JP2008210905A - トンネル磁気抵抗素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トンネル磁気抵抗素子は、強磁性固定層と、バリア層と、強磁性自由層と、強磁性自由層のもう一方の界面に接する非磁性層からなる積層構造を含む磁気抵抗素子であって、非磁性層がMgOである。また強磁性自由層は、非磁性伝導層12と非磁性伝導層12を介して磁気的に反平行に結合した2層の強磁性層11,13とにより構成される。
【選択図】図3
Description
2 下地層
3 トンネル磁気抵抗素子
4 上部電極
11 強磁性層
12 非磁性伝導層
13 強磁性層
Claims (6)
- 薄膜多層積層構造のトンネル磁気抵抗素子において、強磁性固定層と、バリア層と、強磁性自由層と、前記強磁性自由層のもう一方の界面に接する非磁性層からなる積層構造を含む磁気抵抗素子であって、
前記非磁性層の比抵抗が前記強磁性自由層の比抵抗よりも大きいことを、
特徴とするトンネル磁気抵抗素子。 - 前記非磁性層がMgO層であることを、特徴とする請求項1記載のトンネル磁気抵抗素子。
- 前記強磁性自由層が非磁性伝導層と、前記非磁性伝導層を介して磁気的に反平行に結合した2層の強磁性層とにより構成されることを、特徴とする請求項1または2記載のトンネル磁気抵抗素子。
- 前記非磁性伝導層がルテニウム、イリジウム、ロジウム、レニウムのいずれか、或いはこれらを組み合わせた合金及び積層結合体のいずれかであることを、特徴とする請求項3記載のトンネル磁気抵抗素子。
- 前記非磁性伝導層の膜厚が0.6nm以下であることを、特徴とする請求項3または4記載のトンネル磁気抵抗素子。
- 大きさが、積層膜構造の面内方向において250nm角よりも小さいことを、特徴とする請求項3、4または5記載のトンネル磁気抵抗素子。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10263035B2 (en) | 2015-11-24 | 2019-04-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magnetoresistive random access memory devices and methods of manufacturing the same |
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2007
- 2007-02-26 JP JP2007044811A patent/JP2008210905A/ja active Pending
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