JP2008171637A - 透明導電膜積層体、該透明導電膜積層体を用いた有機el素子、並びに、これらの製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 202
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract description 167
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 166
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims abstract description 166
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 120
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 96
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 60
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 59
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 83
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 40
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 24
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 claims description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 7
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical group [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 261
- 238000000034 method Methods 0.000 description 57
- 239000002585 base Substances 0.000 description 36
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 27
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 27
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 27
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 description 23
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 20
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 12
- IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-1-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-1-amine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=C1 IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 10
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 9
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 9
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 9
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 9
- NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N silver oxide Chemical compound [O-2].[Ag+].[Ag+] NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 6
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 6
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 6
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 6
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 229910001923 silver oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- -1 ITO or IZO Substances 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 3
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 3
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- UHXOHPVVEHBKKT-UHFFFAOYSA-N 1-(2,2-diphenylethenyl)-4-[4-(2,2-diphenylethenyl)phenyl]benzene Chemical group C=1C=C(C=2C=CC(C=C(C=3C=CC=CC=3)C=3C=CC=CC=3)=CC=2)C=CC=1C=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 UHXOHPVVEHBKKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001637 1-naphthyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C2C(*)=C([H])C([H])=C([H])C2=C1[H] 0.000 description 2
- DIVZFUBWFAOMCW-UHFFFAOYSA-N 4-n-(3-methylphenyl)-1-n,1-n-bis[4-(n-(3-methylphenyl)anilino)phenyl]-4-n-phenylbenzene-1,4-diamine Chemical compound CC1=CC=CC(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)=C1 DIVZFUBWFAOMCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 9H-carbazole Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 2
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 2
- 230000027756 respiratory electron transport chain Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000005394 sealing glass Substances 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- WMAXWOOEPJQXEB-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-5-(4-phenylphenyl)-1,3,4-oxadiazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NN=C(C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC=CC=2)O1 WMAXWOOEPJQXEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QWNCDHYYJATYOG-UHFFFAOYSA-N 2-phenylquinoxaline Chemical class C1=CC=CC=C1C1=CN=C(C=CC=C2)C2=N1 QWNCDHYYJATYOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DHDHJYNTEFLIHY-UHFFFAOYSA-N 4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=NC2=C1C=CC1=C(C=3C=CC=CC=3)C=CN=C21 DHDHJYNTEFLIHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000943 NiAl Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- NPXOKRUENSOPAO-UHFFFAOYSA-N Raney nickel Chemical compound [Al].[Ni] NPXOKRUENSOPAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical class [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000000313 electron-beam-induced deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHOKSCJSTAHBSO-UHFFFAOYSA-N indanthrone blue Chemical class C1=CC=C2C(=O)C3=CC=C4NC5=C6C(=O)C7=CC=CC=C7C(=O)C6=CC=C5NC4=C3C(=O)C2=C1 UHOKSCJSTAHBSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000990 laser dye Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N oxadiazole Chemical compound C1=CON=N1 WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000001275 scanning Auger electron spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229940042055 systemic antimycotics triazole derivative Drugs 0.000 description 1
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 150000003577 thiophenes Chemical class 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 125000005259 triarylamine group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003918 triazines Chemical class 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K50/00—Organic light-emitting devices
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Abstract
【課題】銀薄膜を用いた透明電極において、光透過特性を改善させた電極として利用可能な構造体を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の透明導電膜積層体は、基板、該基板上に設けられた銀以外の金属からなる下地層と、該下地層上に設けられた銀または銀合金からなる銀薄膜層を含み、下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄いことを特徴とする。本発明は、この透明導電膜積層体を電極として用いた有機EL素子に関する。さらに本発明は、これらの透明導電膜積層体および有機EL素子の製造方法を提供する。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の透明導電膜積層体は、基板、該基板上に設けられた銀以外の金属からなる下地層と、該下地層上に設けられた銀または銀合金からなる銀薄膜層を含み、下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄いことを特徴とする。本発明は、この透明導電膜積層体を電極として用いた有機EL素子に関する。さらに本発明は、これらの透明導電膜積層体および有機EL素子の製造方法を提供する。
【選択図】図1
Description
本発明は、透明導電膜積層体、この透明導電膜積層体を用いた有機EL素子、並びに、これらの製造方法に関する。特に、本発明は、有機EL素子の透明導電膜として利用可能な銀薄膜を含む透明導電膜積層体、この透明導電膜積層体を用いた有機EL素子、並びにこれらの製造方法に関する。
近年、有機エレクトロルミネッセンス(以下有機ELとも称する)素子は実用化に向けての研究が活発に行われている。有機EL素子は低電圧で高い電流密度が実現できるために高い発光輝度および発光効率を実現することが期待されている。この有機EL素子には、有機EL層を挟持する第1電極および第2電極が設けられており、光を取り出す側の電極、例えば、トップエミッション方式の有機EL素子の上部電極は、高透過率且つ低抵抗であることが求められている。また、光を取り出す側の透明電極として、例えば酸化物透明電極を用いることが提案されており、この材料には酸化物透明導電膜(TCO)材料(インジウム−スズ酸化物(ITO)、インジウム−亜鉛酸化物(IZO)など)が用いられている。この透明導電膜の抵抗を下げることは素子の低電力化の観点からも望ましい。
上記の課題を解決するために、ITO、IZOなどの酸化物透明導電膜のみで電極を形成する場合、光学特性、電気特性等を向上させるには、これらの成膜時に、雰囲気に酸素を導入する必要がある。トップエミッション方式の有機EL素子では、酸化物透明導電膜を形成する前に、有機EL層を形成しておく必要があり、この有機EL層が酸素によって侵されることがある。
この欠点を防止するために、透明なバッファ層を設けることが提案されているが、透明導電膜単体では、比抵抗が金属膜と比較して2桁程度高いため、膜厚を厚くする必要があり、生産性が問題になる。さらに、ITO、IZOなどの透明導電膜は波長500nm未満の領域で少なからず吸収を持っているため、厚膜化すると透過率が下がるという問題がある。したがって、透明導電膜では、低抵抗化と高透過率化を両立することが難しい。
スパッタ法やイオンプレーティング法等による酸化物透明導電膜成膜時の有機EL層へのダメージ緩和という観点から、金属薄膜をバッファ層に用いることが提案されている(特許文献1、非特許文献1等)。バッファ層の例としてはMgAg薄膜等が開示されている。金属バッファ層を用いる場合、金属バッファ層に低抵抗化の効果を持たせることが可能である。しかし、この方法においても、金属バッファ層の低抵抗化と有機EL層の低ダメージ化を図るために金属薄膜を厚く形成すると透過率が悪くなるという、トレードオフが存在する。
そこで、電気伝導率、可視光透過率が高い金属、すなわち前記トレードオフの少ない金属として、金、銀、銅などが考えられ、これらの金属と酸化物透明導電膜を組み合わせた透明電極が提案されている(特許文献2〜4)。例えば、特許文献2には、TCO/保護層(Au、Ni、Al)、特許文献3には、TCO/AuX(XはMg等)、特許文献4には、TCO/Ag/電子注入層の構造が開示されている。
また、酸化物透明導電膜成膜時のダメージがないものとして、可視光透過率の高い金属のみを用いた透明電極も提案されている(特許文献5および6、非特許文献2)。
電気伝導率、可視光透過率が高い金属の中でも、銀は可視光領域において複素屈折率から予想される透過率が比較的平坦で、比抵抗も低く、透明電極材料としての期待が高い。しかし、銀薄膜は、複素屈折率から予想される透過率よりも実際の透過率が悪くなるという問題がある。この理由として、酸化銀の形成が考えられる。すなわち、銀は酸素と反応しやすく、表面に酸化銀を形成しやすいが、この酸化銀は高屈折率で500nm以下の波長域で比較的高い吸収を持つため、透過率が低下するものと考えられる。また、一般に10nm以下の銀薄膜は、連続で均一な膜ではなく、不連続な島状膜となっており、抵抗が高いだけでなく、可視光領域に局所表面プラズモン共鳴により吸収を生じ、透過特性を悪化させる。
したがって、これまでに提案されている銀薄膜を用いた透明電極の光透過特性は、実用上十分ではなかった。
本発明は、かかる問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、銀薄膜を用いた透明電極において、光透過特性を改善させた電極として利用可能な構造体を提供することを目的とする。
また、このような構造体を電極として用いる有機EL素子を提供することを目的とする。さらに、本発明は、前記構造体および前記有機EL素子の製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、銀薄膜を形成するに際し、その下部に銀とは異なる金属からなる薄膜を形成し、銀薄膜を含む積層構造とすると、同一の膜厚を有する銀単体の薄膜よりも銀積層体の方が透過特性に優れることを見出したことに基づく。
具体的には、本発明の第1の態様は、透明電極膜積層体に関する。この積層体は、基板、該基板上に設けられた銀以外の金属からなる下地層、および、該下地層上に設けられた銀または銀合金からなる銀薄膜層を含み、下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄いことを特徴とする透明導電膜積層体である。本発明では、上記基板は、支持基板と、該支持基板上に設けられた誘電体または半導体薄膜を含み、前記下地層が、誘電体または半導体薄膜上に設けられていてもよい。さらに、銀薄膜層上には、酸化物透明導電膜をさらに設けてもよい。下地層の厚さは、0.1nm乃至4nmであることが好ましく、銀薄膜層の厚さは、5nm乃至30nmであることが好ましい。
本発明では、下地層の銀以外の金属は、金、アルミニウム、銅、インジウム、スズおよび亜鉛よりなる群から選択されることが好ましい。
本発明の第2の態様は、上記の透明導電膜積層体の製造方法に関する。この方法は、(1)基板上に銀以外の金属からなる下地層と、該下地層上に銀または銀合金からなる銀薄膜層を成膜する工程を含み、この成膜工程が、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着により、真空状態を維持したまま連続して成膜されることを特徴とする。この方法は、さらに(2)銀薄膜層上に酸化物透明導電膜を形成する工程を含むことができる。
本発明の第3の態様は、本発明の透明電極膜積層体を用いた有機EL素子である。この有機EL素子は、基板と、該基板上に設けられた第1電極と、該第1電極上に設けられた有機EL層と、該有機EL層上に設けられた第2電極とを少なくとも含む有機EL素子であって、前記第1電極若しくは第2電極、またはこれらの双方が、銀以外の金属からなる下地層と銀または銀合金からなる銀薄膜層からなる積層透明導電膜であり、該積層透明導電膜の下地層が前記基板に近い側に設けられ、且つ下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄いことを特徴とする。本発明の有機EL素子は、銀薄膜層上に、酸化物透明導電膜をさらに設けることができる。本発明において、下地層の厚さは、0.1nm乃至4nmであることが好ましく、銀薄膜層の厚さは、5nm乃至30nmであることが好ましい。また、下地層の銀以外の金属が、金、アルミニウム、銅、インジウム、スズおよび亜鉛よりなる群から選択されることが好ましい。
本発明の第4の態様は、上記の有機EL素子の製造方法である。この製造方法の第1の実施形態はボトムエミッション型の有機EL素子の製造方法に関する。この方法は、(a)透明な基板上に透明な第1電極を形成する工程と、(b)第1電極上に有機EL層を形成する工程と、(c)有機EL層上に第2電極を形成する工程を少なくとも含み、前記第1電極が、銀以外の金属からなる下地層と銀または銀合金からなる銀薄膜層からなる積層透明導電膜であり、該積層透明導電膜の下地層が前記基板に近い側に形成され、且つ下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄く形成され、前記第1電極を形成する工程が、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着により、真空状態を維持したまま連続して成膜されることを特徴とする。本発明では、第2電極が、銀以外の金属からなる下地層と銀または銀合金からなる銀薄膜層からなる積層透明導電膜であってもよく、この場合、該積層透明導電膜の下地層が前記基板に近い側に形成され、且つ下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄く形成され、前記第2電極を形成する工程が、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着により、真空状態を維持したまま連続して成膜される。
本発明の製造方法の第2の実施形態はトップエミッション型の有機EL素子の製造方法に関する。この方法は、(i)基板上に第1電極を形成する工程と、(ii)第1電極上に有機EL層を形成する工程と、(iii)有機EL層上に透明な第2電極を形成する工程を少なくとも含み、前記第2電極が、銀以外の金属からなる下地層と銀または銀合金からなる銀薄膜層からなる積層透明導電膜であり、該積層透明導電膜の下地層が前記基板に近い側に形成され、且つ下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄く形成され、前記第2電極を形成する工程が、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着により、真空状態を維持したまま連続して成膜されることを特徴とする。本発明では、第1電極が、銀以外の金属からなる下地層と銀または銀合金からなる銀薄膜層からなる積層透明導電膜であり、該積層透明導電膜の下地層が前記基板に近い側に形成され、且つ下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄く形成され、前記第1電極を形成する工程が、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着により、真空状態を維持したまま連続して成膜される。第2の実施形態では、(iv)銀薄膜層上に酸化物透明導電膜をさらに形成する工程を含むことができる。
本発明によれば、銀薄膜を用いた透明電極において、光透過特性を改善させた電極として利用可能な構造体を提供できる。
以下に図面を参照しながら本発明を説明する。
本発明の第1の態様は透明導電膜積層体に関する。この積層体の第1の実施形態は、基板、該基板上に設けられた銀以外の金属からなる下地層と、該下地層上に設けられた銀または銀合金からなる銀薄膜層を含む。図1(a)は、この積層体を表す概略図である。
本発明の第1の態様は透明導電膜積層体に関する。この積層体の第1の実施形態は、基板、該基板上に設けられた銀以外の金属からなる下地層と、該下地層上に設けられた銀または銀合金からなる銀薄膜層を含む。図1(a)は、この積層体を表す概略図である。
図1(a)に示されるように、透明導電膜積層体100は、基板102と、該基板上の下地層104と、該下地層上の銀薄膜層106からなる。また、第2の実施形態として、図1(b)に示されるように、基板102は、該支持基板110とその上に設けられた誘電体または半導体薄膜112を含んでいてもよい。誘電体を支持基板上に設ける場合、支持基板は導体であってもよい。また、半導体薄膜は例えばTFT、MIMなどのスイッチング素子とすることができる。さらに、第3の実施形態として、図1(c)および図1(d)に示すように、銀薄膜層106上には、酸化物透明導電膜108(例えば、ITO、IZOなど)をさらに設けてもよい。
本明細書において、銀薄膜層とは、銀または銀合金からなる薄膜層を意味する。銀合金としては、例えば、銀にPd、Cuが微量添加(数at%)された合金(商品名:APC、フルヤ金属製)を挙げることができる。
本発明では、下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄いことが好ましい。また、下地層は島状であってもよい。なお、銀薄膜層は、島状ではなく連続した一様な膜を形成していることが好ましい。本発明では、下地層の厚さは、0.1nm乃至4nmであることが好ましく、銀薄膜層の厚さは、5nm乃至30nmであることが好ましい。
下地層は銀以外の金属を用いることができるが、好ましくは、金、アルミニウム、銅、インジウム、スズまたは亜鉛から選択されることが好ましい。
基板は、ガラスまたはプラスチックのような誘電体を用いることができる。また、金属基板のような導体を支持基板として用いる場合には、誘電体を支持基板と電極の間に設ける。また、基板は、支持基板とその上に設けられたスイッチング素子(例えばTFT、MIMなど)からなるものであってもよい。
本発明の銀薄膜を用いた透明電極は、可視光透過特性を改善させることができる。この機構は明かではないが、銀薄膜の下に銀と異なる金属を設けることによって、銀の成膜初期に形成されうる酸化銀の形成が抑えられているものと考えられる。また、銀薄膜のアイランド形成により局所表面プラズモン形成が抑えられているものと考えられる。
次に、図2を参照して、透明導電膜積層体の製造方法を説明する。
この製造方法は、(1)基板上に銀以外の金属からなる下地層と、該下地層上に銀または銀合金からなる銀薄膜層を成膜する工程を含む。
この製造方法は、(1)基板上に銀以外の金属からなる下地層と、該下地層上に銀または銀合金からなる銀薄膜層を成膜する工程を含む。
この成膜工程は、まず、基板102上に下地層104を形成する(図2(a))。下地層104は、スパッタ法、蒸着法、イオンプレーディング法など従来の方法を用いることができる。本発明では、高エネルギー粒子に弱い材料上に透明導電膜を形成することを考慮して、成膜粒子の持つエネルギーが1eV程度以下の低エネルギーの成膜方法を用いることが好ましい。例えば、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着法を用いることがこのましい。次に、銀薄膜層106を形成する(図2(b))。銀薄膜層は、下地層と同様、種々の方法により成膜できるが、例えば成膜粒子の持つエネルギーが1eV程度以下の低エネルギーの成膜方法を用いることが好ましい。例えば、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着法を用いることができる。抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着法を用いて下地層を形成する場合、銀薄膜層は、真空状態を維持したまま連続して成膜されることが好ましい。
下地層および銀薄膜層にパターンニングが必要な場合には、例えば、所望のパターンを形成できるマスクを介して上記蒸着法を適用すればよい。
任意選択的であるが、銀薄膜層上には、IZO、ITO等の酸化物透明導電膜を形成することができる。酸化物透明導電膜の形成は、例えばスパッタ法のような従来の方法により行うことができる。
酸化物透明導電膜にパターンニングが必要な場合には、例えば、所望のパターンを形成できるマスクを介して成膜を行えばよい。
本発明の透明導電膜積層体の製造方法において透明導電膜積層体の下地層は前記基板に近い側に形成される。すなわち、銀薄膜層に先立って下地層を形成する必要がある。このようにすることで、電極の透過率を改善することができる。また、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着法を適用して積層透明導電膜を形成する条件は、下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄く形成される限り特に限定されない。例えば、抵抗加熱蒸着では、目標膜厚に応じて加熱電力を調節し、坩堝温度を成膜する金属材料の融点以上に加熱して蒸着レートを制御し、目標膜厚の金属膜を成膜する。電子ビーム蒸着の場合は、電子銃の電流値を調整して蒸着レートを制御することになる。目標膜厚0.1nm〜4nmに対し、膜厚制御性と生産性のバランスから、蒸着レートは例えば0.05〜1Å/sであることが望ましい。蒸着前の蒸着チャンバー内真空度は、2×10−5Pa以下まで真空引きし、蒸着中の真空度は10−5Pa台であることが望ましい。
次に、本発明の第3の態様について図3を参照して説明する。
本発明の第3の態様は、上記の透明電極膜積層体を第1電極および/または第2電極に用いた有機EL素子である。この有機EL素子は、基板と、該基板上に設けられた第1電極と、該第1電極上に設けられた有機EL層と、該有機EL層上に設けられた第2電極とを少なくとも含む有機EL素子であって、前記第1電極若しくは第2電極、またはこれらの双方が、銀以外の金属からなる下地層と銀または銀合金からなる銀薄膜層からなる積層透明導電膜であり、該積層透明導電膜の下地層が前記基板に近い側に設けられ、且つ下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄いことを特徴とする。
本発明の第3の態様は、上記の透明電極膜積層体を第1電極および/または第2電極に用いた有機EL素子である。この有機EL素子は、基板と、該基板上に設けられた第1電極と、該第1電極上に設けられた有機EL層と、該有機EL層上に設けられた第2電極とを少なくとも含む有機EL素子であって、前記第1電極若しくは第2電極、またはこれらの双方が、銀以外の金属からなる下地層と銀または銀合金からなる銀薄膜層からなる積層透明導電膜であり、該積層透明導電膜の下地層が前記基板に近い側に設けられ、且つ下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄いことを特徴とする。
本発明の有機EL素子は、トップエミッション方式であってもよいし、ボトムエミッション方式であってもよい。
トップエミッション方式の有機EL素子(第1の実施形態)では、図3(a)に示したように、基板302と、この基板上に設けられた第1電極308と、第1電極上に設けられた有機EL層310と、有機EL層310上の下地層304と、該下地層上の銀薄膜層306からなる。有機EL素子の第2電極312は、下地層と銀薄膜層からなる積層透明導電膜である。第2電極を構成する下地層304と銀薄膜層306は、基板に近い側に下地層を設け、有機EL層側に銀薄膜層を設ける。
図3(a)は、複数の第1電極とこの第1電極と直交する方向に設けられた複数の第2電極を含むパッシブマトリックス型の有機EL素子の例であるが、アクティブマトリックス型の有機EL素子とすることもできる。例えば、基板302として支持基板とその上に設けられたスイッチング素子からなるものを用いればよい。スイッチング素子は、例えばTFT、MIM等のような当該技術において知られている任意の構造であればよい。
トップエミッション方式である場合、第1電極は、必ずしも本発明の下地層と銀薄膜層からなる積層透明導電膜である必要はないが、図3(b)に示すように、第2電極312と共に第1電極308を積層透明導電膜とすることができる。この場合、第1電極の積層透明導電膜と第2電極の積層透明導電膜は、同じ種類であってもよいし、異なる種類であってもよい。
本発明では、トップエミッション方式で第2電極の積層透明導電膜上には、IZO、ITO等の酸化物透明導電膜を形成することができる。すなわち、任意選択的で、第2電極である積層透明導電膜の銀薄膜層上には、IZO、ITO等の酸化物透明導電膜を形成することができる。酸化物透明導電膜の形成は、例えばスパッタ法のような従来の方法により行うことができる。
ボトムエミッション方式の有機EL素子(第2の実施形態)では、図3(c)に示したように、透明な基板314と、この基板上に設けられた、下地層304と銀薄膜層306からなる積層透明導電膜である第1電極308と、第1電極上に設けられた有機EL層310と、有機EL層310上の第2電極312からなる。第1電極を構成する下地層304と銀薄膜層306は、基板側に下地層を設け、有機EL層側に銀薄膜層を設ける。
ボトムエミッション方式である場合、第2電極は、必ずしも本発明の下地層と銀薄膜層からなる積層透明導電膜である必要はないが、図3(d)に示すように、第1電極308と共に第2電極312を積層透明導電膜とすることができる。この場合、第1電極の積層透明導電膜と第2電極の積層透明導電膜は、同じ種類であってもよいし、異なる種類であってもよい。
本発明の有機EL素子で使用する下地層および銀薄膜層の材料および膜厚等の諸条件は、上記第1の態様で説明した通りである。
トップエミッション方式において、第1電極が本発明の積層透明導電膜ではなく、通常の電極である場合、または、ボトムエミッション方式において、第2電極が本発明の積層透明導電膜ではなく、通常の電極である場合、それぞれの電極の材料は、例えば以下のものを用いることができる。
有機EL層310からの発光を第2電極312側から取り出すトップエミッション方式を採用する場合には、第1電極308は、反射性を有することが好ましい。反射性を有する第1電極308は、高反射率の金属、アモルファス合金または微結晶性合金と、導電性金属酸化物とを積層することによって形成することができる。導電性金属酸化物は、SnO2、In2O3、ITO、IZO、ZnO:Alなどを含み、正孔注入効率を向上させるために設けることが望ましい層である。高反射率の金属は、Al、Ag、Mo、W、Ni、Crなどを含む。高反射率のアモルファス合金は、NiP、NiB、CrPおよびCrBなどを含む。高反射率の微結晶性合金は、NiAlなどを含む。高反射率の金属、アモルファス合金または微結晶性合金は、蒸着、スパッタなどの当該技術において知られている任意の方法で形成することができる。トップエミッション方式を採用する場合にも、第1電極308を陰極として用いることが可能である。この場合には第1電極308は、前述の高反射率の金属、アモルファス合金または微結晶性合金から形成される。あるいはまた、高反射率の金属と仕事関数の小さい金属との合金(たとえばMg/Ag合金など)を用いて第1電極308を形成してもよい。
ボトムエミッション方式を採用する場合、第2電極308は反射性電極とすることができる。この場合、第2電極312は、前述の高反射率の金属、アモルファス合金または微結晶性合金から形成される。あるいはまた、第2電極312が陰極である場合、高反射率の金属と仕事関数の小さい金属との合金(たとえばMg/Ag合金など)を用いて第2電極312を形成してもよい。また、ボトムエミッション方式を採用する場合に、第2電極312を陽極として用いることもできる。この場合には、前述の導電性金属酸化物と、反射性金属等との積層構造とすることが望ましい。導電性金属酸化物は、有機EL層側に配置されて正孔注入効率を向上させるために用いられる。
有機EL層310は、少なくとも有機発光層を含み、必要に応じて正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層および/または電子注入層を介在させた構造を有する。具体的には、有機EL素子基板は陰極および陽極を含めて下記のような層構造からなるものが採用される。
(1)陽極/有機発光層/陰極
(2)陽極/正孔注入層/有機発光層/陰極
(3)陽極/有機発光層/電子注入層/陰極
(4)陽極/正孔注入層/有機発光層/電子注入層/陰極
(5)陽極/正孔輸送層/有機発光層/電子注入層/陰極
(6)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子注入層/陰極
(7)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
上記の層構成において、陽極および陰極は、第1電極308または第2電極312のいずれかである。
(1)陽極/有機発光層/陰極
(2)陽極/正孔注入層/有機発光層/陰極
(3)陽極/有機発光層/電子注入層/陰極
(4)陽極/正孔注入層/有機発光層/電子注入層/陰極
(5)陽極/正孔輸送層/有機発光層/電子注入層/陰極
(6)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子注入層/陰極
(7)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
上記の層構成において、陽極および陰極は、第1電極308または第2電極312のいずれかである。
有機発光層の材料は、所望する色調に応じて選択することが可能であり、例えば青色から青緑色の発光を得るためには、ベンゾチアゾール系、ベンゾイミダゾール系、ベンゾオキサゾール系などの蛍光増白剤、スチリルベンゼン系化合物、芳香族ジメチリデイン系化合物などを使用することが可能である。あるいはまた、前述の材料をホスト材料として用い、これにドーパントを添加することによって有機発光層を形成してもよい。ドーパントとして用いることができる材料としては、たとえばレーザ色素としての使用が知られているペリレン(青色)などを用いることができる。
電子輸送層の材料としては、PBD、TPOBのようなオキサジアゾール誘導体;
TAZのようなトリアゾール誘導体;トリアジン誘導体;フェニルキノキサリン類;BMB−2T、BMB−3Tのようなチオフェン誘導体;アルミニウムトリス(8−キノリノラート)(Alq3)のようなアルミニウム錯体などを用いることができる。
TAZのようなトリアゾール誘導体;トリアジン誘導体;フェニルキノキサリン類;BMB−2T、BMB−3Tのようなチオフェン誘導体;アルミニウムトリス(8−キノリノラート)(Alq3)のようなアルミニウム錯体などを用いることができる。
電子注入層の材料としては、Alq3のようなアルミニウム錯体、アルカリ金属ないしアルカリ土類金属をドープしたアルミニウム錯体、あるいはアルカリ金属ないしアルカリ土類金属を添加したバソフェナントロリンなどを用いることができる。本発明においては、有機EL層に電子注入層を設けることが好ましい。
正孔注入層の材料としては、フタロシアニン(Pc)類(銅フタロシアニン(CuPc)などを含む)またはインダンスレン系化合物などを用いることができる。
正孔輸送層の材料としては、トリアリールアミン部分構造、カルバゾール部分構造、オキサジアゾール部分構造を有する材料(たとえばTPD、α−NPD、PBD、m−MTDATAなど)を用いることができる。
前述の有機EL層310を構成する各層は、抵抗加熱蒸着などの当該技術において知られている任意の手段を用いて形成することができる。
上記のようにして形成された、第1電極、有機EL層および第2電極は、平坦化層および/またはパッシベーション層(図示せず)によって保護されてもよい。平坦化層およびパッシベーション層の材料には、公知のものが使用される。例えば、平坦化層としては、ポリマー材料を用いる場合には、イミド変性シリコーン樹脂、無機金属化合物(TiO、Al2O3、SiO2等)をアクリル、ポリイミド、シリコーン樹脂等の中に分散した材料、アクリレートモノマー/オリゴマー/ポリマーの反応性ビニル基を有した樹脂、レジスト樹脂、フッ素系樹脂、または高い熱伝導率を有するメソゲン構造を有するエポキシ樹脂などの光硬化性樹脂および/または熱硬化性樹脂を挙げることができる。また、パッシベーション層は、例えば、SiOx、SiNx、SiNxOy、AlOx、TiOx、TaOx、ZnOx等の無機酸化物、無機窒化物等の材料を使用できる。パッシベーション層として、上記平坦化層で述べた種々のポリマー材料を用いることもできる。平坦化層およびパッシベーション層の形成方法は特に制約はなく、スパッタ法、CVD法、真空蒸着法、ディップ法、ゾル−ゲル法等の慣用の手法により形成できる。平坦化層およびパッシベーション層の膜厚等の条件は従来の通りである。
次に、本発明の第4の態様である、有機EL素子の製造方法を説明する。第1の実施形態の製造方法は、ボトムエミッション方式の有機EL素子の製造方法である(図4参照)。この製造方法は、(a)透明な基板上に透明な第1電極を形成する工程と、(b)第1電極上に有機EL層を形成する工程と、(c)有機EL層上に第2電極を形成する工程を少なくとも含み、前記第1電極が、銀以外の金属からなる下地層と銀または銀合金からなる銀薄膜層からなる積層透明導電膜であり、該積層透明導電膜の下地層が前記基板に近い側に形成され、且つ下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄く形成され、前記第1電極を形成する工程が、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着により、真空状態を維持したまま連続して成膜される方法である。
図4を参照して第1の実施形態の製造方法を説明する。図4は、ボトムエミッション方式のパッシブ型有機EL素子の製造例である。
工程(a)は、図4(a)に示したように、透明な基板314に下地層304を形成する。本発明では、下地層は304は、スパッタ法、蒸着法、イオンプレーディング法など従来の方法を用いることができる。次に、銀薄膜層306を形成する(図4(b))。銀薄膜層は、下地層と同様、種々の方法により成膜できる。本発明では、下地層および銀薄膜層は、例えば、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着法などの蒸着法や、DCマグネトロンスパッタ法などのスパッタ法を用いて形成することができる。抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着法を用いて下地層を形成する場合、銀薄膜層は、真空状態を維持したまま連続して成膜されることが好ましい。
下地層および銀薄膜層は、必要に応じてストライプ状にパターンニングする。このパターンニングには、例えば、所望のパターンを形成できるマスクを介して上記蒸着法を適用すればよい。
本発明の有機EL素子の積層透明導電膜の下地層は前記基板に近い側に形成される。すなわち、銀薄膜層に先立って下地層を形成する必要がある。このようにすることで、電極の透過率を改善することができる。また、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着法を適用して積層透明導電膜を形成する条件は、下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄く形成される限り特に限定されない。例えば、抵抗加熱熱蒸着では、目標膜厚に応じて加熱電力を調節し、坩堝温度を成膜する金属材料の融点以上に加熱して蒸着レートを制御し、目標膜厚の金属膜を成膜する。電子ビーム蒸着の場合は、電子銃の電流値を調整して蒸着レートを制御することになる。目標膜厚0.1nm〜4nmに対し、膜厚制御性と生産性のバランスから、蒸着レートは例えば0.05〜1Å/sであることが望ましい。蒸着前の蒸着チャンバー内真空度は、2×10−5Pa以下まで真空引きし、蒸着中の真空度は10−5Pa台であることが望ましい。また、スパッタ法の場合は、例えばインライン型DCマグネトロンスパッタ装置を用いて、下地層金属ターゲットと、放電ガスにArを用いて、放電圧力、放電電力、基板搬送速度を調整することによって、目標の膜厚の下地層を成膜することができる。
次に、図4(c)に示す工程(b)の有機EL層310の形成、および図4(d)に示す工程(c)の第2電極312の形成を行う。
工程(b)は、第1電極上に有機EL層310を形成する工程である。有機EL層310は、上述した構成を有するが、このような構成する各層は、抵抗加熱蒸着などの当該技術において知られている任意の手段を用いて形成することができる。
工程(c)は、有機EL層310上に第2電極312を形成する工程である。第2電極は、上述の材料を用いて、蒸着法、スパッタ法などの当該技術において知られている任意の方法で形成することができるが、有機EL層へのダメージを緩和するために、成膜粒子の持つエネルギーが1eV程度以下の低エネルギーの成膜方法を用いることが好ましい。第2電極が、複数のストライプ状のパターンとして形成される場合、第2電極は、第1電極と直交する方向にマスクなどを介して上記方法により形成することができる。
なお、第2電極として、本発明の積層透明導電膜を用いる場合には、上述の第1電極の形成方法と同様にして第2電極を形成すればよい(図4(e))が、既に形成されている有機EL層へのダメージを緩和するために、成膜粒子の持つエネルギーが1eV程度の以下の低いエネルギーの成膜方法が好ましい。例えば、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着法を適用することが好ましい。複数の第2電極を形成する場合には、マスクを介して抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着法を適用し、第1電極と直交する方向にパターン形成をすればよい。
第1の実施形態で、有機EL層、第2電極(銀薄膜層以外のもので形成される場合)を形成する条件は、従来の条件をそのまま使用することができる。
次に、第2の実施形態であるトップエミッション方式の有機EL素子の製造方法について説明する。この製造方法は、(i)基板上に第1電極を形成する工程と、(ii)第1電極上に有機EL層を形成する工程と、(iii)有機EL層上に透明な第2電極を形成する工程を少なくとも含み、前記第2電極が、銀以外の金属からなる下地層と銀または銀合金からなる銀薄膜層からなる積層透明導電膜であり、該積層透明導電膜の下地層が前記基板に近い側に形成され、且つ下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄く形成され、前記第2電極を形成する工程が、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着により、真空状態を維持したまま連続して成膜されることを特徴とする方法である。
図5を参照して第2の実施形態の製造方法を説明する。図5は、トップエミッション方式のパッシブ型有機EL素子の製造例である。
まず、図5(a)に示したように、工程(i)での基板302上への第1電極308の形成と、工程(ii)での有機EL層310の形成を行う。
工程(i)では、基板302に第1電極308を形成する。第1電極は、上述の材料を用いて、蒸着法、スパッタ法などの当該技術において知られている任意の方法で形成することができる。第1電極が、複数のストライプ状のパターンとして形成される場合、第1電極は、マスクなどを介して上記方法により形成してもよく、あるいは、基板全面に電極材料を成膜し、フォトリソグラフィ法により所望のパターンを形成してもよい。
次に、工程(ii)で有機EL層310の形成を行う。この工程では、第1電極308上に有機EL層310を形成する。有機EL層310は、上述した構成を有するが、このような構成する各層は、抵抗加熱蒸着などの当該技術において知られている任意の手段を用いて形成することができる。
次に、図5(b)および(c)に示すように、工程(iii)で、有機EL層310上に第2電極312を形成する。第2電極は、下地層304および銀薄膜層306からなる。まず、下地層は304を形成する(図5(b))。下地層304は、蒸着法、スパッタ法などの当該技術において知られている任意の方法で形成することができるが、既に形成されている有機EL層へのダメージを緩和するために、例えば成膜粒子の持つエネルギーが1eV程度以下の低エネルギーの成膜方法を用いることが好ましい。例えば、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着法を用いることができる。次に、銀薄膜層306を形成する(図5(c))。成膜法としては、、下地層と同様、種々の方法により成膜できるが、既に形成されている有機EL層へのダメージを緩和するために、例えば成膜粒子の持つエネルギーが1eV程度以下の低エネルギーの成膜方法を用いることが好ましい。例えば、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着法を用いることができる。抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着法を用いる場合、銀薄膜層は、下地層を形成する際の真空状態を維持したまま連続して成膜されることが好ましい。
下地層および銀薄膜層は、必要に応じてストライプ状にパターンニングする。このパターンニングには、例えば、所望のパターン(例えば、複数のストライプ状のパターンとして形成される場合、第2電極は、第1電極と直交する方向へパターンニングされる)を形成できるマスクを介して上記蒸着法を適用すればよい。
なお、第1電極308として、本発明の積層透明導電膜を用いる場合には、上述の第1の実施形態の有機EL素子の形成方法と同様にして第1電極を形成すればよい(図5(d))。複数の第1電極を形成する場合には、マスクを介して抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着法を適用し、第2電極と直交する方向にパターン形成をすればよい。
本発明の有機EL素子の積層透明導電膜の下地層は前記基板に近い側に形成される。すなわち、銀薄膜層に先立って下地層を形成する必要がある。このようにすることで、電極の透過率を改善することができる。また、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着法を適用して積層透明導電膜を形成する条件は、下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄く形成される限り特に限定されない。例えば、抵抗加熱熱蒸着では、目標膜厚に応じて加熱電力を調節し、坩堝温度を成膜する金属材料の融点以上に加熱して蒸着レートを制御し、目標膜厚の金属膜を成膜する。電子ビーム蒸着の場合は、電子銃の電流値を調整して蒸着レートを制御することになる。目標膜厚0.1nm〜4nmに対し、膜厚制御性と生産性のバランスから、蒸着レートは例えば0.05〜1Å/sであることが望ましい。蒸着前の蒸着チャンバー内真空度は、2×10−5Pa以下まで真空引きし、蒸着中の真空度は10−5Pa台であることが望ましい。
図5では、パッシブ型有機EL素子の製造例を示したが、本発明は、アクティブ型の有機EL素子も包含する。この場合、工程(i)の基板302として、支持基板とスイッチング素子を少なくとも含むものを形成すればよい。スイッチング素子は、TFT、MIMのような当該技術において知られている任意の構造であってもよい。スイッチング素子は任意の既知の方法で形成することができる。任意選択的であるが、スイッチング素子と第1電極とを接続する端子部分を除いて、スイッチング素子を覆ってその上面を平坦化する平坦化絶縁膜を形成してもよい。平坦化絶縁膜は、当該技術において知られている任意の材料および方法を用いて形成することができる。
第2の実施形態で、有機EL層、第1電極(銀薄膜層以外のもので形成される場合)を形成する条件は、従来の条件をそのまま使用することができる。
以下に、実施例により本発明を詳細に説明する。
(実施例1)
本実施例は、ガラス基板上に下地層としてアルミニウム(Al)層を形成し、この下地層上に銀薄膜層として銀(Ag)を形成した透明導電膜積層体の例である。
(実施例1)
本実施例は、ガラス基板上に下地層としてアルミニウム(Al)層を形成し、この下地層上に銀薄膜層として銀(Ag)を形成した透明導電膜積層体の例である。
ガラス基板(縦50mm×横50mm×厚さ0.7mm;コーニング社製1737ガラス)を用い、抵抗加熱蒸着装置にて下地層(Al)を成膜レート0.5Å/sで1nm形成し、続いてAgを成膜レート1Å/sで10nm形成した。この時の蒸着チャンバー内の真空度は、3×10−5Pa〜8×10−5Paであった。
(比較例1)
ガラス基板上に下地層を設けなかった以外、実施例1と同様にして銀薄膜層からなる電極を作製した。
ガラス基板上に下地層を設けなかった以外、実施例1と同様にして銀薄膜層からなる電極を作製した。
(評価方法)
得られた透明導電膜積層体の透過率を以下の手順で測定した。
得られた透明導電膜積層体の透過率を以下の手順で測定した。
<透過率の測定>
透過率の測定は、UV−2100PC(島津製作所製)を用い、実施例および比較例で用いたガラス基板と同じロットのガラス基板のみをリファレンスとして用いて行った。
透過率の測定は、UV−2100PC(島津製作所製)を用い、実施例および比較例で用いたガラス基板と同じロットのガラス基板のみをリファレンスとして用いて行った。
測定結果を図6に示した。図6に示されるように、本発明の電極積層体では、可視光領域全体にわたって、透過率が上昇した。
(実施例2)
本実施例は、ガラス基板上にα−NPDを形成し、α−NPD上に、下地層としてのAl層と、銀薄膜層としてのAg層を形成した透明導電膜積層体の例である。
本実施例は、ガラス基板上にα−NPDを形成し、α−NPD上に、下地層としてのAl層と、銀薄膜層としてのAg層を形成した透明導電膜積層体の例である。
ガラス基板(縦50mm×横50mm×厚さ0.7mm;コーニング社製1737ガラス製)を用い、抵抗加熱蒸着装置にて、4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(α−NPD)からなる層を、成膜レート3Å/sで200nm形成した。このときの蒸着チャンバ内の真空度は10−5Pa台であった。次いで、真空を破らずに下地層(Al)を抵抗加熱蒸着装置にて成膜レート0.5Å/sで1nm形成し、続いてAgを成膜レート1Å/sで10nm形成した。この時の蒸着チャンバー内の真空度は、3×10−5Pa〜8×10−5Paであった。
(比較例2)
下地層を設けなかった以外、実施例2と同様にしてα−NPD層および銀薄膜層からなる電極を作製した。
下地層を設けなかった以外、実施例2と同様にしてα−NPD層および銀薄膜層からなる電極を作製した。
作成した試料を、実施例1で説明した評価方法に従い、透過率を測定した。測定結果を図7に示した。図7に示されるように、本発明の電極積層体では、可視光領域全体にわたって、透過率が上昇した。
(実施例3)
本実施例は、ガラス基板上にα−NPDを形成し、α−NPD上に、下地層としてのAl層と、銀薄膜層としてのAg層を形成し、さらに銀薄膜層上に酸化物透明導電膜(IZO)を形成した透明導電膜積層体の例である。
本実施例は、ガラス基板上にα−NPDを形成し、α−NPD上に、下地層としてのAl層と、銀薄膜層としてのAg層を形成し、さらに銀薄膜層上に酸化物透明導電膜(IZO)を形成した透明導電膜積層体の例である。
ガラス基板(縦50mm×横50mm×厚さ0.7mm;コーニング社製1737ガラス製)を用い、抵抗加熱蒸着装置にて、4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(α−NPD)からなる層を、成膜レート3Å/sで200nm形成した。このときの蒸着チャンバ内の真空度は10−5Pa台であった。次いで、真空を破らずに、抵抗加熱蒸着装置にて下地層(Al)を成膜レート0.5Å/sで1nm形成し、続いてAgを成膜レート1Å/sで10nm形成した。この時の蒸着チャンバー内の真空度は、3×10−5Pa〜8×10−5Paであった。次に、DCマグネトロンスパッタ法(放電ガス:Ar+0.5%O2、放電圧力:0.3Pa、放電電力:1.45W/cm2、基板搬送速度81mm/min)により、IZOを成膜した。
(比較例3)
下地層を設けなかった以外、実施例3と同様にしてα−NPD層、銀薄膜層およびIZO層からなる電極を作製した。
下地層を設けなかった以外、実施例3と同様にしてα−NPD層、銀薄膜層およびIZO層からなる電極を作製した。
作成した試料を、実施例1で説明した評価方法に従い、透過率を測定した。測定結果を図8に示した。図8に示されるように、本発明の電極積層体では、可視光領域全体にわたって、透過率が上昇した。
(実施例4)
本実施例は、ガラス基板上に下記2種類の層構造を有するトップエミッション方式の有機EL素子の例である。
本実施例は、ガラス基板上に下記2種類の層構造を有するトップエミッション方式の有機EL素子の例である。
(試料1)
Ag/Au/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子移動層/電子注入層/下部電極(陰極)/ガラス基板
Ag/Au/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子移動層/電子注入層/下部電極(陰極)/ガラス基板
(試料2)
IZO/Ag/Au/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子移動層/電子注入層/下部電極(陰極)/ガラス基板
IZO/Ag/Au/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子移動層/電子注入層/下部電極(陰極)/ガラス基板
(試料1の調製)
ガラス基板(50mm×50mm×厚さ0.7mm;コーニング社製1737ガラス)を用い、DCマグネトロンスパッタ法(成膜条件:ターゲット Cr3B;放電ガス Ar;放電圧力 0.3Pa;放電電力 0.68W/cm2)を用いて、第1電極である下部電極材料(CrB)を100nm形成した。
ガラス基板(50mm×50mm×厚さ0.7mm;コーニング社製1737ガラス)を用い、DCマグネトロンスパッタ法(成膜条件:ターゲット Cr3B;放電ガス Ar;放電圧力 0.3Pa;放電電力 0.68W/cm2)を用いて、第1電極である下部電極材料(CrB)を100nm形成した。
次いで、フォトレジスト(製品名:TFR−1150、東京応化工業製)をCrB膜上にスピンコートし、80℃に保持したクリーンオーブン中で30分間プリベークした後、幅2mmの電極パターン形状のフォトマスクを用いて高圧水銀ランプによる露光、現像液(NMD−3、東京応化工業製)による現像を行った。この後、90℃に保持したクリーンオーブン中で30分間ポストベークし、電極パターン形状をもったフォトレジストパターンを形成した。そのサンプルを室温のCr用エッチング液(製品名:HY液、和光純薬株式会社製)中で5分間揺動し、不要なCrB膜をエッチングし、剥離液(製品名:104、東京応化工業製)にてレジストを剥離、純水リンス、リンサードライヤーによる乾燥を経て、幅2mmのCrB下部電極を形成した。
次いで、以下のようにして有機EL層を形成した。なお、有機EL層の成膜は、メタルシャドウマスクを介して行い、ガラス基板中央部の24mm×24mmの領域に成膜した。
まず、抵抗加熱蒸着用真空チャンバー内に、アルミキノリノール錯体(Alq3)の入った蒸着用坩堝とLiアルカリディスペンサー(サエスゲッターズ製)を配置、同時に加熱し、Alq3:Li=1:1のモル比を持つAlq3:Li共蒸着膜による電子注入層を10nm成膜した。引き続き、電子輸送層としてAlq3のみを10nm成膜した。電子輸送層上に4,4’−ビス(2、2’−ジフェニルビニル)ビフェニル(DPVBi)からなる発光層を30nm成膜した。この発光層上に4、4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(α−NPD)からなる正孔輸送層を20nm、正孔輸送層上に4,4’,4’’−トリス(3−メチルフェニルフェニルアミノ)−トリフェニルアミン(m−MTDATA)からなる正孔注入層を70nm、順次、Alq3と同様に真空蒸着によって成膜した。電子注入層から正孔注入層までの有機層成膜の蒸着レートは、全て1Å/sで行い、この時の蒸着チャンバー中の真空度は、10−5Pa台であった。
次いで、第1電極(下部電極)と直行するような幅2mmの電極パターン形状の開口を持った第2電極用メタルシャドウマスクを用いて、正孔注入層上に抵抗加熱蒸着にて(蒸着時真空度5×10−5〜7×10−5Pa、蒸着レート0.1Å/s)、下地層(Au)を0.5nm形成し、続いて下地層上に銀(Ag)を20nm抵抗加熱蒸着(蒸着時真空度5×10−5〜6×10−5Pa、蒸着レート1.0Å/s)にて成膜し、第2電極(上部電極)を形成した。
続いて、試料を窒素置換ドライボックスに移し、その中で、封止用ガラス板(縦41mm×横41mm×厚さ1.1mm、日本電気硝子製OA−10)を用いて封止した。封止は、封止用ガラス板の4辺付近にエポキシ系接着剤を塗布し、有機EL層を覆うように試料に貼り付けることにより行い、試料1を得た。有機EL層以降の成膜工程の間、および第2電極形成後のドライボックスへ搬送時、試料は大気に触れることのないようにして各工程を行った。
(試料2の調製)
試料1を得た手順と同様にして銀薄膜層までを成膜し、その上に、第2電極用メタルシャドウマスクを介して、DCマグネトロンスパッタ法(放電ガス:Ar+0.5%O2、放電圧力:0.3Pa、放電電力:1.45W/cm2、基板搬送速度81mm/min)により、IZOを成膜した。得られた試料を、上記試料1の調製で説明した手順と同様にして、有機EL層を覆うように封止を行い、試料2を得た。
試料1を得た手順と同様にして銀薄膜層までを成膜し、その上に、第2電極用メタルシャドウマスクを介して、DCマグネトロンスパッタ法(放電ガス:Ar+0.5%O2、放電圧力:0.3Pa、放電電力:1.45W/cm2、基板搬送速度81mm/min)により、IZOを成膜した。得られた試料を、上記試料1の調製で説明した手順と同様にして、有機EL層を覆うように封止を行い、試料2を得た。
(比較例4)
正孔注入層までの各層を、試料1を得た手順と同様にして形成した。次に、正孔注入層上に第2電極用メタルシャドウマスクを用いて、下地層を設けずに銀(Ag)を20nm抵抗加熱蒸着にて成膜し、第2電極(上部電極)を形成した。この後、試料1と同様に有機EL層を覆うように封止を行い、試料3を得た。
正孔注入層までの各層を、試料1を得た手順と同様にして形成した。次に、正孔注入層上に第2電極用メタルシャドウマスクを用いて、下地層を設けずに銀(Ag)を20nm抵抗加熱蒸着にて成膜し、第2電極(上部電極)を形成した。この後、試料1と同様に有機EL層を覆うように封止を行い、試料3を得た。
(評価)
上記実施例4および比較例4で調製した試料1〜3の有機EL素子は、不透明な金属第1電極(100nmのCrB)をもっているため、透過率の比較をすることができない。従って、これらの試料について、電流効率値と発光スペクトルを測定し、評価結果とした。
上記実施例4および比較例4で調製した試料1〜3の有機EL素子は、不透明な金属第1電極(100nmのCrB)をもっているため、透過率の比較をすることができない。従って、これらの試料について、電流効率値と発光スペクトルを測定し、評価結果とした。
電流密度10mA/cm2の時の、試料1、試料2および試料3の発光スペクトルを図9に示した。透明度の高い第2電極を持つ試料1および試料2は、青緑色の発光が得られたが、試料3は第2電極の透明度が低いために、多重干渉の効果が強く、全く異なるスペクトルが得られている。
この時の電流効率は、試料1、試料2および試料3でそれぞれ、6.8cd/A、7.4cd/A、5.4cd/Aとなっており、本発明による有機EL素子(試料1および試料2)で高い発光効率が得られた。
100 透明導電膜積層体
102、302 基板
104、304 下地層
106、306 銀薄膜層
108 酸化物透明導電膜
110 支持基板
112 半導体薄膜
300 有機EL素子
308 第1電極
310 有機層
312 第2電極
314 透明な基板
102、302 基板
104、304 下地層
106、306 銀薄膜層
108 酸化物透明導電膜
110 支持基板
112 半導体薄膜
300 有機EL素子
308 第1電極
310 有機層
312 第2電極
314 透明な基板
Claims (18)
- 基板、該基板上に設けられた銀以外の金属からなる下地層、および、該下地層上に設けられた銀または銀合金からなる銀薄膜層を含み、下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄いことを特徴とする透明導電膜積層体。
- 前記基板が、支持基板と、該支持基板上に設けられた誘電体または半導体薄膜を含み、前記下地層が、誘電体または半導体薄膜上に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の透明導電膜積層体。
- 銀薄膜層上に、酸化物透明導電膜をさらに設けたことを特徴とする請求項1または2に記載の透明導電膜積層体。
- 前記下地層の厚さが、0.1nm乃至4nmであることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の透明導電膜積層体。
- 前記銀薄膜層の厚さが、5nm乃至30nmであることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の透明導電膜積層体。
- 前記下地層の銀以外の金属が、金、アルミニウム、銅、インジウム、スズおよび亜鉛よりなる群から選択されることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の透明導電膜積層体。
- (1)基板上に銀以外の金属からなる下地層と、該下地層上に銀または銀合金からなる銀薄膜層を成膜する工程を含み、この成膜工程が、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着により、真空状態を維持したまま連続して成膜されることを特徴とする透明導電膜積層体の製造方法。
- (2)銀薄膜層上に酸化物透明導電膜をさらに形成する工程を含むことを特徴とする請求項7に記載の透明導電膜積層体の製造方法。
- 基板と、該基板上に設けられた第1電極と、該第1電極上に設けられた有機EL層と、該有機EL層上に設けられた第2電極とを少なくとも含む有機EL素子であって、前記第1電極若しくは第2電極、またはこれらの双方が、銀以外の金属からなる下地層と銀または銀合金からなる銀薄膜層からなる積層透明導電膜であり、該積層透明導電膜の下地層が前記基板に近い側に設けられ、且つ下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄いことを特徴とする有機EL素子。
- 銀薄膜層上に、酸化物透明導電膜をさらに設けたことを特徴とする請求項9に記載の有機EL素子。
- 前記下地層の厚さが、0.1nm乃至4nmであることを特徴とする請求項9または10に記載の有機EL素子。
- 前記銀薄膜層の厚さが、5nm乃至30nmであることを特徴とする請求項9から11のいずれか1項に記載の有機EL素子。
- 前記下地層の銀以外の金属が、金、アルミニウム、銅、インジウム、スズおよび亜鉛よりなる群から選択されることを特徴とする請求項9から12のいずれか1項に記載の有機EL素子。
- (a)透明な基板上に透明な第1電極を形成する工程と、
(b)第1電極上に有機EL層を形成する工程と、
(c)有機EL層上に第2電極を形成する工程を少なくとも含み、
前記第1電極が、銀以外の金属からなる下地層と銀または銀合金からなる銀薄膜層からなる積層透明導電膜であり、該積層透明導電膜の下地層が前記基板に近い側に形成され、且つ下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄く形成され、前記第1電極を形成する工程が、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着により、真空状態を維持したまま連続して成膜されることを特徴とする有機EL素子の製造方法。 - 前記第2電極が、銀以外の金属からなる下地層と銀または銀合金からなる銀薄膜層からなる積層透明導電膜であり、該積層透明導電膜の下地層が前記基板に近い側に形成され、且つ下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄く形成され、前記第2電極を形成する工程が、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着により、真空状態を維持したまま連続して成膜されることを特徴とする請求項14に記載の有機EL素子の製造方法。
- (i)基板上に第1電極を形成する工程と、
(ii)第1電極上に有機EL層を形成する工程と、
(iii)有機EL層上に透明な第2電極を形成する工程を少なくとも含み、
前記第2電極が、銀以外の金属からなる下地層と銀または銀合金からなる銀薄膜層からなる積層透明導電膜であり、該積層透明導電膜の下地層が前記基板に近い側に形成され、且つ下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄く形成され、前記第2電極を形成する工程が、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着により、真空状態を維持したまま連続して成膜されることを特徴とする有機EL素子の製造方法。 - 前記第1電極が、銀以外の金属からなる下地層と銀または銀合金からなる銀薄膜層からなる積層透明導電膜であり、該積層透明導電膜の下地層が前記基板に近い側に形成され、且つ下地層の膜厚が銀薄膜層の膜厚よりも薄く形成され、前記第1電極を形成する工程が、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着により、真空状態を維持したまま連続して成膜されることを特徴とする請求項16に記載の有機EL素子の製造方法。
- (iv)銀薄膜層上に酸化物透明導電膜をさらに形成する工程を含むことを特徴とする請求項16に記載の有機EL素子の製造方法。
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---|---|---|---|
JP2007002587A JP2008171637A (ja) | 2007-01-10 | 2007-01-10 | 透明導電膜積層体、該透明導電膜積層体を用いた有機el素子、並びに、これらの製造方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007002587A JP2008171637A (ja) | 2007-01-10 | 2007-01-10 | 透明導電膜積層体、該透明導電膜積層体を用いた有機el素子、並びに、これらの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008171637A true JP2008171637A (ja) | 2008-07-24 |
Family
ID=39699538
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007002587A Withdrawn JP2008171637A (ja) | 2007-01-10 | 2007-01-10 | 透明導電膜積層体、該透明導電膜積層体を用いた有機el素子、並びに、これらの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2008171637A (ja) |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A761 | Written withdrawal of application |
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