JP2008174609A - 遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本発明によれば、上記構造を有する高分子分散剤を含有させることにより、ポジ型レジストと組み合わせてフォトリソグラフィー法により遮光性液晶配向制御用突起を形成した場合、パターン周辺部に現像残りによるギザつきが生じたり、例えばITO層上等に現像残渣が残るといった現像性の低下を抑制することができる。
まず、本発明の遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物について説明する。本発明の遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物は、下記式(A)および(B)で表される構成単位を有し、末端は、下記Xで表される基であり、末端または側鎖には、下記式(1)で表される基を少なくとも一つ有する化合物からなる高分子分散剤と、顔料と、溶剤とを含有することを特徴とするものである。
以下、本発明の遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物について、各構成ごとに分けて詳しく説明する。
まず、本発明の遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物に含有される高分子分散剤について説明する。本発明に用いられる高分子分散剤は、下記式(A)および(B)で表される構成単位を有し、末端は、下記Xで表される基であり、末端または側鎖には、下記式(1)で表される基を少なくとも一つ有する化合物からなるものである。
次に、本発明の遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物に含有される顔料について説明する。本発明に用いられる顔料は、形成する遮光性液晶配向制御用突起に遮光性を付与することが可能な着色顔料であれば特に限定されるものではなく、有機顔料、無機顔料のいずれも用いることができるが、本発明においては有機顔料であることが好ましい。有機顔料は、無機顔料と比較して、光透過性に優れているため、露光時において反応性が低下しにくいからである。
次に、本発明の遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物に含有される溶剤について説明する。本発明に用いられる溶剤としては、上述した高分子分散剤および顔料とは反応せず、これらを溶解もしくは分散可能な有機溶剤であればよく、特に限定されるものではない。
本発明の遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物は、遮光性を有する液晶配向制御用突起の形成に用いられ、通常、感光性レジストに添加して使用される。このような感光性レジストとしては、ネガ型レジスト、ポジ型レジスト等が挙げられるが、本発明の顔料分散組成物は、特にポジ型レジストに添加して用いられることが好ましい。
次に、本発明の遮光性液晶配向制御用突起形成用組成物について説明する。本発明の遮光性液晶配向制御用突起形成用組成物は、上記記載の遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物と、アルカリ可溶性樹脂、感光剤および溶剤を有するポジ型レジストとを含有することを特徴とするものである。
以下、本発明の遮光性液晶配向制御用突起形成用組成物について、各構成に分けて詳しく説明する。なお、遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物は、「A.遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物」の項で説明したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。
まず、本発明の遮光性液晶配向制御用突起形成用組成物に含有されるアルカリ可溶性樹脂について説明する。本発明におけるアルカリ可溶性樹脂としては、ポジ型レジストに使用される一般的なアルカリ可溶性樹脂と同様とすることができる。このようなアルカリ可溶性樹脂として具体的には、OH基を持ちアルカリに可溶なハイドロキノン、フロログルシン、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノンなどのモノマーや、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂などのノボラック樹脂、スチレンとマレイン酸、マレイミドの共重合物、フェノール系とメタクリル酸、スチレン、アクリロニトリルの共重合物などのポリマーの混合物や縮合物、あるいはポリメチルメタクリレート、ポリメタクリル酸メチル、ポリメタクリル酸ヘキサフルオロブチル、ポリメタクリル酸ジメチルテトラフルオロプロピル、ポリメタクリル酸トリクロロエチル、メタクリル酸メチル−アクリルニトリル共重合体、ポリメチルイソプロペニルケトン、ポリα−シアノアクリレート、ポリトリフルオロエチル−α−クロロアクリレートなどが挙げられる。
次に、本発明の遮光性液晶配向制御用突起形成用組成物に含有される感光剤について説明する。本発明における感光剤としては、ポジ型レジストに使用される一般的な感光剤と同様とすることができる。
このような感光剤として具体的には、ナフトキノンジアジド、ベンゾキノンジアジドなどのキノンジアジド類や、ジアゾメチルドラム酸、ジアゾジメドン、3−ジアゾ−2,4−ジオンなどのジアゾ化合物や、o−ニトロベンジルエステル、オニウム塩、オニウム塩とポリフタルアルデヒド、コリン酸t−ブチルの混合物の様な光分解剤(溶解抑制剤)等を挙げることができる。
次に、本発明の遮光性液晶配向制御用突起形成用組成物に含有される感光剤について説明する。本発明における溶剤としては、本発明の突起形成用組成物中の各成分とは反応せず、これらを溶解もしくは分散可能な有機溶剤であればよく、特に限定されるものではない。このような溶剤としては、例えば上述した「A.遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物」の項で説明したものと同様のものを挙げることができる。
本発明の遮光性液晶配向制御用突起形成用組成物は、上記顔料分散組成物、アルカリ可溶性樹脂、感光剤、溶剤の他、必要に応じて、レベリング剤、可塑剤、界面活性剤、消泡剤、シランカップリング剤等の添加剤を含有していてもよい。
高分子分散剤、顔料および溶剤を下記表3に示すように配合し、遮光性配向制御用突起形成用顔料分散組成物を調製した。
この際、高分子分散剤は、ソルスパース33500(日本ルーブリゾール(株))、DisperBYK2001(ビックケミー社製、アクリル系分散剤)、DisperBYK161(ビックケミー社製、ポリイソシアヌール系分散剤)を用いた。また、顔料はピグメントブルー15:6(青色顔料)、ピグメントレッド254(赤色顔料)を用いた。また、樹脂はアクリル系樹脂を用い、溶剤は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)を用いた。
試料適量をIRE(KRS−5)の板に塗布し、乾燥させ、皮膜にし、これを測定サンプルとして測定を行った。
測定装置
・スペクトラム−1(パーキンエルマー社製)
(結果)
・2940cm−1にポリカプロラクトン由来のC−Cのピークが検出された。
・1740cm−1にエステル由来のピークが検出された。
・1660cm−1、1550cm−1にアミド由来のピークが検出された。
試料中の溶剤を蒸発させ、重水素クロロホルムに溶解させたものをサンプル管に封入し、測定サンプルとして測定を行った。
測定装置
・AL−400(日本電子製)
(結果)
・0.88ppmに末端−CH3由来のピークが検出された。
・1.26ppm〜1.42ppmにカプロラクトン由来のメチレン基のピークが検出された。
・2.27ppm〜2.33ppmにカプロラクトン由来のケトンのα−メチレン基のピークが検出された。
・4.05ppm〜4.08ppmにカプロラクトン由来のCO−O−CH2のメチレン基のピークが検出された。
試料をガラス板に10mgに塗布し、ドライヤー、オーブン等で乾燥させ、皮膜とし、この皮膜をサンプリングメスで削り取ったものを測定サンプルとし、測定を行った。測定サンプルの質量は、0.3mg〜0.5mg程度とした。
測定装置
・ガスクロマト部 6890(アジレントテクノロジー社製)
・マススペクトル部 5973N(アジレントテクノロジー社製)
熱分解装置
・ダブルショットパイロライザー PY2020D(フロンティア・ラボ社製)
測定カラム
・PTE−5(膜厚0.25μm、内径0.25mm×長さ30m、スペルコ社製)
GC−MS測定条件
・インジェクション温度 320℃
・キャリアガス He 1.7ml/min 定流量モード
MS測定条件
・インターフェース温度 250℃、
・イオン源温度 230℃
・イオン化法 EI イオン化電圧 70eV
・走査質量範囲 33〜700
熱分解炉測定条件
・熱分解温度 550℃
・インターフェース温度 320℃
(結果)
・10.3分にバレロラクトン由来のピークが検出された。
・11分にカプロラクトン由来のピークが検出された。
試料1〜2gを秤量し、メチルエチルケトン90mlに溶解させ、さらにイソプロパノール10mlを添加し、測定サンプルとした。この測定サンプルに対して、非水滴定用電極を使用し、0.1HCLアルコール溶液で滴定を行った。
測定装置:電位差滴定装置タイトランド808(メトロームシバタ製)
(結果)
・アミン価は17であり、アミン成分の存在が認められた。
試料をテトラヒドロフランで0.5%に希釈したものをクロマトフィルタ(目の粗さ0.45μm)にてろ過し、ろ液を測定サンプルとし、測定を行った。
測定装置
・HLC−8220(東ソー(株)製)
溶出溶媒
・テトラヒドロフラン
測定カラム
・LF−404×2本、KF−402HQ×1本(いずれも昭和電工(株)製)
校正曲線用ポリスチレンスタンダード
・Mw377400、210500、96000、50400、206500、10850、5460、2930、1300、580(以上、Polymer Laboratories社製 Easi PS-2シリーズ)
・Mw1090000(東ソー(株)製)
(結果)
・重量平均分子量は約3600であった。
実施例1で調整した顔料分散組成物15質量%、および、実施例2で調製した顔料分散組成物8.1質量%を、クレゾール型ノボラック樹脂(アルカリ可溶性樹脂)、芳香族アジド化合物(感光剤)およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(溶剤)を含有するポジ型レジスト76.9質量%に添加し、遮光性配向制御用突起形成用組成物を調製した。
比較例1で調整した顔料分散組成物16.5質量%、および、比較例3で調製した顔料分散組成物9質量%を、実施例3で使用したポジ型レジスト74.5質量%に添加し、遮光性配向制御用突起形成用組成物を調製した。
実施例3および比較例5の遮光性配向制御用突起形成用組成物を用いて、液晶配向制御用突起を有するカラーフィルタを形成した。形成方法は、以下の通りである。
上記ITO層上に上記遮光性配向制御用突起形成用組成物をスピンコーターにより塗布し、減圧乾燥させて溶媒を除去した後、120℃でプリベークし、塗膜を形成した。次に、この塗膜に、遮光性液晶配向制御用突起の形成領域に対応する遮光パターンが形成されたフォトマスクを介して、露光ギャップ100μmで340mJ/cm2の露光光を照射し、0.5%水酸化カリウム水溶液を用いて70秒間現像処理し、さらに200℃で20分間のベーキングを行った。
上記遮光性液晶配向制御用突起形成後の露光部におけるITO層上の現像残渣を、東レ製トレシー(登録商標)で拭き取り、そのトレシーの着色度合いを目視で観察し、トレシーがほとんど着色しなかった場合は○、トレシーが着色した場合は×とした。結果を表4に示す。
上記遮光性液晶配向制御用突起を、OLIMPUS製半導体検査顕微鏡MX50により観察し、パターン周辺部にギザつきが確認された場合は×、これらがほとんど確認されなかった場合は○とした。結果を表4に示す。
2 … 着色層
3 … 透明電極層(ITO層)
13… 液晶
14… 液晶配向制御用突起
Claims (4)
- 下記式(A)および(B)で表される構成単位を有し、末端は、下記Xで表される基を有し、末端または側鎖には、下記式(1)で表される基を少なくとも一つ有する化合物からなる高分子分散剤と、顔料と、溶剤とを含有することを特徴とする遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物。
- 前記高分子分散剤の重量平均分子量が2000〜10000の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物。
- 前記高分子分散剤のアミン価が10〜40の範囲内であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物。
- 請求項1から請求項3までのいずれかの請求項に記載の遮光性液晶配向制御用突起形成用顔料分散組成物と、アルカリ可溶性樹脂、感光剤および溶剤を有するポジ型レジストとを含有することを特徴とする遮光性液晶配向制御用突起形成用組成物。
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- 2007-01-17 JP JP2007007896A patent/JP2008174609A/ja active Pending
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