JP4886580B2 - バーンイン試験装置 - Google Patents
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Description
また、従来のバーンイン試験装置は、デバイスの高発熱化を想定して製造されておらず、多数のデバイスを個別に温度制御するのは困難であった。
そのため、デバイスの高発熱化に対応し、デバイス毎の温度制御が可能なバーンイン試験装置の開発が望まれていた。
送風ダクト10と試験部17とは送風側仕切壁12により仕切られ、送風側仕切壁12には複数の送風分岐口15が設けられている。送風機8から送風ダクト10に供給された空気は、送風分岐口15を通って試験部17に送り込まれる。
同様に排気ダクト11と試験部17とは排気側仕切壁13により仕切られ、排気側仕切壁13には複数の排気分岐口16が設けられている。試験部17から排出される気体は、排気分岐口16を通って排気ダクト11に送り込まれる。
また、分岐送風ダクト25は、バーンインボード3に実装される試料体2の列の直上を通過するようにダクト空間23に形成されている。
2 試料体
8 送風機(気体供給手段)
10 送風ダクト
22 試験室
27 境界板
30 吹出口
33,62 流量調整手段
35 案内筒
36 固定シャッター(第一シャッター)
37 スリット(第一送気孔)
38 可動シャッター(第二シャッター)
41 スリット(第二送気孔)
45 駆動装置
66 駆動装置
70 羽根板
71 軸部材
Claims (6)
- 通電されると、自己発熱によって目標とした温度帯を超えて発熱する試料体を目標の温度帯に制御して試験を行うバーンイン試験装置であって、
気体を供給可能な気体供給手段と、
複数の試料体を実装可能な一又は複数の試験室と、
前記気体供給手段により供給される気体を前記試験室に向けて供給可能な送風ダクトと、
前記送風ダクトと前記試験室とを分割し、試験室に実装される試料体と対向するように配置される境界板とを備えており、
気体供給手段により送風ダクトを介して供給された気体を、試験室に実装された各試料体の発熱状況に応じ、試料体毎に流量調整して吹き付け可能であり、
各試料体に対応して前記境界板に設けられ、気体供給手段によって送風ダクトに供給された気体を試験室に対して吹き出し可能な吹出口を備え、
前記境界板において吹出口に対して隣接する位置に排気口が設けられており、
各吹出口から対応する試料体に向かう気体流路となる、試料体側に向けて突出した案内筒を備えており、
前記案内筒は、前記境界板の各吹出口に相当する位置に取り付けられていることを特徴とするバーンイン試験装置。 - 前記各吹出口に対応して配され、送風ダクトから試験室に吹き出される気体の流量を試料体毎に調整可能な流量調整手段を備えることを特徴とする請求項1に記載のバーンイン試験装置。
- 前記案内筒の内側又は端部に、筒内の流路面積を拡大縮小できる流量調整手段が配されることを特徴とする請求項2に記載のバーンイン試験装置。
- 前記流量調整手段は、
一又は複数の第一送気孔を有する第一シャッターと、
前記第一送気孔に対応する第二送気孔を有し、前記第一シャッターに対して重ねて配置される第二シャッターと、
第一、第二シャッターのいずれか一方又は双方を作動させることが可能な駆動装置とを備え、
第一、第二シャッターのいずれか一方又は双方を他方に対して相対移動させることにより、第一送気孔と第二送気孔との重複部分の面積を変化させて、試料体毎に吹き付けられる気体の流量を調整可能であることを特徴とする請求項2又は3に記載のバーンイン試験装置。 - 前記流量調整手段は、
回転して姿勢を変えることにより送風ダクトから試験室への気体の流れを妨げることが可能な羽根板と、
前記羽根板を回転させることが可能な駆動装置とを備え、
前記羽根板を回転させて、試料体毎に吹き付けられる気体の流量を調整可能であることを特徴とする請求項2又は3に記載のバーンイン試験装置。 - 気体供給手段から供給される気体が流れる送風ダクトの流路面積は、下流になるに従い小さくなることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のバーンイン試験装置。
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