JP2008161964A - 透明基板の側辺加工方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基板5をカメラ7の反対の側から照明する光源10、好ましくは面光源を配置し、マーク読取り時に当該光源で透明基板5を照明する。カメラ7で透明基盤上の不透明マーク6を読取る際に、従来はカメラと同方向から透明基板5を照明して反射光で読取っていたのに対し、この発明の方法及び装置では、透明基板5を挟んでカメラ7の反対の側に配置した光源10で透明基板5の裏面を照明し、透過光で不透明な位置決めマーク6の影を読取る。
【選択図】 図1
Description
3 テーブル
4 工具
5 透明基板
6 位置決めマーク
7 カメラ
10 面光源
12 面光源の中心
13 レンズの光軸
16 画像認識装置
Claims (3)
- 画像認識装置(16)に所定形状に対応する形状データを登録し、透明基板(5)の複数箇所に前記形状の不透明塗料層ないし不透明シート片からなる位置決めマーク(6)を付し、当該透明基板をテーブル(3)に固定して当該テーブルの上方に配置したカメラ(7)で前記位置決めマークを付した透明基板の面を走査してその読取り画像信号と前記登録した形状データとを対比することにより前記位置決めマークを検出し、その検出位置に基づいて前記テーブルないし工具(4)を旋回ないし移動して当該工具と透明基板の相対位置関係を設定したあと、当該透明基板の側辺を加工する加工方法において、
前記テーブルの上面の下方に前記カメラと対向して上方に向けた光源(10)を配置し、前記カメラで透明基板の面を走査する際に当該光源を点灯することを特徴とする、透明基板の側辺加工方法。 - 前記光源(10)が前記位置決めマーク(6)の面積より大きな面積の面光源であり、当該面光源の中心(12)を前記カメラのレンズの光軸(13)と一致させて配置することを特徴とする、請求項1記載の側辺加工方法。
- 旋回装置(2)で鉛直軸回りに旋回位置決めされるテーブル(3)と、送り装置でこのテーブルに対して水平面内で相対移動する工具(4)と、前記テーブルの上面に載置された透明基板(5)に付された位置決めマーク(6)をデジタル電気信号として読取るカメラ(7)とを備えた透明基板の側辺加工装置において、前記カメラに対向して前記テーブルの上面より下方の位置に、照明方向を前記カメラに向けた面光源(10)が配置され、前記カメラによる前記マークの読取り時に当該面光源で透明基板の下面を照明することを特徴とする、透明基板の側辺加工装置。
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Cited By (4)
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---|---|---|---|---|
JP2014006193A (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-16 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | 照明装置及びガラス板の加工装置 |
CN105174705A (zh) * | 2015-10-13 | 2015-12-23 | 浙江司贝宁精工科技有限公司 | 玻璃加工一体机 |
KR20160004500A (ko) * | 2014-07-03 | 2016-01-13 | 주식회사 케이엔제이 | 패널 연마 장치 및 방법 |
KR20200119208A (ko) * | 2019-04-09 | 2020-10-19 | 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디 | 다이의 방향을 결정하기 위한 장치 |
Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
CN104070434B (zh) * | 2014-04-23 | 2016-08-17 | 明基材料有限公司 | 偏光板裁切磨边装置及偏光板制造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07276192A (ja) * | 1994-04-07 | 1995-10-24 | U H T Kk | プリント基板のホールチェック方法 |
JP2000099158A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Orc Mfg Co Ltd | ワークとマスクの整合機構および整合方法 |
JP2001277078A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-09 | Brother Ind Ltd | 被加工物のマーク検出装置,マーク検出方法,及び記憶媒体 |
JP2004099424A (ja) * | 2002-07-16 | 2004-04-02 | Shiraitekku:Kk | ガラスの加工装置 |
JP2006003561A (ja) * | 2004-06-16 | 2006-01-05 | Sharp Corp | 貼り合わせ基板 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07276192A (ja) * | 1994-04-07 | 1995-10-24 | U H T Kk | プリント基板のホールチェック方法 |
JP2000099158A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Orc Mfg Co Ltd | ワークとマスクの整合機構および整合方法 |
JP2001277078A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-09 | Brother Ind Ltd | 被加工物のマーク検出装置,マーク検出方法,及び記憶媒体 |
JP2004099424A (ja) * | 2002-07-16 | 2004-04-02 | Shiraitekku:Kk | ガラスの加工装置 |
JP2006003561A (ja) * | 2004-06-16 | 2006-01-05 | Sharp Corp | 貼り合わせ基板 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014006193A (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-16 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | 照明装置及びガラス板の加工装置 |
KR20160004500A (ko) * | 2014-07-03 | 2016-01-13 | 주식회사 케이엔제이 | 패널 연마 장치 및 방법 |
KR101673150B1 (ko) * | 2014-07-03 | 2016-11-07 | 주식회사 케이엔제이 | 패널 연마 장치 및 방법 |
CN105174705A (zh) * | 2015-10-13 | 2015-12-23 | 浙江司贝宁精工科技有限公司 | 玻璃加工一体机 |
KR20200119208A (ko) * | 2019-04-09 | 2020-10-19 | 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디 | 다이의 방향을 결정하기 위한 장치 |
KR102336094B1 (ko) * | 2019-04-09 | 2021-12-08 | 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디 | 다이의 방향을 결정하기 위한 장치 |
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