JP2008157927A - センサ素子、センサ素子製造方法およびガスセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】NOxセンサ2に備えられるガスセンサ素子4の製造方法では、導電層形成工程において、第2固体電解質基板125および第1固体電解質基板127ごとに第1導電層137、第2導電層138を形成した後、積層工程において、第1外部導電層145と第2外部導電層149を接触させつつ、第2固体電解質基板125および第1固体電解質基板127を積層する。
【選択図】図5
Description
このようなセンサ素子においては、板型部材の表面側に配置される第1電極部と板型部材の裏面側に配置される第2電極部とを電気的に接続するために、板型部材を厚さ方向に貫通するスルーホールに配置された導電層を介して、第1電極部材と第2電極部材とを電気的に接続する構成を採用することがある。
さらに、第1固体電解質層と第1導電層とを電気的に絶縁する絶縁層、もしくは第2固体電解質層と第2導電層とを電気的に絶縁する絶縁層は、第1内部絶縁層や第2内部絶縁層のみならず第1外部絶縁層や第2外部絶縁層を備えることから、第1固体電解質層と第1外部導電層や、第2固体電解質層と第2外部導電層とが電気的に接続されるのを防止できる。これにより、第1固体電解質層と第1導電層との間や、第2固体電解質層と第2導電層との間(特に、第1固体電解質層と第1外部導電層との間や、第2固体電解質層と第2外部導電層との間)が短絡するのを防止でき、センサ素子の破損(第1固体電解質体や第2固体電解質層のブラックニングなど)が生じるのを防止できる。
なお、本発明の実施形態として、排気ガスに含まれるNOxを検出するために、内燃機関の排気管に装着されるNOxセンサ2について説明する。
図1は、本発明を適用した実施形態のNOxセンサ2(本発明でいうガスセンサ)の全体構成を示す断面図である。
(2)ガスセンサ素子4の構成
ここで、ガスセンサ素子4の概略構造を表す斜視図を、図2に示す。なお、図2では、軸線方向における中間部分を省略してガスセンサ素子4を表している。
検出素子20は、固体電解質基板(固体電解質体からなる板状の基板)の両側に多孔質電極を形成した酸素濃淡検知セルと、同じく固体電解質基板の両側に多孔質電極を形成した酸素ポンプセルと、同じく固体電解質基板の上に多孔質電極を形成したNOxセルと、これらの素子の間に積層され、中空の測定ガス室を形成するためのスペーサと、を備えて構成される。
また、第2導電層138は、第2内部導電層147及び第2外部導電層149を備えている。このうち、第2内部導電層147は、第2固体電解質基板125において第2スルーホール133の内部(第2内部絶縁層141上)に配置されている。また、第2外部導電層149は、第2内部導電層147に電気的に接続されるとともに、第2外部絶縁層139上に形成されている。
次に、ガスセンサ素子4の製造方法について説明する。
まず、焼成後にガスセンサ素子4となる未焼成積層体を作製する。
なお、未焼成積層体を構成する所定の材料としては、焼成後にヒータ22の固体電解質基板となる未焼成固体電解質シート、焼成後に外部中間絶縁層37,内部中間絶縁層129となる未焼成絶縁性シート等が含まれる。 なお、本実施形態においては、未焼成絶縁性シートを用いたが、それぞれペーストを塗布することで各部を形成しても良い。
具体的には、ヒータ22の第2固体電解質基板125,第1固体電解質基板127となる未焼成固体電解質体シートにおいては、第1スルーホール134、第2スルーホール133の内表面上に第1内部絶縁層142、第2内部絶縁層141が形成される。また、未焼成固体電解質体シートの第1スルーホール134、第2スルーホール133周縁の第2表面126上及び第1裏面128上に、第1外部絶縁層140、第2外部絶縁層139が形成される。
そして、このようにして作製されたガスセンサ素子4を用いてNOxセンサ2を作製するためには、ガスセンサ素子4を主体金具38に組み付ける組付工程を行う。
第2固体電解質基板125および第1固体電解質基板127にそれぞれ形成された第1導電層137、第2導電層138の接続状態が良好なものとなる。
(4)その他の実施形態
本発明の実施の形態は、上記の実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態を採りうる。
第2内部中間絶縁層229は、第2固体電解質基板125と第1固体電解質基板127との間のうち、第1スルーホール134及び第2スルーホール133が形成された後端側だけでなく、発熱部131が形成された先端側にも配置されている。
Claims (11)
- 第1表面から該第1表面の反対側に位置する第1裏面に向かって貫通する第1スルーホールを有する板状の第1固体電解質層と、
第2表面から該第2表面の反対側に位置する第2裏面に向かって貫通すると共に、前記第1スルーホールと連結する第2スルーホールを有し、前記第1裏面と前記第2表面とを直接または他部材を介して接触させて前記第1固体電解質層と積層した板状の第2固体電解質層と、
を有するセンサ素子であって、
前記第1固体電解質層は、前記第1スルーホールの内表面上に設けられた第1内部絶縁層と、該第1内部絶縁層と連結し、第1裏面上に設けられた第1外部絶縁層と、前記第1内部絶縁層上に設けられた第1内部導電層と、前記第1内部導電層と連結し、前記第1外部絶縁層上に設けられた第1外部導電層と、を有し、
前記第2固体電解質層は、前記第2スルーホールの内表面上に設けられた第2内部絶縁層と、該第2内部絶縁層と連結し、第2表面上に設けられた第2外部絶縁層と、前記第2内部絶縁層上に設けられた第2内部導電層と、前記第2内部導電層と連結し、前記第2外部絶縁層上に配置された第2外部導電層と、を有し、
第1外部導電層と前記第2外部導電層とが接触していることを特徴とするセンサ素子。 - 前記センサ素子を厚み方向に垂直方向から見たときに、前記第1外部導電層よりも前記第1外部絶縁層が垂直方向に突出し、且つ前記第2外部導電層よりも前記第2外部絶縁部が垂直方向に突出していることを特徴とする請求項1に記載のセンサ素子。
- 前記センサ素子を厚み方向に垂直方向から見たときに、前記第1外部導電層よりも前記第1外部絶縁層が垂直方向に0.1mm以上突出し、且つ前記第2外部導電層よりも前記第2外部絶縁層が垂直方向に0.1mm以上突出していることを特徴とする請求項2に記載のセンサ素子。
- 前記第1外部絶縁層と前記前記第2外部絶縁層とは、中間絶縁層を介して接触していることを特徴とする請求項2又は3に記載のセンサ素子。
- 前記第1固体電解質層と前記第2固体電解質層とは、前記中間絶縁層を介して接触していることを特徴とする請求項4に記載のセンサ素子。
- 前記第1裏面と前記第2表面との間隔寸法は、10[μm]〜100[μm]の範囲内であること、
を特徴とする請求項5に記載のセンサ素子。 - 前記センサ素子は長手方向に延びる長尺形状を有し、
前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールは、前記第1固体電解質層及び前記第2固体電解質層の長手方向における後端部に形成されており、且つ、前記センサ素子の先端部には発熱部が備えられており、
前記中間絶縁層は、前記先端部の前記第1固体電解質層と前記第2固体電解質層との間にも設けられており、
前記先端部の前記中間絶縁層の厚さ寸法は、前記後端部の前記中間絶縁層の厚さ寸法よりも小さいこと、
を特徴とする請求項4乃至6のいずれか一項に記載のセンサ素子。 - 前記中間絶縁層は、前記第1固体電解質層と前記第2固体電解質層との間のうち、前記先端部から前記後端部にかけて連続して形成されるとともに、前記先端部に近づくに従い厚さ寸法が小さくなる寸法変化部を備えること、
を特徴とする請求項7に記載のセンサ素子。 - 前記第1表面上に設けられ、前記第1内部絶縁層と連結した第3外部絶縁層と、該第3外部絶縁層上に設けられ、前記第1内部導電層と連結する第3外部導電層とを有し、
前記第1固体電解質層の後端側には、面取り部が形成されており、該面取り部の表面には、前記第3外部絶縁層が露出していることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載のセンサ素子。 - 第1表面から第1表面の反対側に位置する第1裏面に向かって貫通する第1スルーホールを有する板状の第1固体電解質層と、第2表面から該第2表面の反対側に位置する第2裏面に向かって貫通すると共に、前記第1スルーホールと連結する第2スルーホールを有し、前記第1裏面と前記第2表面とを直接または他部材を介して接触させて前記第1固体電解質層と積層した板状の第2固体電解質層とを有するセンサ素子の製造方法であって、
積層される前の前記第1固体電解質層の前記第1スルーホールの内表面に第1内部絶縁層を形成すると共に、前記第1裏面上に、前記第1内部絶縁層と連結する第1外部絶縁層を形成する、及び前記第2固体電解質層の前記第2スルーホールの内表面に第2内部絶縁層を形成すると共に、第2表面上の前記第2内部絶縁層と連結する第2外部絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
前記第1内部絶縁層上に第1内部導電層を形成すると共に、前記第1外部絶縁層上に、前記第1内部導電層と連結する第1外部導電層を形成する、及び、前記第2内部絶縁層上に第2内部導電層を形成すると共に、前記第2外部絶縁上に、前記第2内部導電層と連結する第2外部導電層を形成する導電層形成工程と、
前記第1外部導電層と第2外部導電層とを接触させつつ、前記第1固体電解質層と前記第2固体電解質層とを積層する積層工程と、
を有することを特徴とするセンサ素子の製造方法。 - 軸線方向に延び、先端部が測定対象ガスに向けられる検出素子と、
前記検出素子の先端部および後端部を自身から突出させて当該検出素子の周囲を取り囲む主体金具と、
該検出素子と該主体金具との間に配置され、該検出素子を該主体金具に支持する支持部材と、
を有するガスセンサであって、
前記検出素子は、請求項1から9のいずれかに記載のセンサ素子であること、
を特徴とするガスセンサ。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009204524A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Denso Corp | 積層セラミック電子部品及びその電子部品接続構造並びにガスセンサ |
JP2010032496A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-02-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
JP2013501214A (ja) * | 2009-08-03 | 2013-01-10 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 層間接続孔を備えたセンサ素子 |
JP2013515961A (ja) * | 2009-12-30 | 2013-05-09 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 小型の排ガスセンサのためのセラミック製のセンサ素子 |
KR20160143676A (ko) * | 2014-04-10 | 2016-12-14 | 로베르트 보쉬 게엠베하 | 측정 가스 챔버 내 측정 가스의 적어도 하나의 특성을 검출하기 위한 센서 소자 및 그 제조 방법 |
JP7443103B2 (ja) | 2020-03-11 | 2024-03-05 | 日本碍子株式会社 | セラミックグリーンシート積層体における層間導通部形成方法、セラミックグリーンシート積層体の作製方法、およびセラミックグリーンシート積層体 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1703278B1 (en) * | 2004-01-09 | 2017-07-05 | NGK Spark Plug Co., Ltd. | Gas sensor production method and gas sensor |
US8513961B2 (en) * | 2009-01-19 | 2013-08-20 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Detection method for defect of sensor |
DE102009000514A1 (de) * | 2009-01-30 | 2010-08-26 | Robert Bosch Gmbh | Verbundbauteil sowie Verfahren zum Herstellen eines Verbundbauteil |
JP2010210534A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Ngk Insulators Ltd | 粒子状物質検出装置 |
JP5382060B2 (ja) * | 2010-07-09 | 2014-01-08 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
US9551684B2 (en) * | 2013-01-08 | 2017-01-24 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Gas sensor element and gas sensor |
JP6059110B2 (ja) * | 2013-08-09 | 2017-01-11 | 日本特殊陶業株式会社 | センサ素子およびセンサ |
JP6484094B2 (ja) * | 2015-04-16 | 2019-03-13 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
USD983059S1 (en) * | 2019-09-18 | 2023-04-11 | Ngk Insulators, Ltd. | Gas concentration detection sensor |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61134655A (ja) * | 1984-12-06 | 1986-06-21 | Ngk Insulators Ltd | 酸素センサ素子 |
JPS63155056A (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-28 | Ricoh Co Ltd | 静電写真用現像剤 |
JPH01321680A (ja) * | 1988-06-22 | 1989-12-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | セラミック配線基板の製造方法 |
JPH06196865A (ja) * | 1992-09-23 | 1994-07-15 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | キャップ付き貫通孔を備えた多層セラミック基板とその製造方法 |
JP2001242129A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 積層型ガスセンサ素子及びその製造方法並びにそれを備えるガスセンサ |
JP2001296269A (ja) * | 2000-04-17 | 2001-10-26 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミック素子と電極の組立体 |
JP2002026520A (ja) * | 2000-07-06 | 2002-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 多層配線基板及びその製造方法 |
JP2002107335A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 積層型ガスセンサ素子の製造方法 |
JP2003083930A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-03-19 | Kyocera Corp | 検出素子 |
JP2008046111A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-28 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ及びガスセンサの製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0786498B2 (ja) * | 1988-06-02 | 1995-09-20 | 日本碍子株式会社 | 加熱型酸素センサ |
DE19539357B4 (de) * | 1994-10-24 | 2011-09-15 | Denso Corporation | Luft-Brennstoffverhältnis-Erfassungseinrichtung |
JP3711597B2 (ja) | 1994-10-24 | 2005-11-02 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | 空燃比検出装置 |
DE10014995C1 (de) * | 2000-03-25 | 2001-07-19 | Bosch Gmbh Robert | Elektrochemischer Meßfühler |
DE10122271B4 (de) * | 2001-05-08 | 2006-06-29 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelemente |
US20060211123A1 (en) * | 2005-03-18 | 2006-09-21 | Ker Eric L | Sensing element and method of making |
US7340942B2 (en) * | 2005-03-22 | 2008-03-11 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Sensor including a sensor element having electrode terminals spaced apart from a connecting end thereof |
JP4693118B2 (ja) | 2005-03-22 | 2011-06-01 | 日本特殊陶業株式会社 | センサ |
-
2007
- 2007-11-22 JP JP2007302817A patent/JP4936136B2/ja active Active
- 2007-11-28 US US11/946,202 patent/US8012324B2/en active Active
- 2007-11-29 DE DE102007057430.6A patent/DE102007057430B4/de active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61134655A (ja) * | 1984-12-06 | 1986-06-21 | Ngk Insulators Ltd | 酸素センサ素子 |
JPS63155056A (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-28 | Ricoh Co Ltd | 静電写真用現像剤 |
JPH01321680A (ja) * | 1988-06-22 | 1989-12-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | セラミック配線基板の製造方法 |
JPH06196865A (ja) * | 1992-09-23 | 1994-07-15 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | キャップ付き貫通孔を備えた多層セラミック基板とその製造方法 |
JP2001242129A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 積層型ガスセンサ素子及びその製造方法並びにそれを備えるガスセンサ |
JP2001296269A (ja) * | 2000-04-17 | 2001-10-26 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミック素子と電極の組立体 |
JP2002026520A (ja) * | 2000-07-06 | 2002-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 多層配線基板及びその製造方法 |
JP2002107335A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 積層型ガスセンサ素子の製造方法 |
JP2003083930A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-03-19 | Kyocera Corp | 検出素子 |
JP2008046111A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-28 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ及びガスセンサの製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009204524A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Denso Corp | 積層セラミック電子部品及びその電子部品接続構造並びにガスセンサ |
JP2010032496A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-02-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
JP2013501214A (ja) * | 2009-08-03 | 2013-01-10 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 層間接続孔を備えたセンサ素子 |
JP2013515961A (ja) * | 2009-12-30 | 2013-05-09 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 小型の排ガスセンサのためのセラミック製のセンサ素子 |
KR20160143676A (ko) * | 2014-04-10 | 2016-12-14 | 로베르트 보쉬 게엠베하 | 측정 가스 챔버 내 측정 가스의 적어도 하나의 특성을 검출하기 위한 센서 소자 및 그 제조 방법 |
KR102302837B1 (ko) | 2014-04-10 | 2021-09-17 | 로베르트 보쉬 게엠베하 | 측정 가스 챔버 내 측정 가스의 적어도 하나의 특성을 검출하기 위한 센서 소자 및 그 제조 방법 |
JP7443103B2 (ja) | 2020-03-11 | 2024-03-05 | 日本碍子株式会社 | セラミックグリーンシート積層体における層間導通部形成方法、セラミックグリーンシート積層体の作製方法、およびセラミックグリーンシート積層体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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US8012324B2 (en) | 2011-09-06 |
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