JP2008157844A - 磁気センサ及び回転角度検出装置 - Google Patents
磁気センサ及び回転角度検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008157844A JP2008157844A JP2006349120A JP2006349120A JP2008157844A JP 2008157844 A JP2008157844 A JP 2008157844A JP 2006349120 A JP2006349120 A JP 2006349120A JP 2006349120 A JP2006349120 A JP 2006349120A JP 2008157844 A JP2008157844 A JP 2008157844A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- magnetic sensor
- magnetic
- elements
- effect element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Hall/Mr Elements (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
【解決手段】 本発明の磁気センサは、非磁性の中間層を介して2つの強磁性膜が積層されたスピンバルブ型の磁気抵抗効果素子を用いた磁気センサにおいて、前記磁気抵抗効果素子の形状は複数のリングが連なった形状であり、各々のリングが電気的に接続されている状態で通電され、前記磁気抵抗効果素子の電気抵抗が外部磁場に対して変化することを特徴とする。前記検出素子が少なくとも2つ含まれるブリッジ回路で回転角度検出装置を構成する。
【選択図】図1
Description
1d,1e,1f:リング型素子、1B:連結したリング型素子、
1g,1h,1i:リング型素子、1C:連結したリング型素子、
1j,1k,1l:リング型素子、1D:連結したリング型素子、
1E,1F,1G,1H:連結したリング型素子、
3a,3b,3c,3d,3e:端子、
3f,3g,3h,3i,3j:端子、
4:基板、9:磁気センサ、
11a:内側のリング型素子、11b:中間のリング型素子、
11c:外側のリング型素子、
12a,12b,12c,12d:配線(電極膜)、12d2:接合部、
13a:内側のC字型素子、13b:中間のC字型素子、
13c:外側のC字型素子、14:切り欠き、
21:一体形成したリング型素子、23:端子部、24:基板、29:磁気センサ、
31a,31b,31c:リング型素子、
32a,32b,32c,32d:配線、
33:端子、34:基板、39:磁気センサ、
41a,41b:連結したリング型素子、41c,41d:連結したリング型素子、
41e,41f:連結したリング型素子、41g,41h:連結したリング型素子、
41i,41j:連結したリング型素子、41k,41l:連結したリング型素子、
41m,41n:連結したリング型素子、41o,41p:連結したリング型素子、
42e1,42e2,42f1,42f2:配線、
43a,43b,43c,43d,43e:端子、
43f,43g,43h,43i,43j:端子、
44:基板、49:磁気センサ、
51:モールド樹脂、52:電極ピン、53:ボンディングワイヤ、54:回転軸、
55:磁石支持部、56:円盤状永久磁石、57:磁力線、59:センサデバイス、
61A,61B,61C,61D:連結したリング型素子、
61E,61F,61G,61H:連結したリング型素子、
63a,63b,63c,63d,63e:端子、
63f,63g,63h,63i,63j:端子、69:基板、
103:磁界センサ、108:基板、130:磁気抵抗効果膜、
130a,130b:螺旋状の形状パターンの両端部、
131:磁気抵抗効果膜のパターン形状、137:絶縁膜、
191,195,191a,195a:導電体電極膜、
104:磁界センサ、140:磁気抵抗効果膜、
141:磁気抵抗効果膜のパターン形状、141a:略半円状、
201:磁気抵抗効果素子、201A:素子本体部、201B:補助素子部、
202:メタルバー、203:回転ヨーク、
213,221,222,223,224,225:端子、
Claims (3)
- 非磁性の中間層を介して2つの強磁性膜が積層されたスピンバルブ型磁気抵抗効果素子を用いた磁気センサであって、前記スピンバルブ型磁気抵抗効果素子の形状は複数のリングが連なった形状であり、前記複数のリングが電気的に接続されている状態で通電され、外部磁場に対して前記スピンバルブ型磁気抵抗効果素子の電気抵抗が変化することを特徴とする磁気センサ。
- 請求項1に記載の磁気センサにおいて、前記リングは電気的に接続する部位の間の1箇所に切り欠きを有することを特徴とする磁気センサ。
- 請求項1又は2に記載のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子が少なくとも2つ含まれるブリッジ回路を構成し、前記ブリッジ回路の抵抗が回転する磁場に対して変化することを検出する回転角度検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006349120A JP5170614B2 (ja) | 2006-12-26 | 2006-12-26 | 磁気センサ及び回転角度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006349120A JP5170614B2 (ja) | 2006-12-26 | 2006-12-26 | 磁気センサ及び回転角度検出装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012148975A Division JP5333957B2 (ja) | 2012-07-03 | 2012-07-03 | 磁気センサ及び回転角度検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008157844A true JP2008157844A (ja) | 2008-07-10 |
JP5170614B2 JP5170614B2 (ja) | 2013-03-27 |
Family
ID=39658900
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006349120A Active JP5170614B2 (ja) | 2006-12-26 | 2006-12-26 | 磁気センサ及び回転角度検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5170614B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010038766A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Tokai Rika Co Ltd | 回転検出装置 |
JP2010038765A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Tokai Rika Co Ltd | 回転検出装置 |
DE102013102903A1 (de) | 2012-07-05 | 2014-01-09 | Tdk Corporation | Magnetsensor |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5181670U (ja) * | 1974-12-23 | 1976-06-30 | ||
JPH04504487A (ja) * | 1990-03-07 | 1992-08-06 | サンタ・バーバラ・リサーチ・センター | 高感度コルビーノディスク磁気抵抗アレイ |
JPH09102638A (ja) * | 1995-10-06 | 1997-04-15 | Sony Corp | 磁気センサ |
JPH09292205A (ja) * | 1996-04-25 | 1997-11-11 | Nippon Soken Inc | 非接触式位置検出方法および非接触式ポテンショメータ |
JPH11274598A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-08 | Tdk Corp | 磁界センサ |
JP2002535839A (ja) * | 1999-01-15 | 2002-10-22 | インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト | 半導体素子に対するエッジ終端部、エッジ終端部を有するショットキー・ダイオードおよびショットキー・ダイオードの製造方法 |
JP2003282996A (ja) * | 2002-03-25 | 2003-10-03 | Tokai Rika Co Ltd | 巨大磁気抵抗素子 |
JP2005351656A (ja) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気検出装置 |
-
2006
- 2006-12-26 JP JP2006349120A patent/JP5170614B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5181670U (ja) * | 1974-12-23 | 1976-06-30 | ||
JPH04504487A (ja) * | 1990-03-07 | 1992-08-06 | サンタ・バーバラ・リサーチ・センター | 高感度コルビーノディスク磁気抵抗アレイ |
JPH09102638A (ja) * | 1995-10-06 | 1997-04-15 | Sony Corp | 磁気センサ |
JPH09292205A (ja) * | 1996-04-25 | 1997-11-11 | Nippon Soken Inc | 非接触式位置検出方法および非接触式ポテンショメータ |
JPH11274598A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-08 | Tdk Corp | 磁界センサ |
JP2002535839A (ja) * | 1999-01-15 | 2002-10-22 | インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト | 半導体素子に対するエッジ終端部、エッジ終端部を有するショットキー・ダイオードおよびショットキー・ダイオードの製造方法 |
JP2003282996A (ja) * | 2002-03-25 | 2003-10-03 | Tokai Rika Co Ltd | 巨大磁気抵抗素子 |
JP2005351656A (ja) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気検出装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010038766A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Tokai Rika Co Ltd | 回転検出装置 |
JP2010038765A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Tokai Rika Co Ltd | 回転検出装置 |
DE102013102903A1 (de) | 2012-07-05 | 2014-01-09 | Tdk Corporation | Magnetsensor |
US8896304B2 (en) | 2012-07-05 | 2014-11-25 | Tdk Corporation | Magnetic sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5170614B2 (ja) | 2013-03-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8193805B2 (en) | Magnetic sensor | |
JP3848670B1 (ja) | 回転角度検出装置 | |
JP2011525631A (ja) | 歯車の回転速度検出方法および歯車の回転速度検出装置 | |
JP2000035471A (ja) | 巨大磁気抵抗効果素子を備えたポテンショメータ | |
JP3560821B2 (ja) | 巨大磁気抵抗効果素子を備えたエンコーダ | |
US20140292314A1 (en) | Magnetic sensor system including two detection circuits | |
JP5429591B2 (ja) | 磁気センサ及び回転角度検出装置 | |
JP4028971B2 (ja) | 磁気センサの組立方法 | |
JP5201493B2 (ja) | 位置検出装置及び直線駆動装置 | |
JP2007051953A (ja) | 磁気エンコーダ | |
JP5170614B2 (ja) | 磁気センサ及び回転角度検出装置 | |
JP2010527454A (ja) | 直線運動又は回転運動を非接触に検出するための装置 | |
JP4229877B2 (ja) | 磁気検出装置 | |
JP5333957B2 (ja) | 磁気センサ及び回転角度検出装置 | |
JP4900838B2 (ja) | 位置検出装置及び直線駆動装置 | |
JP5359056B2 (ja) | 磁気センサ及び回転角度検出装置 | |
JP2015133377A (ja) | 磁気検出素子および回転検出装置 | |
JP2014202704A (ja) | 磁界検出装置 | |
JP5144373B2 (ja) | 磁気検知型エンコーダ | |
JP3922427B2 (ja) | 磁気エンコーダ | |
JP2008014954A (ja) | 磁気センサ | |
JP2011185747A (ja) | 異常検知装置 | |
JP6618618B2 (ja) | 磁気検出装置 | |
JP2009052963A (ja) | 磁気ベクトル分布測定プローブ | |
JP5184380B2 (ja) | 磁気検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091113 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101221 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110901 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110909 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120518 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120703 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121207 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5170614 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |