JP2008157670A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属ステム20の段部23が、ハウジング10における圧力導入通路12内の座面13に対して、金属ステム20の他端側から一端側へ向かって押し付けられシールされるようにする。さらに、このように金属ステム20を座面13に対して押し付けることを、ステム配置部14の端部14aを押し潰したかしめ部15にて行う。このような構造によれば、金属ステム20を圧力導入通路12に対してネジ締め固定を行う場合のように、シール部Kの面圧が大きくばらつくことを防止できる。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態について説明する。図1に本発明の実施形態に係る圧力センサ100の全体断面構成を示す。圧力センサ100は、自動車の燃料噴射系(例えばコモンレ−ル)における燃料パイプ(図示せず)に取り付けられ、この燃料パイプ内の圧力媒体としての燃料の圧力を検出するものである。
まず、センサチップ30が低融点ガラス40で接合されている状態の金属ステム20を、その一端側(ダイアフラム21側)から、ハウジング10の圧力導入通路12の一端側(圧力導入側)へ挿入する。そして、金属ステム20を圧力導入通路12におけるステム配置部14まで挿入したら、ステム配置部14のうち圧力導入側の端部14aをかしめ用の治具(図示せず)にて押し潰す。これにより、金属ステム20のテーパ状の段部23が圧力導入通路12内の座面13に押し付けられ、金属ステム20の段部23とハウジング10の座面13とが密着してシールされ、金属ステム20の外周面とハウジング10の圧力導入通路12の内壁面とのシール性が確保されると共に、図1に示したように金属ステム20がかしめ部15において保持され、負圧が発生したときに金属ステム20が圧力導入側に移動することを防止できる。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサ100は、第1実施形態に対して金属ステム20の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、金属ステム20に関してのみ説明する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサ100も、第1実施形態に対して金属ステム20の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、金属ステム20に関してのみ説明する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサ100も、第1実施形態に対して金属ステム20の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、金属ステム20に関してのみ説明する。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサ100も、第1実施形態に対して金属ステム20の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、金属ステム20に関してのみ説明する。
本発明の第6実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサ100は、第1実施形態に対して金属ステム20の固定構造を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、金属ステム20の固定構造に関してのみ説明する。
本発明の第7実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサ100は、第1実施形態に対して金属ステム20の固定構造を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、金属ステム20の固定構造に関してのみ説明する。
本発明の第8実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサ100は、第1実施形態に対して金属ステム20の固定構造を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、金属ステム20の固定構造に関してのみ説明する。
なお、金属ステムに設けられる検出部としては、ダイアフラム以外にも、半導体よりなるダイアフラム式のチップや、圧電素子、歪みゲージ等、圧力に基づく信号を出力できるものならば、何でも良い。
Claims (11)
- 一端側が圧力の測定媒体が導入される圧力導入側となる圧力導入通路(12)を有するハウジング(10)と、
一端側に圧力検出用のダイアフラム(21)を有し、他端側に前記ダイアフラムへ前記圧力を導くための開口部(22)を有するとともに、その外周面のうち軸方向の途中部位に段部(23)を有する中空段付筒状をなす金属ステム(20)とを備え、
前記圧力導入通路は、前記金属ステムが配置されるステム配置部(14)を有し、該ステム配置部において、前記金属ステムの外形に対応した形状を為すと共に、前記金属ステムの前記段部と対応する座面(13)が形成され、
前記金属ステムは、その他端側が前記圧力導入通路の圧力導入側に位置するように前記ステム配置部内に挿入されていると共に、該金属ステムの他端側において、前記ステム配置部の一部が押し潰されたかしめ部(15)にて、該金属ステムの他端側から一端側へ向かって押し付けられることにより、前記段部が前記座面に対して押し付けられシールされていることを特徴とする圧力センサ。 - 一端側が圧力の測定媒体が導入される圧力導入側となる圧力導入通路(12)を有するハウジング(10)と、
一端側に圧力検出用のダイアフラム(21)を有し、他端側に前記ダイアフラムへ前記圧力を導くための開口部(22)を有するとともに、その外周面のうち軸方向の途中部位に段部(23)を有する中空段付筒状をなす金属ステム(20)とを備え、
前記圧力導入通路は、前記金属ステムが配置されるステム配置部(14)を有し、該ステム配置部において、前記金属ステムの外形に対応した形状を為すと共に、前記金属ステムの前記段部と対応する座面(13)が形成され、
前記金属ステムは、その他端側が前記圧力導入通路の圧力導入側に位置するように前記ステム配置部内に挿入されていると共に、該金属ステムの他端側において、該金属ステムの一部が押し潰されたかしめ部(28)にて、該金属ステムの他端側から一端側へ向かって押し付けられることにより、前記段部が前記座面に対して押し付けられシールされていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記金属ステムには、該金属ステムの外周を一周する溝部(24a)が形成されていると共に、該溝部内にリング状シール(24b)が備えられており、
前記リング状シールが前記ステム配置部の内壁面にて押し潰されることで、該リング状シールにより前記金属ステムと前記ステム配置部の内壁面との間のシールが為されていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。 - 一端側が圧力の測定媒体が導入される圧力導入側となる圧力導入通路(12)を有するハウジング(10)と、
一端側に圧力検出用のダイアフラム(21)を有し、他端側に前記ダイアフラムへ前記圧力を導くための開口部(22)を有するとともに、その外周面のうち軸方向の途中部位に段部(23)を有する中空段付筒状をなす金属ステム(20)とを備え、
前記圧力導入通路は、前記金属ステムが配置されるステム配置部(14)を有し、該ステム配置部において、前記金属ステムの外形に対応した形状を為すと共に、前記金属ステムの前記段部と対応する座面(13)が形成され、
前記金属ステムには、該金属ステムの外周を一周する溝部(24a)が形成されていると共に、該溝部内にリング状シール(24b)が備えられており、
前記金属ステムは、その他端側が前記圧力導入通路の圧力導入側に位置するように前記ステム配置部内に挿入されていると共に、該金属ステムが前記ステム配置部に圧入されることで、該金属ステムの他端側から一端側へ向かって押し付けられることにより、前記段部が前記座面に対して押し付けられシールされており、
かつ、前記リング状シールが前記ステム配置部の内壁面にて押し潰されることで、該リング状シールにより前記金属ステムと前記ステム配置部の内壁面との間のシールが為されていることを特徴とする圧力センサ。 - 一端側が圧力の測定媒体が導入される圧力導入側となる圧力導入通路(12)を有するハウジング(10)と、
一端側に圧力検出用のダイアフラム(21)を有し、他端側に前記ダイアフラムへ前記圧力を導くための開口部(22)を有するとともに、その外周面のうち軸方向の途中部位に段部(23)を有する中空段付筒状をなす金属ステム(20)とを備え、
前記圧力導入通路は、前記金属ステムが配置されるステム配置部(14)を有し、該ステム配置部において、前記金属ステムの外形に対応した形状を為すと共に、前記金属ステムの前記段部と対応する座面(13)が形成され、
前記金属ステムは、その他端側が前記圧力導入通路の圧力導入側に位置するように前記ステム配置部内に挿入されていると共に、該金属ステムの他端側から一端側へ向かって押し付けられることにより、前記段部が前記座面に対して押し付けられシールされており、かつ、該金属ステムの他端側において、該金属ステムの他端と前記ステム配置部とが溶接部(25)にて固定されていることを特徴とする圧力センサ。 - 一端側が圧力の測定媒体が導入される圧力導入側となる圧力導入通路(12)を有するハウジング(10)と、
一端側に圧力検出用のダイアフラム(21)を有し、他端側に前記ダイアフラムへ前記圧力を導くための開口部(22)を有するとともに、その外周面のうち軸方向の途中部位に段部(23)を有する中空段付筒状をなす金属ステム(20)とを備え、
前記圧力導入通路は、前記金属ステムが配置されるステム配置部(14)を有し、該ステム配置部において、前記金属ステムの外形に対応した形状を為すと共に、前記金属ステムの前記段部と対応する座面(13)が形成され、
前記金属ステムの外周面には凸部(29)が形成されており、
前記金属ステムは、その他端側が前記圧力導入通路の圧力導入側に位置するように前記ステム配置部内に挿入されていると共に、該金属ステムの他端側から一端側へ向かって押し付けられることにより、前記段部が前記座面に対して押し付けられシールされており、該金属ステムを前記ステム配置部に挿入する際に前記凸部にて前記ステム配置部の内壁面を押し潰して形成した溝部(14b)に前記凸部が引っ掛かるように構成されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記金属ステムは、前記ステム配置部に螺旋状に回転させられて挿入されていることを特徴とする請求項6に記載の圧力センサ。
- 一端側が圧力の測定媒体が導入される圧力導入側となる圧力導入通路(12)を有するハウジング(10)と、
一端側に圧力検出用のダイアフラム(21)を有し、他端側に前記ダイアフラムへ前記圧力を導くための開口部(22)を有するとともに、その外周面のうち軸方向の途中部位に段部(23)を有する中空段付筒状をなす金属ステム(20)とを備え、
前記圧力導入通路は、前記金属ステムが配置されるステム配置部(14)を有し、該ステム配置部において、前記金属ステムの外形に対応した形状を為すと共に、前記金属ステムの前記段部と対応する座面(13)が形成され、
前記ステム配置部の内壁面には凸部が形成されており、
前記金属ステムは、その他端側が前記圧力導入通路の圧力導入側に位置するように前記ステム配置部内に挿入されていると共に、該金属ステムの他端側から一端側へ向かって押し付けられることにより、前記段部が前記座面に対して押し付けられシールされており、該金属ステムを前記ステム配置部に挿入する際に前記凸部にて該金属ステムの内壁面が押し潰されて形成された溝部に前記凸部が引っ掛かるように構成されていることを特徴とする圧力センサ。 - 一端側が圧力の測定媒体が導入される圧力導入側となる圧力導入通路(12)を有するハウジング(10)と、
一端側に圧力検出用のダイアフラム(21)を有し、他端側に前記ダイアフラムへ前記圧力を導くための開口部(22)を有するとともに、その外周面のうち軸方向の途中部位に段部(23)を有する中空段付筒状をなす金属ステム(20)とを備え、
前記圧力導入通路は、前記金属ステムが配置されるステム配置部(14)を有し、該ステム配置部において、前記金属ステムの外形に対応した形状を為すと共に、前記金属ステムの前記段部と対応する座面(13)が形成され、
前記金属ステムは、その他端側が前記圧力導入通路の圧力導入側に位置するように前記ステム配置部内に挿入され、該金属ステムの他端側から一端側へ向かって押し付けられることにより、前記段部が前記座面に対して押し付けられシールされていると共に、該金属ステムの前記開口部が押し広げられることで拡管され、前記ステム配置部に固定されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記金属ステムのうち前記ダイアフラムが形成された一端側には、前記ダイアフラムの周囲を囲むように溝部(26)が形成されていることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記金属ステムのうち前記ダイアフラムが形成された一端側には、前記ダイアフラムの周囲を囲むように凸部(27)が形成されていることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1つに記載の圧力センサ。
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