口71a、71b、71cの開口高さA1、A2、A3は、それぞれバーンインボード2に載置されたバーンイン治具6上の半導体デバイス1の載置高さを中心として設定され、その大きさは、ファン11の吹き出し口に近い送風口71aで最も小さく(A1)、次に、中段の送風口71bで中間的な大きさとなり(A2)、そして吹き出し口から遠い送風口71cで最も大きく(A3)開口されている(A1<A2<A3)。
このように、送風口71a、71b、71cの面積を、ファン11の吹き出し口から遠ざかる配置となるほど広く開口させることで、各送風口71a、71b、71cの流路抵抗R1、R2、R3が漸次小さくなるように調整している(R1>R2>R3)。
本バーンイン装置100の構成では、各バーンインボード2へ流れる空気の流路や各バーンインボード2上から温度調整機9に向かい排出する空気の流路が、ファン11の吹き出し口との距離が遠い最上段のバーンインボード2ほど長くなるため、上段の流路抵抗が大きくなるが、流路抵抗の大きさに応じ、送風口71の面積S[m2]を漸次広くすることで、各バーンインボード2上に流れる空気の流路抵抗を一定に近づけることができ、各試験空間5に流入する空気の量を一定に近づけることができる。
このように、この実施の形態1によれば、バーンインボード2ごとの半導体デバイス1の温度バラツキを軽減することが可能となる。
本バーンイン装置100の構成では、各バーンインボード2へ流れる空気の流路や各バーンインボード2上から温度調整機9に向かい排出する空気の流路が、ファン11の吹き出し口との距離が遠い最上段のバーンインボード2ほど長くなるため、上段の流路抵抗が大きくなるが、流路抵抗の大きさに応じ、送風口71の面積S[m2]を漸次広くすることで、各バーンインボード2上に流れる空気の流路抵抗を一定に近づけることができ、各試験空間5に流入する空気の量を一定に近づけることができる。
このように、この実施の形態1によれば、バーンインボード2ごとの半導体デバイス1の温度バラツキを軽減することが可能となる。
実施の形態2.
上述の実施の形態1では、バーンインボード2の各段上に空気を導入する送風側端板7の送風口71a、71b、71cの面積S[m2]を調整することで、バーンインボード2の配置によって異なる流路抵抗を均一化させる方法について説明した。
この実施の形態2では、バーンインボード2上の空気の流量を、図5に示すような排気側端板80(流量調整用端板に相当する。)に開口した排気口82(開口部に相当する。)を用いて調整する方法について説明する。
上述の実施の形態1では、バーンインボード2の各段上に空気を導入する送風側端板7の送風口71a、71b、71cの面積S[m2]を調整することで、バーンインボード2の配置によって異なる流路抵抗を均一化させる方法について説明した。
この実施の形態2では、バーンインボード2上の空気の流量を、図5に示すような排気側端板80(流量調整用端板に相当する。)に開口した排気口82(開口部に相当する。)を用いて調整する方法について説明する。
図5は、図5(a)は、本発明の実施の形態2によるバーンイン装置100の送風側端板70を示す図であり、図5(b)は、バーンインボード2の配置に応じて排気口82の開口寸法が調整された排気側端板80を示す図である。
図5(a)に示すように、送風側端板70にはバーンインボード2上の試験空間5に空気を導入する送風口72が開口されるが、複数のバーンインボード2に対して各別に設けられた送風口72a、72b、72cは同一の開口面積となるように形成され、各バーンインボード2上に導入される空気の流量は、この送風側端板70では調整されない。
図5(b)に示すように、排気側端板80にはバーンインボード2上の試験空間5から空気を排気する排気口82が開口され、複数のバーンインボード2に対して各別に設けられた排気口82a、82b、82cは、ファン11の吹き出し口に近いものほど開口寸法が小さくなるように形成され、各バーンインボード2から排出される空気の流量を排気側端板80で調整している。
図5(a)に示すように、送風側端板70にはバーンインボード2上の試験空間5に空気を導入する送風口72が開口されるが、複数のバーンインボード2に対して各別に設けられた送風口72a、72b、72cは同一の開口面積となるように形成され、各バーンインボード2上に導入される空気の流量は、この送風側端板70では調整されない。
図5(b)に示すように、排気側端板80にはバーンインボード2上の試験空間5から空気を排気する排気口82が開口され、複数のバーンインボード2に対して各別に設けられた排気口82a、82b、82cは、ファン11の吹き出し口に近いものほど開口寸法が小さくなるように形成され、各バーンインボード2から排出される空気の流量を排気側端板80で調整している。
つまり、実施の形態1においては、バーンインボード2の送風経路3に繋がる一端において、送風側端板7によって各バーンインボード2上に供給される空気の流量を調整していたが、この実施の形態2では、バーンインボード2の排気経路4に繋がる他端部において、排気側端板80によって空気の流量を調整している。
このように、バーンインボード2の排気側端板80によって、各バーンインボード2上の空気の流量を規制することで、各バーンインボード2に対する流路抵抗を一定に近づけ、各バーンインボード2と送風側端板70及び排気側端板80で構成される試験空間5へ流れる空気の量を均一化することができる。すなわち、この実施の形態2によっても、バーンインボード2ごとの半導体デバイス1の温度バラツキを軽減することが可能となる。
このように、バーンインボード2の排気側端板80によって、各バーンインボード2上の空気の流量を規制することで、各バーンインボード2に対する流路抵抗を一定に近づけ、各バーンインボード2と送風側端板70及び排気側端板80で構成される試験空間5へ流れる空気の量を均一化することができる。すなわち、この実施の形態2によっても、バーンインボード2ごとの半導体デバイス1の温度バラツキを軽減することが可能となる。
実施の形態3.
次に、図6を用いて、本発明の実施の形態3のバーンイン装置100について説明する。図6は、本実施の形態3における送風側端板7の送風口71の形状を示す図である。本実施の形態3では、上述の実施の形態1と同様に、ファン11の吹き出し口から近い順に、開口寸法が小さい送風口71a、71b、71cが開口されている。しかし、実施の形態1では、図2(a)に示すように、送風側端板7が一枚の板状部材によって構成され、開口寸法が各々調整された送風口71a、71b、71cが開口されているのに対し、この実施の形態2では、図6に示すように、送風側端板7が調整板73を備えており、送風側端板7に予め開口された開口部を調整板73が部分的に塞いで開口面積を調整する。
次に、図6を用いて、本発明の実施の形態3のバーンイン装置100について説明する。図6は、本実施の形態3における送風側端板7の送風口71の形状を示す図である。本実施の形態3では、上述の実施の形態1と同様に、ファン11の吹き出し口から近い順に、開口寸法が小さい送風口71a、71b、71cが開口されている。しかし、実施の形態1では、図2(a)に示すように、送風側端板7が一枚の板状部材によって構成され、開口寸法が各々調整された送風口71a、71b、71cが開口されているのに対し、この実施の形態2では、図6に示すように、送風側端板7が調整板73を備えており、送風側端板7に予め開口された開口部を調整板73が部分的に塞いで開口面積を調整する。
ここで、送風側端板7に調整板73を固定する方法を示す。例えば、調整板73の固定は、送風側端板7に、Z方向にねじ穴を設け、調整板73に、そのねじ穴に対応する位置に長穴をあけ、ねじ73aで調整板73を送風側端板7に固定することで可能となる。このように、調整板73は、送風側端板7のZ方向にねじ73を緩めて移動させられるため、送風口面積S[m2]を変化させる機能を有している。
なお、図6には、1つの送風口71の開口高さを2枚の調整板73で調整して開口面積を調整できるようにしている。2枚の調整板73で、上下方向から開口寸法を調整すれば、開口高さの中心が変動しないという効果が得られる。しかし、一つの送風口71に対し、1枚の調整板73を用い、開口部の高さ方向の片側から送風口71の開口高さを調整してもよい。
このように、送風側端板7に調整板73を付加したバーンイン装置100では、送風口の面積S[m2]を自由に変化させることが可能である。
なお、図6には、1つの送風口71の開口高さを2枚の調整板73で調整して開口面積を調整できるようにしている。2枚の調整板73で、上下方向から開口寸法を調整すれば、開口高さの中心が変動しないという効果が得られる。しかし、一つの送風口71に対し、1枚の調整板73を用い、開口部の高さ方向の片側から送風口71の開口高さを調整してもよい。
このように、送風側端板7に調整板73を付加したバーンイン装置100では、送風口の面積S[m2]を自由に変化させることが可能である。
具体的な調整板73の配置は、バーンイン装置100の立ち上げ調整の際に決まり、半導体デバイス1上に熱電対など温度計測できる計測器を設置し、各段のバーンインボード2上での半導体デバイス1の温度を計測し、それぞれのバーンインボード2上に設置された半導体デバイス1の温度が均一になるように、調整板73の位置を調整する。同一試験の繰り返しで、ファン11の送風量および吹き出し口の位置が変わらない場合、一度、調整板73の位置を固定すれば、再調整は不要である。この実施の形態3によれば、バーンイン装置100の立ち上げ時の調整板73の調整によって、半導体デバイス1の温度バラツキを軽減することができる。
なお、調整板73によって送風口71a、71b、71cの開口寸法の調整が可能であるため、あらかじめ送風側端板7に開口しておく開口部の寸法は、同一サイズとすることが可能であり、バーンインボード2の他端側に設ける排気側端板8を構成する部材を共通に用いることも可能である。
また、上述の例では、各バーンインボード2上の空気の流量を、送風側端板7において規制する場合を示したが、実施の形態2で示したように、排気側端板80において空気の流量を規制する場合には、排気側端板80に調整板73を装着させて排気口81a、81b、81cの開口高さを調整し、開口寸法の適正化を行うことが可能であることは言うまでもない。
実施の形態4.
上述の実施の形態3においては、送風側端板7に調整板73を固定する方法としてねじ固定を例示していた。しかし、調整板73をねじ固定した場合は、調整板73の配置を再調整する場合に、ねじを緩め、調整板73をずらせてから締め直すという作業が必要となる。
この実施の形態4では、図7を用いて、調整板73を駆動機器74によってスライド移動させて、送風側端板7の送風口71a、71b、71cの開口寸法の調整を行う場合について説明する。図7は、本発明の実施の形態4によるバーンイン装置100の送風側端板7を表す概要図であり、送風側端板7に取り付けられる調整板73は、送風側端板7に支持された駆動機器74によって駆動される。
上述の実施の形態3においては、送風側端板7に調整板73を固定する方法としてねじ固定を例示していた。しかし、調整板73をねじ固定した場合は、調整板73の配置を再調整する場合に、ねじを緩め、調整板73をずらせてから締め直すという作業が必要となる。
この実施の形態4では、図7を用いて、調整板73を駆動機器74によってスライド移動させて、送風側端板7の送風口71a、71b、71cの開口寸法の調整を行う場合について説明する。図7は、本発明の実施の形態4によるバーンイン装置100の送風側端板7を表す概要図であり、送風側端板7に取り付けられる調整板73は、送風側端板7に支持された駆動機器74によって駆動される。
図7に示す駆動機器74を用いた、送風口71の開口面積S[m2]の調整方法について説明する。本実施の形態4のバーンイン装置100は、調整板73を駆動機器74で可動させることにより、送風口71の開口面積S[m2]を変化させ、各バーンインボード2上の空気の流量を調整し、半導体デバイス1の温度を調整させる構成である。この調整板73の幅方向の両端には、調整板73の移動方向(高さ方向となるZ方向。)に沿って伸びるガイド75が設けられ、一方のガイド75に駆動機器74が取り付けられ、この駆動機器74に調整板73が固定されている。調整板73は、駆動機器74によってガイド75上をZ方向に移動する。送風口71a、71b、71cの高さ方向の寸法を、各バーンインボード2の配置条件に合わせて調整することで、それぞれ最適な開口面積とすることができる。なお、駆動機器74は、コントローラ13によって制御される。
次に、駆動機器74により駆動させる調整板73の調整量について説明する。
図8に、本実施の形態4におけるバーンイン装置100の概略断面図を示す。図8に示すように、排気側端板8の排気口81には、各バーンインボード2上の試験空間5を流れる空気の流速を計測する流速計50が配置されている。この流速計50は、各バーンインボード2から排出される空気の流速を計測することができ、流速[m/s]と排気口面積[m2]より、単位時間当たりの流量[m3/s]を求めることができる。流速計50の流速測定値は、コントローラ13に送られ、コントローラ13によって、流速測定値から駆動機器74の制御量を割り出して駆動機器74を制御し、各排気口81から流出する空気の流量が一定となるように、送風口面積S[m2]を調整する。
図8に、本実施の形態4におけるバーンイン装置100の概略断面図を示す。図8に示すように、排気側端板8の排気口81には、各バーンインボード2上の試験空間5を流れる空気の流速を計測する流速計50が配置されている。この流速計50は、各バーンインボード2から排出される空気の流速を計測することができ、流速[m/s]と排気口面積[m2]より、単位時間当たりの流量[m3/s]を求めることができる。流速計50の流速測定値は、コントローラ13に送られ、コントローラ13によって、流速測定値から駆動機器74の制御量を割り出して駆動機器74を制御し、各排気口81から流出する空気の流量が一定となるように、送風口面積S[m2]を調整する。
このように、排気口81の流量をモニタし、駆動機器74にて調整板73の高さを調整することができるバーンイン装置100では、送風口面積S[m2]をバーンイン試験中においても自由に変えることができる。また、半導体デバイス1の発熱量[W]によって、ファン11の送風量を変える場合でも、試験条件の変化に対応し、各バーンインボード2に配置された半導体デバイス1の温度バラツキを軽減することができる。
なお、上述の例では、各バーンインボード2上の空気の流量を、送風側端板7において駆動機器74を駆動させて調整板73の高さにより調整する場合を示したが、実施の形態2で示したように、排気側端板80において空気の流量を調整する場合には、排気側端板80に駆動機器74で駆動する調整板73を設け、送風口71側に流速計50を配し、計測した流速値から試験空間5に導入された空気の流量を求め、この流量を基に調整板73を駆動させ、排気口81a、81b、81cの開口高さを調整し、開口寸法の適正化を行うことが可能であることは言うまでもない。
実施の形態5.
上述の実施の形態4においては、バーンイン装置100の試験空間5の排気口81において空気の流速を流速計50により計測し、流速に応じて送風側端板7の送風口71の開口高さを調整することについて説明した。この実施の形態5では、流速計50に代えて熱電対51を用いて、半導体デバイス1の温度をモニタし、バーンインボード2上の試験空間5における空気の流量を、熱電対51の計測結果に基づいて送風側端板7または排気側端板80の開口寸法によって調整することについて説明する。
上述の実施の形態4においては、バーンイン装置100の試験空間5の排気口81において空気の流速を流速計50により計測し、流速に応じて送風側端板7の送風口71の開口高さを調整することについて説明した。この実施の形態5では、流速計50に代えて熱電対51を用いて、半導体デバイス1の温度をモニタし、バーンインボード2上の試験空間5における空気の流量を、熱電対51の計測結果に基づいて送風側端板7または排気側端板80の開口寸法によって調整することについて説明する。
図9は、熱電対51の配置を示すバーンイン治具6の側面図である。図9に示すように、熱電対51はバーンイン治具6の放熱フィン62上に配置され、可能な限り半導体デバイス1の近傍に設置する。熱電対51を半導体デバイス1に設置することが、半導体デバイス1の温度をモニタする上で最も良い方法であるが、試験毎に半導体デバイス1を取り換える際の効率を考えると、半導体デバイス1に熱電対51を設置することは難しい。そこで、放熱フィン62の半導体デバイス1の近傍に熱電対51を設置し、各バーンイン治具6の放熱性能を考慮した上で、半導体デバイス1の温度を類推することがバーンイン試験を行う上で有効的である。
この実施の形態5のバーンイン装置100では、熱電対51の測定結果を基に、実施の形態4と同様に、コントローラ13によって駆動機器74を制御する。つまり、各熱電対51によって得られる温度測定値は、コントローラ13に送られ、その測定値に応じた制御量が割り出され、コントローラ13によって駆動機器74が制御され、各バーンインボード2に設置された熱電対51の平均温度が一定となるように、送風口面積S[m2]が調整される。
なお、熱電対51は、各バーンインボード2に対し、少なくとも1つを配置すればよいが、一枚のバーンインボード2について複数の熱電対51を分散させて配置し、計測点を増やして平均をとれば、同一バーンインボード2内での計測バラつきを抑制できることは言うまでもない。
このように、熱電対51で温度をモニタし、駆動機器74にて調整板73の高さを調整することができるバーンイン装置100では、送風口面積S[m2]をバーンイン試験中においても自由に変えることができ、各バーンインボード2に配置された半導体デバイス1の温度バラツキを軽減することができる。
このように、熱電対51で温度をモニタし、駆動機器74にて調整板73の高さを調整することができるバーンイン装置100では、送風口面積S[m2]をバーンイン試験中においても自由に変えることができ、各バーンインボード2に配置された半導体デバイス1の温度バラツキを軽減することができる。
上記の例では、開口寸法を調整可能な送風側端板7または排気側端板80は、送風口71または排気口82の開口形状が矩形であり、一定の幅、所定の高さとなるように調整される例を示したが、必ずしも開口形状は矩形でなくても良く、温度槽の内部形状やファン11から送風される空気の循環状態に依存して、他の形状に開口することも可能である。
また、送風口71または排気口82は、一つのバーンインボード2に対し、一つを設けることを例示したが、一つのバーンインボード2に対し複数の開口部を設けることもできる。また、所定の開口形状の孔部を何個設けるかによって、つまり所定の孔の開口数を調整することで、開口面積を調整することも可能であることは言うまでもない。
また、送風口71または排気口82は、一つのバーンインボード2に対し、一つを設けることを例示したが、一つのバーンインボード2に対し複数の開口部を設けることもできる。また、所定の開口形状の孔部を何個設けるかによって、つまり所定の孔の開口数を調整することで、開口面積を調整することも可能であることは言うまでもない。
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
1 半導体デバイス、2 バーンインボード、2a 先端部、3 送風経路、4 排気経路、5 試験空間、6 バーンイン治具、6a 半導体デバイス載置面部、7、70 送風側端板、8、80 排気側端板、9 温度調整機、10 モータ、11 ファン、12 断熱壁、13 コントローラ、20 バーンインボード支持板、21 断熱扉、22 コネクタ、50 流速計、51 熱電対、61 基板、62 放熱フィン、71、71a、71b、71c、72、72a、72b、72c 送風口、73 調整板、73a ねじ、74 駆動機器、75 ガイド、81、81a、81b、81c、82、82a、82b、82c 排気口、90 半導体デバイス押え機構、91 ばね、92 上部押え蓋、93 下部押え蓋、94 シャフト、95 止め輪、96 半導体デバイス押え部、97 ヒンジ、98 押え固定部、100 バーンイン装置
Claims (7)
- 被試験物を載置するバーンインボード、
上記バーンインボードが多段に配設された温度槽、
上記バーンインボード上に上記被試験物の温度を調整する温度調整用気体を送風する送風機、
上記バーンインボードの端部に配置され、上記バーンインボードの各段上に導入される上記温度調整用気体の流量を調整する開口部が各別に設けられた流量調整用端板を備え、
上記流量調整用端板に開口された複数の上記開口部は、上記バーンインボードと上記送風機の配置に応じて開口面積が各々調整され、上記送風機の吹き出し口に近い上記開口部は、上記送風機の吹き出し口から遠い上記開口部よりも開口面積が小さいことを特徴とするバーンイン装置。 - 上記流量調整用端板は、上記温度調整用気体を上記バーンインボードの各段上に導入する送風側端板であることを特徴とする請求項1記載のバーンイン装置。
- 上記流量調整用端板は、上記温度調整用気体を上記バーンインボードの各段上から排出する排気側端板であることを特徴とする請求項1記載のバーンイン装置。
- 上記流量調整用端板は、上記開口部を部分的に塞いで開口面積を調整する調整板を備えたことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載のバーンイン装置。
- 上記調整板は、上記流量調整用端板に支持された駆動機器によって駆動されることを特徴とする請求項4記載のバーンイン装置。
- 上記バーンインボードの各段上に流れる上記温度調整用気体の流速を計測する流速計を備え、上記流速計で計測した流速に応じて上記開口部の開口面積を調整することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項記載のバーンイン装置。
- 上記バーンインボードの各段上に流れる上記温度調整用気体の温度を計測する温度計測器を備え、上記温度計測器で測定した温度に応じて上記開口部の開口面積を調整することを特徴とする請求項1から6のいずれか一項記載のバーンイン装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015141805A JP2017026332A (ja) | 2015-07-16 | 2015-07-16 | バーンイン装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018150765A1 (ja) | 2017-02-15 | 2018-08-23 | 株式会社Jvcケンウッド | 収音装置、及び収音方法 |
CN112834904A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-25 | 武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 | 一种芯片老化测试系统及方法 |
CN115793743A (zh) * | 2023-02-09 | 2023-03-14 | 杭州长川科技股份有限公司 | 电子元器件测试温度控制方法及系统 |
-
2015
- 2015-07-16 JP JP2015141805A patent/JP2017026332A/ja active Pending
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