JP2008159759A - 誘導加熱を用いた熱処理方法および熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】誘導加熱を利用してウェハ24を加熱し、誘導加熱コイル16の配置経路に沿って流す冷媒によりウェハ24を冷却する熱処理方法において、前記誘導加熱コイル16により誘導加熱されるグラファイト20とウェハ24とを近接させると共にこれらの間に気体層26を介在させて、誘導加熱により加熱されたグラファイト20から放射される輻射熱と気体層26を介した熱伝達によりウェハ24を加熱し、前記冷媒により冷却されたグラファイト20による輻射熱の吸収と気体層26を介した熱伝達によりウェハ24を冷却することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
前記ケーシング22は、加熱炉を覆う外郭である。前記加熱・冷却ユニット12は、熱処理の対象とする半導体ウェハ等の被処理部材(以下、ウェハと称す)24を加熱または冷却するためユニットである。具体的構成としては、セラミックや石英等の非導電性耐熱部材により形成されてユニットの外殻を構成するステージ14と、当該ステージ14の内側に密着された誘導加熱コイル16(16a〜16h)、および誘導加熱コイル16を封止する樹脂部材18より構成される。ここで、誘導加熱コイル16は、管(筒)部材により構成され、内部に冷却水や冷却ガス等の冷媒を挿通させることを可能な構成としている。誘導加熱コイル16をこのような構成とすることにより、誘導加熱により発熱したグラファイト20の熱によりコイル自体が過熱されることを防止することができると共に、コイルに投入(提供)する電力をカットまたは調整することで、冷却管としての役割を担うことが可能となるのである。そして、このような構成の誘導加熱コイル16には、当該誘導加熱コイル16に電力を提供し、グラファイト20ならびにウェハ24の加熱状態を制御するための、電力制御ユニット30が接続されている。
Claims (8)
- 誘導加熱を利用して被処理部材を加熱し、誘導加熱コイルの配置経路に沿って流す冷媒により被処理部材を冷却する熱処理方法において、
前記誘導加熱コイルにより誘導加熱される被誘導加熱部材と前記被処理部材を近接させると共にこれらの間に気体層を介在させて、
誘導加熱により加熱された前記被誘導加熱部材から放射される輻射熱と前記気体層を介した熱伝達とにより前記被処理部材の加熱を行い、
前記冷媒により冷却された前記被誘導加熱部材による輻射熱の吸収と前記気体層を介した熱伝達とにより前記被処理部材の冷却を行うことを特徴とする誘導加熱を用いた熱処理方法。 - 前記被誘導加熱部材と前記誘導加熱コイル配設部材との間に熱線遮蔽及び熱伝達低減部材を配置し、前記誘導加熱コイル配置部材に対する輻射熱の到達の防止及び熱伝達の低減を図ったことを特徴とする請求項1に記載の誘導加熱を用いた熱処理方法。
- 前記被処理部材の加熱工程と冷却工程ではそれぞれ、誘導加熱コイルに投入する電力の調整を行うことで冷媒による冷却と加熱とのバランスを採り、被処理部材の昇温勾配、降温勾配の傾きを制御することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の誘導加熱を用いた熱処理方法。
- 前記誘導加熱コイルは複数、近接させて配置し、それぞれの誘導加熱コイルに投入する電力を調整することで、前記被誘導加熱部材ならびに被処理部材の表面温度の温度分布の均一化を図ることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1に記載の誘導加熱を用いた熱処理方法。
- 前記被処理部材の加熱・冷却は、当該被処理部材の両主面に対して成されることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1に記載の誘導加熱を用いた熱処理方法。
- 導電性の管状部材により構成することで、被処理部材の加熱用電力の投入と前記被処理部材を冷却するための冷媒の流し込みとを可能とした誘導加熱コイルと、
前記誘導加熱コイルを一方の主面に密着させて前記誘導加熱コイル内を流れる熱媒体との間で熱交換を行うステージ部材と、
前記ステージ部材の他方の主面に密着されて前記ステージ部材との間で熱交換を行うと共に、前記誘導加熱コイルに投入された電力に基づいて誘導加熱され、前記被処理部材の加熱時並びに冷却時の熱媒体、および加熱時の熱源並びに冷却時の熱吸収源として作用する被誘導加熱部材とを有し、
前記被誘導加熱部材と前記被処理部材との間に熱媒体として作用する気体層を介在させる構成としたことを特徴とする誘導加熱を用いた熱処理装置。 - 前記ステージ部材と前記被誘導加熱部材との間に、前記被誘導加熱部材からの輻射熱の遮蔽及び熱伝達の低減を図る遮蔽部材を配置したことを特徴とする請求項6に記載の誘導加熱を用いた熱処理装置。
- 前記誘導加熱コイルは、近接させて複数配置し、各誘導加熱コイルに対して、投入電力の調整を可能とした電力制御ユニットを備えたことを特徴とする請求項6または7に記載の誘導加熱を用いた熱処理装置。
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