JP5333957B2 - 磁気センサ及び回転角度検出装置 - Google Patents
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Description
1d,1e,1f:リング型素子、1B:連結したリング型素子、
1g,1h,1i:リング型素子、1C:連結したリング型素子、
1j,1k,1l:リング型素子、1D:連結したリング型素子、
1E,1F,1G,1H:連結したリング型素子、
3a,3b,3c,3d,3e:端子、
3f,3g,3h,3i,3j:端子、
4:基板、9:磁気センサ、
11a:内側のリング型素子、11b:中間のリング型素子、
11c:外側のリング型素子、
12a,12b,12c,12d:配線(電極膜)、12d2:接合部、
13a:内側のC字型素子、13b:中間のC字型素子、
13c:外側のC字型素子、14:切り欠き、
21:一体形成したリング型素子、23:端子部、24:基板、29:磁気センサ、
31a,31b,31c:リング型素子、
32a,32b,32c,32d:配線、
33:端子、34:基板、39:磁気センサ、
41a,41b:連結したリング型素子、41c,41d:連結したリング型素子、
41e,41f:連結したリング型素子、41g,41h:連結したリング型素子、
41i,41j:連結したリング型素子、41k,41l:連結したリング型素子、
41m,41n:連結したリング型素子、41o,41p:連結したリング型素子、
42e1,42e2,42f1,42f2:配線、
43a,43b,43c,43d,43e:端子、
43f,43g,43h,43i,43j:端子、
44:基板、49:磁気センサ、
51:モールド樹脂、52:電極ピン、53:ボンディングワイヤ、54:回転軸、
55:磁石支持部、56:円盤状永久磁石、57:磁力線、59:センサデバイス、
61A,61B,61C,61D:連結したリング型素子、
61E,61F,61G,61H:連結したリング型素子、
63a,63b,63c,63d,63e:端子、
63f,63g,63h,63i,63j:端子、69:基板、
103:磁界センサ、108:基板、130:磁気抵抗効果膜、
130a,130b:螺旋状の形状パターンの両端部、
131:磁気抵抗効果膜のパターン形状、137:絶縁膜、
191,195,191a,195a:導電体電極膜、
104:磁界センサ、140:磁気抵抗効果膜、
141:磁気抵抗効果膜のパターン形状、141a:略半円状、
201:磁気抵抗効果素子、201A:素子本体部、201B:補助素子部、
202:メタルバー、203:回転ヨーク、
213,221,222,223,224,225:端子、
Claims (3)
- 非磁性の中間層を介して2つの強磁性膜が積層されたスピンバルブ型磁気抵抗効果素子を用いてホイートストーンブリッジ回路を構成した磁気センサであって、
前記スピンバルブ型磁気抵抗効果素子の形状は、切り欠きの有るC字型素子を複数個連結した形状であり、
前記C字型素子は、隣接のC字型素子または端子の位置からリングの周方向で90°ずれた位置に切り欠きを1つ有し、
前記切り欠きが、隣接のC字型素子または端子の接合部から離れていることを特徴とする磁気センサ。 - 前記C字型素子を複数個連結した形状は、C字型素子を同心円状に配置し、
前記C字型素子は、隣接のC字型素子の切り欠きの位置からリングの周方向に180°ずれた位置に1つ切り欠きを有することを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。 - 請求項1または2に記載の磁気センサを備えることを特徴とする回転角度検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012148975A JP5333957B2 (ja) | 2012-07-03 | 2012-07-03 | 磁気センサ及び回転角度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012148975A JP5333957B2 (ja) | 2012-07-03 | 2012-07-03 | 磁気センサ及び回転角度検出装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006349120A Division JP5170614B2 (ja) | 2006-12-26 | 2006-12-26 | 磁気センサ及び回転角度検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012233905A JP2012233905A (ja) | 2012-11-29 |
JP5333957B2 true JP5333957B2 (ja) | 2013-11-06 |
Family
ID=47434310
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012148975A Active JP5333957B2 (ja) | 2012-07-03 | 2012-07-03 | 磁気センサ及び回転角度検出装置 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5333957B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016013345A1 (ja) * | 2014-07-24 | 2016-01-28 | 株式会社村田製作所 | 磁気センサ |
JP2019216322A (ja) * | 2018-06-11 | 2019-12-19 | 株式会社東海理化電機製作所 | 磁気センサ装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5117821Y2 (ja) * | 1972-01-21 | 1976-05-13 | ||
JPS5181670U (ja) * | 1974-12-23 | 1976-06-30 | ||
JP3587678B2 (ja) * | 1998-03-20 | 2004-11-10 | Tdk株式会社 | 磁界センサ |
-
2012
- 2012-07-03 JP JP2012148975A patent/JP5333957B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012233905A (ja) | 2012-11-29 |
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|
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