JP2008218037A - 燃料電池用セパレータ、燃料電池および燃料電池用セパレータの製造システム並びに燃料電池用セパレータの製造方法 - Google Patents

燃料電池用セパレータ、燃料電池および燃料電池用セパレータの製造システム並びに燃料電池用セパレータの製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】電気伝導度が低く、耐食性に優れ、製造コストを低減することができる燃料電池用セパレータの製造方法を得ること。
【解決手段】セルが複数接続されてなる燃料電池で、隣接するセル同士を分離する燃料電池用セパレータを製造する燃料電池用セパレータの製造方法において、加工液中で、所定の形状を有する金属のセパレータ用部材とSi電極との間にパルス状の放電を繰り返し発生させて、セパレータ用部材の表面にSi含有被膜を形成することを特徴とする。
【選択図】 図7

Description

この発明は、燃料電池の主要構成部品であるセパレータと燃料電池および燃料電池用セパレータの製造システム並びに燃料電池用セパレータの製造方法に関するものである。
燃料電池(Fuel Cell)には、燐酸型、アルカリ型、溶融炭酸塩型、固体電解質型、固体高分子型などの種類がある。このうち燐酸型は既に定置用発電装置として商業レベルになっているが、大量には生産されていない。これに対して、80年代末から集中的な研究開発が進み、自動車用に実用化されつつあるのが、PEM(Proton Exchange Membrane)燃料電池(日本語では固体高分子型燃料電池という)である。燃料電池にはコンプレッサ以外に可動部品がないという特徴があり、余分な動力の損失がないため、本来、内燃機関に比べて損失が少なく効率が高い。実際に、固体高分子型燃料電池は、発電効率が40〜50%ある。電力をモータに供給した場合、モータの効率は85〜95%であるので、燃料電池車は、油井から車輪までの効率が内燃機関の場合の2.5倍から3倍になるといわれている。
固体高分子型燃料電池は、セルが複数積層されて構成される。図12は、固体高分子型燃料電池を構成するセルの構造を模式的に示す図であり、図13は、固体高分子型燃料電池の構成を模式的に示す図である。図12に示されるように、セル100は、厚さ0.1mm以下の透明なプラスチックフィルムで構成され陽子を通過させるイオン交換膜101と、このイオン交換膜101の両側の面に設けられるカーボン電極102,103と、イオン交換膜101とカーボン電極102,103に設けられる白金などの図示しない触媒と、カーボン電極102,103のイオン交換膜101とは反対側の面に設けられるセパレータ104と、を備える。ここで、イオン交換膜101を挟んで一方のカーボン電極101には、水素が供給され、他方のカーボン電極103には酸素(または空気)が供給される。以下では、水素が供給される側のカーボン電極102を水素極といい、酸素(または空気)が供給される側のカーボン電極103を酸素極ということにする。また、セパレータ104は、それぞれのセル100を隔離するもの(隔壁板)であり、水素と酸素(または空気)がイオン交換膜101の全面に渡って一様に接触して流れるように溝が形成されている。
このような構造の固体高分子型燃料電池のセル100における動作の概要について説明する。まず、イオン交換膜101を挟んだ水素極102側に水素が供給され、酸素極103側に酸素(または空気)が供給される。水素は、セパレータ104の表面に加工された細かい溝を通って、水素極102に供給されるが、水素極102に到達すると、触媒の作用によって、水素から電子(e-)が飛び出して、水素極102の周辺にはH+(陽子)が残る状態になる。このとき、電子は水素極102と酸素極103とを結ぶ負荷105(外部回路)へと流れ、電流を作り出す。一方、H+(陽子)はイオン交換膜101を通って酸素極103側へと移動する。酸素極103では、供給される酸素と、イオン交換膜101を通過してきたH+と、負荷105(外部回路)から戻ってきた電子と、が結合して水ができる。そして、このようなセル100を図13に示されるように多数直列に配置することで、高い電圧を発生することができる。
ところで、セル100を構成するセパレータ104の溝の加工は、従来、NC(Numerical Control)工作機械による加工が主であり、時間とコストがかかっていた。このセパレータ104は、発生した電力を隣のセル100に伝えられるように電気伝導度がよく接触抵抗が低いことが必要であり、また、腐食しやすい雰囲気に耐えられるように高い耐食性も必要とされる。現在の燃料電池のコストのうち、セパレータ104が半分近くを占めると言われている。そのため、燃料電池の普及に当たっては、セパレータ104の材料の選択とコスト低下が極めて重要になる。
従来のセパレータ材料としては、以下に例示するように、種々のものが提案されている。
(1)グラファイト:耐食性の高いグラファイト材料を切削加工により形状成形
(2)金属系:ステンレスやチタンなどの金属、または金属の表面に金メッキを施したもの(たとえば、非特許文献1参照)
(3)コンポジット系:カーボン+樹脂を圧縮成形または射出成形により成形
ところで、従来、被加工物にたとえば硬質性や高耐熱性、高耐食性を有する膜を形成する方法として、放電表面処理方法が知られている。この放電表面処理方法は、被加工物と、この被加工物に形成する膜の組成を有する電極とを、加工液中で所定の距離だけ話して、パルス放電を発生させ、その放電エネルギで電極の構成材料を被加工物の表面に付着、溶融させて、被加工物上に被膜を形成するものである。この放電表面処理を利用して、金属の耐食性を高める技術として、Siを利用した放電表面処理が提案されている(たとえば、特許文献1参照)。
池谷知彦、高比良聡、「固体高分子形燃料電池セパレータ用ステンレス鋼板の技術開発」、Focus NEDO, Vol.3, No.13, PP11-12 特公平5−13765号公報
以上のように燃料電池のセパレータには、電気伝導度が高いこと、接触抵抗が低いこと、そして耐食性があること、が要求される。燃料電池のセパレータとして従来広く使用されているグラファイト材料は、耐食性は高いが、電気伝導度の点では、電気抵抗が大きいために発熱が大きく、エネルギ効率が悪いという問題点があった。また、近年開発されつつあるステンレスは、電気抵抗が大きく、耐食性が足りないとも言われている。さらに、従来の燃料電池用セパレータは、その製造にコストがかかっているという問題点もあった。
この発明は、上記に鑑みてなされたもので、電気伝導度と接触抵抗が低く、そして耐食性に優れ、製造コストを低減することができる燃料電池用セパレータ、燃料電池および燃料電池用セパレータの製造システム並びに燃料電池用セパレータの製造方法を得ることを目的とする。
上記目的を達成するため、この発明にかかる燃料電池用セパレータは、セルが複数接続されてなる燃料電池で、隣接する前記セル同士を分離する燃料電池用セパレータであって、金属のセパレータ用部材の表面にSi含有被膜が形成されることを特徴とする。
この発明によれば、電気伝導度が低くかつ耐食性のある燃料電池用セパレータを製造することができるという効果を有する。
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる燃料電池用セパレータ、燃料電池および燃料電池用セパレータの製造システム並びに燃料電池用セパレータの製造方法の好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、これらの実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施の形態1.
図1−1は、この発明にかかる燃料電池用セパレータの構成を模式的に示す概略図であり、図1−2は、図1−1の燃料電池用セパレータの一部断面を模式的に示す図である。これらの図に示されるように、燃料電池用のセパレータ10は、金属からなるセパレータ用部材11と、このセパレータ用部材11の表面に形成された厚さ数μm〜10μm程度のSi含有被膜12と、から構成される。セパレータ用部材11は、ステンレス鋼やAlなどの金属を用いることができるが、抵抗率の低いCuを用いるのが望ましい。また、このセパレータ用部材11として、不純物の少ない純金属または固溶体であることが望ましい。さらに、Si含有被膜12は、不純物のドーピングによって、電気伝導性が付与されているものとする。なお、図1−2は、図1−1の領域Aの部分を拡大して示した模式図である。
図2は、この発明で用いられる放電表面処理装置の概要を模式的に示す図である。放電表面処理装置20は、被膜を形成したい被加工物21と、被加工物21の表面に被膜を形成させるための放電表面処理用電極22と、被加工物21と放電表面処理用電極22に電気的に接続され両者間にアーク放電を起こさせるために両者に電圧を供給する放電表面処理用電源23と、を備える。放電表面処理を液中で行う場合には、被加工物21と放電表面処理用電極22の被加工物21と対向する部分が油などの加工液24で満たされる。この加工液24は、図示しない加工槽中に満たされる。また、放電表面処理を気中で行う場合には、被加工物21と放電表面処理用電極22とは、処理雰囲気中に置かれる。なお、以下では、放電表面処理用電極22と被加工物21との対向する面の間の距離のことを極間距離という。
この実施の形態1では、被加工物21は、溝が形成された燃料電池用のセパレータ用部材11である。このセパレータ用部材11として、Cuやステンレス鋼、Alなどの成形された金属が用いられる。また、放電表面処理用電極22として、Si電極が用いられる。このSi電極22は、不純物をドープして、電気伝導度を持たせたものが使用される。また、このSi電極22は、被加工物21であるセパレータ用部材11の形状に合わせて成形されている。たとえば、図2に示されるように、セパレータ用部材11には溝41が彫ってあるが、Si電極22には、この溝41の部分と対向する部分が凸部42となるように成形される。
つぎに、放電表面処理方法について説明する。放電表面処理は、たとえば、被膜を形成したい被加工物21であるセパレータ用部材11を陽極とし、被膜の供給元となるセパレータ用部材11の形状に合わせて成形されたSi電極22を陰極とし、これらの電極を加工液24中で両者が接触しないように図示しない制御機構によって極間距離を制御しながら、両者間に放電を発生させる。被加工物21とSi電極22との間に放電が発生すると、この放電による爆風や静電気力によって溶融したSi電極22の一部がSi電極22から引き離され、被加工物21表面に向かって移動する。このとき、Si電極22から引き離された電極構成材料はアーク柱31を移動中にすべて溶融され、被加工物21表面で再凝固しSi含有被膜12となる。また、被加工物21表面もアーク柱31の熱によって溶融状態となるので、Si含有被膜12と被加工物21との結合力は強くなる。このようにして、被加工物21上にSi含有被膜12が形成される。
ここで、Cuのセパレータ用部材11に対してSi電極22で放電させた場合には、Cu−Si二元素系のアモルファス合金が形成される。また、SUS304のようなオーステナイト系ステンレスのセパレータ用部材11の場合でも、アモルファス合金が形成される。一方、SUS440のようなマルテンサイト系ステンレスのセパレータ用部材11の場合には、表面に形成されるSi含有被膜12は、アモルファスにはならなかった。しかし、これらのセパレータ用部材11の表面に形成されるSi含有被膜12によって、耐食性の試験で、耐食性が向上していることが確認できた。
つぎに、金属のセパレータ用部材11にSi含有被膜12を形成した燃料電池用セパレータの特性を評価した結果を示す。ここでは、電気抵抗値と耐食性について評価した。
(1)電気抵抗値の評価
燃料電池用セパレータでは、表面の電気抵抗値が低いのが望ましい。そこで、Si含有被膜を形成した後の表面の電気抵抗を四探針法で測定した。セパレータ用部材としてのCuとSUS304を用いた場合の表面抵抗値と、これらのセパレータ用部材にSi含有被膜を形成した場合の表面抵抗値と、をそれぞれ測定した。また、比較のために、燃料電池用セパレータの素材としてよく使用されているグラファイトの抵抗値も測定した。
図3は、燃料電池用セパレータの電気抵抗値の測定結果を示す図である。四探針法は電気抵抗が低い場合には測定精度が悪くなるが、電気抵抗は、グラファイト、SUS304、Cuの順に低くなる。また、Si含有被膜を形成した表面の電気抵抗は、母材となるセパレータ用部材の電気抵抗に比してほとんど上がっていない。そのため、従来、使用されていた金属系のセパレータにSi含有被膜を形成しても、電気抵抗が上がらないので、Si含有被膜を形成した燃料電池用セパレータは、電気抵抗の点では問題がないことがわかる。
(2)耐食性の評価
Cuのセパレータ用部材にSi含有被膜を形成したセパレータと、Si含有被膜を形成していないCuのセパレータを試験片として、これらの試験片の上に王水(濃硝酸:濃塩酸=1:3)を滴下して5分間放置した後の凹み量の比較を行って、耐食性について調査した。Si含有被膜が無いCuからなるセパレータの場合には、約200μmの凹みができたが、Si含有被膜があるセパレータの場合にはほとんど凹みはできなかった。そのため、Si含有被膜を形成した燃料電池用セパレータは、耐食性の点でも問題ないことがわかる。
この実施の形態1によれば、Cuやステンレス鋼、Alなどの金属のセパレータ用部材の表面にSi含有被膜を形成することによって、耐食性を有し、電気抵抗の低い燃料電池用セパレータを得ることができるという効果を有する。
実施の形態2.
実施の形態1では、燃料電池用セパレータの形状に成形された金属(セパレータ用部材)に、Si含有被膜を放電表面処理によって形成する場合を示したが、この実施の形態2では、平板状の金属板にSi含有被膜を放電用面処理によって形成し、この金属板を加工することによって燃料電池用セパレータを製造する場合について説明する。
この発明にかかる燃料電池用セパレータの製造方法の実施の形態2の手順の一例について、図4〜図6を参照しながら説明する。図4は、放電表面処理装置によって、平板状の金属板に被膜を形成している様子を模式的に示す図である。この図4に示される放電表面処理装置20は、実施の形態1の図2において、被加工物21であるセパレータ用部材11が平板状の金属板16となり、凸部42を有するSi電極22も平板状となっている点が異なるだけで、その他の点は実施の形態1で説明したものと同一であるので、その説明を省略する。また、このSi電極22は、金属板16の幅と同じかそれ以上の幅を有するように成形されている。まず、この図4に示されるように、放電表面処理装置20を用いて、平板状の金属板16(被加工物21)の一方の表面にSi含有被膜17を形成する。
ここで、金属板16は、セパレータを構成するために必要な寸法を有する平板形状を有しており、何の加工もなされていないものである。また、金属板16として、実施の形態1で説明したように、Cuやステンレス鋼、Alなどの金属を用いることができるが、電気伝導度の点でCuを用いることが望ましい。また、この金属板16として、不純物の少ない純金属または固溶体であることが望ましい。
このような放電表面処理装置20で、加工液24中で平板状のSi電極22を平板状の金属板16に接触させないように図示しない制御機構によって極間距離を制御しながら、両者間に放電を発生させる。Si電極22と金属板16との間に放電が発生すると、この放電による爆風や静電気力によって溶融したSi電極22の一部がSi電極22から引き離され、金属板16の表面に向かって移動する。このとき、Si電極22から引き離された電極構成材料はアーク柱31を移動中にすべて溶融され、金属板16表面で再凝固しSi含有被膜17となる。また、金属板16の表面もアーク柱31の熱によって溶融状態となり、Si含有被膜17と金属板16の結合力は強くなる。これによって、金属板16の全面にSi含有被膜17が形成される。
図5−1は、平板状の金属板を放電表面処理したセパレータ用素材の斜視図であり、図5−2は、図5−1のセパレータ素材の断面の一部を模式的に示す図である。なお、図5−2は、図5−1の領域Bの断面を示している。これらの図に示されるように、金属板16の表面には数μm〜10μm程度のSi含有被膜17が形成されている。なお、実施の形態1と同様に、金属板16にSi含有被膜17を形成したセパレータ素材15の耐食性は、被加工物である金属板16に比して耐食性を著しく向上させることができる。
その後、Si含有被膜17を形成した金属板16(セパレータ素材15)を塑性加工する工程に移る。図6は、セパレータ素材を塑性加工する様子を模式的に示す図である。セパレータ素材15(金属板)の塑性加工には、金属板に溝を形成することができるように加工されたプレス用金型51,52を用いる。この図6では、下側の金型(下型)52には、セパレータに形成される溝に合わせて凹部54が形成されており、上側の金型(上型)51には、下側の金型52の凹部54に合致するように凸部53が形成されている。
これらの上下の金型51,52の間にSi含有被膜17を形成した金属板16(セパレータ素材15)を配置し、上下の金型51,52で挟み、プレスすることで、セパレータ素材15が金型51,52の形状に塑性変形され、燃料電池用セパレータ18が形成される。
この実施の形態2によれば、金属板16の表面にSi含有被膜17を形成したので、セパレータ素材15は実施の形態1に示したように耐食性に優れ、電気抵抗も低いという性能の優れた燃料電池用セパレータ18を製造することができるという効果を有する。また、上述したパルス状の放電によりSi含有被膜17を形成した金属板16は、放電エネルギにより小さな領域(10μm程度の深さ)が溶融して被膜が形成されているため、密着力が強く、その後の塑性変形によってもSi含有被膜17が剥離することがないという効果を有する。そのため、先に金属板16にSi含有被膜17の成膜を行い、その後プレスによる塑性変形によって所望の形状に成形することが可能となる。
さらに、平板状の金属板16にSi含有被膜17を形成したセパレータ素材15を金型51,52でプレスしてセパレータ18を製造するようにしたので、性能のよい燃料電池用セパレータ18を低コストにて製造することができるという効果も有する。
実施の形態3.
実施の形態2では、平板状の金属板を用いて燃料電池用セパレータを製造する方法について説明した。この実施の形態3では、実施の形態2の方法を用いて燃料電池用セパレータを量産する燃料電池用セパレータ製造システムとその方法について説明する。
図7は、この発明にかかる燃料電池用セパレータ製造システムの構成の一例を模式的に示す図である。この燃料電池用セパレータ製造システムは、セパレータ用部材としての金属板62を供給する金属板ロール61と、金属板62にSi含有被膜を形成する放電表面処理装置20と、Si含有被膜12が形成された金属板62を所定の長さに切断する金属板切断用刃71と、切断されたセパレータ素材64を所定の形状に塑性変形する金型装置50と、を備える。なお、放電表面処理装置20と金型装置50の構成は、実施の形態2で説明したものと同様であるので、その詳細な説明は省略する。
以下に、この燃料電池用セパレータ製造システムにおける燃料電池用セパレータの製造処理手順について説明する。まず、Cuやステンレス鋼、Alなどの金属からなる燃料電池用セパレータの素材である金属板ロール61が、引き伸ばされながら平らにされて、放電表面処理装置20へと供給される。放電表面処理装置20は、実施の形態2と同様の構成を有する。ただし、この実施の形態3では、被加工物が金属板ロール61から供給される平板状の金属板62となっている。ここで、金属板ロール61は、不純物の少ない純金属または固溶体であることが望ましい。
この放電表面処理装置20では、加工液24中でSi電極22を金属板62に接触させないように図示しない制御機構によって極間距離を制御しながら、両者間に放電を発生させて、実施の形態2で説明したように、金属板62上にSi含有被膜63を形成する。この放電表面処理装置20でSi含有被膜63が形成された金属板62の構造は、実施の形態2の図5−1〜図5−2で示されるものと同様である。
ついで、Si含有被膜63が形成された金属板62を所定の長さとなるように金属板切断用刃71で切断する。これにより、平板状のセパレータ素材64が得られる。そして、このセパレータ素材64をプレスの金型装置50に搬送する。セパレータ素材64に溝を形成することができるように成形された金型装置50の金型51,52の間にセパレータ素材64を配置し、上下の金型51,52で挟み、プレスすることで、セパレータ素材64が金型51,52の形状に塑性変形される。以上によって、燃料電池用セパレータ65が形成される。
図8は、燃料電池用セパレータ製造システムの他の構成例を示す図である。この図8では、図7の金属板切断用刃71(切断を行う工程)と、金型装置50(金属板をプレスする工程)とを入れ替えている。この場合には、金属板ロール61に繋がるSi含有被膜63を形成した金属板62に、金型装置50でプレスして溝の形状を作成し、その後に金属板切断用刃71で燃料電池用セパレータ65に切断している。
図9〜図10は、燃料電池用セパレータ製造システムの他の構成例を示す図であり、図11は、Si電極の形状の一例を模式的に示す図である。上述した図7と図8では、放電表面処理装置20において、Si電極22と金属板62への給電を1箇所にしていた。しかし、図9に示されるように、放電表面処理用電源23を複数にしてSi電極22への給電箇所を複数にすると、Siは電気抵抗が比較的高いために、Si電極22と金属板62との間に放電が複数発生し、Si含有被膜63の形成処理時間を短縮することが可能となる。
給電箇所を複数にするには、図10に示されるようにSi電極22を複数分割することによって、一層はっきりと放電の発生頻度を増やすことが可能となる。ただし、この場合には、分割されたSi電極22の間に間隙が生じ、この部分に対応する金属板62上の位置にはSi含有被膜63が形成されない場合が生じることも考えられる。そのため、図11に示されるように、金属板62の搬送方向と平行な方向にSi電極22の間の空間が生じないようにSi電極22を配列する必要がある。
この実施の形態3によれば、平板状の金属板62を用いて、耐食性を有し、電気抵抗の低い燃料電池用セパレータを大量に製造することができるという効果を有する。また、性能のよい燃料電池用セパレータ65を低コストにて製造することができるという効果も有する。
なお、上述した実施の形態1〜3では、金属Siを用いて油中で放電を行う場合を説明した。この場合、Siと油が分解して発生した水素とが反応し、シラン(SiH4など)が発生することも考えられる。シランは、通常酸性の雰囲気で生成させるものであり、酸性でない環境になると分解する性質があるため、Siの放電では発生しないと考えられる。実際に、今までの試験中の分析では検出されていない。しかし、万全を期す意味では、放電表面処理中に発生したガスを収集し、アルカリ溶液中に通して、シランを完全に分解することが有効である。
また、実施の形態1〜3では、燃料電池用セパレータとその製造方法について説明したが、実施の形態1〜3のように形成した燃料電池用セパレータを用いて図12に示されるセルを構成し、さらに図13に示される固体高分子型燃料電池を構成することもできる。
以上のように、この発明にかかる燃料電池用セパレータは、固体高分子型燃料電池に有用である。
この発明による燃料電池用セパレータの構成を模式的に示す概略図である。 図1−1の燃料電池用セパレータの一部断面を模式的に示す図である。 この発明で用いられる放電表面処理装置の概要を模式的に示す図である。 燃料電池用セパレータの電気抵抗値の測定結果を示す図である。 放電表面処理装置によってセパレータ用部材表面に被膜を形成している様子を模式的に示す図である。 放電表面処理された平板状の金属板の斜視図である。 放電表面処理された金属板の断面を模式的に示す図である。 セパレータ素材を塑性加工する様子を模式的に示す図である。 この発明による燃料電池用セパレータ製造システムの構成の一例を模式的に示す図である。 燃料電池用セパレータ製造システムの他の構成例を示す図である。 燃料電池用セパレータ製造システムの他の構成例を示す図である。 燃料電池用セパレータ製造システムの他の構成例を示す図である。 Si電極の形状の一例を模式的に示す図である。 固体高分子型燃料電池を構成するセルの構造を模式的に示す図である。 固体高分子型燃料電池の構成を模式的に示す図である。
符号の説明
10,18,65 燃料電池用セパレータ(セパレータ)
11 セパレータ用部材
12,17,63 Si含有被膜
15 セパレータ素材
16,62 金属板
20 放電表面処理装置
21 被加工物
22 Si電極(放電表面処理用電極)
23 放電表面処理用電源
24 加工液
41 溝
42 凸部
50 金型装置
51,52 金型
53 凸部
54 凹部
61 金属板ロール
64 セパレータ素材
71 金属板切断用刃

Claims (15)

  1. セルが複数接続されてなる燃料電池で、隣接する前記セル同士を分離する燃料電池用セパレータであって、
    金属のセパレータ用部材の表面にSi含有被膜が形成されることを特徴とする燃料電池用セパレータ。
  2. 前記セパレータ用部材は、所定の形状の溝が形成され、燃料電池用セパレータの最終形状を有する金属材料からなることを特徴とする請求項1に記載の燃料電池用セパレータ。
  3. 前記セパレータ用部材は、平板状の金属板であり、この金属板に前記Si含有被膜を形成したものを、所定の形状に塑性変形させたものであることを特徴とする請求項1に記載の燃料電池用セパレータ。
  4. 前記セパレータ用部材の主成分は、不純物の少ない純金属または固溶体であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の燃料電池用セパレータ。
  5. 前記セパレータ用部材の主成分は、Cu、Al、Feのいずれかからなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の燃料電池用セパレータ。
  6. 請求項1〜5のいずれか1つに記載の燃料電池用セパレータを備えることを特徴とする燃料電池。
  7. セルが複数接続されてなる燃料電池で、隣接する前記セル同士を分離する燃料電池用セパレータを製造する燃料電池用セパレータの製造方法において、
    加工液中で、所定の形状を有する金属のセパレータ用部材とSi電極との間にパルス状の放電を繰り返し発生させて、前記セパレータ用部材の表面にSi含有被膜を形成することを特徴とする燃料電池用セパレータの製造方法。
  8. 前記セパレータ用部材は、燃料電池用セパレータの最終形状を有する金属材料からなることを特徴とする請求項7に記載の燃料電池用セパレータの製造方法。
  9. セルが複数接続されてなる燃料電池で、隣接する前記セル同士を分離する燃料電池用セパレータを製造する燃料電池用セパレータの製造方法において、
    加工液中で、平板状の金属板のセパレータ用部材とSi電極との間にパルス状の放電を繰り返し発生させて、前記セパレータ用部材の表面にSi含有被膜を形成する被膜形成工程と、
    前記Si含有被膜を形成したセパレータ用部材を、所定の形状の溝を有するように塑性変形させて、燃料電池用セパレータを形成する塑性変形工程と、
    を含むことを特徴とする燃料電池用セパレータの製造方法。
  10. セルが複数接続されてなる燃料電池で、隣接する前記セル同士を分離する燃料電池用セパレータを製造する燃料電池用セパレータの製造方法において、
    加工液中で、金属板供給手段から供給される所定の幅と厚さを有する金属板からなるセパレータ用部材とSi電極との間にパルス状の放電を繰り返し発生させて、前記金属板の表面にSi含有被膜を形成する被膜形成工程と、
    前記Si含有被膜を形成した金属板を所定の長さに切断する金属板切断工程と、
    切断された前記Si含有被膜を形成した金属板を、所定の形状の溝を有するように塑性変形させる塑性変形工程と、
    を含むことを特徴とする燃料電池用セパレータの製造方法。
  11. セルが複数接続されてなる燃料電池で、隣接する前記セル同士を分離する燃料電池用セパレータを製造する燃料電池用セパレータの製造方法において、
    加工液中で、金属板供給手段から供給される所定の幅と厚さを有する金属板からなるセパレータ用部材とSi電極との間にパルス状の放電を繰り返し発生させて、前記金属板の表面にSi含有被膜を形成する被膜形成工程と、
    前記Si含有被膜を形成した金属板を、所定の形状の溝を有するように塑性変形させる塑性変形工程と、
    所定の形状に塑性変形された前記Si含有被膜を形成した金属板を、所定の長さに切断する金属板切断工程と、
    を含むことを特徴とする燃料電池用セパレータの製造方法。
  12. 前記セパレータ用部材の主成分は、不純物の少ない純金属または固溶体であることを特徴とする請求項7〜11のいずれか1つに記載の燃料電池用セパレータの製造方法。
  13. 前記セパレータ用部材の主成分は、Cu、Al、Feのいずれかからなることを特徴とする請求項7〜11のいずれか1つに記載の燃料電池用セパレータの製造方法。
  14. セルが複数接続されてなる燃料電池で、隣接する前記セル同士を分離する燃料電池用セパレータを製造する燃料電池用セパレータ製造システムにおいて、
    所定の幅と厚さを有する金属板を供給する金属板供給装置と、
    加工液中で、前記金属板供給装置から供給される金属板からなるセパレータ用部材とSi電極との間にパルス状の放電を繰り返し発生させて、前記金属板の表面にSi含有被膜を形成する放電表面処理装置と、
    前記Si含有被膜を形成した金属板を所定の長さに切断する金属板切断装置と、
    前記Si含有被膜を形成した金属板を、所定の形状の溝を有するように塑性変形させる金型装置と、
    を備えることを特徴とする燃料電池用セパレータの製造システム。
  15. 前記放電表面処理装置の前記Si電極は、複数の電極に分割して構成されることを特徴とする請求項14に記載の燃料電池用セパレータの製造システム。
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