JP4901998B1 - 誘導加熱装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハ16の一方の主面に対向して配置されるサセプタ18と、他方の主面に対向して配置されるサセプタ20と、サセプタ18のウエハ16との対向面の裏面側に配置される一方の誘導加熱コイル群22と、サセプタ20のウエハ16との対向面の裏面側に、ウエハ16を基点として一方の誘導加熱コイル群22と対称に配置される他方の誘導加熱コイル群24と、一方の誘導加熱コイル群22および他方の誘導加熱コイル群24を並列に、且つウエハ16を基点として面対称な配置関係となる誘導加熱コイル22a〜22f,24a〜24fに対して、投入する電流の位相が逆向きとなるように接続した電源部14とを有することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
一方、急速加熱の要望がさらに加速した場合、ウエハの表裏面間において温度差が生じ、ウエハに反りなどが生ずる可能性がある。これを解消する方法として、ウエハを一対のサセプタで挟み込み、ウエハを表裏両面から加熱するという方法が考えられる。しかしこの場合でも、表裏面の加熱制御を各々独立して行った場合には、ウエハ表裏面の温度分布がばらついてしまう場合がある。また、表面に金属膜などが貼付されているウエハを加熱する場合には、漏洩磁束の影響によりウエハ自体が誘導加熱され、ウエハ全体としての加熱バランスが崩れてしまったり、金属膜が焼損したりする虞がある。
図1は、実施形態に係る誘導加熱装置の全体構成を示すブロック図である。また、図2は、実施形態に係る誘導加熱装置の加熱部の構成を示す分解斜視図である。実施形態に係る誘導加熱装置10は、加熱部12と電源部(電力供給手段)14とを基本として構成される。加熱部12は、一方の発熱体としてのサセプタ18、他方の発熱体としてのサセプタ20、一方の誘導加熱コイル群22、および他方の誘導加熱コイル群24を基本として構成される。
Claims (4)
- 被加熱物の一方の主面に対向して配置される一方の発熱体と、他方の主面に対向して配置される他方の発熱体と、
前記一方の発熱体における前記被加熱物との対向面の裏面側に配置される一方の誘導加熱コイル群と、前記他方の発熱体における前記被加熱物との対向面の裏面側に、前記被加熱物を基点として前記一方の誘導加熱コイル群と対称に配置される他方の誘導加熱コイル群と、
前記一方の誘導加熱コイル群および前記他方の誘導加熱コイル群を並列に、且つ前記被加熱物を基点として面対称な配置関係となる誘導加熱コイルに対して、投入する電流の位相が逆向きとなるように接続した電力供給手段とを有することを特徴とする誘導加熱装置。 - 前記一方の誘導加熱コイル群と前記他方の誘導加熱コイル群は、それぞれ円環状に形成されて同心円上に配置された複数の誘導加熱コイルから成ることを特徴とする請求項1に記載の誘導加熱装置。
- 前記一方の誘導加熱コイル群と前記他方の誘導加熱コイル群とを構成する各誘導加熱コイルの内、対称配置された誘導加熱コイルはそれぞれ組を成し、
前記電力供給手段は、各組を成す誘導加熱コイルに対して同じ電流値を供給するための複数のインバータを有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の誘導加熱装置。 - 前記一方の発熱体と前記他方の発熱体の厚みをそれぞれt、前記一方の発熱体と前記他方の発熱体における磁束の浸透深さをδとした場合に、
t<1.5δ
の関係を満たすように、前記一方の発熱体と前記他方の発熱体の厚みを定めたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の誘導加熱装置。
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