JP2007051953A - 磁気エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 磁気回転ドラム35a,35bは、多極着磁が設けられ、N極とS極の磁極が交互に配置されている。また、磁気センサ30は、磁気回転ドラム35a,35bの半径方向の中央側部近傍又は周面近傍に配置され、磁気回転ドラム35a,35bの磁界を検出する複数個のホール素子を収納したパッケージで構成されている。磁気回転ドラム35a,35bの着磁方向は、厚さ方向又は半径方向になるように着磁されている。ホール素子は、パッケージ表面に近づけて配置されているとともに、磁気センサ30は、磁気回転ドラム35a,35bの着磁方向に向けて配置されている。
【選択図】 図6
Description
2 回転シャフト
3 ジグ
4 磁気センサ
5 磁気回転ドラム
6 磁気抵抗効果(MR)素子
11 多極着磁磁石
11a N極
11b S極
12 ホール素子
22 ホールIC
22a パッケージ
22b ICチップ
22c,22d 集磁材
30 磁気センサ
31 パッケージ
32a〜32e ホール素子
33 信号処理IC
34 電極端子
35a,35b 磁気回転ドラム
Claims (10)
- 多極着磁が設けられ、N極とS極の磁極が交互に配置された磁気回転ドラムと、該磁気回転ドラムの周面近傍に配置され、該磁気回転ドラムの磁界を検出する複数個のホール素子を有する磁気センサを備えた磁気エンコーダにおいて、
前記磁気回転ドラムは、その着磁方向が、該磁気回転ドラムの厚さ方向又は半径方向になるように着磁されており、前記複数個のホール素子の感磁部は、前記磁気センサのパッケージ表面に近づけて配置されているとともに、前記磁気センサは、前記磁気回転ドラムの着磁方向に向けて配置されていることを特徴とする磁気エンコーダ。 - 前記磁気回転ドラムの着磁方向が厚さ方向の場合には、前記磁気センサが前記磁気回転ドラムの半径方向の中央側部近傍で、かつ前記厚さ方向の延長上に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気エンコーダ。
- 前記磁気回転ドラムの着磁方向が半径方向の場合には、前記磁気センサが前記磁気回転ドラムの周面近傍で、かつ前記半径方向の延長上に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気エンコーダ。
- 前記磁気センサを複数個設け、該各々の磁気センサは、前記ホール素子による検出信号の位相がそれぞれ異なるように前記磁気回転ドラムの半径方向の中央側部近傍又は周面近傍に配置されていることを特徴とする請求項2又は3に記載の磁気エンコーダ。
- 前記複数個の磁気センサは、前記磁気回転ドラムに対して同一の間隙で配置されていることを特徴とする請求項4に記載の磁気エンコーダ。
- 前記磁気センサは、複数個のホール素子を単一のパッケージ内に収納したものであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の磁気エンコーダ。
- 前記磁気センサのパッケージ表面から前記複数個のホール素子の感磁部までの距離が、1μm以上、200μm以下であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の磁気エンコーダ。
- 前記磁気センサが、前記複数個のホール素子の出力信号を処理・変換するICを有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の磁気エンコーダ。
- 前記複数個のホール素子と前記ICが、シリコンからなることを特徴とする請求項8に記載の磁気エンコーダ。
- 前記磁気回転ドラムに磁気ヨークを設けたことを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の磁気エンコーダ。
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